JP4824530B2 - 希釈冷凍機 - Google Patents
希釈冷凍機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4824530B2 JP4824530B2 JP2006316864A JP2006316864A JP4824530B2 JP 4824530 B2 JP4824530 B2 JP 4824530B2 JP 2006316864 A JP2006316864 A JP 2006316864A JP 2006316864 A JP2006316864 A JP 2006316864A JP 4824530 B2 JP4824530 B2 JP 4824530B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- pressure
- path
- valve
- oil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
循環路5は、真空ポンプ7の吐出口と冷凍機本体1のガス導入口とを連通する導入路5aと、冷凍機本体1のガス導出口と真空ポンプ7の吸入口とを連通する導出路5bから構成され、導入路5aと導出路5bとの間には、両路を連通させ得る弁Vaが設けられている。
定常運転は、流量制御弁V1を作動状態(制御部25での制御状態)にし、弁V2、V5、V6を開け、他の弁を閉じて真空ポンプ7を作動させ、真空ポンプ7から吐出された循環ガスを、オイルフィルタ27、オイルトラップ29に通し、オイルを含まない状態で冷凍機本体1に導入する。冷凍機本体1に導入された循環ガスは前記吸熱を果たした後、導出路5bを経て真空ポンプ7の吸入口に戻る。
定常運転を停止するには、流量制御弁V1を手動にて閉め、弁V5、V6を閉じた後、弁V4を開いてから(弁V2は開、弁V3は閉のまま)真空ポンプ7を停止する。これは、真空ポンプ7停止時の圧力変動により真空ポンプ7内のオイルが導出路5bを逆流したり、オイルフィルタ27やオイルトラップ29からオイルが放出されたりして冷凍機本体1に侵入するのを防ぐためである。
次に運転を再開するには、まず、回収タンク31内の循環ガスを循環路5内に戻して冷凍機本体1を冷却(予冷)する。この場合、回収タンク31内のガスは、少量のオイルを含む可能性があるので、安全のため、弁V5、V6を開けてオイルトラップ29を作動状態としてから弁V3を開けて回収タンク31内のガスを真空ポンプ7の吐出側に戻す。この際、弁V2を閉めたままとし、循環ガスが、真空ポンプ7、導出路5bを逆流して冷凍機本体1に流入するのを防ぐ。なお、弁V4は閉じたままとし、オイルを含むガスが導出路5bに入るのを防ぐ。
前記真空ポンプとしてオイルフリー真空ポンプを用い、前記真空ポンプの吸入側又は吐出側の圧力を検出する圧力検出手段と、前記導出路に設けられ、循環ガスを導入して循環路の圧力上昇を緩和するバッファータンクと、前記圧力検出手段で検出した圧力に応じて、前記冷凍機本体に送り込まれる循環ガス量が過剰とならないように制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。
また、発明の請求項2にかかる希釈冷凍機は、請求項1記載の希釈冷凍機において、前記導出路には、流量制御弁が設けられるとともに、前記流量制御弁よりも上流側に前記バッファータンクが設けられ、前記圧力検出手段は前記導入路に設けられ、前記制御部は、前記圧力検出手段で検出した圧力に応じて前記流量制御弁の開度を調整・制御することを特徴とする。
また、発明の請求項3にかかる希釈冷凍機は、請求項1記載の希釈冷凍機において、前記導出路に設けられた開閉可能な弁と、前記弁と並列に設けられた流路抵抗を有する抵抗体と、を備え、前記圧力検出手段は前記導出路に設けられ、前記バッファータンクは、前記導出路において前記弁よりも上流側に設けられ、前記制御部は、前記圧力検出手段で検出した圧力が所定の圧力以上の時に前記弁を全閉し、前記所定の圧力未満の時に前記弁を全開するように構成されていることを特徴とする。
また、発明の請求項4に係る希釈冷凍機は、請求項1記載の希釈冷凍機において、前記圧力検出手段は前記導入路に設けられており、前記制御部は、前記真空ポンプに設けられるとともにインバータを有し、前記圧力検出手段からの圧力値に基づいて前記真空ポンプの回転数をインバータ制御し、その回転数が所定の値を越えないように抑制するように構成されていることを特徴とする。
定常運転は、流量制御弁V1を作動状態にし、弁Vaを閉じた状態で、真空ポンプ7を作動させ、真空ポンプ7から吐出した循環ガスを、吸着装置41を経て冷凍機本体1に導入する。
定常運転を停止するには、流量制御弁V1を手動にして閉めて真空ポンプ7を停止するるだけである。真空ポンプ7停止時の圧力変動はバッファータンク36で吸収される。
次に運転を再開するには、弁Vaを閉じ、流量制御弁V1を作動状態としてから真空ポンプ7を作動させるだけで直ちに前記定常運転となる。
5 循環路
5a 導入路
5b 導出路
7 真空ポンプ
36 バッファータンク
Claims (4)
- 冷凍機本体と、該冷凍機本体への循環ガスの導入及び該冷凍機本体からの循環ガスの排出のための循環路と、循環路に設けて循環ガスを循環させる真空ポンプとを備え、前記循環路は、前記真空ポンプの吐出口と前記冷凍機本体のガス導入口とを連通する導入路と、前記冷凍機本体のガス導出口と前記真空ポンプの吸入口とを連通する導出路とから構成されている希釈冷凍機において、
前記真空ポンプとしてオイルフリー真空ポンプを用い、
前記真空ポンプの吸入側又は吐出側の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記導出路に設けられ、循環ガスを導入して循環路の圧力上昇を緩和するバッファータンクと、
前記圧力検出手段で検出した圧力に応じて、前記冷凍機本体に送り込まれる循環ガス量が過剰とならないように制御する制御部と、を備えたことを特徴とする希釈冷凍機。 - 前記導出路には、流量制御弁が設けられるとともに、前記流量制御弁よりも上流側に前記バッファータンクが設けられ、
前記圧力検出手段は前記導入路に設けられ、
前記制御部は、前記圧力検出手段で検出した圧力に応じて前記流量制御弁の開度を調整・制御することを特徴とする請求項1記載の希釈冷凍機。 - 前記導出路に設けられた開閉可能な弁と、
前記弁と並列に設けられた流路抵抗を有する抵抗体と、を備え、
前記圧力検出手段は前記導出路に設けられ、
前記バッファータンクは、前記導出路において前記弁よりも上流側に設けられ、
前記制御部は、前記圧力検出手段で検出した圧力が所定の圧力以上の時に前記弁を全閉し、前記所定の圧力未満の時に前記弁を全開するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の希釈冷凍機。 - 前記圧力検出手段は前記導入路に設けられており、
前記制御部は、前記真空ポンプに設けられるとともにインバータを有し、前記圧力検出手段からの圧力値に基づいて前記真空ポンプの回転数をインバータ制御し、その回転数が所定の値を越えないように抑制するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の希釈冷凍機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006316864A JP4824530B2 (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 希釈冷凍機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006316864A JP4824530B2 (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 希釈冷凍機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008128613A JP2008128613A (ja) | 2008-06-05 |
JP4824530B2 true JP4824530B2 (ja) | 2011-11-30 |
Family
ID=39554616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006316864A Expired - Fee Related JP4824530B2 (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 希釈冷凍機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4824530B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS554933A (en) * | 1978-06-26 | 1980-01-14 | Hitachi Ltd | Helium gas recovering device |
JP2673898B2 (ja) * | 1988-11-18 | 1997-11-05 | 理学電機株式会社 | ▲上3▼He−▲上4▼He希釈冷凍機 |
JP2666664B2 (ja) * | 1992-05-29 | 1997-10-22 | 石川島播磨重工業株式会社 | 超流動ヘリウムを製造する方法及び装置 |
JP3571837B2 (ja) * | 1996-03-01 | 2004-09-29 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍装置 |
JP3644683B2 (ja) * | 2003-02-28 | 2005-05-11 | 大陽日酸株式会社 | 希釈冷凍機 |
-
2006
- 2006-11-24 JP JP2006316864A patent/JP4824530B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008128613A (ja) | 2008-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI493106B (zh) | Cryogenic pump system, compressor and cryogenic pump regeneration method | |
KR101293382B1 (ko) | 가솔린 베이퍼 회수 장치 | |
KR100733770B1 (ko) | 유증기 환원장치 | |
JP4671772B2 (ja) | ガス状炭化水素の処理・回収装置及び方法 | |
KR101215211B1 (ko) | 가스상태 탄화 수소의 처리· 회수 장치 및 방법 | |
KR100750790B1 (ko) | 냉동 장치의 시공 방법 | |
JP4671940B2 (ja) | ガス状炭化水素の処理・回収装置及びその方法 | |
JP2010266154A (ja) | 二酸化炭素液化装置 | |
CN213066639U (zh) | 压缩机用气体轴承的供气***和制冷*** | |
JP3606854B2 (ja) | 高湿度燃料ガスの圧縮供給装置 | |
KR100616583B1 (ko) | Pfc계 가스회수방법 및 장치 | |
JP4824530B2 (ja) | 希釈冷凍機 | |
JP5606714B2 (ja) | 抽気回収装置とその運転方法及びそれを備えたターボ冷凍機 | |
JP5647879B2 (ja) | 吸着式冷凍システム | |
JP4270574B2 (ja) | 溶剤の回収装置 | |
JP2013248615A (ja) | ガソリンベーパ回収装置 | |
TWI403354B (zh) | Recovery device and method for gas - like hydrocarbon | |
JP2000135412A (ja) | ガス回収装置及びガス回収方法 | |
JP2020116545A (ja) | 低温精製装置及び低温精製装置の運転方法 | |
JP2023122006A (ja) | 吸着剤再生装置および除去システム | |
KR100662893B1 (ko) | 흡수식 냉동사이클의 냉매재생방법 및 냉매재생장치 | |
JP2005098596A (ja) | 吸収冷凍機 | |
JPH05340620A (ja) | 極低温冷凍装置用常温精製装置 | |
JP2002181401A (ja) | 吸収冷凍機 | |
JPH1026432A (ja) | 吸収式冷凍機およびその運転方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090611 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110407 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110413 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20110422 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110831 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110908 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4824530 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140916 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140916 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |