JPH08161843A - 浮上型磁気ヘッド装置及びその製造方法 - Google Patents
浮上型磁気ヘッド装置及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH08161843A JPH08161843A JP29741994A JP29741994A JPH08161843A JP H08161843 A JPH08161843 A JP H08161843A JP 29741994 A JP29741994 A JP 29741994A JP 29741994 A JP29741994 A JP 29741994A JP H08161843 A JPH08161843 A JP H08161843A
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- Japan
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- slider
- magnetic head
- positioning
- fixing
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 スライダの小型化に対応したスライダと支持
部材との位置合わせ精度を確保することを可能とし、安
定且つ確実なスライダの低浮上量化の実現を図る。 【構成】 フレキシャ11の上記板バネ部11bに固着
部11aの所定位置にスライダ2を固着するための位置
決め用マーカ17を2つ設け、ディンプル14と各位置
決め用マーカ17とがスライダ2の各スライダレール7
a,7bと平行に一直線上に位置するように構成する。
部材との位置合わせ精度を確保することを可能とし、安
定且つ確実なスライダの低浮上量化の実現を図る。 【構成】 フレキシャ11の上記板バネ部11bに固着
部11aの所定位置にスライダ2を固着するための位置
決め用マーカ17を2つ設け、ディンプル14と各位置
決め用マーカ17とがスライダ2の各スライダレール7
a,7bと平行に一直線上に位置するように構成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばハードディスク
に対して、情報信号の書込み或は読出しを行うのに好適
な浮上型磁気ヘッドの装置及びその製造方法に関する。
に対して、情報信号の書込み或は読出しを行うのに好適
な浮上型磁気ヘッドの装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】コンピュータ等に組み込まれ、情報の記
録及び再生を行うハードディスクドライブ装置は、当然
のことながら、情報の記録媒体である磁気記録媒体と、
これに情報の記録及び再生を行う磁気ヘッドより構成さ
れている。
録及び再生を行うハードディスクドライブ装置は、当然
のことながら、情報の記録媒体である磁気記録媒体と、
これに情報の記録及び再生を行う磁気ヘッドより構成さ
れている。
【0003】このとき、磁気ヘッド素子としては、磁気
記録媒体面との接触による摩耗損傷を避けるために、起
動時及び停止時には磁気ヘッド素子が磁気記録媒体表面
に接した状態にあり、当該磁気記録媒体の高速回転時に
磁気記録媒体表面に発生する空気流によって磁気ヘッド
素子を磁気記録媒体面より微小間隔(いわゆるフライン
グハイト)を有して浮上走行させるように構成したいわ
ゆるコンタクト・スタート・ストップ(CSS)型の浮
上型磁気ヘッドが用いられている。
記録媒体面との接触による摩耗損傷を避けるために、起
動時及び停止時には磁気ヘッド素子が磁気記録媒体表面
に接した状態にあり、当該磁気記録媒体の高速回転時に
磁気記録媒体表面に発生する空気流によって磁気ヘッド
素子を磁気記録媒体面より微小間隔(いわゆるフライン
グハイト)を有して浮上走行させるように構成したいわ
ゆるコンタクト・スタート・ストップ(CSS)型の浮
上型磁気ヘッドが用いられている。
【0004】上記浮上型磁気ヘッドは、磁気ヘッド素子
の装着されたスライダと、当該スライダが固着されてい
る可撓性を有する板バネ状のジンバルとから構成されて
いる。
の装着されたスライダと、当該スライダが固着されてい
る可撓性を有する板バネ状のジンバルとから構成されて
いる。
【0005】上記スライダは、例えばAl2 O3 −Ti
O等よりなる基板からなり、通常砥石による機械加工で
形成され、磁気記録媒体に対して上記スライダを微小間
隙をもって安定した浮上姿勢で浮上させるための空気流
入溝と、この空気流入溝の両側に形成されたスライダレ
ールと、空気流入端側の端面上のスライダレール側に真
空薄膜形成技術によって作製された磁気ヘッド素子とを
有して構成されている。
O等よりなる基板からなり、通常砥石による機械加工で
形成され、磁気記録媒体に対して上記スライダを微小間
隙をもって安定した浮上姿勢で浮上させるための空気流
入溝と、この空気流入溝の両側に形成されたスライダレ
ールと、空気流入端側の端面上のスライダレール側に真
空薄膜形成技術によって作製された磁気ヘッド素子とを
有して構成されている。
【0006】上記各スライダレール上にはそれぞれ空気
潤滑面が形成され、これら空気潤滑面の空気流入端側に
は、角度1゜以下のごく緩やかな傾斜面であるテーパ部
が形成されている。上記各空気潤滑面に発生する空気圧
によって上記スライダは浮上せしめられる。
潤滑面が形成され、これら空気潤滑面の空気流入端側に
は、角度1゜以下のごく緩やかな傾斜面であるテーパ部
が形成されている。上記各空気潤滑面に発生する空気圧
によって上記スライダは浮上せしめられる。
【0007】また、上記磁気ヘッド素子は、基板上に下
層コアが形成され、この上に絶縁膜を介して導体コイル
及び上層コアが形成され構成されている。そして、上記
上層及び下層コアは、導体コイルを中央部に挟んでバッ
クギャップ及び磁気ギャップを介して磁気的に結合さ
れ、磁気回路部を形成する。
層コアが形成され、この上に絶縁膜を介して導体コイル
及び上層コアが形成され構成されている。そして、上記
上層及び下層コアは、導体コイルを中央部に挟んでバッ
クギャップ及び磁気ギャップを介して磁気的に結合さ
れ、磁気回路部を形成する。
【0008】上記ジンバルは、当該スライダが固定され
た固着部を有する固定手段であるフレキシャと、駆動部
であるアクチュエータが接続されるマウント部と上記フ
レキシャとを連結しスライダに所定の荷重を加える連結
手段である可撓性を有する板バネ状のロードビームとか
ら構成されている。ここで、フレキシャの上記固着部に
は、当該固着部のスライダを有しない面に上記スライダ
の磁気記録媒体表面からの浮上量を規定し且つ上記ジン
バルの荷重をスライダに伝えるための突起状のディンプ
ルが形成されている。この場合、上記固着部は当該ディ
ンプルにて対向するロードビーム表面と接触することに
なる。このディンプルに伝えられる荷重と上記スライダ
レールの空気潤滑面に働く揚力とが釣り合って浮上量が
決定される。なお、上記固着部の代わりに、当該固着部
のスライダを有しない面と対向するロードビーム上に上
記ディンプルを設けてもよい。
た固着部を有する固定手段であるフレキシャと、駆動部
であるアクチュエータが接続されるマウント部と上記フ
レキシャとを連結しスライダに所定の荷重を加える連結
手段である可撓性を有する板バネ状のロードビームとか
ら構成されている。ここで、フレキシャの上記固着部に
は、当該固着部のスライダを有しない面に上記スライダ
の磁気記録媒体表面からの浮上量を規定し且つ上記ジン
バルの荷重をスライダに伝えるための突起状のディンプ
ルが形成されている。この場合、上記固着部は当該ディ
ンプルにて対向するロードビーム表面と接触することに
なる。このディンプルに伝えられる荷重と上記スライダ
レールの空気潤滑面に働く揚力とが釣り合って浮上量が
決定される。なお、上記固着部の代わりに、当該固着部
のスライダを有しない面と対向するロードビーム上に上
記ディンプルを設けてもよい。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近時におい
ては、ハードディスクの高記録密度化への要請が高ま
り、この要請に答えるために浮上型磁気ヘッド装置のス
ライダの小型化及び低浮上量化が進められており、例え
ばいわゆるナノスライダを用いた低浮上量化の実現が望
まれている。このようなスライダの低浮上量化を実現す
るためには、各スライダレールの空気潤滑面間における
浮上量バランスを高精度に制御して浮上量のバラツキを
低減させることが必要である。したがって、当該浮上型
磁気ヘッド装置の作製時において、浮上量を規定する上
記ディンプルの形成の際の当該ディンプルと上記空気潤
滑面との位置精度及び上記固着部にスライダを取り付け
る際の位置精度の向上を図ることが必須である。
ては、ハードディスクの高記録密度化への要請が高ま
り、この要請に答えるために浮上型磁気ヘッド装置のス
ライダの小型化及び低浮上量化が進められており、例え
ばいわゆるナノスライダを用いた低浮上量化の実現が望
まれている。このようなスライダの低浮上量化を実現す
るためには、各スライダレールの空気潤滑面間における
浮上量バランスを高精度に制御して浮上量のバラツキを
低減させることが必要である。したがって、当該浮上型
磁気ヘッド装置の作製時において、浮上量を規定する上
記ディンプルの形成の際の当該ディンプルと上記空気潤
滑面との位置精度及び上記固着部にスライダを取り付け
る際の位置精度の向上を図ることが必須である。
【0010】従来、上記浮上型磁気ヘッド装置を作製す
るに際して、上記スライダの取付を行う場合、上記フレ
キシャの一端に設けられた基準穴及び当該スライダの外
形を基準として位置決めして接着固定する。ところがこ
の場合、上記基準穴とディンプルとの位置精度が当該デ
ィンプルと空気潤滑面との位置精度の要求値に対して無
視できない大きさであり、さらにスライダの外形を基準
とするための誤差も手伝って、現在のところディンプル
と上記空気潤滑面との位置精度は±30〜±50μm程
度までは達成可能である。しかしながら、上記の如き近
時の要請に答えるためには、位置精度として±10〜±
20μm程度を達成することが望まれている。
るに際して、上記スライダの取付を行う場合、上記フレ
キシャの一端に設けられた基準穴及び当該スライダの外
形を基準として位置決めして接着固定する。ところがこ
の場合、上記基準穴とディンプルとの位置精度が当該デ
ィンプルと空気潤滑面との位置精度の要求値に対して無
視できない大きさであり、さらにスライダの外形を基準
とするための誤差も手伝って、現在のところディンプル
と上記空気潤滑面との位置精度は±30〜±50μm程
度までは達成可能である。しかしながら、上記の如き近
時の要請に答えるためには、位置精度として±10〜±
20μm程度を達成することが望まれている。
【0011】現在のところ、スライダの小型化に対応し
たスライダとフレキシャの固着部との位置合わせ精度を
確保するための好適な手法は存在しないというのが現状
である。
たスライダとフレキシャの固着部との位置合わせ精度を
確保するための好適な手法は存在しないというのが現状
である。
【0012】本発明は、上述の課題に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、スライダの小型化
に対応したスライダと支持部材との位置合わせ精度を確
保することを可能とし、安定且つ確実なスライダの低浮
上量化の実現を図ることができる浮上型磁気ヘッド装置
及びその製造方法を提供することにある。
のであり、その目的とするところは、スライダの小型化
に対応したスライダと支持部材との位置合わせ精度を確
保することを可能とし、安定且つ確実なスライダの低浮
上量化の実現を図ることができる浮上型磁気ヘッド装置
及びその製造方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の対象となるもの
は、磁気ヘッド素子を有するスライダと、当該スライダ
の固着部が形成された固定手段及び当該固定手段に接続
された連結手段を有する可撓性の支持部材とが設けられ
てなり、起動時及び停止時には磁気ヘッド素子が磁気記
録媒体表面に接した状態にあり、当該磁気記録媒体の高
速回転時に磁気記録媒体表面に発生する空気流によって
磁気ヘッド素子を磁気記録媒体表面から微小間隔(フラ
イングハイト)の浮上量を有して浮上走行させるように
構成した浮上型磁気ヘッド装置及びその製造方法であ
る。
は、磁気ヘッド素子を有するスライダと、当該スライダ
の固着部が形成された固定手段及び当該固定手段に接続
された連結手段を有する可撓性の支持部材とが設けられ
てなり、起動時及び停止時には磁気ヘッド素子が磁気記
録媒体表面に接した状態にあり、当該磁気記録媒体の高
速回転時に磁気記録媒体表面に発生する空気流によって
磁気ヘッド素子を磁気記録媒体表面から微小間隔(フラ
イングハイト)の浮上量を有して浮上走行させるように
構成した浮上型磁気ヘッド装置及びその製造方法であ
る。
【0014】本発明の浮上型磁気ヘッド装置は、上記支
持部材の所定位置にスライダを固着するための位置決め
用マーカが複数設けられてなることを特徴とするもので
ある。上記位置決め用マーカが1つでは正確な位置決め
を行うことは困難であり、また浮上型磁気ヘッド装置の
各部材の形状や材質ディンプルの位置との関係等に応じ
て位置決め用マーカを3つ以上設けて位置決め精度の更
なる向上を図るようにしてもよい。
持部材の所定位置にスライダを固着するための位置決め
用マーカが複数設けられてなることを特徴とするもので
ある。上記位置決め用マーカが1つでは正確な位置決め
を行うことは困難であり、また浮上型磁気ヘッド装置の
各部材の形状や材質ディンプルの位置との関係等に応じ
て位置決め用マーカを3つ以上設けて位置決め精度の更
なる向上を図るようにしてもよい。
【0015】このとき具体的に、上記固定手段にスライ
ダの背面を支持する突起部が形成される場合では、当該
突起部とともに上記固定手段に位置決め用マーカを形成
する。また、上記連結手段に上記スライダの磁気記録媒
体表面からの浮上量を規定する突起部が形成される場合
では、当該突起部とともに上記連結手段に位置決め用マ
ーカを形成する。なお、上記突起部は、上記スライダの
磁気記録媒体表面からの浮上量を規定するものである。
ダの背面を支持する突起部が形成される場合では、当該
突起部とともに上記固定手段に位置決め用マーカを形成
する。また、上記連結手段に上記スライダの磁気記録媒
体表面からの浮上量を規定する突起部が形成される場合
では、当該突起部とともに上記連結手段に位置決め用マ
ーカを形成する。なお、上記突起部は、上記スライダの
磁気記録媒体表面からの浮上量を規定するものである。
【0016】また、本発明の浮上型磁気ヘッド装置の製
造方法は、上記浮上型磁気ヘッド装置を作製するに際し
て、固定手段或は連結手段に突起部と位置決め用マーカ
とを同時に形成する工程と、位置決め用マーカを基準と
してスライダの固着部に対する位置合わせを行った後に
当該スライダを固定する工程とを有することを特徴とす
るものである。この場合、上記突起部及び位置決め用マ
ーカを形成する際に、共にプレス加工法、絞り加工法、
エッチング法、或は印刷法等を用いることが望ましい。
造方法は、上記浮上型磁気ヘッド装置を作製するに際し
て、固定手段或は連結手段に突起部と位置決め用マーカ
とを同時に形成する工程と、位置決め用マーカを基準と
してスライダの固着部に対する位置合わせを行った後に
当該スライダを固定する工程とを有することを特徴とす
るものである。この場合、上記突起部及び位置決め用マ
ーカを形成する際に、共にプレス加工法、絞り加工法、
エッチング法、或は印刷法等を用いることが望ましい。
【0017】
【作用】本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置において
は、支持部材にスライダを固着するための位置決め用マ
ーカが複数設けられている。したがって、上記スライダ
は当該位置決め用マーカを位置合わせの基準として固定
手段に設けられた固着部に固定されており、このときの
固着部とスライダとの位置合わせ精度は上記位置決め用
マーカにより容易且つ確実に所望の高精度に保持されて
いる。
は、支持部材にスライダを固着するための位置決め用マ
ーカが複数設けられている。したがって、上記スライダ
は当該位置決め用マーカを位置合わせの基準として固定
手段に設けられた固着部に固定されており、このときの
固着部とスライダとの位置合わせ精度は上記位置決め用
マーカにより容易且つ確実に所望の高精度に保持されて
いる。
【0018】また、上記浮上型磁気ヘッド装置を作製す
るに際しては、固定手段或は連結手段に突起部と位置決
め用マーカとを同時に形成するので、両者を別に形成す
る場合と比較して工程数が削減され、しかも両者を形成
する際に機械的な移動を伴うことなく所要の位置に形成
される。そしてその後、位置決め用マーカを用い、当該
位置決め用マーカを基準としてスライダの固着部に対し
て容易且つ確実に位置合わせがなされ、当該スライダを
固定することにより、所望の位置合わせ精度内に上記ス
ライダが設けられた浮上型磁気ヘッド装置が作製され
る。
るに際しては、固定手段或は連結手段に突起部と位置決
め用マーカとを同時に形成するので、両者を別に形成す
る場合と比較して工程数が削減され、しかも両者を形成
する際に機械的な移動を伴うことなく所要の位置に形成
される。そしてその後、位置決め用マーカを用い、当該
位置決め用マーカを基準としてスライダの固着部に対し
て容易且つ確実に位置合わせがなされ、当該スライダを
固定することにより、所望の位置合わせ精度内に上記ス
ライダが設けられた浮上型磁気ヘッド装置が作製され
る。
【0019】
【実施例】以下、本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置及
びその製造方法のいくつかの実施例を図面を参照しなが
ら詳細に説明する。
びその製造方法のいくつかの実施例を図面を参照しなが
ら詳細に説明する。
【0020】先ず、第1実施例について説明する。この
第1実施例に係る浮上型磁気ヘッドは、図1に示すよう
に、磁気ヘッド素子1が設けられたスライダ2と、当該
スライダ2が固着されている可撓性を有する板バネ状の
ジンバル3とから構成されている。
第1実施例に係る浮上型磁気ヘッドは、図1に示すよう
に、磁気ヘッド素子1が設けられたスライダ2と、当該
スライダ2が固着されている可撓性を有する板バネ状の
ジンバル3とから構成されている。
【0021】上記スライダ2は、図2に示すように、例
えばAl2 O3 −TiO等よりなる基板からなり、通常
砥石による機械加工で形成され、磁気記録媒体に対して
上記スライダ2を微小間隙(いわゆるフライングハイ
ト)をもって安定した浮上姿勢で浮上させるための空気
流入溝6と、この空気流入溝6の両側にスライダ2の長
手方向に突出形成されたスライダレール7a,7bと、
空気流入端側10aの端面2a上のスライダレール7
a,7b側に真空薄膜形成技術によって作製された磁気
ヘッド素子1とを有して構成されている。
えばAl2 O3 −TiO等よりなる基板からなり、通常
砥石による機械加工で形成され、磁気記録媒体に対して
上記スライダ2を微小間隙(いわゆるフライングハイ
ト)をもって安定した浮上姿勢で浮上させるための空気
流入溝6と、この空気流入溝6の両側にスライダ2の長
手方向に突出形成されたスライダレール7a,7bと、
空気流入端側10aの端面2a上のスライダレール7
a,7b側に真空薄膜形成技術によって作製された磁気
ヘッド素子1とを有して構成されている。
【0022】上記各スライダレール7a,7b上にはそ
れぞれ空気潤滑面aが形成され、これら空気潤滑面aの
空気流入端10a側には、角度1゜以下のごく緩やかな
傾斜面であるテーパ部8a,8bが形成されている。上
記各空気潤滑面aに発生する空気圧によって上記スライ
ダ2は浮上せしめられる。
れぞれ空気潤滑面aが形成され、これら空気潤滑面aの
空気流入端10a側には、角度1゜以下のごく緩やかな
傾斜面であるテーパ部8a,8bが形成されている。上
記各空気潤滑面aに発生する空気圧によって上記スライ
ダ2は浮上せしめられる。
【0023】また、上記磁気ヘッド素子1は、基板上に
下層コアが形成され、この上に絶縁膜を介して導体コイ
ル及び上層コアが形成され構成されている。そして、上
記上層及び下層コアは、導体コイルを中央部に挟んでバ
ックギャップ及び磁気ギャップgを介して磁気的に結合
され、磁気回路部を形成する。
下層コアが形成され、この上に絶縁膜を介して導体コイ
ル及び上層コアが形成され構成されている。そして、上
記上層及び下層コアは、導体コイルを中央部に挟んでバ
ックギャップ及び磁気ギャップgを介して磁気的に結合
され、磁気回路部を形成する。
【0024】上記ジンバル3は、当該スライダ2が固定
された固着部11aを有する固定手段であり外部から加
わる外力を緩衝させるフレキシャ11と、回転駆動部で
あるアクチュエータが接続されるマウント部13と上記
フレキシャ11とを連結しスライダ2に所定の荷重を加
える連結手段である可撓性を有する板バネ状のロードビ
ーム12とから構成されている。
された固着部11aを有する固定手段であり外部から加
わる外力を緩衝させるフレキシャ11と、回転駆動部で
あるアクチュエータが接続されるマウント部13と上記
フレキシャ11とを連結しスライダ2に所定の荷重を加
える連結手段である可撓性を有する板バネ状のロードビ
ーム12とから構成されている。
【0025】上記フレキシャ11は、図3に示すよう
に、一端に基準穴15が形成された略々長方形状に形成
されており、コ字形状(図中では逆コ字形状)に打ち抜
かれた切欠部16が設けられることにより上記固着部1
1aが形成され、当該切欠部16以外の板バネ部11b
と一体形成されたかたちに構成されている
に、一端に基準穴15が形成された略々長方形状に形成
されており、コ字形状(図中では逆コ字形状)に打ち抜
かれた切欠部16が設けられることにより上記固着部1
1aが形成され、当該切欠部16以外の板バネ部11b
と一体形成されたかたちに構成されている
【0026】ここで、フレキシャ11の上記固着部11
aには、当該固着部11aのスライダ2を有しない面
に、上記スライダ2の背面を支持し当該スライダ2の磁
気記録媒体表面からの浮上量を規定し且つ上記ジンバル
3の荷重をスライダ2に伝えるための突起状のディンプ
ル14が当該固着部11aの略々中央位置に形成されて
いる。当該ディンプル14は、図4(図3中、線分A−
A’による断面図)に示すように、プレス加工法によ
り、図中下方、すなわち上記固着部11a表面のスライ
ダ2を有しない方向にくぼんだ略々楕円状に形成されて
いる。この場合、上記固着部11aは当該ディンプル1
4にて対向するロードビーム12の表面と接触すること
になる。このディンプル14に伝えられる荷重と上記ス
ライダレール7a,7bの空気潤滑面aに働く揚力とが
釣り合って浮上量(フライングハイト)が決定される。
aには、当該固着部11aのスライダ2を有しない面
に、上記スライダ2の背面を支持し当該スライダ2の磁
気記録媒体表面からの浮上量を規定し且つ上記ジンバル
3の荷重をスライダ2に伝えるための突起状のディンプ
ル14が当該固着部11aの略々中央位置に形成されて
いる。当該ディンプル14は、図4(図3中、線分A−
A’による断面図)に示すように、プレス加工法によ
り、図中下方、すなわち上記固着部11a表面のスライ
ダ2を有しない方向にくぼんだ略々楕円状に形成されて
いる。この場合、上記固着部11aは当該ディンプル1
4にて対向するロードビーム12の表面と接触すること
になる。このディンプル14に伝えられる荷重と上記ス
ライダレール7a,7bの空気潤滑面aに働く揚力とが
釣り合って浮上量(フライングハイト)が決定される。
【0027】そして特に、フレキシャ11の上記板バネ
部11bには、上記図3に示すように、上記固着部11
aの所定位置にスライダ2を固着するための位置決め用
マーカ17が2つ設けられている。このとき、ディンプ
ル14と各位置決め用マーカ17とは、固定されるスラ
イダ2の各スライダレール7a,7bと平行に一直線上
に形成されることになる。ここで、図5に示すように、
位置合わせの必要に応じて位置決め用マーカ17を3つ
或はそれ以上設ける場合も考えられる。
部11bには、上記図3に示すように、上記固着部11
aの所定位置にスライダ2を固着するための位置決め用
マーカ17が2つ設けられている。このとき、ディンプ
ル14と各位置決め用マーカ17とは、固定されるスラ
イダ2の各スライダレール7a,7bと平行に一直線上
に形成されることになる。ここで、図5に示すように、
位置合わせの必要に応じて位置決め用マーカ17を3つ
或はそれ以上設ける場合も考えられる。
【0028】ここで、当該位置決め用マーカ17は上記
ディンプル14と同一の加工法、ここではプレス加工法
にて打ち抜かれて形成されるものであり、ディンプル1
4が例えば絞り加工法により形成されるときは、図6に
示すように位置決め用マーカ17も同様に絞り加工法に
より形成される。このように、ディンプル14と位置決
め用マーカ17とは、同一工程にて同時に形成されるも
のである。なお、両者の加工法としては上記プレス加工
法の他にエッチング法、或は印刷法等により形成しても
よい。
ディンプル14と同一の加工法、ここではプレス加工法
にて打ち抜かれて形成されるものであり、ディンプル1
4が例えば絞り加工法により形成されるときは、図6に
示すように位置決め用マーカ17も同様に絞り加工法に
より形成される。このように、ディンプル14と位置決
め用マーカ17とは、同一工程にて同時に形成されるも
のである。なお、両者の加工法としては上記プレス加工
法の他にエッチング法、或は印刷法等により形成しても
よい。
【0029】本第1実施例においては、フレキシャ11
の固着部11aにスライダ2を固着するための位置決め
用マーカ17が少なくとも2つ設けられている。したが
って、上記スライダ2は当該位置決め用マーカ17を位
置合わせの基準として固着部11aに固定されており、
このときの固着部11aとスライダ2との位置合わせ精
度は上記位置決め用マーカ17により容易且つ確実に所
望の高精度に保持されている。
の固着部11aにスライダ2を固着するための位置決め
用マーカ17が少なくとも2つ設けられている。したが
って、上記スライダ2は当該位置決め用マーカ17を位
置合わせの基準として固着部11aに固定されており、
このときの固着部11aとスライダ2との位置合わせ精
度は上記位置決め用マーカ17により容易且つ確実に所
望の高精度に保持されている。
【0030】上記の如き構造を有する浮上型磁気ヘッド
装置を作製するに際して、スライダ2と固着部11aと
の貼り付けを行うときには、図7に示すような製造装置
を用いてスライダ2とフレキシャ11との位置合わせ及
びスライダ2と固着部11aとの貼り付けを行うことが
望ましい。
装置を作製するに際して、スライダ2と固着部11aと
の貼り付けを行うときには、図7に示すような製造装置
を用いてスライダ2とフレキシャ11との位置合わせ及
びスライダ2と固着部11aとの貼り付けを行うことが
望ましい。
【0031】この製造装置は、スライダ2とフレキシャ
11の固着部11aとを重ね合わせるための治具21
と、当該治具21を所定方向に微動させてスライダ2及
びフレキシャ11の相対的な位置合わせを行うための位
置合わせ手段22と、両者の位置合わせ箇所を上記位置
決め用マーカ17を基準として測定するための光学手段
23と、位置合わせ手段22の制御及び光学手段23に
よる画像の処理を行うための制御及び処理手段24とが
設けられ構成されている。
11の固着部11aとを重ね合わせるための治具21
と、当該治具21を所定方向に微動させてスライダ2及
びフレキシャ11の相対的な位置合わせを行うための位
置合わせ手段22と、両者の位置合わせ箇所を上記位置
決め用マーカ17を基準として測定するための光学手段
23と、位置合わせ手段22の制御及び光学手段23に
よる画像の処理を行うための制御及び処理手段24とが
設けられ構成されている。
【0032】上記治具21は、基台31と、この基台3
1上に設けられてなるジンバル固定部32と、基台31
上に後述のXYΘ軸ステージ41を介して設けられてな
るスライダ固定部33とから構成されている。フレキシ
ャ固定部32にはその押え部32aにてフレキシャ11
が固定され、スライダ固定部33にはスライダ2がその
端部にて固定されており、フレキシャ固定部32が位置
合わせの際に微動するときにスライダ2を固定する役割
をする。ここで、スライダ2と固着部11aとの重畳部
34は、フレキシャ固定部32に設けられた透明なガラ
ス材よりなる支持ガラス37上に載置固定される。そし
て、支持ガラス37の下部及び当該下部の鉛直下に相当
する上記基台31の部分はそれぞれ空洞35,36が形
成されており、上記光学手段によりこれら空洞35,3
6を通して支持ガラス37上の重畳部34が観察できる
ようになされている。
1上に設けられてなるジンバル固定部32と、基台31
上に後述のXYΘ軸ステージ41を介して設けられてな
るスライダ固定部33とから構成されている。フレキシ
ャ固定部32にはその押え部32aにてフレキシャ11
が固定され、スライダ固定部33にはスライダ2がその
端部にて固定されており、フレキシャ固定部32が位置
合わせの際に微動するときにスライダ2を固定する役割
をする。ここで、スライダ2と固着部11aとの重畳部
34は、フレキシャ固定部32に設けられた透明なガラ
ス材よりなる支持ガラス37上に載置固定される。そし
て、支持ガラス37の下部及び当該下部の鉛直下に相当
する上記基台31の部分はそれぞれ空洞35,36が形
成されており、上記光学手段によりこれら空洞35,3
6を通して支持ガラス37上の重畳部34が観察できる
ようになされている。
【0033】上記位置合わせ手段22は、フレキシャ1
1が固定されたフレキシャ固定部32の下部に設けら
れ、当該フレキシャ固定部32をX軸,Y軸,Θ角方向
にそれぞれ独立に微動させるためのXYΘ軸ステージ4
1と、このXYΘ軸ステージ41を介してフレキシャ固
定部32を各方向に所定量だけ微動駆動させるためのモ
ータ駆動回路42とから構成されている。
1が固定されたフレキシャ固定部32の下部に設けら
れ、当該フレキシャ固定部32をX軸,Y軸,Θ角方向
にそれぞれ独立に微動させるためのXYΘ軸ステージ4
1と、このXYΘ軸ステージ41を介してフレキシャ固
定部32を各方向に所定量だけ微動駆動させるためのモ
ータ駆動回路42とから構成されている。
【0034】上記光学手段23は、一眼二視野の顕微鏡
43と、この顕微鏡43の焦点調整をするためのフォー
カスステージ44と、顕微鏡43の画像取り込みのため
の2台の固体撮像(CCD)カメラ45,46とから構
成されている。ここで、顕微鏡43に設けられたレンズ
43aを上記基台31の空洞35に向けて設置する。上
記制御及び処理手段24は、制御及び処理部51と、こ
の制御及び処理部51において処理した画像をCCDカ
メラ45,46に対応してリアルタイムに表示する2台
のモニタ52,53とから構成されている。
43と、この顕微鏡43の焦点調整をするためのフォー
カスステージ44と、顕微鏡43の画像取り込みのため
の2台の固体撮像(CCD)カメラ45,46とから構
成されている。ここで、顕微鏡43に設けられたレンズ
43aを上記基台31の空洞35に向けて設置する。上
記制御及び処理手段24は、制御及び処理部51と、こ
の制御及び処理部51において処理した画像をCCDカ
メラ45,46に対応してリアルタイムに表示する2台
のモニタ52,53とから構成されている。
【0035】上記製造装置を用いて固着部11aとスラ
イダ2との貼り付けを行うには、先ず、フレキシャ11
をフレキシャ固定部32の押え部32aにより当該フレ
キシャ固定部32上に固定する。そして、スライダ2を
スライダ固定部33上に固定し、当該スライダ2の表面
に熱硬化型の接着剤を塗布した後、このスライダ固定部
33によりフレキシャ11の固着部11aと支持ガラス
37間にスライダ2を差し込み両者の各中心位置がほぼ
一致するように両者を重ね合わせる。
イダ2との貼り付けを行うには、先ず、フレキシャ11
をフレキシャ固定部32の押え部32aにより当該フレ
キシャ固定部32上に固定する。そして、スライダ2を
スライダ固定部33上に固定し、当該スライダ2の表面
に熱硬化型の接着剤を塗布した後、このスライダ固定部
33によりフレキシャ11の固着部11aと支持ガラス
37間にスライダ2を差し込み両者の各中心位置がほぼ
一致するように両者を重ね合わせる。
【0036】次いで、光学手段23の構成要素である顕
微鏡43に設けられたレンズ43aを基台31の上記空
洞35に向けて設置し、フォーカスステージ44を動か
して焦点をフレキシャ11の板バネ部11bに設けられ
た位置決め用マーカ17に合わせ、当該フレキシャ11
の位置測定を行う。ここで、位置測定を行う際には、C
CDカメラ45,46の各視野内の画像を見ながら位置
決め用マーカ17の位置(座標)SL(図3,5,及び
6中左側),SR(図3,5,及び6中右側)の測定を
行う。このときの座標の取り方としては、各視野の左上
の隅を原点して横方向をX軸、鉛直下方をY軸とする。
微鏡43に設けられたレンズ43aを基台31の上記空
洞35に向けて設置し、フォーカスステージ44を動か
して焦点をフレキシャ11の板バネ部11bに設けられ
た位置決め用マーカ17に合わせ、当該フレキシャ11
の位置測定を行う。ここで、位置測定を行う際には、C
CDカメラ45,46の各視野内の画像を見ながら位置
決め用マーカ17の位置(座標)SL(図3,5,及び
6中左側),SR(図3,5,及び6中右側)の測定を
行う。このときの座標の取り方としては、各視野の左上
の隅を原点して横方向をX軸、鉛直下方をY軸とする。
【0037】この場合、上記のように、フレキシャ11
においてディンプル14と2つの位置決め用マーカ17
とはスライダ2の各スライダ7a,7bと平行に一直線
上に形成されているので、スライダ2が上記固着部11
aに位置するためにディンプル14の位置が確認できな
くとも上記位置SL,SRを測定することにより当該デ
ィンプル14を測定したことと等価となる。
においてディンプル14と2つの位置決め用マーカ17
とはスライダ2の各スライダ7a,7bと平行に一直線
上に形成されているので、スライダ2が上記固着部11
aに位置するためにディンプル14の位置が確認できな
くとも上記位置SL,SRを測定することにより当該デ
ィンプル14を測定したことと等価となる。
【0038】そして同様に、フォーカスステージ44を
動かして焦点をスライダ2に合わせ、CCDカメラ4
5,46の各視野内の画像を見ながらスライダ2の所定
位置CL,CRの位置測定を行う。
動かして焦点をスライダ2に合わせ、CCDカメラ4
5,46の各視野内の画像を見ながらスライダ2の所定
位置CL,CRの位置測定を行う。
【0039】このとき、測定した所定位置SL,SR及
びCL,CRを基にして以下に示す各補正量dX,d
Y,dΘを規定する。 (dXL,dYL)=((SL−CL)X ,(SL−CL)Y ) ・・・(1) (dXR,dYR)=((SR−CR)X ,(SR−CR)Y ) ・・・(2) (1),(2)式から、 dX=(dXL+dXR)/2 ・・・(3) dY=(dYL+dYR)/2 ・・・(4) dΘ=(dYL−dYR)/2 ・・・(5) そして、位置合わせ手段22によりXYΘ軸ステージ4
1を駆動させて(3)〜(5)式に示す各補正量の分だ
け各方向に動かして位置補正を行う。このとき、位置補
正の結果、スライダ2と上記固着部11aとの位置合わ
せが±10〜±20μmの精度内に入らない場合は、当
該精度内に収まるまで再度上記の位置補正を行う。
びCL,CRを基にして以下に示す各補正量dX,d
Y,dΘを規定する。 (dXL,dYL)=((SL−CL)X ,(SL−CL)Y ) ・・・(1) (dXR,dYR)=((SR−CR)X ,(SR−CR)Y ) ・・・(2) (1),(2)式から、 dX=(dXL+dXR)/2 ・・・(3) dY=(dYL+dYR)/2 ・・・(4) dΘ=(dYL−dYR)/2 ・・・(5) そして、位置合わせ手段22によりXYΘ軸ステージ4
1を駆動させて(3)〜(5)式に示す各補正量の分だ
け各方向に動かして位置補正を行う。このとき、位置補
正の結果、スライダ2と上記固着部11aとの位置合わ
せが±10〜±20μmの精度内に入らない場合は、当
該精度内に収まるまで再度上記の位置補正を行う。
【0040】その後、上記図3に示すスライダ2及び固
着部11aの押え部32bにより双方が動かないように
固定してスライダ固定部33を除去し、両者が載置固定
されたロードビーム固定部32を恒温槽に入れて接着剤
を硬化させることにより、図8に示すように両者の貼り
付け作業が完了する。
着部11aの押え部32bにより双方が動かないように
固定してスライダ固定部33を除去し、両者が載置固定
されたロードビーム固定部32を恒温槽に入れて接着剤
を硬化させることにより、図8に示すように両者の貼り
付け作業が完了する。
【0041】上記製造装置においては、治具21上にて
重ね合わせられたスライダ2及び上記固着部11aに対
して、光学手段23によりスライダ2と固着部11aと
の位置合わせ箇所を同一視野内(ここでは2視野)にて
捉えながら、位置合わせ手段22により上記治具21の
フレキシャ固定部32を所定方向に微動させてスライダ
2及び固着部11aの相対的な位置合わせを行って両者
を貼り付ける。このように、スライダ2とフレキシャ1
1との位置合わせ作業と両者の貼り付け作業とを上記光
学手段23において観測しながら同一の治具上にて行う
こととなるので、両者の貼り付け状態を明確に確認する
ことができるために所望の位置合わせ精度の範囲内にて
正確な貼り付けが可能となる。
重ね合わせられたスライダ2及び上記固着部11aに対
して、光学手段23によりスライダ2と固着部11aと
の位置合わせ箇所を同一視野内(ここでは2視野)にて
捉えながら、位置合わせ手段22により上記治具21の
フレキシャ固定部32を所定方向に微動させてスライダ
2及び固着部11aの相対的な位置合わせを行って両者
を貼り付ける。このように、スライダ2とフレキシャ1
1との位置合わせ作業と両者の貼り付け作業とを上記光
学手段23において観測しながら同一の治具上にて行う
こととなるので、両者の貼り付け状態を明確に確認する
ことができるために所望の位置合わせ精度の範囲内にて
正確な貼り付けが可能となる。
【0042】なおこのとき、、更に位置合わせ精度を向
上させるために測定位置の数を増やしてCCDカメラを
3台以上設けるようにしてもよく、また、それほど高い
貼り付け精度が要求されない場合ではCCDカメラを1
台として1視野内で測定することも可能である。
上させるために測定位置の数を増やしてCCDカメラを
3台以上設けるようにしてもよく、また、それほど高い
貼り付け精度が要求されない場合ではCCDカメラを1
台として1視野内で測定することも可能である。
【0043】上記の如く、本第1実施例においては、デ
ィンプル14と各位置決め用マーカ17とを同時に形成
するので、両者を別に形成する場合と比較して工程数が
削減され、しかも両者を形成する際に機械的な移動を伴
うことなく所要の位置に形成される。そしてその後、位
置決め用マーカ17を用い、当該位置決め用マーカ17
を基準としてスライダ2の固着部11aに対して容易且
つ確実に位置合わせがなされ、当該スライダ2を固定す
ることにより、所望の位置合わせ精度内に上記スライダ
2が設けられた浮上型磁気ヘッド装置が作製される。
ィンプル14と各位置決め用マーカ17とを同時に形成
するので、両者を別に形成する場合と比較して工程数が
削減され、しかも両者を形成する際に機械的な移動を伴
うことなく所要の位置に形成される。そしてその後、位
置決め用マーカ17を用い、当該位置決め用マーカ17
を基準としてスライダ2の固着部11aに対して容易且
つ確実に位置合わせがなされ、当該スライダ2を固定す
ることにより、所望の位置合わせ精度内に上記スライダ
2が設けられた浮上型磁気ヘッド装置が作製される。
【0044】次いで、第2実施例について説明する。こ
の第2実施例に係る浮上型磁気ヘッド装置は上記第1実
施例のそれと略々同様の構成を有するが、ディンプルの
形成されている箇所が異なる点で両者は相違する。な
お、上記実施例と対応する部材等については同一の符号
を記して説明は省略する。
の第2実施例に係る浮上型磁気ヘッド装置は上記第1実
施例のそれと略々同様の構成を有するが、ディンプルの
形成されている箇所が異なる点で両者は相違する。な
お、上記実施例と対応する部材等については同一の符号
を記して説明は省略する。
【0045】すなわち、本第2実施例の浮上型磁気ヘッ
ド装置においては、図9及び図10に示すように、突起
状のディンプル14’がロードビーム12上の上記固着
部11aの上部に位置するように形成されている。この
とき、当該ディンプル14’と上記固着部11aのスラ
イダ2を有しない側の面とが対向してフライングハイト
が規定されることになる。そして、それとともに、ロー
ドビーム12上の2箇所(一方は当該ロードビーム12
の先端部、他方は切欠部16内に位置する部分)に各位
置決め用マーカ17’が形成されている。
ド装置においては、図9及び図10に示すように、突起
状のディンプル14’がロードビーム12上の上記固着
部11aの上部に位置するように形成されている。この
とき、当該ディンプル14’と上記固着部11aのスラ
イダ2を有しない側の面とが対向してフライングハイト
が規定されることになる。そして、それとともに、ロー
ドビーム12上の2箇所(一方は当該ロードビーム12
の先端部、他方は切欠部16内に位置する部分)に各位
置決め用マーカ17’が形成されている。
【0046】この場合においても、ディンプル14’と
各位置決め用マーカ17’とは同一工程にて同時に形成
されるものであり、具体的にはプレス加工法、エッチン
グ法、或は印刷法等により形成される。
各位置決め用マーカ17’とは同一工程にて同時に形成
されるものであり、具体的にはプレス加工法、エッチン
グ法、或は印刷法等により形成される。
【0047】本第2実施例においても、上記第1実施例
と同様に、フレキシャ11の固着部11aにスライダ2
を固着するための位置決め用マーカ17’が少なくとも
2つ設けられている。したがって、上記スライダ2は当
該位置決め用マーカ17’を位置合わせの基準として固
着部11aに固定されており、このときの固着部11a
とスライダ2との位置合わせ精度は上記位置決め用マー
カ17’により容易且つ確実に所望の高精度に保持され
ている。
と同様に、フレキシャ11の固着部11aにスライダ2
を固着するための位置決め用マーカ17’が少なくとも
2つ設けられている。したがって、上記スライダ2は当
該位置決め用マーカ17’を位置合わせの基準として固
着部11aに固定されており、このときの固着部11a
とスライダ2との位置合わせ精度は上記位置決め用マー
カ17’により容易且つ確実に所望の高精度に保持され
ている。
【0048】また、上記浮上型磁気ヘッド装置を作製す
るに際しては、ディンプル14’と各位置決め用マーカ
17’とを同時に形成するので、両者を別に形成する場
合と比較して工程数が削減され、しかも両者を形成する
際に機械的な移動を伴うことなく所要の位置に形成され
る。そしてその後、位置決め用マーカ17’を用い、当
該位置決め用マーカ17’を基準としてスライダ2の固
着部11aに対して容易且つ確実に位置合わせがなさ
れ、当該スライダ2を固定することにより、所望の位置
合わせ精度内に上記スライダ2が設けられた浮上型磁気
ヘッド装置が作製される。
るに際しては、ディンプル14’と各位置決め用マーカ
17’とを同時に形成するので、両者を別に形成する場
合と比較して工程数が削減され、しかも両者を形成する
際に機械的な移動を伴うことなく所要の位置に形成され
る。そしてその後、位置決め用マーカ17’を用い、当
該位置決め用マーカ17’を基準としてスライダ2の固
着部11aに対して容易且つ確実に位置合わせがなさ
れ、当該スライダ2を固定することにより、所望の位置
合わせ精度内に上記スライダ2が設けられた浮上型磁気
ヘッド装置が作製される。
【0049】
【発明の効果】本発明によれば、スライダの小型化に対
応したスライダと支持部材との位置合わせ精度を確保す
ることが可能となり、安定且つ確実なスライダの低浮上
量化の実現を図ることができる浮上型磁気ヘッド装置及
びその製造方法が提供される。
応したスライダと支持部材との位置合わせ精度を確保す
ることが可能となり、安定且つ確実なスライダの低浮上
量化の実現を図ることができる浮上型磁気ヘッド装置及
びその製造方法が提供される。
【図1】第1実施例の浮上型磁気ヘッドを模式的に示す
斜視図である。
斜視図である。
【図2】上記浮上型磁気ヘッドの構成要素であるスライ
ダを模式的に示す斜視図である。
ダを模式的に示す斜視図である。
【図3】上記浮上型磁気ヘッドの構成要素であるフレキ
シャを模式的に示す平面図である。
シャを模式的に示す平面図である。
【図4】図3中、線分A−A’による一部断面図であ
る。
る。
【図5】上記浮上型磁気ヘッドの構成要素であるフレキ
シャに3つの位置決め用マーカが設けられた様子を模式
的に示す平面図である。
シャに3つの位置決め用マーカが設けられた様子を模式
的に示す平面図である。
【図6】絞り加工法により形成されたディンプル及び位
置決め用マーカを模式的に示す平面図である。
置決め用マーカを模式的に示す平面図である。
【図7】上記浮上型磁気ヘッド装置の製造装置を示す模
式図である。
式図である。
【図8】フレキシャの固着部にスライダが固定された様
子を模式的に示す平面図である。
子を模式的に示す平面図である。
【図9】第2実施例の浮上型磁気ヘッドの構成要素であ
るジンバルを模式的に示す平面図である。
るジンバルを模式的に示す平面図である。
【図10】上記浮上型磁気ヘッドの構成要素であるジン
バルを模式的に示す側面図である。
バルを模式的に示す側面図である。
1 磁気ヘッド素子 2 スライダ 3 ジンバル 11 フレキシャ 12 ロードビーム 13 マウント部 14 ディンプル 15 基準穴 16 切欠部 17 位置決め用マーカ 21 治具 22 位置合わせ手段 23 光学手段 24 制御及び処理手段
Claims (6)
- 【請求項1】 磁気ヘッド素子を有するスライダと、当
該スライダの固着部が形成された固定手段及び当該固定
手段に接続された連結手段を有する可撓性の支持部材と
が設けられてなる浮上型磁気ヘッド装置において、 上記支持部材の所定位置にスライダを固着するための位
置決め用マーカが複数設けられてなることを特徴とする
浮上型磁気ヘッド装置。 - 【請求項2】 固定手段にはスライダの背面を支持する
突起部が設けられるとともに位置決め用マーカが設けら
れることを特徴とする請求項1記載の浮上型磁気ヘッド
装置。 - 【請求項3】 連結手段にはスライダの磁気記録媒体表
面からの浮上量を規定する突起部が設けられるとともに
位置決め用マーカが設けられていることを特徴とする請
求項1記載の浮上型磁気ヘッド装置。 - 【請求項4】 請求項2記載の浮上型磁気ヘッド装置を
作製するに際して、 固定手段に突起部と位置決め用マーカとを同時に形成す
る工程と、 位置決め用マーカを基準としてスライダの固着部に対す
る位置合わせを行った後に当該スライダを固定する工程
とを有することを特徴とする浮上型磁気ヘッド装置の製
造方法。 - 【請求項5】 請求項3記載の浮上型磁気ヘッド装置を
作製するに際して、 連結手段に突起部と位置決め用マーカとを同時に形成す
る工程と、 位置決め用マーカを基準としてスライダの固着部に対す
る位置合わせを行った後に当該スライダを固定する工程
とを有することを特徴とする浮上型磁気ヘッド装置の製
造方法。 - 【請求項6】 突起部及び位置決め用マーカを共にプレ
ス加工法、絞り加工法、エッチング法、或は印刷法によ
り形成することを特徴とする請求項5又は6記載の浮上
型磁気ヘッド装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29741994A JPH08161843A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 浮上型磁気ヘッド装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29741994A JPH08161843A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 浮上型磁気ヘッド装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08161843A true JPH08161843A (ja) | 1996-06-21 |
Family
ID=17846270
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29741994A Withdrawn JPH08161843A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 浮上型磁気ヘッド装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08161843A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010225261A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Nhk Spring Co Ltd | 磁気ヘッド支持用サスペンションのための製造方法と、その製造方法に使用されるサスペンションアセンブリ |
US8072708B2 (en) | 2007-10-11 | 2011-12-06 | Nhk Spring Co., Ltd | Head suspension, load beam, and method of manufacturing load beam |
US8120879B2 (en) | 2007-10-03 | 2012-02-21 | Nhk Spring Co., Ltd. | Head suspension, load beam, method of manufacturing load beam, and method of processing work |
US8125736B2 (en) | 2007-10-04 | 2012-02-28 | Nhk Spring Co., Ltd. | Head suspension, load beam, and method of manufacturing load beam |
-
1994
- 1994-11-30 JP JP29741994A patent/JPH08161843A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8120879B2 (en) | 2007-10-03 | 2012-02-21 | Nhk Spring Co., Ltd. | Head suspension, load beam, method of manufacturing load beam, and method of processing work |
US8125736B2 (en) | 2007-10-04 | 2012-02-28 | Nhk Spring Co., Ltd. | Head suspension, load beam, and method of manufacturing load beam |
US8072708B2 (en) | 2007-10-11 | 2011-12-06 | Nhk Spring Co., Ltd | Head suspension, load beam, and method of manufacturing load beam |
JP2010225261A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Nhk Spring Co Ltd | 磁気ヘッド支持用サスペンションのための製造方法と、その製造方法に使用されるサスペンションアセンブリ |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020205 |