JP4839293B2 - ヘッドサスペンション、ロードビーム、及びロードビームの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、コンピュータの例えば外部記憶装置として内蔵されるディスク装置のスライダを支持するヘッドサスペンション、ロードビーム、及びロードビームの製造方法に関する。

コンピュータの例えば外部記憶装置として磁気ディスク装置や光ディスク装置等をはじめとするディスク装置が広く利用されている。このようなディスク装置、例えば磁気ディスク装置（ＨＤＤ）は、磁気ヘッドスライダ（以下、「スライダ」と省略する。）を支持するためのヘッドサスペンションを備えている。

このヘッドサスペンションは、ベースプレートと、フレキシャが設けられるロードビームとなどを含み、このロードビーム上には、さらにジンバルと呼ばれる板ばねが支持されている。スライダは、ジンバルの先端部にスライダ実装部として形成されたタング部上に接着剤等で接合されている。

このようにしてスライダは、磁気ディスク媒体の表面に近接する方向に微弱なばね力で付勢される。ここで、上記ジンバル先端のタング部は、その周縁部のほとんどが、ジンバルの本体部分から切り離された領域として形成されている。さらに、このタング部は、ロードビームの先端部に形成された球面形状のディンプルによって、スライダの非搭載面側から支持されている。つまり、スライダは、その重心部分が、ジンバル先端のタング部を介しロードビーム先端のディンプルによって支持されるように、上記タング部上に位置決めされて接合される。

したがって、タング部上のスライダは、磁気ディスク媒体の回転に伴って生ずる、いわゆる流体動圧効果により、サスペンションの付勢力に抗しつつディスク媒体の表面に対して僅かに浮上した状態で、ディンプルを支点とし、ディスクトラックの接線方向及び法線方向にその姿勢を自由に可変するように動作する。

ここで、上述したスライダとディンプルとは、タング部を挟むかたちで各々が配設される。この際、スライダの姿勢制御を適切に行う目的で、スライダの重心点と、ディンプル部外側凸面の頂点とがちょうど重なり合うように位置決めすることがきわめて重要である。

ところが、スライダの搭載側からは、タング部を挟んで裏側に配置されることになる上記ディンプルの位置を、スライダの搭載側から直接的に視認することはできない。このため、こうしたスライダとディンプルの位置関係が、上述した位置決めを視覚を介して行う上での障害となっている。

こうした障害を除去して、スライダの取付位置精度を高めるためのアプローチのひとつとして、図７に示すように、磁気ディスク装置が備える磁気ヘッドアッセンブリ先端のジンバル１０１には、ロードビーム１０３先端のディンプル１０５によって支持されるべき部位、すなわち、スライダ１０７の重心部分が置かれるタング部１０９上の位置に、開口部１１１が形成されている（特許文献１参照）。なお、符合１１３は、開口部１１１を閉塞するためにタング部１０９上に貼着される光透過性を有する開口閉塞用シート、符合１１５は、タング部１０９の表面に対しスライダ１０７の姿勢を平行に保つために、タング部１０９とスライダ１０７の周縁部との間に介在されるスライダ姿勢補整用シート、符合１１７は、ジンバル１０１上の配線パターン、符合１１９は、スライダ１０７に設けられる電極パッド（不図示）と、配線パターン１１７とを電気的に接続するための超音波接合の一種であるＧＢＢ（Ｇｏｌｄ Ｂａｌｌ Ｂｏｎｄｉｎｇ）である。

特許文献１の技術によれば、スライダ１０７をタング部１０９へと搭載する側から、タング部１０９を挟んで裏側に配置されることになるディンプル１０５の位置を視覚的に認識可能となり、これにより、スライダ１０７を所望の位置に高精度に位置決めでき、データアクセス時の動作性能を高めることができる。

ところで、近年における画像認識技術の高度化に伴って、ディンプル１０５の画像を撮像カメラで撮像することを通じて、ディンプル１０５における底点を含む位置情報を取得し、取得した位置情報に基づき、スライダ１０７の位置決めを行うといったアプローチを採用することも可能である。

しかし、ディンプル１０５に係る位置情報を、いかにして精密に取得するかが問題となる。取得したディンプル１０５に係る位置情報の精度が、スライダ１０７の位置決め精度に直接的に影響を及ばすからである。

特開２００４−８６９８４号公報

解決しようとする問題点は、ディンプルに係る位置情報を、いかにして精密に取得すべきかの解を得るのが困難であった点である。

ディンプルに係る位置情報を精密に取得することを通じて、スライダの位置決め精度向上に資することを目的として、本発明に係るロードビームは、スライダを所定方向に変位可能に支持する略球形状のディンプル部を有するロードビームであって、レーザ光を照射することで照射面の状態が改質された平板状態のワークにより、前記照射面にて、前記ディンプル部を立体的に加工成形することで製造され、前記照射面は前記ディンプル部における少なくとも内側凹面であることを特徴とする。

本発明に係るロードビームは、スライダを所定方向に変位可能に支持する略球形状のディンプル部を有するロードビームであって、レーザ光を照射することで照射面の状態が改質された平板状態のワークにより、前記照射面にて、前記ディンプル部を立体的に加工成形することで製造され、前記照射面は前記ディンプル部における少なくとも内側凹面であるので、スライダの姿勢制御を適正に行う上で重要な役割を果たすディンプル部の内側凹面に係る表面粗度の向上並びに均一化を実現することができる。従って、例えばディンプル部における内側凹面側から撮像を含む画像処理を行った場合に、ディンプル部内側凹面の底点を含む位置情報を高精度で取得することが可能となる結果として、スライダの位置決め精度向上に資することが可能になる。

スライダの位置決め精度向上に資するといった目的を、スライダを所定方向に変位可能に支持する略球形状のディンプル部における内側凹面にレーザ光を照射することで照射面の状態が改質されたロードビームによって実現した。

以下、本発明実施例に係るヘッドサスペンション、ロードビーム、及びロードビームの製造方法、について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本発明でいうワークとは、加工対象物を総称する概念であり、最終製品となる以前の中間段階にある加工対象物をも含むものである。

初めに、本発明に係るロードビームが組み込まれたヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

［本発明実施例に係るヘッドサスペンション］
図１（１）は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの全体構成を示す正面図、図１（２）は、本ヘッドサスペンションの全体構成を示す側面図、図１（３）は、本ヘッドサスペンションの全体構成を示す裏面図である。

図１に示すように、ヘッドサスペンション１１は、ロードビーム１３と、ベースプレート１５と、フレキシャ（flexure）１７と、などを備えて構成されている。

ロードビーム１３は、後述するロードビームの製造方法により製造されるものであり、精密な薄板ばねから構成されて、後述するスライダに負荷荷重を与える機能を有している。ロードビーム１３の材料としては、例えばＳＵＳ３０４あるいはＳＵＳ３０５などのオーステナイト系ステンレス鋼からなる金属板（板厚が例えば数１０μｍ程度から１００μｍ程度）が好ましい。ＳＵＳ３０４の成分は、Ｃ：0.08％以下、Ｓｉ：1 ％以下、Ｍｎ：2 ％以下、Ｐ：0.04％以下、Ｓ：0.03％以下、Ｎｉ：8-10.5％、Ｃｒ：18-20 ％、残りがＦｅである。

ベースプレート１５には、ロードビーム１３の基部１３ａが、レーザ溶接等の溶着部１４を介して固着接続される。ベースプレート１５は、例えばばね性のある薄いステンレス鋼圧延板からなる一対のばね部１５ａ（図１（３）参照）を有しており、このばね部１５ａを介して、ロードビーム１３を支持するようになっている。ベースプレート１５は、ボス部１６を備え、ボス部１６においてキャリッジ側のアーム（不図示）に取り付けられて、軸回りに旋回駆動されるように構成されている。なお、ベースプレート１５は、アームに一体に形成されてキャリッジ側に取り付けられる構成を採用することもできる。ベースプレート１５が旋回駆動されると、ディスクを横切る方向にヘッドサスペンション１１が移動することにより、スライダ実装部１９がディスク上における所要のトラック位置まで移動するようになっている。

フレキシャ１７は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板などの厚さ２０μｍ程度の導電性金属薄板で構成され、レーザ溶接等によってロードビーム１３に固着されている。フレキシャ１７には、電気絶縁層を介して配線パターン（不図示）が形成されている。フレキシャ１７は、スライダ実装部１９を備えている。フレキシャ１７における配線パターンの一端は、スライダ実装部１９に設けてある書き込み用又は読み取り用の端子部１９ａに導通接続される一方、他端はベースプレート１５側に延設されている。このスライダ実装部１９には、ディスクのトラック（不図示）と対向可能な位置に設けたスライダ（不図示）と、スライダに内蔵されるトランスデューサ（不図示）等が設けられる。これにより、ディスクが高速回転することによってスライダがディスクから僅かに浮上し、ディスクとスライダとの間に周知のエアベアリング機構が形成されるようになっている。

次に、本発明実施例に係るロードビーム、及びその製造方法について説明する。

［本発明実施例に係るロードビーム、及びその製造方法］
図２（１）は、本発明実施例に係るロードビーム（成形加工前）の正面図、図２（２）は、本ロードビーム（成形加工後）の正面図、図２（３）は、本ロードビーム（成形加工後）の側面図、図３は、本発明実施例に係るロードビームの製造方法を示す説明図、図４は、ディンプル部の金型成形加工手順を示す説明図である。

図１及び図２に示すように、ロードビーム１３の先端部分には、ロード／アンロード用のタブ部２１が、ロードビーム１３と一体に舌状に延出形成されている。タブ部２１は、ディスクの停止時において、サスペンション１１がディスクの側方に設定された退避ゾーン（不図示）に退避したとき、記録再生装置のガイド部（不図示）に摺動ガイドされることで、例えば合成樹脂の成形品よりなるランプブロックの傾斜支持面（不図示）に乗り上げるように構成されている。

また、ロードビーム１３は、タブ部２１の他に、傾斜部２３と、ディンプル部２５と、その側縁部両側にわたり設けられる箱曲げ部２７と、などをプレス加工成形することで製造される。

ロードビーム（となる部分）１３は、そのプレス成形加工前（図２（１）参照）においては、平板状態とされている。実際の製造工程では、略長方形状の金属材料ワークからエッチング等によって所定の輪郭形状に成型された平板状態のロードビーム１３となる部分（図２（１）参照）が、複数連鎖状に配置されることになる。

図２（２）及び（３）に示すように、ロードビーム１３の先端部分には、傾斜部２３が、反ディスク側へ所定の角度を持って傾斜形成される。前述のタブ部２１は、傾斜部２３から突設形成される。ディンプル部２５は、ロードビーム１３におけるスライダ実装部１９に対応する位置に設けられ、スライダをロール及びピッチ方向に変位可能に支持する機能を有している。箱曲げ部２７は、ロードビーム１３本体の側縁部から前記傾斜部２３の側縁部側にわたって形成される。傾斜部２３は、タブ部２１の基部を支えており、箱曲げ部２７が傾斜部２３を補強することでタブ部２１の基部側を補強するようになっている。

図２（１）に示すように、ロードビーム１３となる部分のうち、ディンプル部２５が形成される該当部分（図２（１）の点線網掛け部分２５ａ参照）であって、少なくともディンプル部２５における内側凹面（図２（３）の２５ｂ参照）となる該当部分に、その周辺部分を含んで、ロードビーム１３が平板状態にある段階（ディンプル部２５のプレス加工成形前段階）において、その表面状態を改質するためのレーザ光照射処理がなされる。この際に、ロードビーム１３となる部分のうち、ディンプル部２５が形成される該当部分であって、ディンプル部２５における外側凸面となる該当部分に、その周辺部分を含んで、レーザ光照射処理を実施しても良い。ここで、レーザ光の照射範囲として、ディンプル部２５が形成される該当部分に加えて、その周辺部分をも含むように設定したのは、ディンプル部２５が形成されるワーク上の該当部分については、もれなくその表面状態を改質しておくのが好ましいからである。

すなわち、本発明実施例に係るロードビーム１３では、ディンプル部２５における内側凹面２５ｂにレーザ光を照射することで照射面の状態が改質されている。具体的には、ディンプル部２５における内側凹面２５ｂは、ディンプル部２５を立体的に加工成形した後に、前記内側凹面２５ｂにレーザ光を照射することで照射面の状態が改質されている。好ましくは、本発明実施例に係るロードビーム１３は、レーザ光を照射することで照射面の状態が改質された平板状態のワークにより、前記照射面にて、ディンプル部２５を立体的に加工成形することで製造される。この場合、前記照射面は、ディンプル部２５における少なくとも内側凹面２５ｂである。

また、ディンプル部２５に係る位置情報を精密に取得することを通じて、スライダの位置決め精度向上に資することを目的として、本発明実施例に係るロードビームの製造方法では、平板状態のワークのうち、ディンプル部となる部分２５ａ（図３（１）の点線網掛け部分参照）にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質してロードビーム半製品を得る工程（ステップＳ１１）と、このロードビーム半製品における前記照射面にディンプル部２５を、当該照射面がディンプル部２５における内側凹面２５ｂとなるように立体的にプレス加工成形してロードビーム本製品を得る工程（ステップＳ１２）と、を採用した。

ここで、ステップ１１における「平板状態のワークのうち、ディンプル部となる部分２５ａにレーザ光を照射することで照射面の状態を改質」とは、ディンプル部２５となる部分２５ａにレーザ光を照射することで照射面を急速加熱又は急速凝固（溶融）させることを通じて、その表面状態を改質することを意味する。なお、本発明で用いられるレーザの種類としては、例えば、半導体レーザ、ＹＡＧレーザ、炭酸ガスレーザなどのなかから適宜のものを用いることができる。なお、これらのレーザ照射条件は、ワークの材質等に応じて適切とされる条件が異なってくる。従って、本発明実施例に係るロードビームの製造方法を実施するにあたっては、ワークの材質等に応じた適切なレーザ照射条件を適宜設定すればよい。

ところで、ディンプル部２５を加工成形するにあたっては、図４に示すように、略半円球状の平滑な成形凹部４１が設けられるディンプル用パンチ４３と、略半円球状の平滑な成形凸部４５が設けられる固定側のディンプル用ダイ４７と、からなるディンプル用金型セット４９が用いられる。すなわち、まず、平板状態のワークにおける、ロードビーム１３本体のディンプル部となる該当部分２５ａ（図３（１）の点線網掛け部分参照）に対してその裏面側からレーザ光照射処理後のロードビーム半製品を、ディンプル用金型セット４９における所定位置にセットする（図４（１）参照）。なお、ここで言うロードビーム半製品とは、ロードビーム１３本体のディンプル部となる部分２５ａの裏面側（内側凹面となる部分）にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した後の、例えばステンレス圧延鋼板等の金属製シートからなる平板状態のワークを含むことは当然として、上記と同様のレーザ光照射による表面状態改質後の、金属製シートからなる平板状態のワークからエッチング等によって所定の輪郭形状に成型されたロードビーム１３となる部分が複数連鎖状に配置（ただし、単数配置の態様をも含む。）されたワークをも含む概念である。

次に、ロードビーム半製品がセットされた固定側のディンプル用ダイ４７に対して、ディンプル用パンチ４３を下降させて所定の圧力をもってプレス加工する（図４（２）参照）。これにより、厚み方向に打圧されることで外形形状が略半円球状に加工成形されたディンプル部２５を得る（図４（３）参照）。このとき、ディンプル部２５における湾曲した内側凹面２５ｂが平滑化されることで、良好な表面粗度をもって均一化された内側凹面２５ｂを有するディンプル部２５を得ることができる。

［ディンプル部の裏面（内側凹面）側画像を比較観察］
ここで、上述したプレス加工によってディンプル部２５を加工成形したときの、ディンプル部２５を裏面（内側凹面）側からＣＣＤカメラ（不図示）を用いて撮像して得た画像を比較観察してみる。

図５（１）に係る比較例は、レーザ光照射による表面改質処理を実施することなく、ディンプル部２５の立体成形加工を行った場合の画像例を示し、図５（２）に係る実施例は、ディンプル部２５となる部分のうち裏面（内側凹面）側にレーザ光照射（固定焦点）による表面改質処理を実施した後に、ディンプル部２５の立体成形加工を行った場合の画像例を示す。
（比較観察結果）
図５に示すとおり、ディンプル部２５内側凹面における底点の明るさについて、比較例と実施例を比較観察してみると、実施例では比較例と比べて、格段に明るい（明度が高い）ことがわかる。また、底点部分とその周辺部分の明るさについて、比較例と実施例を比較観察してみると、実施例では比較例と比べて、両者間の明るさの差がはっきりしていることがわかる。さらに、ディンプル部２５における周縁部分（ディンプル部２５の基部となる平坦部分）の明るさについて、比較例と実施例を比較観察してみると、実施例では比較例と比べて、格段に明るい（明度が高い）ことがわかる。

［実施例の効果］
以上説明したように、本発明実施例に係るロードビームの製造方法によれば、平板状態のワークのうち、ディンプル部となる部分２５ａにレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した後に、前記照射面にディンプル部２５を、当該照射面がディンプル部２５における内側凹面２５ｂとなるように立体的にプレス加工成形を施すこととしたので、ワークにディンプル部２５を立体的加工成形した後に、同加工成形部分にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した場合と比較して、ワークそれ自体の表面仕上げ精度を向上することができる。

すなわち、ワークにディンプル部２５を、例えばプレス加工等によって立体的に加工成形した後に、同加工成形部分にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した場合には、レーザ光の出射点と、レーザ光の入射点である前記加工成形部分の表面との間の距離（以下、「レーザ光出入射点間距離」という。）は、当該加工成形部分の表面における場所が変わることによって変わってくる。ここで、一般に、レーザ光照射装置では、ジャストフォーカス（合焦）モードかデフォーカス（非合焦）モードかにかかわらず、レーザ光出入射点間距離が所定間隔に保たれている部分（レーザ光のエネルギー密度が所定値に保たれている部分）では略均一の表面改質効果が得られる反面、レーザ光出入射点間距離が所定間隔から外れている部分（レーザ光のエネルギー密度が所定値から外れている部分）ではその表面改質効果にばらつきが生じる。そのため、立体的な加工成形部分におけるレーザ光照射面の全域にわたり略均一の表面改質効果を得ようとすると、レーザ光出入射点間距離を所定間隔に維持させるための間隔制御が別途必要になる。ところが、この間隔制御の要請はレーザ光照射装置における構成の複雑化を招来するとともに、いかに精密な間隔制御を試みたとしても、立体的な加工成形部分におけるレーザ光照射面の全域にわたり略均一の表面改質効果を得ることは容易でない。

これに対し、本発明実施例に係るロードビームの製造方法では、平板状態のワークのうち、ディンプル部となる部分２５ａにレーザ光を照射することで照射面の状態を改質するので、煩雑な間隔制御を一切考慮することなく、そのレーザ光照射面の全域にわたり略均一の表面改質効果を得ることが可能であり、こうしてレーザ光照射面の状態を改質した後に、前記照射面にディンプル部２５を、当該照射面がディンプル部２５における内側凹面２５ｂとなるように立体的加工成形を施すこととしたので、ワークにディンプル部２５を立体的加工成形した後に、同加工成形部分にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した場合と比較して、ワークそれ自体の表面仕上げ精度を向上することができる。

また、本発明実施例に係るロードビームの製造方法によれば、平板状態のワークのうち、ディンプル部となる部分２５ａにレーザ光を照射することで照射面の状態を改質（溶融）した後に、前記照射面にディンプル部２５を、当該照射面がディンプル部２５における内側凹面２５ｂとなるように立体的にプレス加工成形を施すこととしたので、これにより、溶融軟化することで表面状態が改質されたワークにおけるディンプル部となる部分２５ａに対して、例えば金型を用いたプレス加工などの立体的加工成形が施される結果として、ワーク表面へのレーザ光照射に由来する金属組織の冷間鍛圧による緻密化と、プレス加工成形に由来するワーク表面の平滑化と、などがあいまって、ディンプル部２５における内側凹面２５ｂの均一な平滑化を高い水準で実現することができる。

さらに、本発明実施例に係るロードビームの製造方法によれば、ディンプル部２５における内側凹面２５ｂが均一かつ平滑な加工面とされて、この加工面は、スライダと接する正面側とは異なる裏面側の内側凹面であるから、従って、例えばディンプル部２５の内側凹面側から撮像を含む画像処理を行った場合に、ディンプル部凹面の底点を含む位置情報を高精度で取得することができるようになる。

すなわち、例えばディンプル部２５の内側凹面側から撮像した画像を得た場合（図６（１）参照）に、ディンプル部２５内側凹面における底点の明るさがその周囲と比較して際だっているため、適宜の画像二値化処理を経た後にディンプル部凹面における底点を抽出（図６（２）参照）することで、その位置情報を容易かつ高精度で取得可能となる結果として、スライダの位置決め精度向上に資することができる。

一般に、プレス用金型の長寿命化を図る観点からは、プレス加工圧を低くすることが効果的である反面、プレス加工圧を低くすることは、ワーク表面の均一な平滑化を促進させる観点からは好ましくない。すなわち、プレス用金型の長寿命化と、ワーク表面の均一な平滑化促進効果とは、相互にトレードオフ関係にあるといえる。

この点、本発明実施例に係るロードビームの製造方法によれば、溶融軟化したワークに対して、金型を用いたプレス加工が施される関係から、予めレーザ表面改質技術を適用しない従来技術と比較してプレス加工圧を低くしたとしても、この従来技術と同等又はそれ以上の、ワーク表面の均一な平滑化促進効果を得ることができる。従って、許容水準を越えるワーク表面の均一な平滑化促進効果を享受しながら、プレス用金型の長寿命化を図ることが可能になる。

さらに、前述の参考例に示したように、プレス加工によってディンプル部２５を立体的に加工成形した後に、ディンプル部２５の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した場合であって、レーザ光照射に係る熱的影響に起因してディンプル部２５の曲率変形が許容範囲を超えることとなった場合には、これを修正するため後加工処理が必要となるのに対し、本発明実施例に係るロードビームの製造方法によれば、例えワーク（ディンプル部２５）にレーザ光照射に係る熱的影響に起因した曲率変形が生じたとしても、その後のプレス加工処理によってかかる曲率変形は矯正される。従って、変形修正のための余計な後加工が不要となるといった副次的な効果を期待することもできる。

しかも、本発明実施例に係るロードビームの製造方法によれば、平板状態の金属材料ワークにおけるディンプル部２５となる該当部分にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した後に、ロードビーム本体部分を所定形状に切り出すための型抜き成形と、ロードビーム１３本体に対するディンプル部２５のプレス加工成形とを、ひとつの工程で同時に行うように構成したので、ロードビーム製造に係る所要工程数を削減することが可能となる結果として、工程管理の簡易化に寄与するとともに、低コスト化の側面からも有利なものとなる。

以上述べた効果を奏するロードビームの製造方法によって製造される、本発明実施例に係るロードビーム１３によれば、ディンプル部２５における内側凹面２５ｂについて、表面粗度の向上並びに均一化が図られているので、における底点を抽出してその位置情報を容易かつ高精度で取得可能となる結果として、スライダの位置決め精度向上に資することができる。

また、上述の効果を奏するロードビームを備えた本発明実施例に係るヘッドサスペンション１１によれば、スライダの位置決め精度向上に起因して、スライダにおける姿勢制御の適正化を実現することができる。

［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンション、ロードビーム、及びロードビームの製造方法、もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。

図１（１）、（２）、（３）は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの全体構成を示す正面図、側面図、及び裏面図である。 図２（１）、（２）、（３）は、本発明実施例に係るロードビーム（成形加工前）の正面図、本ロードビーム（成形加工後）の正面図、及び本ロードビーム（成形加工後）の側面図である。 図３は、本発明実施例に係るロードビームの製造方法を示す説明図である。 ディンプル部の金型成形加工手順を示す説明図である。 図５（１）は、レーザ光照射による表面改質処理を実施することなく、ディンプル部の立体成形加工を行った場合の比較例に係る画像例、図５（２）は、ディンプル部となる部分のうち裏面（内側凹面）側にレーザ光照射（固定焦点）による表面改質処理を実施した後に、ディンプル部の立体成形加工を行った場合の実施例に係る画像例である。 図６（１）は、ディンプル部を裏面（内側凹面）側から視た実施例に係る画像例、図６（２）は、ディンプル部における底点抽出手順を示す実施例に係る画像例である。 従来例に係るスライダ周辺部を側面からみた断面図である。

符号の説明

１１ ヘッドサスペンション
１３ ロードビーム
１５ ベースプレート
１７ フレキシャ
１９ スライダ実装部
２１ タブ部
２３ 傾斜部
２５ ディンプル部
２５ａ ディンプル部となる部分
２５ｂ ディンプル部の内側凹部
２７ 箱曲げ部
４１ 成形凹部
４３ ディンプル用パンチ
４５ 成形凸部
４７ ディンプル用ダイ
４９ ディンプル用金型セット

Claims (4)

1. スライダを所定方向に変位可能に支持する略球形状のディンプル部を有するロードビームであって、
   レーザ光を照射することで照射面の状態が改質された平板状態のワークにより前記照射面にて、前記ディンプル部を立体的に加工成形することで製造され、
   前記照射面は前記ディンプル部における少なくとも内側凹面である、
   ことを特徴とするロードビーム。
2. 平板状態のワークのうち、スライダを所定方向に変位可能に支持する略球形状のディンプル部となる部分にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質してロードビーム半製品を得る工程と、
   前記ロードビーム半製品における前記照射面に前記ディンプル部を、当該照射面が当該ディンプル部における内側凹面となるように立体的に加工成形してロードビーム本製品を得る工程と、
   を備えたことを特徴とするロードビームの製造方法。
3. 請求項２記載のロードビームの製造方法によって製造されることを特徴とするロードビーム。
4. 請求項１又は３記載のロードビームを備えたことを特徴とするヘッドサスペンション。

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