JPH08161843A

JPH08161843A - 浮上型磁気ヘッド装置及びその製造方法

Info

Publication number: JPH08161843A
Application number: JP29741994A
Authority: JP
Inventors: Takashi Watanabe; 隆渡辺
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1994-11-30
Filing date: 1994-11-30
Publication date: 1996-06-21

Abstract

(57)【要約】【目的】スライダの小型化に対応したスライダと支持
部材との位置合わせ精度を確保することを可能とし、安
定且つ確実なスライダの低浮上量化の実現を図る。【構成】フレキシャ１１の上記板バネ部１１ｂに固着
部１１ａの所定位置にスライダ２を固着するための位置
決め用マーカ１７を２つ設け、ディンプル１４と各位置
決め用マーカ１７とがスライダ２の各スライダレール７
ａ，７ｂと平行に一直線上に位置するように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばハードディスク
に対して、情報信号の書込み或は読出しを行うのに好適
な浮上型磁気ヘッドの装置及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等に組み込まれ、情報の記
録及び再生を行うハードディスクドライブ装置は、当然
のことながら、情報の記録媒体である磁気記録媒体と、
これに情報の記録及び再生を行う磁気ヘッドより構成さ
れている。

【０００３】このとき、磁気ヘッド素子としては、磁気
記録媒体面との接触による摩耗損傷を避けるために、起
動時及び停止時には磁気ヘッド素子が磁気記録媒体表面
に接した状態にあり、当該磁気記録媒体の高速回転時に
磁気記録媒体表面に発生する空気流によって磁気ヘッド
素子を磁気記録媒体面より微小間隔（いわゆるフライン
グハイト）を有して浮上走行させるように構成したいわ
ゆるコンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）型の浮
上型磁気ヘッドが用いられている。

【０００４】上記浮上型磁気ヘッドは、磁気ヘッド素子
の装着されたスライダと、当該スライダが固着されてい
る可撓性を有する板バネ状のジンバルとから構成されて
いる。

【０００５】上記スライダは、例えばＡｌ₂Ｏ₃−Ｔｉ
Ｏ等よりなる基板からなり、通常砥石による機械加工で
形成され、磁気記録媒体に対して上記スライダを微小間
隙をもって安定した浮上姿勢で浮上させるための空気流
入溝と、この空気流入溝の両側に形成されたスライダレ
ールと、空気流入端側の端面上のスライダレール側に真
空薄膜形成技術によって作製された磁気ヘッド素子とを
有して構成されている。

【０００６】上記各スライダレール上にはそれぞれ空気
潤滑面が形成され、これら空気潤滑面の空気流入端側に
は、角度１゜以下のごく緩やかな傾斜面であるテーパ部
が形成されている。上記各空気潤滑面に発生する空気圧
によって上記スライダは浮上せしめられる。

【０００７】また、上記磁気ヘッド素子は、基板上に下
層コアが形成され、この上に絶縁膜を介して導体コイル
及び上層コアが形成され構成されている。そして、上記
上層及び下層コアは、導体コイルを中央部に挟んでバッ
クギャップ及び磁気ギャップを介して磁気的に結合さ
れ、磁気回路部を形成する。

【０００８】上記ジンバルは、当該スライダが固定され
た固着部を有する固定手段であるフレキシャと、駆動部
であるアクチュエータが接続されるマウント部と上記フ
レキシャとを連結しスライダに所定の荷重を加える連結
手段である可撓性を有する板バネ状のロードビームとか
ら構成されている。ここで、フレキシャの上記固着部に
は、当該固着部のスライダを有しない面に上記スライダ
の磁気記録媒体表面からの浮上量を規定し且つ上記ジン
バルの荷重をスライダに伝えるための突起状のディンプ
ルが形成されている。この場合、上記固着部は当該ディ
ンプルにて対向するロードビーム表面と接触することに
なる。このディンプルに伝えられる荷重と上記スライダ
レールの空気潤滑面に働く揚力とが釣り合って浮上量が
決定される。なお、上記固着部の代わりに、当該固着部
のスライダを有しない面と対向するロードビーム上に上
記ディンプルを設けてもよい。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近時におい
ては、ハードディスクの高記録密度化への要請が高ま
り、この要請に答えるために浮上型磁気ヘッド装置のス
ライダの小型化及び低浮上量化が進められており、例え
ばいわゆるナノスライダを用いた低浮上量化の実現が望
まれている。このようなスライダの低浮上量化を実現す
るためには、各スライダレールの空気潤滑面間における
浮上量バランスを高精度に制御して浮上量のバラツキを
低減させることが必要である。したがって、当該浮上型
磁気ヘッド装置の作製時において、浮上量を規定する上
記ディンプルの形成の際の当該ディンプルと上記空気潤
滑面との位置精度及び上記固着部にスライダを取り付け
る際の位置精度の向上を図ることが必須である。

【００１０】従来、上記浮上型磁気ヘッド装置を作製す
るに際して、上記スライダの取付を行う場合、上記フレ
キシャの一端に設けられた基準穴及び当該スライダの外
形を基準として位置決めして接着固定する。ところがこ
の場合、上記基準穴とディンプルとの位置精度が当該デ
ィンプルと空気潤滑面との位置精度の要求値に対して無
視できない大きさであり、さらにスライダの外形を基準
とするための誤差も手伝って、現在のところディンプル
と上記空気潤滑面との位置精度は±３０〜±５０μｍ程
度までは達成可能である。しかしながら、上記の如き近
時の要請に答えるためには、位置精度として±１０〜±
２０μｍ程度を達成することが望まれている。

【００１１】現在のところ、スライダの小型化に対応し
たスライダとフレキシャの固着部との位置合わせ精度を
確保するための好適な手法は存在しないというのが現状
である。

【００１２】本発明は、上述の課題に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、スライダの小型化
に対応したスライダと支持部材との位置合わせ精度を確
保することを可能とし、安定且つ確実なスライダの低浮
上量化の実現を図ることができる浮上型磁気ヘッド装置
及びその製造方法を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の対象となるもの
は、磁気ヘッド素子を有するスライダと、当該スライダ
の固着部が形成された固定手段及び当該固定手段に接続
された連結手段を有する可撓性の支持部材とが設けられ
てなり、起動時及び停止時には磁気ヘッド素子が磁気記
録媒体表面に接した状態にあり、当該磁気記録媒体の高
速回転時に磁気記録媒体表面に発生する空気流によって
磁気ヘッド素子を磁気記録媒体表面から微小間隔（フラ
イングハイト）の浮上量を有して浮上走行させるように
構成した浮上型磁気ヘッド装置及びその製造方法であ
る。

【００１４】本発明の浮上型磁気ヘッド装置は、上記支
持部材の所定位置にスライダを固着するための位置決め
用マーカが複数設けられてなることを特徴とするもので
ある。上記位置決め用マーカが１つでは正確な位置決め
を行うことは困難であり、また浮上型磁気ヘッド装置の
各部材の形状や材質ディンプルの位置との関係等に応じ
て位置決め用マーカを３つ以上設けて位置決め精度の更
なる向上を図るようにしてもよい。

【００１５】このとき具体的に、上記固定手段にスライ
ダの背面を支持する突起部が形成される場合では、当該
突起部とともに上記固定手段に位置決め用マーカを形成
する。また、上記連結手段に上記スライダの磁気記録媒
体表面からの浮上量を規定する突起部が形成される場合
では、当該突起部とともに上記連結手段に位置決め用マ
ーカを形成する。なお、上記突起部は、上記スライダの
磁気記録媒体表面からの浮上量を規定するものである。

【００１６】また、本発明の浮上型磁気ヘッド装置の製
造方法は、上記浮上型磁気ヘッド装置を作製するに際し
て、固定手段或は連結手段に突起部と位置決め用マーカ
とを同時に形成する工程と、位置決め用マーカを基準と
してスライダの固着部に対する位置合わせを行った後に
当該スライダを固定する工程とを有することを特徴とす
るものである。この場合、上記突起部及び位置決め用マ
ーカを形成する際に、共にプレス加工法、絞り加工法、
エッチング法、或は印刷法等を用いることが望ましい。

【００１７】

【作用】本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置において
は、支持部材にスライダを固着するための位置決め用マ
ーカが複数設けられている。したがって、上記スライダ
は当該位置決め用マーカを位置合わせの基準として固定
手段に設けられた固着部に固定されており、このときの
固着部とスライダとの位置合わせ精度は上記位置決め用
マーカにより容易且つ確実に所望の高精度に保持されて
いる。

【００１８】また、上記浮上型磁気ヘッド装置を作製す
るに際しては、固定手段或は連結手段に突起部と位置決
め用マーカとを同時に形成するので、両者を別に形成す
る場合と比較して工程数が削減され、しかも両者を形成
する際に機械的な移動を伴うことなく所要の位置に形成
される。そしてその後、位置決め用マーカを用い、当該
位置決め用マーカを基準としてスライダの固着部に対し
て容易且つ確実に位置合わせがなされ、当該スライダを
固定することにより、所望の位置合わせ精度内に上記ス
ライダが設けられた浮上型磁気ヘッド装置が作製され
る。

【００１９】

【実施例】以下、本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置及
びその製造方法のいくつかの実施例を図面を参照しなが
ら詳細に説明する。

【００２０】先ず、第１実施例について説明する。この
第１実施例に係る浮上型磁気ヘッドは、図１に示すよう
に、磁気ヘッド素子１が設けられたスライダ２と、当該
スライダ２が固着されている可撓性を有する板バネ状の
ジンバル３とから構成されている。

【００２１】上記スライダ２は、図２に示すように、例
えばＡｌ₂Ｏ₃−ＴｉＯ等よりなる基板からなり、通常
砥石による機械加工で形成され、磁気記録媒体に対して
上記スライダ２を微小間隙（いわゆるフライングハイ
ト）をもって安定した浮上姿勢で浮上させるための空気
流入溝６と、この空気流入溝６の両側にスライダ２の長
手方向に突出形成されたスライダレール７ａ，７ｂと、
空気流入端側１０ａの端面２ａ上のスライダレール７
ａ，７ｂ側に真空薄膜形成技術によって作製された磁気
ヘッド素子１とを有して構成されている。

【００２２】上記各スライダレール７ａ，７ｂ上にはそ
れぞれ空気潤滑面ａが形成され、これら空気潤滑面ａの
空気流入端１０ａ側には、角度１゜以下のごく緩やかな
傾斜面であるテーパ部８ａ，８ｂが形成されている。上
記各空気潤滑面ａに発生する空気圧によって上記スライ
ダ２は浮上せしめられる。

【００２３】また、上記磁気ヘッド素子１は、基板上に
下層コアが形成され、この上に絶縁膜を介して導体コイ
ル及び上層コアが形成され構成されている。そして、上
記上層及び下層コアは、導体コイルを中央部に挟んでバ
ックギャップ及び磁気ギャップｇを介して磁気的に結合
され、磁気回路部を形成する。

【００２４】上記ジンバル３は、当該スライダ２が固定
された固着部１１ａを有する固定手段であり外部から加
わる外力を緩衝させるフレキシャ１１と、回転駆動部で
あるアクチュエータが接続されるマウント部１３と上記
フレキシャ１１とを連結しスライダ２に所定の荷重を加
える連結手段である可撓性を有する板バネ状のロードビ
ーム１２とから構成されている。

【００２５】上記フレキシャ１１は、図３に示すよう
に、一端に基準穴１５が形成された略々長方形状に形成
されており、コ字形状（図中では逆コ字形状）に打ち抜
かれた切欠部１６が設けられることにより上記固着部１
１ａが形成され、当該切欠部１６以外の板バネ部１１ｂ
と一体形成されたかたちに構成されている

【００２６】ここで、フレキシャ１１の上記固着部１１
ａには、当該固着部１１ａのスライダ２を有しない面
に、上記スライダ２の背面を支持し当該スライダ２の磁
気記録媒体表面からの浮上量を規定し且つ上記ジンバル
３の荷重をスライダ２に伝えるための突起状のディンプ
ル１４が当該固着部１１ａの略々中央位置に形成されて
いる。当該ディンプル１４は、図４（図３中、線分Ａ−
Ａ’による断面図）に示すように、プレス加工法によ
り、図中下方、すなわち上記固着部１１ａ表面のスライ
ダ２を有しない方向にくぼんだ略々楕円状に形成されて
いる。この場合、上記固着部１１ａは当該ディンプル１
４にて対向するロードビーム１２の表面と接触すること
になる。このディンプル１４に伝えられる荷重と上記ス
ライダレール７ａ，７ｂの空気潤滑面ａに働く揚力とが
釣り合って浮上量（フライングハイト）が決定される。

【００２７】そして特に、フレキシャ１１の上記板バネ
部１１ｂには、上記図３に示すように、上記固着部１１
ａの所定位置にスライダ２を固着するための位置決め用
マーカ１７が２つ設けられている。このとき、ディンプ
ル１４と各位置決め用マーカ１７とは、固定されるスラ
イダ２の各スライダレール７ａ，７ｂと平行に一直線上
に形成されることになる。ここで、図５に示すように、
位置合わせの必要に応じて位置決め用マーカ１７を３つ
或はそれ以上設ける場合も考えられる。

【００２８】ここで、当該位置決め用マーカ１７は上記
ディンプル１４と同一の加工法、ここではプレス加工法
にて打ち抜かれて形成されるものであり、ディンプル１
４が例えば絞り加工法により形成されるときは、図６に
示すように位置決め用マーカ１７も同様に絞り加工法に
より形成される。このように、ディンプル１４と位置決
め用マーカ１７とは、同一工程にて同時に形成されるも
のである。なお、両者の加工法としては上記プレス加工
法の他にエッチング法、或は印刷法等により形成しても
よい。

【００２９】本第１実施例においては、フレキシャ１１
の固着部１１ａにスライダ２を固着するための位置決め
用マーカ１７が少なくとも２つ設けられている。したが
って、上記スライダ２は当該位置決め用マーカ１７を位
置合わせの基準として固着部１１ａに固定されており、
このときの固着部１１ａとスライダ２との位置合わせ精
度は上記位置決め用マーカ１７により容易且つ確実に所
望の高精度に保持されている。

【００３０】上記の如き構造を有する浮上型磁気ヘッド
装置を作製するに際して、スライダ２と固着部１１ａと
の貼り付けを行うときには、図７に示すような製造装置
を用いてスライダ２とフレキシャ１１との位置合わせ及
びスライダ２と固着部１１ａとの貼り付けを行うことが
望ましい。

【００３１】この製造装置は、スライダ２とフレキシャ
１１の固着部１１ａとを重ね合わせるための治具２１
と、当該治具２１を所定方向に微動させてスライダ２及
びフレキシャ１１の相対的な位置合わせを行うための位
置合わせ手段２２と、両者の位置合わせ箇所を上記位置
決め用マーカ１７を基準として測定するための光学手段
２３と、位置合わせ手段２２の制御及び光学手段２３に
よる画像の処理を行うための制御及び処理手段２４とが
設けられ構成されている。

【００３２】上記治具２１は、基台３１と、この基台３
１上に設けられてなるジンバル固定部３２と、基台３１
上に後述のＸＹΘ軸ステージ４１を介して設けられてな
るスライダ固定部３３とから構成されている。フレキシ
ャ固定部３２にはその押え部３２ａにてフレキシャ１１
が固定され、スライダ固定部３３にはスライダ２がその
端部にて固定されており、フレキシャ固定部３２が位置
合わせの際に微動するときにスライダ２を固定する役割
をする。ここで、スライダ２と固着部１１ａとの重畳部
３４は、フレキシャ固定部３２に設けられた透明なガラ
ス材よりなる支持ガラス３７上に載置固定される。そし
て、支持ガラス３７の下部及び当該下部の鉛直下に相当
する上記基台３１の部分はそれぞれ空洞３５，３６が形
成されており、上記光学手段によりこれら空洞３５，３
６を通して支持ガラス３７上の重畳部３４が観察できる
ようになされている。

【００３３】上記位置合わせ手段２２は、フレキシャ１
１が固定されたフレキシャ固定部３２の下部に設けら
れ、当該フレキシャ固定部３２をＸ軸，Ｙ軸，Θ角方向
にそれぞれ独立に微動させるためのＸＹΘ軸ステージ４
１と、このＸＹΘ軸ステージ４１を介してフレキシャ固
定部３２を各方向に所定量だけ微動駆動させるためのモ
ータ駆動回路４２とから構成されている。

【００３４】上記光学手段２３は、一眼二視野の顕微鏡
４３と、この顕微鏡４３の焦点調整をするためのフォー
カスステージ４４と、顕微鏡４３の画像取り込みのため
の２台の固体撮像（ＣＣＤ）カメラ４５，４６とから構
成されている。ここで、顕微鏡４３に設けられたレンズ
４３ａを上記基台３１の空洞３５に向けて設置する。上
記制御及び処理手段２４は、制御及び処理部５１と、こ
の制御及び処理部５１において処理した画像をＣＣＤカ
メラ４５，４６に対応してリアルタイムに表示する２台
のモニタ５２，５３とから構成されている。

【００３５】上記製造装置を用いて固着部１１ａとスラ
イダ２との貼り付けを行うには、先ず、フレキシャ１１
をフレキシャ固定部３２の押え部３２ａにより当該フレ
キシャ固定部３２上に固定する。そして、スライダ２を
スライダ固定部３３上に固定し、当該スライダ２の表面
に熱硬化型の接着剤を塗布した後、このスライダ固定部
３３によりフレキシャ１１の固着部１１ａと支持ガラス
３７間にスライダ２を差し込み両者の各中心位置がほぼ
一致するように両者を重ね合わせる。

【００３６】次いで、光学手段２３の構成要素である顕
微鏡４３に設けられたレンズ４３ａを基台３１の上記空
洞３５に向けて設置し、フォーカスステージ４４を動か
して焦点をフレキシャ１１の板バネ部１１ｂに設けられ
た位置決め用マーカ１７に合わせ、当該フレキシャ１１
の位置測定を行う。ここで、位置測定を行う際には、Ｃ
ＣＤカメラ４５，４６の各視野内の画像を見ながら位置
決め用マーカ１７の位置（座標）ＳＬ（図３，５，及び
６中左側），ＳＲ（図３，５，及び６中右側）の測定を
行う。このときの座標の取り方としては、各視野の左上
の隅を原点して横方向をＸ軸、鉛直下方をＹ軸とする。

【００３７】この場合、上記のように、フレキシャ１１
においてディンプル１４と２つの位置決め用マーカ１７
とはスライダ２の各スライダ７ａ，７ｂと平行に一直線
上に形成されているので、スライダ２が上記固着部１１
ａに位置するためにディンプル１４の位置が確認できな
くとも上記位置ＳＬ，ＳＲを測定することにより当該デ
ィンプル１４を測定したことと等価となる。

【００３８】そして同様に、フォーカスステージ４４を
動かして焦点をスライダ２に合わせ、ＣＣＤカメラ４
５，４６の各視野内の画像を見ながらスライダ２の所定
位置ＣＬ，ＣＲの位置測定を行う。

【００３９】このとき、測定した所定位置ＳＬ，ＳＲ及
びＣＬ，ＣＲを基にして以下に示す各補正量ｄＸ，ｄ
Ｙ，ｄΘを規定する。（ｄＸＬ，ｄＹＬ）＝（（ＳＬ−ＣＬ）_X，（ＳＬ−ＣＬ）_Y）・・・（１）（ｄＸＲ，ｄＹＲ）＝（（ＳＲ−ＣＲ）_X，（ＳＲ−ＣＲ）_Y）・・・（２）（１），（２）式から、ｄＸ＝（ｄＸＬ＋ｄＸＲ）／２・・・（３）ｄＹ＝（ｄＹＬ＋ｄＹＲ）／２・・・（４）ｄΘ＝（ｄＹＬ−ｄＹＲ）／２・・・（５）そして、位置合わせ手段２２によりＸＹΘ軸ステージ４
１を駆動させて（３）〜（５）式に示す各補正量の分だ
け各方向に動かして位置補正を行う。このとき、位置補
正の結果、スライダ２と上記固着部１１ａとの位置合わ
せが±１０〜±２０μｍの精度内に入らない場合は、当
該精度内に収まるまで再度上記の位置補正を行う。

【００４０】その後、上記図３に示すスライダ２及び固
着部１１ａの押え部３２ｂにより双方が動かないように
固定してスライダ固定部３３を除去し、両者が載置固定
されたロードビーム固定部３２を恒温槽に入れて接着剤
を硬化させることにより、図８に示すように両者の貼り
付け作業が完了する。

【００４１】上記製造装置においては、治具２１上にて
重ね合わせられたスライダ２及び上記固着部１１ａに対
して、光学手段２３によりスライダ２と固着部１１ａと
の位置合わせ箇所を同一視野内（ここでは２視野）にて
捉えながら、位置合わせ手段２２により上記治具２１の
フレキシャ固定部３２を所定方向に微動させてスライダ
２及び固着部１１ａの相対的な位置合わせを行って両者
を貼り付ける。このように、スライダ２とフレキシャ１
１との位置合わせ作業と両者の貼り付け作業とを上記光
学手段２３において観測しながら同一の治具上にて行う
こととなるので、両者の貼り付け状態を明確に確認する
ことができるために所望の位置合わせ精度の範囲内にて
正確な貼り付けが可能となる。

【００４２】なおこのとき、、更に位置合わせ精度を向
上させるために測定位置の数を増やしてＣＣＤカメラを
３台以上設けるようにしてもよく、また、それほど高い
貼り付け精度が要求されない場合ではＣＣＤカメラを１
台として１視野内で測定することも可能である。

【００４３】上記の如く、本第１実施例においては、デ
ィンプル１４と各位置決め用マーカ１７とを同時に形成
するので、両者を別に形成する場合と比較して工程数が
削減され、しかも両者を形成する際に機械的な移動を伴
うことなく所要の位置に形成される。そしてその後、位
置決め用マーカ１７を用い、当該位置決め用マーカ１７
を基準としてスライダ２の固着部１１ａに対して容易且
つ確実に位置合わせがなされ、当該スライダ２を固定す
ることにより、所望の位置合わせ精度内に上記スライダ
２が設けられた浮上型磁気ヘッド装置が作製される。

【００４４】次いで、第２実施例について説明する。こ
の第２実施例に係る浮上型磁気ヘッド装置は上記第１実
施例のそれと略々同様の構成を有するが、ディンプルの
形成されている箇所が異なる点で両者は相違する。な
お、上記実施例と対応する部材等については同一の符号
を記して説明は省略する。

【００４５】すなわち、本第２実施例の浮上型磁気ヘッ
ド装置においては、図９及び図１０に示すように、突起
状のディンプル１４’がロードビーム１２上の上記固着
部１１ａの上部に位置するように形成されている。この
とき、当該ディンプル１４’と上記固着部１１ａのスラ
イダ２を有しない側の面とが対向してフライングハイト
が規定されることになる。そして、それとともに、ロー
ドビーム１２上の２箇所（一方は当該ロードビーム１２
の先端部、他方は切欠部１６内に位置する部分）に各位
置決め用マーカ１７’が形成されている。

【００４６】この場合においても、ディンプル１４’と
各位置決め用マーカ１７’とは同一工程にて同時に形成
されるものであり、具体的にはプレス加工法、エッチン
グ法、或は印刷法等により形成される。

【００４７】本第２実施例においても、上記第１実施例
と同様に、フレキシャ１１の固着部１１ａにスライダ２
を固着するための位置決め用マーカ１７’が少なくとも
２つ設けられている。したがって、上記スライダ２は当
該位置決め用マーカ１７’を位置合わせの基準として固
着部１１ａに固定されており、このときの固着部１１ａ
とスライダ２との位置合わせ精度は上記位置決め用マー
カ１７’により容易且つ確実に所望の高精度に保持され
ている。

【００４８】また、上記浮上型磁気ヘッド装置を作製す
るに際しては、ディンプル１４’と各位置決め用マーカ
１７’とを同時に形成するので、両者を別に形成する場
合と比較して工程数が削減され、しかも両者を形成する
際に機械的な移動を伴うことなく所要の位置に形成され
る。そしてその後、位置決め用マーカ１７’を用い、当
該位置決め用マーカ１７’を基準としてスライダ２の固
着部１１ａに対して容易且つ確実に位置合わせがなさ
れ、当該スライダ２を固定することにより、所望の位置
合わせ精度内に上記スライダ２が設けられた浮上型磁気
ヘッド装置が作製される。

【００４９】

【発明の効果】本発明によれば、スライダの小型化に対
応したスライダと支持部材との位置合わせ精度を確保す
ることが可能となり、安定且つ確実なスライダの低浮上
量化の実現を図ることができる浮上型磁気ヘッド装置及
びその製造方法が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例の浮上型磁気ヘッドを模式的に示す
斜視図である。

【図２】上記浮上型磁気ヘッドの構成要素であるスライ
ダを模式的に示す斜視図である。

【図３】上記浮上型磁気ヘッドの構成要素であるフレキ
シャを模式的に示す平面図である。

【図４】図３中、線分Ａ−Ａ’による一部断面図であ
る。

【図５】上記浮上型磁気ヘッドの構成要素であるフレキ
シャに３つの位置決め用マーカが設けられた様子を模式
的に示す平面図である。

【図６】絞り加工法により形成されたディンプル及び位
置決め用マーカを模式的に示す平面図である。

【図７】上記浮上型磁気ヘッド装置の製造装置を示す模
式図である。

【図８】フレキシャの固着部にスライダが固定された様
子を模式的に示す平面図である。

【図９】第２実施例の浮上型磁気ヘッドの構成要素であ
るジンバルを模式的に示す平面図である。

【図１０】上記浮上型磁気ヘッドの構成要素であるジン
バルを模式的に示す側面図である。

【符号の説明】

１磁気ヘッド素子２スライダ３ジンバル１１フレキシャ１２ロードビーム１３マウント部１４ディンプル１５基準穴１６切欠部１７位置決め用マーカ２１治具２２位置合わせ手段２３光学手段２４制御及び処理手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ヘッド素子を有するスライダと、当
該スライダの固着部が形成された固定手段及び当該固定
手段に接続された連結手段を有する可撓性の支持部材と
が設けられてなる浮上型磁気ヘッド装置において、上記支持部材の所定位置にスライダを固着するための位
置決め用マーカが複数設けられてなることを特徴とする
浮上型磁気ヘッド装置。
【請求項２】固定手段にはスライダの背面を支持する
突起部が設けられるとともに位置決め用マーカが設けら
れることを特徴とする請求項１記載の浮上型磁気ヘッド
装置。
【請求項３】連結手段にはスライダの磁気記録媒体表
面からの浮上量を規定する突起部が設けられるとともに
位置決め用マーカが設けられていることを特徴とする請
求項１記載の浮上型磁気ヘッド装置。
【請求項４】請求項２記載の浮上型磁気ヘッド装置を
作製するに際して、固定手段に突起部と位置決め用マーカとを同時に形成す
る工程と、位置決め用マーカを基準としてスライダの固着部に対す
る位置合わせを行った後に当該スライダを固定する工程
とを有することを特徴とする浮上型磁気ヘッド装置の製
造方法。
【請求項５】請求項３記載の浮上型磁気ヘッド装置を
作製するに際して、連結手段に突起部と位置決め用マーカとを同時に形成す
る工程と、位置決め用マーカを基準としてスライダの固着部に対す
る位置合わせを行った後に当該スライダを固定する工程
とを有することを特徴とする浮上型磁気ヘッド装置の製
造方法。
【請求項６】突起部及び位置決め用マーカを共にプレ
ス加工法、絞り加工法、エッチング法、或は印刷法によ
り形成することを特徴とする請求項５又は６記載の浮上
型磁気ヘッド装置の製造方法。