JP4830100B2 - 被検査物の測定方法、及び被検査物の測定装置 - Google Patents
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Description
先ず、CPU31は、所定のデータを表示装置37に送信し、設定画面を表示させる(ステップ181)。この設定画面には、例えば、表示すべき画像の種類(音速像、インピーダンス像、密度像などのいずれかの画像)を選択するためのチェックボックスや周波数を指定するためのテキストボックスが表示されている。そして、ユーザにより入力装置36が操作されて、チェックボックスにて画像の種類が選択され、テキストボックスに所定の周波数が入力される。ここで、例えば、音速像が選択された場合、画像生成手段としてのCPU31は、入力された周波数に対応する1画面分の音速Cのデータをメモリ34から順次読み出して、その音速Cのデータに基づいて音速像を生成するための画像処理を行う(ステップ182)。すなわち、CPU31は、音速Cを用いてカラー変調処理を行い、音速Cの大きさに応じた画像データを生成する。そして、CPU31は、それら画像データを表示装置37に転送することにより、図12に示すような音速像39を表示させる(ステップ183)。このように、CPU31は、ユーザが指定した周波数の音速像39を表示装置37に表示した後に本処理を終了する。
2…パルス励起型超音波顕微鏡
14a…超音波振動子としての薄膜圧電素子
20…試料載置板としてのガラス基板
20a…非載置面としてのガラス面
21…被検査物としての生体組織
31…処理手段、波形分離手段、及び算出手段としてのCPU
Claims (4)
- パルス励起型超音波顕微鏡を利用して、試料載置板上に載置された被検査物を超音波の反射波に基づいて測定する方法であって、
前記試料載置板における被検査物の非載置面からの反射波を取得するステップと、
前記被検査物からの反射波を取得するステップと、
前記非載置面からの反射波を参照波形として前記被検査物からの反射波を補正するデコンボリューション処理を行うステップと、
前記補正された反射波を用いて前記被検査物の表面の反射波と前記被検査物の裏面の反 射波とを時間領域で分離するステップと、
前記分離された前記被検査物の表面の反射波と前記被検査物の裏面の反射波とをそれぞ れ周波数領域で解析し、その解析結果から、前記被検査物の表面の反射波の周波数とこれ に対応する位相と、前記被検査物の裏面の反射波の周波数とこれに対応する位相とを計算 し、これらに基づいて音速を求めるステップと、
前記非載置面からの反射波と、前記試料載置板の音響インピーダンスと、媒質の音響イ ンピーダンスとから、特定の周波数での超音波の信号強度を求めるとともに、前記特定の 周波数での超音波の信号強度と、前記被検査物の表面の反射波と、水の音響インピーダン スとから、特定の周波数に対応した音響インピーダンスを求めるステップと
を含むことを特徴とする被検査物の測定方法。 - 前記音響インピーダンスを前記音速で除算することにより被検査物の密度を求めることを特徴とする請求項1に記載の被検査物の測定方法。
- 前記音響インピーダンスと前記音速とを乗算することにより被検査物の体積弾性率を求めることを特徴とする請求項1または2に記載の被検査物の測定方法。
- パルス励起型超音波顕微鏡を利用して、試料載置板上に載置された被検査物を超音波の反射波に基づいて測定する測定装置であって、
パルス励起されることによって超音波を被検査物に照射するとともに、前記被検査物からの反射波を受信する超音波振動子と、
前記試料載置板における被検査物の非載置面からの反射波を参照波形として、前記被検査物からの反射波を補正するデコンボリューション処理を行う処理手段と、
前記処理手段により補正された反射波を用いて前記被検査物の表面の反射波と前記被検 査物の裏面の反射波とを時間領域で分離する波形分離手段と、
前記波形分離手段により分離された前記被検査物の表面の反射波と前記被検査物の裏面 の反射波とをそれぞれ周波数領域で解析し、その解析結果から、前記被検査物の表面の反 射波の周波数とこれに対応する位相と、前記被検査物の裏面の反射波の周波数とこれに対 応する位相とを計算し、これらに基づいて音速を算出する音速算出手段と、
前記非載置面からの反射波と、前記試料載置板の音響インピーダンスと、媒質の音響イ ンピーダンスとから、特定の周波数での超音波の信号強度を求めるとともに、前記特定の 周波数での超音波の信号強度と、前記被検査物の表面の反射波と、水の音響インピーダン スとから、特定の周波数に対応した音響インピーダンスを算出する音響インピーダンス演算手段と
を備えることを特徴とする被検査物の測定装置。
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