JP4799426B2 - 輪郭部の欠け検査方法およびその装置 - Google Patents
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Description
図1中、1は被検査体Sを撮影する撮像装置であり、2は撮像装置1により撮影された撮像画像が入力される画像処理装置であり、該画像処理装置2は撮像画像を二値化等の画像処理を行うものである。3は撮像装置1による撮像時、被検査体Sを照明するLED光源である。
21 二値化手段
24 マスク手段
25 抽出手段
27 カウント手段
28 判定手段
Claims (5)
- 二値化された撮像画像の輪郭内部から輪郭を越える範囲までを、一定のピッチでマスキング領域が減少されていくマスクによりマスキングするとともにマスキング時、一定のピッチ毎に得られる非マスキング領域画像における欠け画像の連続性をもつ座標値およびその面積中心に基いて、同じ欠け画像を有する非マスキング領域画像の枚数をカウントし、ピッチ間隔にカウント数を積算することにより欠けの大きさを判定することを特徴とする輪郭部の欠け検査方法。
- マスクを設計図データに基いて作成することを特徴とする請求項1に記載の輪郭部の欠け検査方法。
- マスキングのピッチを検出精度に応じて変動させることを特徴とする請求項1まはた2に記載の輪郭部の欠け検査方法。
- 検査対象を撮影する撮影装置により得られた撮像画像を二値化画像に変換する二値化手段と、二値化画像の輪郭内部から輪郭を越える範囲を、一定のピッチでマスキング領域を減少させてマスキングするマスク手段と、一定のピッチで二値化画像をマスキングすることにより得られた非マスキング領域画像に現れる欠け画像の連続性をもつ座標値およびその面積中心に基いて、同じ欠け画像を有する非マスキング領域画像を抽出する抽出手段と、抽出された非マスキング領域画像数をカウントするカウント手段と、カウントされた非マスキング領域画像のカウント数にピッチ間隔を積算することにより欠けの大きさを判定する判定手段とを備えたことを特徴とする輪郭部の欠け検査装置。
- 二値化画像に現れる微小傷像を消去する消去手段を設けたことを特徴とする請求項4に記載の輪郭部の欠け検査装置。
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