JP4794649B2 - レーザ加工用偏光変換器 - Google Patents
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Description
入射光が順次入射される第1の4分の1波長鏡、第1の全反射鏡、第2の全反射鏡及び第2の4分の1波長鏡、あるいは、半波長鏡及び全反射鏡を有して構成され、入射光に対して同軸の出射光を出射し、入射光に対して半波長板と同等の作用を与える第1のユニットと、第1のユニットからの出射光が入射光として順次入射される第1の4分の1波長鏡、第1の全反射鏡、第2の全反射鏡及び第2の4分の1波長鏡、あるいは、半波長鏡及び全反射鏡を有して構成され、入射光に対して同軸の出射光を出射し、入射光に対して半波長板と同等の作用を与える第2のユニットとを備え、第1及び第2のユニットの少なくとも一方は、入射光の光軸回りに任意の角度だけ回転されるようになっており、各ユニットの相対角度位置が0度位置であるとき、入射光がアジマス偏光(AP)であれば、出射光の偏光分布をアジマス偏光(AP)とし、入射光がラジアル偏光(RP)であれば、出射光の偏光分布をラジアル偏光(RP)とし、各ユニットの相対角度位置が45度位置であるとき、入射光がアジマス偏光(AP)であれば、出射光の偏光分布をラジアル偏光(RP)とし、入射光がラジアル偏光(RP)であれば、出射光の偏光分布をアジマス偏光(AP)とすることを特徴するものである。
入射光が順次入射される第1の4分の1波長鏡、第2の4分の1波長鏡、回転ユニット、第3の4分の1波長鏡及び第4の4分の1波長鏡、あるいは、第1の半波長鏡、第1の全反射鏡、回転ユニット、第2の半波長鏡及び第2の全反射鏡を備え、回転ユニットは、入射光が順次入射される第1乃至第3の全反射鏡を有して構成され、この回転ユニットに対する入射光に対して同軸の出射光を出射し、入射光の光軸回りに任意の角度だけ回転されるようになっており、回転ユニットの角度位置が0度位置であるとき、入射光がアジマス偏光(AP)であれば、出射光の偏光分布をアジマス偏光(AP)とし、入射光がラジアル偏光(RP)であれば、出射光の偏光分布をラジアル偏光(RP)とし、回転ユニットの角度位置が22.5度位置であるとき、入射光がアジマス偏光(AP)であれば、出射光の偏光分布をラジアル偏光(RP)とし、入射光がラジアル偏光(RP)であれば、出射光の偏光分布をアジマス偏光(AP)とすることを特徴するものである。
図1は、本発明に係るレーザ加工用偏光変換器の第1の実施形態における構成を示す平面図である。
図3は、本発明に係るレーザ加工用偏光変換器の第2の実施形態における構成を示す平面図である。
2 第2のユニット
3 第1のQWM
4 第1のHRM
5 第2のHRM
6 第2のQWM
7 第3のQWM
8 第3のHRM
9 第4のHRM
10 第4のQWM
11 入射光
12 出射光
13 出射光
14 出射光
21 回転ユニット
Claims (2)
- 入射光が順次入射される第1の4分の1波長鏡、第1の全反射鏡、第2の全反射鏡及び第2の4分の1波長鏡、あるいは、半波長鏡及び全反射鏡を有して構成され、前記入射光に対して同軸の出射光を出射し、前記入射光に対して半波長板と同等の作用を与える第1のユニットと、
前記第1のユニットからの出射光が入射光として順次入射される第1の4分の1波長鏡、第1の全反射鏡、第2の全反射鏡及び第2の4分の1波長鏡、あるいは、半波長鏡及び全反射鏡を有して構成され、前記入射光に対して同軸の出射光を出射し、前記入射光に対して半波長板と同等の作用を与える第2のユニットと
を備え、
前記第1及び第2のユニットの少なくとも一方は、入射光の光軸回りに任意の角度だけ回転されるようになっており、前記各ユニットの相対角度位置が0度位置であるとき、入射光がアジマス偏光であれば、出射光の偏光分布をアジマス偏光とし、入射光がラジアル偏光であれば、出射光の偏光分布をラジアル偏光とし、前記各ユニットの相対角度位置が45度位置であるとき、入射光がアジマス偏光であれば、出射光の偏光分布をラジアル偏光とし、入射光がラジアル偏光であれば、出射光の偏光分布をアジマス偏光とする
ことを特徴するレーザ加工用偏光変換器。 - 入射光が順次入射される第1の4分の1波長鏡、第2の4分の1波長鏡、回転ユニット、第3の4分の1波長鏡及び第4の4分の1波長鏡、あるいは、第1の半波長鏡、第1の全反射鏡、回転ユニット、第2の半波長鏡及び第2の全反射鏡を備え、
前記回転ユニットは、入射光が順次入射される第1乃至第3の全反射鏡を有して構成され、この回転ユニットに対する入射光に対して同軸の出射光を出射し、前記入射光の光軸回りに任意の角度だけ回転されるようになっており、
前記回転ユニットの角度位置が0度位置であるとき、入射光がアジマス偏光であれば、出射光の偏光分布をアジマス偏光とし、入射光がラジアル偏光であれば、出射光の偏光分布をラジアル偏光とし、前記回転ユニットの角度位置が22.5度位置であるとき、入射光がアジマス偏光であれば、出射光の偏光分布をラジアル偏光とし、入射光がラジアル偏光であれば、出射光の偏光分布をアジマス偏光とする
ことを特徴するレーザ加工用偏光変換器。
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009106984A JP4794649B2 (ja) | 2009-04-24 | 2009-04-24 | レーザ加工用偏光変換器 |
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