JP4848708B2 - 有機エレクトロルミネセンス装置の製造方法 - Google Patents
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Description
上記の有機エレクトロルミネセンス装置の製造方法は、前記第1の配置工程に先立って、前記基板上のうち前記隔壁で囲まれた前記領域を前記第1液状組成物に対して親液性にする親液化工程を更に含むことが好ましい。
上記の有機エレクトロルミネセンス装置の製造方法は、前記第1の配置工程に先立って、前記隔壁の上面を前記第1液状組成物に対して撥液性にする撥液化工程を更に含むことが好ましい。
上記目的を達成するため、本発明に係る膜形成方法は、複数種類の液体を混合した溶媒に機能材料を溶解或いは分散させてなる液状組成物を基板上に配置する工程と、前記基板上に配置された液状組成物の周囲を第1の所定の圧力まで所定の減圧速度で減圧する第1の減圧工程と、前記第1の減圧工程の後、前記第1の所定の圧力の近傍の圧力で、所定の時間減圧する速度を減少させるか或いは圧力を保持する圧力保持工程と、前記圧力保持工程の後、前記第1の所定の圧力よりも低い第2の所定の圧力まで減圧する第2の減圧工程とを有することを特徴とする。
本発明によれば、液状組成物の周囲の圧力を飽和蒸気圧に対応する圧力で一定に保持することよって、一の種類の液体が蒸発する状態を安定して継続させることができる。
本発明によれば、一の種類の液体のほぼ全部が蒸発してから、他の種類の液体を蒸発させることができるので、形成される膜の膜厚を容易に制御することができる。なお、液状組成物内に残留する一の種類の液体の量が少ないほど、後の乾燥工程への影響が少なくなる。本発明では、一の種類の液体が90%以上蒸発するので、後の乾燥工程への影響が殆ど見られなくなるという効果もある。
本発明によれば、液状組成物をインクジェット法によって基板上に配置するので、液状組成物の塗布性を向上させることができる。これにより、乾燥工程において膜厚を均一にしやすい環境を形成することができる。
有機エレクトロルミネセンス装置に設けられる電荷輸送層及び発光層は、膜厚が均一であることが強く求められる。本発明によれば、形成される膜の膜厚を容易に制御することができ、平坦な膜を容易に得ることができる膜形成方法によって電荷輸送層や発光層を形成するので、均一な膜厚の電荷輸送層及び発光層を得ることができる。
本発明によれば、均一な膜厚の電荷輸送層及び発光層が形成されるので、表示ムラの無い有機エレクトロルミネセンス装置を得ることができる。
本発明によれば、表示ムラの無い有機エレクトロルミネセンス装置を搭載したので、快適な表示を実現可能な電子機器を得ることができる。
(有機EL装置)
図1は、有機EL装置1の全体構成を概略的に示す斜視図である。以下の図では、各部材を認識可能な大きさとするため、縮尺を適宜変更している。
同図に示すように、基体10は、画素部7(一点鎖線内の領域)と周縁部8(当該一点鎖線の外の領域)とに区画されており、画素部7内では、実表示領域P(二点鎖線内の領域)とダミー領域Q(一点鎖線と二点鎖線との間の領域)とに更に区画されている。画素部7の実表示領域Pには、当該発光領域14からの光が通過する画素領域Kがマトリクス状に設けられている。画素領域Kの間の領域には、図中X方向に延在する走査線15aと、図中Y方向に延在するデータ線17aとが形成されている。
図3及び図4に示すように、基体10の構成要素である基板2は、例えば、ガラス、石英、樹脂(プラスチック、プラスチックフィルム)等からなる透明基板である。本実施形態に係る有機EL装置1はボトムエミッション型のものであり、光を取り出すには基板2を透明にする必要がある。基板2の表面2bには、下地として例えばSiO2等の透明な下地保護層11が形成されている。
ゲート絶縁層13は、例えばSiO2やSiN等で形成された透明な層であり、シリコン膜12とゲート電極15とを絶縁している。
第3絶縁層19は、例えばアクリル系の樹脂成分を主体とし、ソース電極17とドレイン電極18及びコンタクトホール25とを絶縁している。なお、アクリル系の絶縁膜以外の材料、例えば、SiN、SiO2などを用いることもできる。
データ駆動回路21は、このシフトレジスタ、レベルシフタの他、ビデオラインやアナログシフタ等の回路を有しており、データ線17aに接続されている。走査駆動回路20及びデータ駆動回路21は、駆動制御信号線28a、28bを介して駆動部4に接続されており、当該駆動部4の制御により走査線15a及びデータ線17aに電気信号を出力するようになっている。走査駆動回路20及びデータ駆動回路21は、駆動電源線29a、29bを介して電源に接続されている。
周縁部8には、有機EL素子3に接続する接続用配線27が形成されている。この接続用配線27は駆動部4に接続されており、当該接続用配線27を介して駆動部4からの電気信号を有機EL素子3に供給することができるようになっている。
隔壁36は、正孔注入層32や発光層33をインクジェット法等の液滴吐出法で形成する際に各画素を隔てる部材である。また、隣接する正孔注入層32及び発光層33の間で電子の移動が起こらないようにする絶縁部材である。隔壁36は、例えばアクリルやポリイミド等の耐熱性・耐溶性のある材料で形成されており、各正孔注入層32及び発光層33を遮断している。隔壁36には、親液性を示す領域と、撥液性を示す領域とが形成されている。
次に、液滴吐出法で形成される正孔注入層32及び発光層33の液滴を乾燥する乾燥装置について説明する。
図5は、乾燥装置40の構成を模式的に示す図である。
次に、このように構成された有機EL装置1を製造する工程を説明する。以下、基体10及び有機EL素子3の画素部7の領域を形成する工程を中心に説明し、周縁部8を形成する工程の説明は省略する。本実施形態において正孔注入層32及び発光層33を形成する際には、正孔注入層32の材料及び発光層33の材料を溶媒に溶解させ、所定の場所に滴下するインクジェット法を行う。
公知の方法により基板2に下地保護層11を形成する。当該下地保護層11の上に、シリコン膜12を形成し、レーザーアニールしてポリシリコン化する。ポリシリコン化されたシリコン膜12をゲート絶縁層13で覆った後、ゲート電極15を形成し、その上に再びゲート絶縁層13を形成する。また、ソース側のコンタクトホール23をパターニングして形成する。
このように、基体10が形成される。
基体10のほぼ全面を覆うように透明な導電膜を形成し、陽極31が所定の領域に形成されるようにこの導電膜をパターニングする。同時にダミー領域Qのダミーパターン(図示せず)も形成する。画素領域Kでコンタクトホール25と陽極31とを接続し、陽極とドレイン電極18とを導通させる。
基体10及び有機EL素子3を形成したら、当該基体10及び有機EL素子3のほぼ全体を封止部材5により缶封止して有機EL装置1が完成する。
次に、本発明に係る電子機器について、携帯電話を例に挙げて説明する。
図10は、携帯電話300の全体構成を示す斜視図である。
携帯電話300は、筺体301、複数の操作ボタンが設けられた操作部302、画像や動画、文字等を表示する表示部303を有する。表示部303には、本実施形態に係る有機EL装置1が搭載されている。
このように、表示ムラの無い有機EL装置1を搭載したので、快適な表示を実現可能な電子機器を得ることができる。
例えば、上記実施形態では、有機EL装置1の正孔注入層32及び発光層33を形成する場合について例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば液晶装置に設けられるカラーフィルタ等の膜を形成する場合にも本発明の適用は可能である。
Claims (3)
- 基板上のうち隔壁で囲まれた領域に正孔注入層及び発光層を形成する有機エレクトロルミネセンス装置の製造方法であって、
前記正孔注入層を形成する工程は、
水及びジエチレングリコールを混合した混合溶媒に正孔注入材料を溶解させた第1液状組成物を前記基板の前記隔壁で囲まれた領域にインクジェット法によって配置する第1の配置工程と、
前記基板上に配置された前記第1液状組成物の周囲の排気を室温下で行うことにより、当該第1液状組成物の周囲を常圧から水の飽和蒸気圧に対応する第1圧力まで、常圧から前記第1圧力に30秒で到達するような減圧速度で、減圧する第1の減圧工程と、
前記第1の減圧工程の後、前記第1圧力の近傍の圧力で10分以上前記排気をストップさせて前記第1液状組成物の周囲の圧力を保持する第1の圧力保持工程と、
前記圧力保持工程の後、前記第1液状組成物の周囲の排気を室温下で再度行うことにより、前記第1圧力よりも低い圧力であってジエチレングリコールの飽和蒸気圧に対応する第2圧力まで前記第1液状組成物の周囲を減圧する第2の減圧工程と
を含み、
前記発光層を形成する工程は、
前記第2の減圧工程の後、メシチレン、イソプロピルビフェニル及びキシレンを混合させた第2混合溶媒に発光材料を溶解させた第2液状組成物を、前記基板の前記隔壁で囲まれた領域のうち前記第1液状組成物上に、インクジェット法によって配置する第2の配置工程と、
前記基板上に配置された前記第2液状組成物の周囲の排気を室温下で行うことにより、前記第2液状組成物の周囲をキシレンの飽和蒸気圧に対応する第3圧力まで所定の減圧速度で減圧する第3の減圧工程と、
前記第3の減圧工程の後、前記第3圧力の近傍の圧力で、5分間前記排気をストップさせて前記第2液状組成物の周囲の圧力を保持する第2の圧力保持工程と、
前記第2の圧力保持工程の後、前記第2液状組成物の周囲の排気を室温下で再度行うことにより、前記第2液状組成物の周囲をメシチレンの飽和蒸気圧に対応する第4圧力まで所定の減圧速度で減圧する第4の減圧工程と、
前記第4の減圧工程の後、前記第4圧力の近傍の圧力で、5分間前記排気をストップさせて前記第2液状組成物の周囲の圧力を保持する第3の圧力保持工程と、
前記第3の圧力保持工程の後、前記第2液状組成物の周囲の排気を室温下で再度行うことにより、イソプロピルビフェニルの飽和蒸気圧に対応する第5圧力まで、所定の減圧速度で前記第2液状組成物の周囲を減圧する第5の減圧工程と
を含む
ことを特徴とする有機エレクトロルミネセンス装置の製造方法。 - 前記第1の配置工程に先立って、前記基板上のうち前記隔壁で囲まれた前記領域を前記第1液状組成物に対して親液性にする親液化工程を更に含む
請求項1に記載の有機エレクトロルミネセンス装置の製造方法。 - 前記第1の配置工程に先立って、前記隔壁の上面を前記第1液状組成物に対して撥液性にする撥液化工程を更に含む
請求項1又は請求項2に記載の有機エレクトロルミネセンス装置の製造方法。
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