JP4831051B2 - 画像記録装置、圧電アクチュエータ、及び、液体噴射ヘッド - Google Patents
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Description
前記圧電体層は、互いに積層された上層圧電体と下層圧電体とを含み、前記電極層は、互いに導通された共通上電極及び共通下電極と、駆動信号の供給源に導通される駆動電極とから構成され、
前記振動板側から、共通下電極、下層圧電体、駆動電極、上層圧電体、共通上電極の順にそれぞれ積層して形成し、
前記共通上電極を上層圧電体の幅方向一端から他端まで一連に形成し、
前記共通上電極を前記共通下電極よりも幅広に設けたことを特徴とする。
ここで、「上、下」とあるのは、振動板を基準とした位置関係を示している。即ち、振動板から近い側を「下」とし、振動板から遠い側を「上」として示している。
そして、この構成において前記共通上電極を金で作製する一方、前記共通下電極および前記駆動電極を白金で作製することが望ましい。
なお、従来の単層構造の圧電素子17にあっては、素子全体の厚さが約15μmである。従って、圧電素子17の厚さが増したことから、その分だけ振動板14のコンプライアンスが小さくなっている。
なお、他の部分の構成については上記した実施形態と同様であるので、同一の符号を付して示し、その説明は省略する。
なお、本実施形態において、圧力室12の内寸法wcは160μmであり、圧力室12の形成ピッチ(図6中における符号wc″に相当する間隔)は210μmであるため、上層圧電体34の幅wp1を最大で圧力室12の内寸法wcの1.3倍程度まで広げることができる。
なお、この変形例においても、各部の幅方向中心は、圧力室12の幅方向中心に合わせられている。また、上層圧電体34の厚さtp1は、下層圧電体35の厚さtp2よりも厚い。さらに、この他の部分については、上記した変形例と同様の構成であるので、同一の符号を付して示し、その説明は省略する。
Claims (12)
- ノズル開口に連通された圧力室と、該圧力室の一部を区画する振動板と、前記圧力室とは反対側の振動板表面に設けられた圧電素子とを備え、圧電素子の変形によって圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッドを備えた画像記録装置において、
前記圧電素子は、電場に応じて変形する圧電体層と該圧電体層に付与される電場を発生する電極層とを備え、
前記圧電体層は、互いに積層された上層圧電体と下層圧電体とを含み、前記電極層は、互いに導通された共通上電極及び共通下電極と、駆動信号の供給源に導通される駆動電極とから構成され、
前記振動板側から、共通下電極、下層圧電体、駆動電極、上層圧電体、共通上電極の順にそれぞれ積層して形成し、
前記共通上電極を上層圧電体の幅方向一端から他端まで一連に形成し、
前記共通上電極を前記共通下電極よりも幅広に設けたことを特徴とする画像記録装置。 - 前記共通上電極を前記駆動電極よりも幅広に設けたことを特徴とする請求項1に記載の画像記録装置。
- 前記共通上電極を前記共通下電極および前記駆動電極よりも薄くしたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の画像記録装置。
- 前記共通上電極を金で作製する一方、前記共通下電極および前記駆動電極を白金で作製したことを特徴とする請求項3に記載の画像記録装置。
- 駆動源としての圧電素子を振動板の表面に形成してなる圧電アクチュエータにおいて、
前記圧電素子は、電場に応じて変形する圧電体層と該圧電体層に付与される電場を発生する電極層とを備え、
前記圧電体層は、互いに積層された上層圧電体と下層圧電体とを含み、前記電極層は、互いに導通された共通上電極及び共通下電極と、駆動信号の供給源に導通される駆動電極とから構成され、
下層圧電体と上層圧電体との間に駆動電極を形成すると共に、下層圧電体と振動板との間に共通下電極を、駆動電極とは反対側の上層圧電体の表面に共通上電極をそれぞれ形成し、
前記共通上電極を上層圧電体の幅方向一端から他端まで一連に形成し、
前記共通上電極を前記共通下電極よりも幅広に設けたことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記共通上電極を前記駆動電極よりも幅広に設けたことを特徴とする請求項5に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記共通上電極を前記共通下電極および前記駆動電極よりも薄くしたことを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記共通上電極を金で作製する一方、前記共通下電極および前記駆動電極を白金で作製したことを特徴とする請求項7に記載の圧電アクチュエータ。
- ノズル開口に連通された圧力室と、該圧力室の一部を区画する振動板と、前記圧力室とは反対側の振動板表面に設けられた圧電素子とを備え、圧電素子の変形によって圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧電素子は、電場に応じて変形する圧電体層と該圧電体層に付与される電場を発生する電極層とを備え、
前記圧電体層は、互いに積層された上層圧電体と下層圧電体とを含み、前記電極層は、互いに導通された共通上電極及び共通下電極と、駆動信号の供給源に導通される駆動電極とから構成され、
前記振動板側から、共通下電極、下層圧電体、駆動電極、上層圧電体、共通上電極の順にそれぞれ積層して形成し、
前記共通上電極を上層圧電体の幅方向一端から他端まで一連に形成し、
前記共通上電極を前記共通下電極よりも幅広に設けたことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記共通上電極を前記駆動電極よりも幅広に設けたことを特徴とする請求項9に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記共通上電極を前記共通下電極および前記駆動電極よりも薄くしたことを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記共通上電極を金で作製する一方、前記共通下電極および前記駆動電極を白金で作製したことを特徴とする請求項11に記載の液体噴射ヘッド。
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