JP4776454B2 - 追尾式レーザ干渉計 - Google Patents
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Description
=(ΔL2−ΔL3)/2+ΔL1 …(2)
=(ΔL2−ΔL3)/2+ΔL1 …(3)
=(ΔL2−ΔL3)/2+ΔL1 …(4)
212…基準球
214…キャリッジ
216…レーザ干渉計
218、219…変位計
222…コリメータレンズ
230…偏光ビームスプリッタ(PBS)
236…無偏光ビームスプリッタ(NPBS)
238…4分割フォトダイオード(QPD)
240…偏光板
250…データ処理装置
252X…X軸モータ
252Y…Y軸モータ
260…支持枠
262…ベース
270…平面鏡
272…光検出器
Claims (6)
- 被測定体であるレトロリフレクタに向けて照射し、該レトロリフレクタによって戻り方向に反射されたレーザビームの干渉を利用してレトロリフレクタの変位を検出すると共に、前記レーザビームの光軸の位置の変化を用いてトラッキングを行うようにした追尾式レーザ干渉計において、
固定配設された基準球と、
該基準球の中心を中心として回動するようにされたキャリッジと、
該キャリッジ上に設けられた、前記レトロリフレクタの変位に応じた変位信号を出力するレーザ干渉計、及び、前記基準球と変位計との相対的な変位に応じた変位信号を出力する変位計と、
該変位計が出力する変位信号と、レーザ干渉計が出力する変位信号とから、基準球を基準としたレトロリフレクタの変位を算出するデータ処理装置と、
前記レトロリフレクタから反射されてレーザ干渉計に戻ってくるレーザビームが、その光軸と直交する方向にずれたとき、そのずれ量に応じた位置信号を出力する位置検出手段と、
該位置検出手段からの位置信号に基づいて、前記ずれ量がゼロになるようにキャリッジの回動を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする追尾式レーザ干渉計。 - 前記レーザ干渉計が、マイケルソン干渉計であることを特徴とする請求項1に記載の追尾式レーザ干渉計。
- 前記変位計が、前記基準球の両側に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の追尾式レーザ干渉計。
- 前記変位計が、静電容量式変位計又は過電流式変位計であることを特徴とする請求項1又は3に記載の追尾式レーザ干渉計。
- 前記基準球が金属製であることを特徴とする請求項1又は3に記載の追尾式レーザ干渉計。
- 前記位置検出手段が、4分割フォトダイオード又は2次元PSDであることを特徴とする請求項1又は3に記載の追尾式レーザ干渉計。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9316487B2 (en) | 2013-05-24 | 2016-04-19 | Mitutoyo Corporation | Laser tracking interferometer |
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