JP4774510B2 - プラズマ蒸着装置 - Google Patents
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Description
2 棒電極
3 円筒電極
4 第2の支持部材
5 円筒管
6 ケーシング
7 先端部蓋
8 後端部蓋
10 第1の支持部材
11、12 貫通孔
13 噴出口
14、16 絶縁管
15、17 蒸着原料
18 エアポンプ
19 高圧電源
20 蒸着対象物
21 蒸着層
Claims (5)
- リング状または円筒状電極と、棒状電極と、高圧電源とを有し、前記リング状または円筒状電極と前記棒状電極との間に前記高圧電源による所定の電圧を印加することによって、前記リング状または円筒状電極と前記棒状電極との間に放電を発生させ、該放電の熱によって前記リング状または円筒状電極と前記棒状電極との間に配置した蒸着原料を蒸発させてプラズマ化し、該プラズマをエアポンプによるガスの注入によって、そのガスとともに対象物に向けて大気中で噴出することによって該対象物に対する前記蒸着原料の蒸着を行うことを特徴とするプラズマ蒸着装置。
- 前記棒状電極が、前記リング状または円筒状電極の中心軸上の位置に設けられたことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ蒸着装置。
- 請求項1または2に記載のプラズマ蒸着装置を複数備えてなることを特徴とするマルチ型のプラズマ蒸着装置。
- 前記リング状または円筒状電極と該棒状電極との間に放電を発生させたときに該棒状電極の先端を冷却する手段を設けたことを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ蒸着装置。
- 前記棒状電極が中空の円筒状であり、前記リング状または円筒状電極と該棒状電極との間に放電を発生させたとき、該棒状電極の中空内部にガスを通過させることによって、該棒状電極の先端を冷却することを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ蒸着装置。
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