JP4832352B2 - Resin mold vacuum valve - Google Patents

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Description

本発明は、セラミックや金属等異なる材質のインサートとともに真空バルブを樹脂絶縁体で一体に被覆した樹脂モールド真空バルブに関する。   The present invention relates to a resin mold vacuum valve in which a vacuum valve is integrally covered with a resin insulator together with inserts of different materials such as ceramic and metal.

樹脂モールド真空バルブの従来技術例として、例えば特許文献1(特開2002−358861号公報,発明の名称「真空バルブとその製造方法」)や、特許文献2(特開2000−294087号公報,発明の名称「樹脂成形真空バルブ」)などに記載されたものがある。   Examples of conventional techniques for resin mold vacuum valves include, for example, Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2002-358861, title of invention “Vacuum Valve and Method for Producing the Same”) and Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2000-294087, Invention). "Resin molding vacuum valve") and the like.

特許文献1記載の「真空バルブとその製造方法」は、真空容器の外周面の要熱応力緩部分を覆うように熱応力緩和部材が施された後、前記真空容器の外周面が樹脂モールドされた真空バルブにおいて、前記熱応力緩和部材は導電性が与えられた導電性熱応力緩和部材としたり、さらには、導電性熱応力緩和部材を、真空容器の外周面を巡って弾性により装着可能な輪状に予め成形して装着したものである。   In the “vacuum valve and manufacturing method thereof” described in Patent Document 1, the outer peripheral surface of the vacuum vessel is resin-molded after the thermal stress relaxation member is applied so as to cover the portion of the outer peripheral surface of the vacuum vessel where the required thermal stress is relaxed. In the vacuum valve, the thermal stress relaxation member may be a conductive thermal stress relaxation member provided with conductivity, or the conductive thermal stress relaxation member may be elastically mounted around the outer peripheral surface of the vacuum vessel. It is pre-molded and mounted in a ring shape.

また、特許文献2記載の「樹脂成形真空バルブ」は、真空バルブの絶縁円筒と固定側端板の外周に対して、ガラス繊維のロービング材を巻き付けた第1の繊維層を形成し、この第1の繊維層の外周に対して、同じくロービング材をピッチを粗くして巻き付けて、第2の繊維層を形成し、これらの繊維層を形成した真空バルブを注型金型に入れ、エポキシ樹脂を注入して真空バルブの外周に注型樹脂層を形成したものである。絶縁円筒の外周に近い部分にガラス繊維の密度が高くて熱による膨張率の低い樹脂層を形成することで、界面の剥離を防ぐ。   In addition, the “resin-molded vacuum valve” described in Patent Document 2 forms a first fiber layer in which a glass fiber roving material is wound around the outer periphery of an insulating cylinder of a vacuum valve and a fixed end plate. Similarly, a roving material is wound around the outer periphery of one fiber layer with a rough pitch to form a second fiber layer, and a vacuum valve formed with these fiber layers is placed in a casting mold, and an epoxy resin And a casting resin layer is formed on the outer periphery of the vacuum valve. By forming a resin layer having a high density of glass fibers and a low coefficient of thermal expansion at a portion near the outer periphery of the insulating cylinder, peeling of the interface is prevented.

また、他の一般的な従来技術の樹脂モールド真空バルブについて図を参照しつつ説明する。図7は、従来技術の一例の樹脂モールド真空バルブの模式的断面構成図である。この樹脂モールド真空バルブ100は、ステンレス、強化ガラス、セラミックス材等から成る絶縁円筒101の両端開口部を固定側端板102、可動側端板103により気密に封止して真空容器104を形成し、固定軸105は、固定側端板102に真空気密に固定され、可動軸106はベローズ107を介して可動側端板103に取付けられ、真空を保持したまま接点108の開閉ができるようになっている。真空容器104の外側には、緩衝層109を介して、エポキシ樹脂等を硬化させた樹脂絶縁体110を注型によって一体に設けている。   Further, another general conventional resin mold vacuum valve will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is a schematic cross-sectional configuration diagram of a resin mold vacuum valve as an example of the prior art. This resin mold vacuum valve 100 forms a vacuum container 104 by hermetically sealing both ends of an insulating cylinder 101 made of stainless steel, tempered glass, ceramics, etc. with a fixed side end plate 102 and a movable side end plate 103. The fixed shaft 105 is fixed to the fixed side end plate 102 in a vacuum-tight manner, and the movable shaft 106 is attached to the movable side end plate 103 via the bellows 107 so that the contact 108 can be opened and closed while maintaining the vacuum. ing. On the outside of the vacuum vessel 104, a resin insulator 110 in which an epoxy resin or the like is cured is integrally provided by casting through a buffer layer 109.

このうち緩衝層109の存在により一体構造の樹脂モールド真空バルブ100の亀裂・剥離を防止している。この点について説明する。
仮に緩衝層109がないような場合、樹脂モールド真空バルブ100では、絶縁円筒101の熱膨張係数と樹脂絶縁体110の熱膨張係数とが異なるため、急熱急冷を受けた場合の熱応力により、樹脂絶縁体110に力が加わったり、開閉動作時の衝撃力が加わると、亀裂(クラック)や界面剥離を生じる。これら亀裂・剥離等の不具合が発生しやすく製品としての信頼性を著しく低下させる。
Of these, the presence of the buffer layer 109 prevents cracking and peeling of the resin mold vacuum valve 100 having an integral structure. This point will be described.
If the buffer layer 109 is not present, in the resin mold vacuum valve 100, the thermal expansion coefficient of the insulating cylinder 101 and the thermal expansion coefficient of the resin insulator 110 are different. When a force is applied to the resin insulator 110 or an impact force during an opening / closing operation is applied, a crack or interfacial peeling occurs. These defects such as cracks and peeling are likely to occur, and the reliability of the product is significantly reduced.

しかしながら、樹脂モールド真空バルブ100では、絶縁円筒101と樹脂絶縁体110との間に緩衝層109を設けたため、亀裂・剥離の発生するおそれを低減させている。
このような樹脂モールド真空バルブ100は、絶縁円筒101内を高電圧に対して優れた絶縁耐力を有する高真空として、この高真空中で接点108が開閉する時に発生するアークを直ちに消弧させ、高電圧回路を遮断する。従来技術の樹脂モールド真空バルブ100はこのようなものであった。
However, in the resin mold vacuum valve 100, since the buffer layer 109 is provided between the insulating cylinder 101 and the resin insulator 110, the possibility of occurrence of cracks and peeling is reduced.
Such a resin mold vacuum valve 100 makes the inside of the insulating cylinder 101 a high vacuum having an excellent dielectric strength against a high voltage, and immediately extinguishes an arc generated when the contact 108 opens and closes in this high vacuum, Shut off the high voltage circuit. The resin mold vacuum valve 100 of the prior art is like this.

特許公開2002−358861号公報(図1)Japanese Patent Publication No. 2002-358861 (FIG. 1) 特許公開2000−294087号公報(図1)Japanese Patent Publication No. 2000-294087 (FIG. 1)

上述した特許文献1,2においても、耐クラック性能を向上させる対策を講じているものの、樹脂注形前処理として、特許文献1に記載のようにインサート局部に高価な樹脂組成材料を用いて界面剥離防止手当を施す、或いは、特許文献2に記載のように絶縁円筒に内側繊維層と外側繊維層とを形成して低粘度樹脂を浸透させる、など、概してコスト高が否めない。
また、電界集中により発生する部分放電を抑制する必要があるが、このような対策も安価な構成で行いたいという要請もあった。
このような樹脂モールド真空バルブでは、小型縮小化が要請されるキュービクル形開閉装置への用途が高まっており、作業工数低減も含めて、更なるコストダウン対応や小型化対応が望まれている。
In Patent Documents 1 and 2 described above, although measures are taken to improve crack resistance performance, as a pre-treatment for resin casting, an interface is formed using an expensive resin composition material in the insert local area as described in Patent Document 1. The cost is generally undeniable, such as providing an anti-separation allowance, or forming an inner fiber layer and an outer fiber layer in an insulating cylinder and infiltrating a low-viscosity resin as described in Patent Document 2.
In addition, it is necessary to suppress the partial discharge generated by the electric field concentration, but there has been a demand for such measures to be performed with an inexpensive configuration.
Such resin mold vacuum valves are increasingly used for cubicle-type switchgears that are required to be reduced in size, and further reductions in cost and reductions in size are desired, including reduction in work man-hours.

そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、プレス品などの仕上り寸法のバラツキが大きい真空バルブ等のインサートの形状や界面剥離により電界集中して発生する部分放電を抑制し、インサートの材質にかかわらず耐クラック性能を向上させながら小型縮小化がはかれる樹脂モールド真空バルブを提供することにある。   Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and the object thereof is concentrated in the electric field due to the shape of the insert such as a vacuum valve and the interface peeling, which have a large variation in the finished size of a pressed product or the like. It is an object of the present invention to provide a resin mold vacuum valve that can be reduced in size and size while suppressing partial discharge and improving crack resistance regardless of the material of the insert.

本発明の請求項1に係る樹脂モールド真空バルブは、
内部が気密に封止される真空容器と、端部に固定電極が設けられる固定軸と、端部に可動電極が設けられる可動軸と、を有し、真空容器内部で固定電極および可動電極が対向する状態で真空容器の一端に固定電極が固定されて取り付けられ、かつ真空容器の他端に可動電極が移動可能に取り付けられて接点が形成される真空バルブと、
真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される導体と、
真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
真空バルブ、および、導体の外周を覆う緩衝層と、
真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、真空バルブの固定軸、真空バルブの真空容器、導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする。
The resin mold vacuum valve according to claim 1 of the present invention is
A vacuum vessel in which the inside is hermetically sealed, a fixed shaft provided with a fixed electrode at an end, and a movable shaft provided with a movable electrode at an end, and the fixed electrode and the movable electrode are disposed inside the vacuum vessel. A vacuum valve in which a fixed electrode is fixed and attached to one end of the vacuum container in an opposed state, and a movable electrode is movably attached to the other end of the vacuum container to form a contact;
A conductor connected to the fixed shaft of the vacuum valve and drawn out from the outlet;
An electric field concentration relaxation shield disposed on the fixed shaft side of the vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield disposed on the movable shaft side of the vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged near the conductor outlet;
A vacuum valve and a buffer layer covering the outer periphery of the conductor;
A resin insulator that embeds and fixes the fixed shaft of the vacuum valve, the vacuum vessel of the vacuum valve, the conductor, the buffer layer, and each electric field concentration relaxation shield, while making the movable shaft of the vacuum valve movable,
It is characterized by providing.

また、本発明の請求項2に係る樹脂モールド真空バルブは、
固定電極および可動電極が対向する第一接点を第一の真空容器内に有する第一の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第二接点を第二の真空容器内に有する第二の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第三接点を第三の真空容器内に有する第三の真空バルブと、
第一の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される分岐母線と、
第二,第三の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出されるフィーダ導体と、
第一の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第一の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
分岐母線の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
フィーダ導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
第一,第二,第三の真空バルブ、分岐母線およびフィーダ導体の外周を覆う緩衝層と、
第一,第二,第三の真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、第一,第二,第三の真空バルブの固定軸、第一,第二,第三の真空バルブの真空容器、分岐母線、フィーダ導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする。
A resin mold vacuum valve according to claim 2 of the present invention is
A first vacuum valve having a first contact in the first vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A second vacuum valve having a second contact in the second vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A third vacuum valve having a third contact in the third vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A branch bus connected to the fixed shaft of the first vacuum valve and drawn out from the outlet;
A feeder conductor connected to the fixed shafts of the second and third vacuum valves and drawn out from the outlet;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the fixed shaft side of the first vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the first vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield disposed on the fixed shaft side of the second vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the second vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the fixed shaft side of the third vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the third vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged near the branch bus outlet;
An electric field concentration mitigation shield disposed near the feeder conductor outlet;
A buffer layer covering the outer periphery of the first, second and third vacuum valves, branch bus and feeder conductor;
The movable shafts of the first, second and third vacuum valves are movable, the fixed shafts of the first, second and third vacuum valves, and the vacuum containers of the first, second and third vacuum valves. A resin insulator that embeds and fixes the branch busbar, feeder conductor, buffer layer, and each electric field concentration relaxation shield;
It is characterized by providing.

また、本発明の請求項3に係る樹脂モールド真空バルブは、
固定電極および可動電極が対向する第一接点を第一の真空容器内に有する第一の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第二接点を第二の真空容器内に有する第二の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第三接点を第三の真空容器内に有する第三の真空バルブと、
第一の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される分岐母線と、
第二,第三の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出されるフィーダ導体と、
第一,第二の真空バルブの真空容器と連通し、断面略π字状に分岐形成された状態で気密に封止される共通カバー体と、
第一の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第一の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
分岐母線の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
フィーダ導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
第一,第二,第三の真空バルブ、分岐母線、フィーダ導体および共通カバー体の外周を覆う緩衝層と、
第一,第二,第三の真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、第一,第二,第三の真空バルブの固定軸、第一,第二,第三の真空バルブの真空容器、共通カバー体、分岐母線、フィーダ導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする。
A resin mold vacuum valve according to claim 3 of the present invention is
A first vacuum valve having a first contact in the first vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A second vacuum valve having a second contact in the second vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A third vacuum valve having a third contact in the third vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A branch bus connected to the fixed shaft of the first vacuum valve and drawn out from the outlet;
A feeder conductor connected to the fixed shafts of the second and third vacuum valves and drawn out from the outlet;
A common cover body that communicates with the vacuum containers of the first and second vacuum valves and is hermetically sealed in a state of branching in a substantially π-shaped cross section;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the fixed shaft side of the first vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the first vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield disposed on the fixed shaft side of the second vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the second vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the fixed shaft side of the third vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the third vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged near the branch bus outlet;
An electric field concentration mitigation shield disposed near the feeder conductor outlet;
A buffer layer covering the outer periphery of the first, second, third vacuum valve, branch bus, feeder conductor and common cover body;
The movable shafts of the first, second and third vacuum valves are movable, the fixed shafts of the first, second and third vacuum valves, and the vacuum containers of the first, second and third vacuum valves. A resin cover for embedding and fixing the common cover body, branch bus, feeder conductor, buffer layer, and each electric field concentration relaxation shield;
It is characterized by providing.

また、本発明の請求項4に係る樹脂モールド真空バルブは、請求項2〜請求項3の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、 断路器とした第一の真空バルブと、遮断器とした第二の真空バルブと、接地用開閉器とした第三の真空バルブと、を備え、キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする。 A resin mold vacuum valve according to a fourth aspect of the present invention is the resin mold vacuum valve according to any one of the second to third aspects, wherein the first vacuum valve is a disconnector, and the circuit breaker. And a third vacuum valve as a grounding switch, and is used for a cubicle switchgear .

また、本発明の請求項5に係る樹脂モールド真空バルブは、請求項2〜請求項4の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、一端をフィーダ導体に接続し他端を接続端子に接続し、第三の真空バルブと並列に樹脂絶縁体にて埋設される分圧器と、を併設し、キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする。 A resin mold vacuum valve according to claim 5 of the present invention is the resin mold vacuum valve according to any one of claims 2 to 4 , wherein one end is connected to a feeder conductor and the other end is connected to a connection terminal. A voltage divider which is connected and is embedded in parallel with a third vacuum valve with a resin insulator is provided for use in a cubicle type switchgear .

また、本発明の請求項6に係る樹脂モールド真空バルブは、請求項5に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、セラミックコンデンサからなる分圧器と、を併設し、キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする。 A resin mold vacuum valve according to a sixth aspect of the present invention is the resin mold vacuum valve according to the fifth aspect , wherein the resin mold vacuum valve is provided with a voltage divider made of a ceramic capacitor and used for a cubicle type opening / closing device. Features.

また、本発明の請求項7に係る樹脂モールド真空バルブは、請求項5に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、複数のセラミックコンデンサを直列接続して形成する分圧器と、を併設し、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする。
A resin mold vacuum valve according to claim 7 of the present invention is the resin mold vacuum valve according to claim 5 , further comprising a voltage divider formed by connecting a plurality of ceramic capacitors in series.
It is used for a cubicle type switchgear .

また、本発明の請求項8に係る樹脂モールド真空バルブは、請求項1〜請求項7の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、前記樹脂絶縁体は、エポキシ樹脂であることを特徴とする。 The resin mold vacuum valve according to claim 8 of the present invention is the resin mold vacuum valve according to any one of claims 1 to 7 , wherein the resin insulator is an epoxy resin. And

また、本発明の請求項9に係る樹脂モールド真空バルブは、請求項1〜請求項8の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、前記電界集中緩和シールドは、放射状方向に係止突起を設けて固定保持される金属製円環状電界集中緩和シールドであることを特徴とする。 The resin mold vacuum valve according to claim 9 of the present invention is the resin mold vacuum valve according to any one of claims 1 to 8 , wherein the electric field concentration relaxation shield is a locking projection in a radial direction. It is characterized by being a metal annular electric field concentration relaxation shield that is fixed and held .

また、本発明の請求項10に係る樹脂モールド真空バルブは、請求項1〜請求項9の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、前記緩衝層は、導電性の緩衝層であることを特徴とする。 The resin mold vacuum valve according to claim 10 of the present invention is the resin mold vacuum valve according to any one of claims 1 to 9 , wherein the buffer layer is a conductive buffer layer. It is characterized by.

また、本発明の請求項11に係る樹脂モールド真空バルブは、請求項1〜請求項10の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、前記電界集中緩和シールドは、その周囲に緩衝層を備えることを特徴とする。

The resin mold vacuum valve according to claim 11 of the present invention is the resin mold vacuum valve according to any one of claims 1 to 10 , wherein the electric field concentration relaxation shield has a buffer layer around it. It is characterized by providing .

このような本発明によれば、プレス品などの仕上り寸法のバラツキが大きい真空バルブ等のインサートの形状や界面剥離により電界集中して発生する部分放電を抑制し、インサートの材質にかかわらず耐クラック性能を向上させながら小型縮小化がはかれる樹脂モールド真空バルブを提供することができる。   According to the present invention, the partial discharge generated by concentration of the electric field due to the shape of the insert such as a vacuum valve or the separation of the interface, such as a press product, which has a large variation in the finished size of a pressed product, is suppressed, and the crack resistance is prevented regardless of the insert material. It is possible to provide a resin mold vacuum valve that can be reduced in size and size while improving performance.

続いて、本発明を実施するための最良の形態を図を参照しつつ説明する。図1は本形態の樹脂モールド真空バルブの構成図である。
樹脂モールド真空バルブ1は、真空バルブ10、導体21、固定電極側電界集中緩和シールド22、可動電極側電界集中緩和シールド23、導体用電界集中緩和シールド24、緩衝層25、樹脂絶縁体26、ブッシング部27を備える。真空バルブ10は、詳しくは真空容器11、固定軸12、可動軸13、ベローズ14、接点15を備える。
Next, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of a resin mold vacuum valve of this embodiment.
The resin mold vacuum valve 1 includes a vacuum valve 10, a conductor 21, a fixed electrode side electric field concentration relaxation shield 22, a movable electrode side electric field concentration relaxation shield 23, a conductor electric field concentration relaxation shield 24, a buffer layer 25, a resin insulator 26, and a bushing. The unit 27 is provided. Specifically, the vacuum valve 10 includes a vacuum vessel 11, a fixed shaft 12, a movable shaft 13, a bellows 14, and a contact 15.

真空容器11は、さらに絶縁円筒11a、固定側端板11b、可動側端板11cを備える。
絶縁円筒11aは、ステンレス、強化ガラス、セラミックス材等により構成されて電気的な絶縁が確保された円筒体である。
固定側端板11bは、中央孔を有する板体である。
可動側端板11cは、中央孔を有する板体である。
The vacuum vessel 11 further includes an insulating cylinder 11a, a fixed side end plate 11b, and a movable side end plate 11c.
The insulating cylinder 11a is a cylindrical body that is made of stainless steel, tempered glass, a ceramic material, or the like, and ensures electrical insulation.
The fixed side end plate 11b is a plate having a central hole.
The movable side end plate 11c is a plate having a central hole.

固定軸12は、端部に固定電極12aが設けられている棒体である。
可動軸13は、端部に可動電極13aが設けられている棒体である。
ベローズ14は、伸縮自在に設けられ、可動側端板11cに対して可動軸13を移動させる機能を有している。
接点15は、固定軸12の固定電極12aと、可動軸13の可動電極13aと、により形成される接点である。
The fixed shaft 12 is a rod body provided with a fixed electrode 12a at an end portion.
The movable shaft 13 is a rod having a movable electrode 13a provided at the end.
The bellows 14 is provided so as to be extendable and contractible, and has a function of moving the movable shaft 13 relative to the movable side end plate 11c.
The contact 15 is a contact formed by the fixed electrode 12 a of the fixed shaft 12 and the movable electrode 13 a of the movable shaft 13.

真空容器11は、絶縁円筒11aの固定側(下側)の開口部にロウ付けにより固定側端板11bが取り付けられ、さらに、絶縁円筒11aの可動側(上側)の開口部に可動側端板11cが同じくロウ付けにより取り付けられて真空封止することにより構成される。可動側端板11cにはベローズ14が固定される。
この真空容器11内に固定電極12aが配置された状態で固定側端板11bの中央孔に固定軸12が固定され、また、真空容器11内に可動電極13aが配置された状態でベローズ14の中央孔に可動軸13が固定される。これにより気密に封止して真空バルブ10が形成される。真空バルブ10では内部を真空に保持したまま固定電極12aおよび可動電極13aによる接点15が形成され、この接点15の開閉ができるようになっている。
The vacuum vessel 11 has a fixed side end plate 11b attached to the fixed side (lower side) opening of the insulating cylinder 11a by brazing, and a movable side end plate at the movable side (upper) opening of the insulating cylinder 11a. 11c is similarly attached by brazing and is vacuum-sealed. A bellows 14 is fixed to the movable side end plate 11c.
The fixed shaft 12 is fixed to the center hole of the fixed side end plate 11b in a state where the fixed electrode 12a is disposed in the vacuum container 11, and the bellows 14 is disposed in the state where the movable electrode 13a is disposed in the vacuum container 11. The movable shaft 13 is fixed to the central hole. As a result, the vacuum valve 10 is formed in an airtight seal. In the vacuum valve 10, a contact 15 is formed by the fixed electrode 12 a and the movable electrode 13 a while keeping the inside of the vacuum, and the contact 15 can be opened and closed.

導体21は、その一方が真空バルブ10の固定軸12に電気的・機械的に接続固定され、他方が接続端子の一部となっており、ブッシング部27の引き出し口27aにて露出して電気的に接続可能としている。
固定電極側電界集中緩和シールド22は、固定電極12が貫通し、真空バルブ10の固定側端板11bの側に配置され、真空バルブ10と同軸に配置されるリング体である。
可動電極側電界集中緩和シールド23は、可動電極13が貫通し、真空バルブ10の可動側端板11cの側に配置され、真空バルブ10と同軸に配置されるリング体である。
導体用電界集中緩和シールド24は、導体21が貫通した状態であり、かつ導体21の接続端子側であってブッシング部27の引き出し口27a付近に配置されるリング体である。
One of the conductors 21 is electrically and mechanically connected and fixed to the fixed shaft 12 of the vacuum valve 10, and the other is a part of the connection terminal. The conductor 21 is exposed at the outlet 27 a of the bushing portion 27 and is electrically connected. Connection is possible.
The fixed electrode side electric field concentration relaxation shield 22 is a ring body that the fixed electrode 12 penetrates, is disposed on the fixed side end plate 11 b side of the vacuum valve 10, and is disposed coaxially with the vacuum valve 10.
The movable electrode side electric field concentration relaxation shield 23 is a ring body that is penetrated by the movable electrode 13, disposed on the movable side end plate 11 c side of the vacuum valve 10, and disposed coaxially with the vacuum valve 10.
The conductor electric field concentration relaxation shield 24 is a ring body in which the conductor 21 penetrates and is disposed near the lead-out port 27 a of the bushing portion 27 on the connection terminal side of the conductor 21.

緩衝層25は、真空バルブ10および導体21の外周を覆って真空バルブ10・導体21と、樹脂絶縁体26と、が直接的に接しないようにしている。この緩衝層25については後述する。
樹脂絶縁体26は、エポキシ樹脂等の絶縁樹脂を注型によって硬化させて一体に設けたものであり、真空バルブ10の可動軸13を移動自在にするとともに、真空バルブ10の固定軸12および真空容器11、導体21、固定電極側電界集中緩和シールド22、可動電極側電界集中緩和シールド23、および、導体用電界集中緩和シールド24を、埋設して固定する。
The buffer layer 25 covers the outer periphery of the vacuum valve 10 and the conductor 21 so that the vacuum valve 10 / conductor 21 and the resin insulator 26 are not in direct contact with each other. The buffer layer 25 will be described later.
The resin insulator 26 is integrally formed by curing an insulating resin such as an epoxy resin by casting, makes the movable shaft 13 of the vacuum valve 10 movable, and the fixed shaft 12 of the vacuum valve 10 and the vacuum. The container 11, the conductor 21, the fixed electrode side electric field concentration relaxation shield 22, the movable electrode side electric field concentration relaxation shield 23, and the conductor electric field concentration relaxation shield 24 are embedded and fixed.

このうち緩衝層25の存在により一体構造の樹脂モールド真空バルブ1の亀裂・剥離を防止している。この点について説明する。
樹脂モールド真空バルブ1では、真空バルブ10や導体21の外表面に可撓性樹脂をハケ塗、スプレー塗布或いは注型硬化等により緩衝層25を設け、さらに真空バルブ10や導体21とともに、これら固定電極側電界集中緩和シールド22、可動電極側電界集中緩和シールド23、導体用電界集中緩和シールド24という金属インサートを金型内に配置して絶縁樹脂を注型して樹脂絶縁体26を形成する。
Of these, the presence of the buffer layer 25 prevents cracking and peeling of the resin mold vacuum valve 1 having an integral structure. This point will be described.
In the resin mold vacuum valve 1, a buffer layer 25 is provided on the outer surface of the vacuum valve 10 or the conductor 21 by brushing, spraying, or casting curing with a flexible resin. A resin insert 26 is formed by placing metal inserts such as an electrode-side electric field concentration mitigation shield 22, a movable electrode-side electric field concentration mitigation shield 23, and a conductor electric field concentration mitigation shield 24 in a mold and casting an insulating resin.

なお、固定電極側電界集中緩和シールド22、可動電極側電界集中緩和シールド23、導体用電界集中緩和シールド24という金属インサートに対しても導電性緩衝層(図示せず)を形成すれば、耐クラック性能向上はもとより、局部的にボイドや界面剥離等が生じても、これらボイドや剥離等を金属インサートと同電位に覆われるので、充電部と接地部間との部分放電を防止できる。したがって、固定電極側電界集中緩和シールド22、可動電極側電界集中緩和シールド23、導体用電界集中緩和シールド24という金属インサートにも導電性緩衝層を予め形成した上で絶縁樹脂を注型して樹脂絶縁体26を形成することが好ましい。   If a conductive buffer layer (not shown) is also formed on the metal inserts of the fixed electrode side electric field concentration reduction shield 22, the movable electrode side electric field concentration reduction shield 23, and the conductor electric field concentration reduction shield 24, crack resistance is improved. In addition to improving the performance, even if voids or interfacial delamination occurs locally, these voids and delamination are covered with the same potential as the metal insert, so that partial discharge between the charging unit and the grounding unit can be prevented. Therefore, a conductive buffer layer is formed in advance on the metal inserts of the fixed electrode side electric field concentration reduction shield 22, the movable electrode side electric field concentration reduction shield 23, and the conductor electric field concentration reduction shield 24, and then an insulating resin is cast and the resin is cast. It is preferable to form the insulator 26.

これら導電性の緩衝層25が形成された真空バルブ10、導体21や金属インサートを一体被覆する樹脂絶縁体26は、優れた物理的特性、および、安定した化学的特性を備え、成形のし易さや多くの実績があるエポキシ樹脂が相応しい。一例として、ビスフェノールA型エポキシ樹脂を主剤とし、硬化剤に酸無水物、変性酸無水物硬化剤を用いた配合物に充填剤としてシリカ微粉末とガラス短繊維を添加した混合物を全体の50%以上になるように配合した注型樹脂組成物に、硬化促進剤として第3級アミンを規定量添加し、規定の条件で硬化を行って形成される。   The vacuum insulator 10 formed with the conductive buffer layer 25, the resin insulator 26 integrally covering the conductor 21 and the metal insert has excellent physical characteristics and stable chemical characteristics, and is easy to mold. An epoxy resin with many achievements is suitable. As an example, 50% of the total is a mixture of silica powder and glass short fiber as a filler added to a blend using bisphenol A type epoxy resin as the main agent, acid anhydride as the curing agent, and modified acid anhydride curing agent. The cast resin composition blended as described above is formed by adding a specified amount of a tertiary amine as a curing accelerator and curing it under specified conditions.

製作方法として、一つは注型法により、真空バルブ10、導体21や金属インサートの外周にシリコーンゴム粒子充填可塑性樹脂層である緩衝層25を形成した後、やはり注型法により前記組成物で樹脂絶縁体26を形成するものがある。   As a manufacturing method, one is a casting method, and after forming a buffer layer 25 which is a silicone rubber particle-filled plastic resin layer on the outer periphery of the vacuum valve 10, the conductor 21 or the metal insert, the casting composition is also used for the composition. Some form the resin insulator 26.

また、予め前記組成物で絶縁補強筒(図示せず)を形成した後、絶縁補強筒(図示せず)内に真空バルブ10を組込み、ポッティングによりシリコーンゴム粒子充填可塑性樹脂層を形成し、最終的に樹脂絶縁体26を形成するものもある。   In addition, after forming an insulation reinforcing cylinder (not shown) with the above composition in advance, a vacuum valve 10 is assembled in the insulation reinforcing cylinder (not shown), and a silicone rubber particle-filled plastic resin layer is formed by potting. In some cases, the resin insulator 26 is formed.

また、一体被覆する樹脂絶縁体26の他の例として、グリシジルエステル型エポキシ樹脂に対し、酸無水物硬化剤、有機金属化合物硬化促進剤、チタネート系カップリング剤による表面改質処理を施した不定形溶融石英など無機充填剤と、を含有し、耐クラック性を改善するため、温度、湿度、硬化時間、組成配合比その他の硬化条件を勘案して、耐クラック性に影響する樹脂線膨張率、作業性に影響する初期粘度など適宜選定したものとしても良い。   Further, as another example of the resin insulator 26 that is integrally coated, a glycidyl ester type epoxy resin is not subjected to a surface modification treatment with an acid anhydride curing agent, an organometallic compound curing accelerator, or a titanate coupling agent. Resin linear expansion coefficient that affects crack resistance in consideration of temperature, humidity, curing time, composition ratio and other curing conditions in order to improve crack resistance, including inorganic fillers such as shaped fused silica The initial viscosity that affects workability may be selected as appropriate.

緩衝層25としては、樹脂絶縁体26と相性がよければ、特に限定されるものではない。本形態の緩衝層25は、耐熱性に優れていることからシリコーンゴム粒子を用いたが、機器の使用される条件によっては緩衝層25としては接着性に優れているシリコーンゴム粒子、アクリル樹脂粒子、ナイロン粒子、ウレタン樹脂粒子等のいずれかを含有する可塑性樹脂層を適用しても破壊靭性の改善に同等の効果が得られ、応力緩和を図ることができる。   The buffer layer 25 is not particularly limited as long as it is compatible with the resin insulator 26. The buffer layer 25 of this embodiment uses silicone rubber particles because of its excellent heat resistance, but depending on the conditions in which the equipment is used, the silicone rubber particles and acrylic resin particles that have excellent adhesion as the buffer layer 25 Even if a plastic resin layer containing any one of nylon particles, urethane resin particles and the like is applied, the same effect can be obtained in improving fracture toughness, and stress relaxation can be achieved.

仮に緩衝層25がないような場合、樹脂モールド真空バルブ1では、真空容器11の熱膨張係数と樹脂絶縁体26の熱膨張係数とが異なり、また、導体21の熱膨張係数と樹脂絶縁体26の熱膨張係数とが異なるため、急熱急冷を受けた場合の熱応力により、樹脂絶縁体26に力が加わったり、開閉動作時の衝撃力が加わると、亀裂(クラック)や界面剥離を生じる。これら亀裂・剥離等の不具合が発生しやすく製品としての信頼性を著しく低下させる。   If the buffer layer 25 is not provided, in the resin mold vacuum valve 1, the thermal expansion coefficient of the vacuum vessel 11 and the thermal expansion coefficient of the resin insulator 26 are different, and the thermal expansion coefficient of the conductor 21 and the resin insulator 26 are different. Therefore, if the resin insulator 26 is subjected to a force or an impact force during an opening / closing operation due to thermal stress when subjected to rapid heating / quenching, cracks and interfacial delamination occur. . These defects such as cracks and peeling are likely to occur, and the reliability of the product is significantly reduced.

しかしながら、本形態では真空容器11と樹脂絶縁体26との間、および、導体21と樹脂絶縁体26との間に緩衝層25を設けたため、亀裂・剥離の発生するおそれを低減させている。
さらに好ましくは固定電極側電界集中緩和シールド22、可動電極側電界集中緩和シールド23、導体用電界集中緩和シールド24という金属インサートと樹脂絶縁体26との間に導電性緩衝層(図示せず)を設けると、さらに亀裂・剥離の発生するおそれを低減させる。これにより樹脂モールド真空バルブ1の耐クラック性能をさらに向上させている。
また、固定電極側電界集中緩和シールド22、可動電極側電界集中緩和シールド23、導体用電界集中緩和シールド24により、電界集中に起因して発生する部分放電を抑制しており、この点でも亀裂・剥離の発生するおそれを低減させ、耐クラック性能を向上させている。
However, in this embodiment, since the buffer layer 25 is provided between the vacuum vessel 11 and the resin insulator 26 and between the conductor 21 and the resin insulator 26, the possibility of occurrence of cracks and separation is reduced.
More preferably, a conductive buffer layer (not shown) is provided between the metal insert and the resin insulator 26, ie, the fixed electrode side electric field concentration reduction shield 22, the movable electrode side electric field concentration reduction shield 23, and the conductor electric field concentration reduction shield 24. If provided, the risk of cracking and peeling is further reduced. Thereby, the crack resistance performance of the resin mold vacuum valve 1 is further improved.
The fixed electrode side electric field concentration mitigation shield 22, the movable electrode side electric field concentration mitigation shield 23, and the conductor electric field concentration mitigation shield 24 suppress partial discharge generated due to electric field concentration. The risk of peeling is reduced and crack resistance is improved.

このような樹脂モールド真空バルブ1は、真空バルブ10の真空容器11内を高真空にしたため、高電圧に対して優れた絶縁耐力を有する。この真空容器11内の高真空中で接点15が開閉する時に発生するアークを直ちに消弧させ、高電圧回路を遮断する。本形態の樹脂モールド真空バルブ1はこのようなものである。   Such a resin mold vacuum valve 1 has a high dielectric strength against a high voltage because the inside of the vacuum vessel 11 of the vacuum valve 10 is set to a high vacuum. The arc generated when the contact 15 opens and closes in the high vacuum in the vacuum vessel 11 is immediately extinguished, and the high voltage circuit is interrupted. The resin mold vacuum valve 1 of this embodiment is such.

続いて他の形態の樹脂モールド真空バルブ2について図を参照しつつ説明する。図2は他の形態の樹脂モールド真空バルブの構成図、図3は樹脂モールド真空バルブのブロック回路図である。
樹脂モールド真空バルブ2は、図2で示すように、第一真空バルブ30、分岐母線41、第一固定電極側電界集中緩和シールド42、第一可動電極側電界集中緩和シールド43、分岐母線用電界集中緩和シールド44、緩衝層45、第二真空バルブ50、フィーダ導体61、第二固定電極側電界集中緩和シールド62、第二可動電極側電界集中緩和シールド63、フィーダ導体用電界集中緩和シールド64、緩衝層65、第三真空バルブ70、第三固定電極側電界集中緩和シールド82、第三可動電極側電界集中緩和シールド83、緩衝層84、樹脂絶縁体91、ブッシング部92、分圧器93を備える。
Next, another form of the resin mold vacuum valve 2 will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a block diagram of a resin mold vacuum valve according to another embodiment, and FIG. 3 is a block circuit diagram of the resin mold vacuum valve.
As shown in FIG. 2, the resin mold vacuum valve 2 includes a first vacuum valve 30, a branch bus 41, a first fixed electrode side electric field concentration relaxation shield 42, a first movable electrode side electric field concentration relaxation shield 43, and a branch bus electric field. Concentration relaxation shield 44, buffer layer 45, second vacuum valve 50, feeder conductor 61, second fixed electrode side electric field concentration relaxation shield 62, second movable electrode side electric field concentration relaxation shield 63, feeder conductor electric field concentration relaxation shield 64, A buffer layer 65, a third vacuum valve 70, a third fixed electrode side electric field concentration relaxation shield 82, a third movable electrode side electric field concentration relaxation shield 83, a buffer layer 84, a resin insulator 91, a bushing portion 92, and a voltage divider 93 are provided. .

第一真空バルブ30(断路器DS)は、詳しくは真空容器31、固定軸32、可動軸33、ベローズ34、軸支部35を備える。固定軸32は固定電極32aを、可動軸33は可動電極33aを備え、第一接点を形成する。
第二真空バルブ50(遮断器CB)は、詳しくは真空容器51、固定軸52、可動軸53、ベローズ54、軸支部55を備える。固定軸52は固定電極52aを、可動軸53は可動電極53aを備え、第二接点を形成する。
第三真空バルブ70(接地開閉器ES)は、詳しくは、真空容器71、固定軸72、可動軸73を備える。固定軸72は固定電極72aを、可動軸73は可動電極73aを備え、第三接点を形成する。
Specifically, the first vacuum valve 30 (disconnector DS) includes a vacuum vessel 31, a fixed shaft 32, a movable shaft 33, a bellows 34, and a shaft support portion 35. The fixed shaft 32 includes a fixed electrode 32a, and the movable shaft 33 includes a movable electrode 33a, and forms a first contact.
Specifically, the second vacuum valve 50 (breaker CB) includes a vacuum vessel 51, a fixed shaft 52, a movable shaft 53, a bellows 54, and a shaft support portion 55. The fixed shaft 52 includes a fixed electrode 52a, and the movable shaft 53 includes a movable electrode 53a, and forms a second contact.
Specifically, the third vacuum valve 70 (ground switch ES) includes a vacuum vessel 71, a fixed shaft 72, and a movable shaft 73. The fixed shaft 72 includes a fixed electrode 72a, and the movable shaft 73 includes a movable electrode 73a, and forms a third contact.

第一真空バルブ30の真空容器31内には、固定軸32の先端に一体に構成された固定電極32aと、可動軸33の先端に一体に構成された可動電極33aと、が対向するように配置される。分岐母線41に接続される固定軸32は真空容器31に固定され、また、可動軸33は軸支部35により上下方向に摺動自在に支持され、かつベローズ34により移動可能に取り付けられている。ベローズ34は、図1を用いて前述したベローズ14と同様に、袋状になっており、封止箇所を削減し、真空気密の信頼性を高めている。真空容器31とベローズ34により気密に封止して内部を真空に保持した第一真空バルブ30が形成される。第一真空バルブ30には固定電極32aおよび可動電極33aによる第一接点が形成され、この第一接点が開閉できるようになっている。可動軸33は、ロッド、リンク等で構成される負荷開閉器用の開閉操作機構(便宜上、これらを一括して第一連結座と称する。)に連結している。   In the vacuum container 31 of the first vacuum valve 30, a fixed electrode 32 a configured integrally with the distal end of the fixed shaft 32 and a movable electrode 33 a configured integrally with the distal end of the movable shaft 33 are opposed to each other. Be placed. The fixed shaft 32 connected to the branch bus 41 is fixed to the vacuum vessel 31, and the movable shaft 33 is supported by a shaft support portion 35 so as to be slidable in the vertical direction and is movably attached by a bellows 34. The bellows 34 has a bag shape like the bellows 14 described above with reference to FIG. 1, reduces the number of sealed portions, and increases the reliability of vacuum-tightness. A first vacuum valve 30 is formed which is hermetically sealed by the vacuum vessel 31 and the bellows 34 and kept inside a vacuum. The first vacuum valve 30 has a first contact formed by a fixed electrode 32a and a movable electrode 33a, and the first contact can be opened and closed. The movable shaft 33 is connected to an opening / closing operation mechanism for a load switch composed of a rod, a link, and the like (for convenience, these are collectively referred to as a first connecting seat).

第二真空バルブ50の真空容器51内には、固定軸52の先端に一体に構成された固定電極52aと、可動軸53の先端に一体に構成された可動電極53aと、が対向するように配置される。フィーダ導体61に接続される固定軸52は真空容器51に固定され、また、可動軸53は軸支部55により上下方向に摺動自在に支持され、かつベローズ54により移動可能に取り付けられている。ベローズ54は、図1を用いて前述したベローズ14と同様に、袋状になっており、封止箇所を削減し、真空気密の信頼性を高めている。真空容器51とベローズ54により気密に封止して内部を真空に保持した第二真空バルブ50が形成される。第二真空バルブ50には固定電極52aおよび可動電極53aによる第二接点が形成され、この第二接点が開閉できるようになっている。可動軸53は、ロッド、リンク等で構成される負荷開閉器用の開閉操作機構(便宜上、これらを一括して第二連結座と称する。)に連結している。   In the vacuum vessel 51 of the second vacuum valve 50, a fixed electrode 52a integrally formed at the tip of the fixed shaft 52 and a movable electrode 53a integrally formed at the tip of the movable shaft 53 are opposed to each other. Be placed. A fixed shaft 52 connected to the feeder conductor 61 is fixed to the vacuum vessel 51, and a movable shaft 53 is supported by a shaft support portion 55 so as to be slidable in the vertical direction and is movably attached by a bellows 54. The bellows 54 has a bag shape like the bellows 14 described above with reference to FIG. 1, reduces the number of sealed portions, and increases the reliability of vacuum-tightness. A second vacuum valve 50 is formed which is hermetically sealed by the vacuum vessel 51 and the bellows 54 and kept inside a vacuum. The second vacuum valve 50 has a second contact formed by a fixed electrode 52a and a movable electrode 53a, and the second contact can be opened and closed. The movable shaft 53 is connected to an opening / closing operation mechanism for a load switch composed of a rod, a link and the like (for convenience, these are collectively referred to as a second connecting seat).

第三真空バルブ70の真空容器71内には、固定軸72の先端に一体に構成された固定電極72aと、可動軸73の先端に一体に構成された可動電極73aと、が対向するように配置される。フィーダ導体61に接続される固定軸72は真空容器71に固定され、また、可動軸73は上下方向に摺動自在に支持されている。真空容器71により気密に封止して内部を真空に保持した第三真空バルブ70が形成される。第三真空バルブ70には固定電極72aおよび可動電極73aによる第三接点が形成され、この第三接点が開閉できるようになっている。可動軸73は、ロッド、リンク等で構成される負荷開閉器用の開閉操作機構(便宜上、これらを一括して第三連結座と称する。)に連結している。また、接地開閉器の可動軸73は、接地母線に接続している。   In the vacuum container 71 of the third vacuum valve 70, a fixed electrode 72a integrally formed at the tip of the fixed shaft 72 and a movable electrode 73a integrally formed at the tip of the movable shaft 73 are opposed to each other. Be placed. The fixed shaft 72 connected to the feeder conductor 61 is fixed to the vacuum vessel 71, and the movable shaft 73 is supported so as to be slidable in the vertical direction. A third vacuum valve 70 is formed which is hermetically sealed by the vacuum vessel 71 and holds the inside in a vacuum. The third vacuum valve 70 has a third contact formed by a fixed electrode 72a and a movable electrode 73a, and the third contact can be opened and closed. The movable shaft 73 is connected to an opening / closing operation mechanism for a load switch composed of a rod, a link and the like (for convenience, these are collectively referred to as a third connecting seat). The movable shaft 73 of the ground switch is connected to the ground bus.

フィーダ導体61の反固定電極側は、樹脂モールド真空バルブ2の横側に引き出されたブッシング部92であるフィーダ端子座となり、分岐母線41の反固定電極側は、樹脂モールド真空バルブ2の下側で引き出されたブッシング部92である母線端子座となり、それらのブッシングが樹脂モールド真空バルブ2の外部に形成して配置されている。フィーダ導体61には分圧器93が接続されている。
なお、この実施の形態においては、相分離構造(例えば、図2の実線で表された分岐母線41がU相、他の破線で表された分岐母線41がV相、W相を示す。)としているので、3相の場合は、これら樹脂モールド真空バルブ2を併設すれば良い。
The non-fixed electrode side of the feeder conductor 61 is a feeder terminal seat that is a bushing portion 92 drawn out to the lateral side of the resin mold vacuum valve 2, and the anti-fixed electrode side of the branch bus 41 is the lower side of the resin mold vacuum valve 2. The bushing portion 92 is a bus terminal portion that is drawn out in step, and these bushings are formed and arranged outside the resin mold vacuum valve 2. A voltage divider 93 is connected to the feeder conductor 61.
In this embodiment, the phase separation structure (for example, the branch bus 41 represented by a solid line in FIG. 2 represents the U phase, and the branch bus 41 represented by another broken line represents the V phase and the W phase). Therefore, in the case of three phases, these resin mold vacuum valves 2 may be provided together.

なお、図示していないが、断路器用の第一真空バルブ30の可動電極33と、遮断器用の第二真空バルブ50の可動電極53とは、例えば、可動電極33,53の可動に伴う可撓導体を介在するなどして、樹脂モールド真空バルブ2の内部外部を問わず適当な箇所で接続されるようにして、他の構成機器と連動するようにしても良い。
また、図示しないが、分岐母線41、第一固定電極側電界集中緩和シールド42、第一可動電極側電界集中緩和シールド43、分岐母線用電界集中緩和シールド44、フィーダ導体61、第二固定電極側電界集中緩和シールド62、第二可動電極側電界集中緩和シールド63、フィーダ導体用電界集中緩和シールド64、三固定電極側電界集中緩和シールド82、第三可動電極側電界集中緩和シールド83、分圧器93に対しても導電性緩衝層(図示せず)を形成すれば、耐クラック性能向上はもとより、局部的にボイドや界面剥離等が生じても、これらボイドや剥離等を金属インサートと同電位に覆われるので、充電部と接地部間との部分放電を防止できる。
Although not shown, the movable electrode 33 of the first vacuum valve 30 for the disconnector and the movable electrode 53 of the second vacuum valve 50 for the breaker are, for example, flexible as the movable electrodes 33 and 53 move. By interposing a conductor or the like, the resin mold vacuum valve 2 may be connected at an appropriate place regardless of the inside or outside of the resin mold vacuum valve 2, and may be interlocked with other components.
Although not shown, the branch bus 41, the first fixed electrode side electric field concentration relaxation shield 42, the first movable electrode side electric field concentration relaxation shield 43, the branch bus electric field concentration relaxation shield 44, the feeder conductor 61, and the second fixed electrode side. Electric field concentration mitigation shield 62, second movable electrode side electric field concentration mitigation shield 63, feeder conductor electric field concentration mitigation shield 64, three fixed electrode side electric field concentration mitigation shield 82, third movable electrode side electric field concentration mitigation shield 83, voltage divider 93 In contrast, if a conductive buffer layer (not shown) is formed, not only the crack resistance performance is improved, but even if voids or interfacial delamination occurs locally, these voids and delamination are brought to the same potential as the metal insert. Since it is covered, partial discharge between the charging unit and the grounding unit can be prevented.

続いて樹脂モールド真空バルブ2のブロック回路について図を参照しつつ説明する。図2の樹脂モールド真空バルブ3は、キュービクル形開閉装置の電気回路図である。まず、図3において、樹脂モールド真空バルブ2は、大略的に真空スイッチを構成する断路器(DS)、大略的に真空スイッチを構成する遮断器(CB)、大略的に真空スイッチを構成する接地開閉器(ES)、断路器(DS)の固定電極に接続する分岐母線(F1)、遮断器(CB)および接地開閉器(ES)の固定電極に接続するフィーダ導体(F)、フィーダ導体(F)に配設されたセラミックコンデンサ等電圧管理する分圧器93とで構成されている。
ここで、真空スイッチを構成する断路器(DS)を第一真空バルブ30、真空スイッチを構成する遮断器(CB)を第二真空バルブ50、真空スイッチを構成する接地開閉器(ES)を第三真空バルブ70としている。
Next, the block circuit of the resin mold vacuum valve 2 will be described with reference to the drawings. The resin mold vacuum valve 3 in FIG. 2 is an electric circuit diagram of a cubicle type opening / closing device. First, in FIG. 3, a resin mold vacuum valve 2 includes a disconnector (DS) that roughly constitutes a vacuum switch, a breaker (CB) that roughly constitutes a vacuum switch, and a ground that generally constitutes a vacuum switch. Switch (ES), branch bus (F1) connected to the fixed electrode of the disconnect switch (DS), feeder conductor (F) connected to the fixed electrode of the circuit breaker (CB) and ground switch (ES), feeder conductor ( F) and a voltage divider 93 for managing voltage such as a ceramic capacitor.
Here, the disconnector (DS) constituting the vacuum switch is the first vacuum valve 30, the breaker (CB) constituting the vacuum switch is the second vacuum valve 50, and the grounding switch (ES) constituting the vacuum switch is the first. Three vacuum valves 70 are provided.

さらに、図示しないが他の構成機器と接続や連結する母線端子座、フィーダ端子座、接続端子及び連結座が引き出された状態で、エポキシ樹脂でこれら断路器(DS)、遮断器(CB)、接地開閉器(ES)、分岐母線(F1)、フィーダ導体(F)、および、分圧器が一体モールドされる。   Furthermore, although not shown in the drawing, in the state where the bus terminal seat, the feeder terminal seat, the connection terminal and the connecting seat to be connected to and connected to other components are pulled out, these disconnectors (DS), breakers (CB), The earthing switch (ES), the branch bus (F1), the feeder conductor (F), and the voltage divider are integrally molded.

なお、図4に示すように、円環状電界集中緩和シールドの放射状外側方向に係止突起(図5参照)を設けて、別途金型の凹部(図示せず)に係合して、その外周にエポキシ樹脂に埋設して電界集中緩和シールドを備えることができる。このような製造方法を採用することにより、インサート形状に起因する電界集中による部分放電抑制のみならず、金型内配置も容易に行えて、作業工数低減もはかれる。   In addition, as shown in FIG. 4, a locking projection (see FIG. 5) is provided radially outward of the annular electric field concentration relaxation shield, and is separately engaged with a recess (not shown) of the mold. It is possible to provide an electric field concentration relaxation shield embedded in an epoxy resin. By adopting such a manufacturing method, not only partial discharge suppression due to electric field concentration caused by the insert shape but also easy placement in the mold can be achieved, and the number of work steps can be reduced.

次に、他の形態の樹脂モールド真空バルブについて図を参照しつつ説明する。図6は他の形態の樹脂モールド真空バルブの構成図である。図2を用いて説明した樹脂モールド真空バルブ2の第一真空バルブ30と第二真空バルブ50との可動軸にさらに連動軸を設けた形態である。この図6では要部のみ図示し、他の構成は図2を用いて説明した樹脂モールド真空バルブ2と共通であるとして重複する説明を省略するとともに追加点を重点的に説明する。   Next, another form of the resin mold vacuum valve will be described with reference to the drawings. FIG. 6 is a block diagram of another embodiment of a resin mold vacuum valve. This is a form in which an interlocking shaft is further provided on the movable shaft of the first vacuum valve 30 and the second vacuum valve 50 of the resin mold vacuum valve 2 described with reference to FIG. In FIG. 6, only the main part is shown, and other configurations are the same as those of the resin mold vacuum valve 2 described with reference to FIG.

図6では、図2で示した第一真空バルブ30と第二真空バルブ50の上側にさらに共通カバー体94を含む樹脂絶縁体91を形成する。第一真空バルブ30と第二真空バルブ50の上部開口部を第一真空バルブ30の可動軸33と第二真空バルブ50の可動軸53と、可動軸33,53と連動する連動軸96とを収納して共通カバー体94で気密に封止して断面略π字状に分岐形成し、中央上部の開閉操作機構95に連動軸96が連結され、第一真空バルブ30と第二真空バルブ50とを接離自在に駆動する。この共通カバー体94の外周にも、図示しないが導電性緩衝層を設けており、亀裂・剥離の発生するおそれを低減させ、仕上り寸法のバラツキが大きい真空バルブ等のインサートの形状に応じ、任易の樹脂成型形状に対しても耐クラック性能を向上させている。
すなわち、第一真空バルブ30と第二真空バルブ50の上部の可動軸、第一連結座、第二連結座を共通にして、コンパクトな構成としている。このような構造的な配慮により一体被覆するエポキシ樹脂量も低減している。
In FIG. 6, a resin insulator 91 including a common cover body 94 is formed on the upper side of the first vacuum valve 30 and the second vacuum valve 50 shown in FIG. The upper openings of the first vacuum valve 30 and the second vacuum valve 50 are provided with a movable shaft 33 of the first vacuum valve 30, a movable shaft 53 of the second vacuum valve 50, and an interlocking shaft 96 interlocking with the movable shafts 33 and 53. It is housed and hermetically sealed with a common cover body 94 and branched into a substantially π-shaped cross section. An interlocking shaft 96 is connected to the opening / closing operation mechanism 95 at the upper center, and the first vacuum valve 30 and the second vacuum valve 50 are connected. And can be driven freely. A conductive buffer layer (not shown) is also provided on the outer periphery of the common cover body 94 to reduce the possibility of cracking and peeling, and depending on the shape of the insert such as a vacuum valve having a large variation in finished dimensions. The crack resistance performance is improved even for easy resin molded shapes.
That is, the movable shaft, the first connecting seat, and the second connecting seat at the upper part of the first vacuum valve 30 and the second vacuum valve 50 are used in common, thereby forming a compact configuration. Due to such structural considerations, the amount of epoxy resin to be integrally coated is also reduced.

本発明を実施するための最良の形態の樹脂モールド真空バルブの構成図である。It is a block diagram of the resin mold vacuum valve of the best form for implementing this invention. 他の形態の樹脂モールド真空バルブの構成図である。It is a block diagram of the resin mold vacuum valve of another form. 樹脂モールド真空バルブのブロック回路図である。It is a block circuit diagram of a resin mold vacuum valve. 円環状電界集中緩和シールドの配置の説明図である。It is explanatory drawing of arrangement | positioning of an annular | circular shaped electric field concentration relaxation shield. 係止時の説明図である。It is explanatory drawing at the time of a latching. 他の形態の樹脂モールド真空バルブの構成図である。It is a block diagram of the resin mold vacuum valve of another form. 従来技術の一例の樹脂モールド真空バルブの模式的断面構成図である。It is a typical section lineblock diagram of a resin mold vacuum valve of an example of conventional technology.

符号の説明Explanation of symbols

1:樹脂モールド真空バルブ
10:真空バルブ
11:真空容器
11a:絶縁円筒
11b:固定側端板
11c:可動側端板
12:固定軸
12a:固定電極
13:可動軸
13a:可動電極
14:ベローズ
15:接点
21:導体
22:固定電極側電界集中緩和シールド
23:可動電極側電界集中緩和シールド
24:導体用電界集中緩和シールド
25:緩衝層
26:樹脂絶縁体
27:ブッシング部
2:樹脂モールド真空バルブ
30:第一真空バルブ
31:真空容器
32:固定軸
32a:固定電極
33:可動軸
33a:可動電極
34:ベローズ
35:軸支部
41:分岐母線
42:第一固定電極側電界集中緩和シールド
43:第一可動電極側電界集中緩和シールド
44:分岐母線用電界集中緩和シールド
45:緩衝層
50:第二真空バルブ
51:真空容器
52:固定軸
52a:固定電極
53:可動軸
53a:可動電極
54:ベローズ
55:軸支部
61:フィーダ導体
62:第二固定電極側電界集中緩和シールド
63:第二可動電極側電界集中緩和シールド
64:フィーダ導体用電界集中緩和シールド
65:緩衝層
70:第三真空バルブ
71:真空容器
72:固定軸
72a:固定電極
73:可動軸
73a:可動電極
82:第三固定電極側電界集中緩和シールド
83:第三可動電極側電界集中緩和シールド
84:緩衝層
91:樹脂絶縁体
92:ブッシング部
93:分圧器
94:共通カバー体
95:開閉操作機構
96:連動軸
1: resin mold vacuum valve 10: vacuum valve 11: vacuum vessel 11a: insulating cylinder 11b: fixed end plate 11c: movable end plate 12: fixed shaft 12a: fixed electrode 13: movable shaft 13a: movable electrode 14: bellows 15 : Contact 21: conductor 22: fixed electrode side electric field concentration relaxation shield 23: movable electrode side electric field concentration relaxation shield 24: conductor electric field concentration relaxation shield 25: buffer layer 26: resin insulator 27: bushing portion 2: resin mold vacuum valve 30: first vacuum valve 31: vacuum vessel 32: fixed shaft 32a: fixed electrode 33: movable shaft 33a: movable electrode 34: bellows 35: shaft support 41: branch bus 42: first fixed electrode side electric field concentration relaxation shield 43: First movable electrode side electric field concentration relaxation shield 44: branch bus electric field concentration relaxation shield 45: buffer layer 50: second vacuum valve 51: vacuum vessel 2: fixed shaft 52a: fixed electrode 53: movable shaft 53a: movable electrode 54: bellows 55: shaft support 61: feeder conductor 62: second fixed electrode side electric field concentration relaxation shield 63: second movable electrode side electric field concentration relaxation shield 64 : Electric field concentration relaxation shield for feeder conductor 65: Buffer layer 70: Third vacuum valve 71: Vacuum container 72: Fixed shaft 72 a: Fixed electrode 73: Movable shaft 73 a: Movable electrode 82: Third fixed electrode side electric field concentration relaxation shield 83 : Third movable electrode side electric field concentration relaxation shield 84: buffer layer 91: resin insulator 92: bushing section 93: voltage divider 94: common cover body 95: opening / closing operation mechanism 96: interlocking shaft

Claims (11)

内部が気密に封止される真空容器と、端部に固定電極が設けられる固定軸と、端部に可動電極が設けられる可動軸と、を有し、真空容器内部で固定電極および可動電極が対向する状態で真空容器の一端に固定電極が固定されて取り付けられ、かつ真空容器の他端に可動電極が移動可能に取り付けられて接点が形成される真空バルブと、
真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される導体と、
真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
真空バルブ、および、導体の外周を覆う緩衝層と、
真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、真空バルブの固定軸、真空バルブの真空容器、導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
A vacuum vessel in which the inside is hermetically sealed, a fixed shaft provided with a fixed electrode at an end, and a movable shaft provided with a movable electrode at an end, and the fixed electrode and the movable electrode are disposed inside the vacuum vessel. A vacuum valve in which a fixed electrode is fixed and attached to one end of the vacuum container in an opposed state, and a movable electrode is movably attached to the other end of the vacuum container to form a contact;
A conductor connected to the fixed shaft of the vacuum valve and drawn out from the outlet;
An electric field concentration relaxation shield disposed on the fixed shaft side of the vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield disposed on the movable shaft side of the vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged near the conductor outlet;
A vacuum valve and a buffer layer covering the outer periphery of the conductor;
A resin insulator that embeds and fixes the fixed shaft of the vacuum valve, the vacuum vessel of the vacuum valve, the conductor, the buffer layer, and each electric field concentration relaxation shield, while making the movable shaft of the vacuum valve movable,
A resin-molded vacuum valve comprising:
固定電極および可動電極が対向する第一接点を第一の真空容器内に有する第一の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第二接点を第二の真空容器内に有する第二の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第三接点を第三の真空容器内に有する第三の真空バルブと、
第一の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される分岐母線と、
第二,第三の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出されるフィーダ導体と、
第一の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第一の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
分岐母線の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
フィーダ導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
第一,第二,第三の真空バルブ、分岐母線およびフィーダ導体の外周を覆う緩衝層と、
第一,第二,第三の真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、第一,第二,第三の真空バルブの固定軸、第一,第二,第三の真空バルブの真空容器、分岐母線、フィーダ導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
A first vacuum valve having a first contact in the first vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A second vacuum valve having a second contact in the second vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A third vacuum valve having a third contact in the third vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A branch bus connected to the fixed shaft of the first vacuum valve and drawn out from the outlet;
A feeder conductor connected to the fixed shafts of the second and third vacuum valves and drawn out from the outlet;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the fixed shaft side of the first vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the first vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield disposed on the fixed shaft side of the second vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the second vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the fixed shaft side of the third vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the third vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged near the branch bus outlet;
An electric field concentration mitigation shield disposed near the feeder conductor outlet;
A buffer layer covering the outer periphery of the first, second and third vacuum valves, branch bus and feeder conductor;
The movable shafts of the first, second and third vacuum valves are movable, the fixed shafts of the first, second and third vacuum valves, and the vacuum containers of the first, second and third vacuum valves. A resin insulator that embeds and fixes the branch busbar, feeder conductor, buffer layer, and each electric field concentration relaxation shield;
A resin-molded vacuum valve comprising:
固定電極および可動電極が対向する第一接点を第一の真空容器内に有する第一の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第二接点を第二の真空容器内に有する第二の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第三接点を第三の真空容器内に有する第三の真空バルブと、
第一の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される分岐母線と、
第二,第三の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出されるフィーダ導体と、
第一,第二の真空バルブの真空容器と連通し、断面略π字状に分岐形成された状態で気密に封止される共通カバー体と、
第一の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第一の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
分岐母線の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
フィーダ導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
第一,第二,第三の真空バルブ、分岐母線、フィーダ導体および共通カバー体の外周を覆う緩衝層と、
第一,第二,第三の真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、第一,第二,第三の真空バルブの固定軸、第一,第二,第三の真空バルブの真空容器、共通カバー体、分岐母線、フィーダ導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
A first vacuum valve having a first contact in the first vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A second vacuum valve having a second contact in the second vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A third vacuum valve having a third contact in the third vacuum vessel facing the fixed electrode and the movable electrode;
A branch bus connected to the fixed shaft of the first vacuum valve and drawn out from the outlet;
A feeder conductor connected to the fixed shafts of the second and third vacuum valves and drawn out from the outlet;
A common cover body that communicates with the vacuum containers of the first and second vacuum valves and is hermetically sealed in a state of branching in a substantially π-shaped cross section;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the fixed shaft side of the first vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the first vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield disposed on the fixed shaft side of the second vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the second vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the fixed shaft side of the third vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged on the movable shaft side of the third vacuum valve;
An electric field concentration relaxation shield arranged near the branch bus outlet;
An electric field concentration mitigation shield disposed near the feeder conductor outlet;
A buffer layer covering the outer periphery of the first, second, third vacuum valve, branch bus, feeder conductor and common cover body;
The movable shafts of the first, second and third vacuum valves are movable, the fixed shafts of the first, second and third vacuum valves, and the vacuum containers of the first, second and third vacuum valves. A resin cover for embedding and fixing the common cover body, branch bus, feeder conductor, buffer layer, and each electric field concentration relaxation shield;
A resin-molded vacuum valve comprising:
請求項2〜請求項3の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
断路器とした第一の真空バルブと、
遮断器とした第二の真空バルブと、
接地用開閉器とした第三の真空バルブと、
を備え、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする樹脂モールド真空バルブ
In the resin mold vacuum valve according to any one of claims 2 to 3,
A first vacuum valve as a disconnector;
A second vacuum valve as a circuit breaker;
A third vacuum valve as a grounding switch;
With
A resin mold vacuum valve for use in a cubicle-type switchgear .
請求項2〜請求項4の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
一端をフィーダ導体に接続し他端を接続端子に接続し、第三の真空バルブと並列に樹脂絶縁体にて埋設される分圧器と、を併設し、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする樹脂モールド真空バルブ
In the resin mold vacuum valve according to any one of claims 2 to 4,
A voltage divider embedded in a resin insulator in parallel with the third vacuum valve, with one end connected to the feeder conductor and the other end connected to the connection terminal;
A resin mold vacuum valve for use in a cubicle-type switchgear .
請求項5に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
セラミックコンデンサからなる分圧器と、を併設し、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする樹脂モールド真空バルブ
In the resin mold vacuum valve according to claim 5,
A voltage divider made of a ceramic capacitor;
A resin mold vacuum valve for use in a cubicle-type switchgear .
請求項5に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
複数のセラミックコンデンサを直列接続して形成する分圧器と、を併設し、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする樹脂モールド真空バルブ
In the resin mold vacuum valve according to claim 5,
A voltage divider formed by connecting a plurality of ceramic capacitors in series;
A resin mold vacuum valve for use in a cubicle-type switchgear .
請求項1〜請求項7の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記樹脂絶縁体は、エポキシ樹脂であることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ
In the resin mold vacuum valve according to any one of claims 1 to 7,
The resin molded vacuum valve, wherein the resin insulator is an epoxy resin .
請求項1〜請求項8の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記電界集中緩和シールドは、放射状方向に係止突起を設けて固定保持される金属製円環状電界集中緩和シールドであることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ
In the resin mold vacuum valve according to any one of claims 1 to 8,
The resin-molded vacuum valve, wherein the electric field concentration relaxation shield is a metal annular electric field concentration relaxation shield that is fixedly held by providing locking projections in a radial direction .
請求項1〜請求項9の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記緩衝層は、導電性の緩衝層であることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ
In the resin mold vacuum valve according to any one of claims 1 to 9,
The resin mold vacuum valve, wherein the buffer layer is a conductive buffer layer .
請求項1〜請求項10の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記電界集中緩和シールドは、その周囲に緩衝層を備えることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ
In the resin mold vacuum valve according to any one of claims 1 to 10,
The electric field concentration relaxation shield includes a buffer layer around the electric field concentration relaxation shield .
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