JP4760931B2 - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4760931B2 JP4760931B2 JP2009047818A JP2009047818A JP4760931B2 JP 4760931 B2 JP4760931 B2 JP 4760931B2 JP 2009047818 A JP2009047818 A JP 2009047818A JP 2009047818 A JP2009047818 A JP 2009047818A JP 4760931 B2 JP4760931 B2 JP 4760931B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrodes
- wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14547—Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
第1電極(3)は、曲線または折れ線による閉じられた周形状の複数の電極(11)が、同心状に所定間隔で配置された構成であり、第2電極(4)は、第1電極(3)と同じ周形状の複数の電極(11、12)が、第1電極(3)の中心側もしくは外側に、第1電極(3)に対して同心状に所定間隔で配置された構成であることを特徴としている。
これによれば、第1、第2電極(3、4)が配線と連続しているので、擬似的に、第1、第2電極(3、4)に端部が存在しない状態にでき、請求項1に記載の発明と同様の効果が得られる。
図1に、本実施形態における弾性表面波素子の上面レイアウトを示す。また、図2に図1中のII−II線断面図を示す。なお、図1では、IDT3にドット模様を付し、反射器4を塗りつぶして表示している。
図3に、本実施形態における弾性表面波素子の上面レイアウトを示す。本実施形態は、第1実施形態の弾性表面波素子1に対してIDT3および反射器4の電極パターンを変更したものであり、以下では、変更点を説明する。
図4に、本実施形態における弾性表面波素子の上面レイアウトを示す。本実施形態は、第1実施形態の弾性表面波素子1に対してIDT3および反射器4の電極パターンを変更したものであり、以下では、変更点を説明する。
図5に、本実施形態における弾性表面波素子の上面レイアウトを示す。本実施形態は、第1実施形態の弾性表面波素子1に対してIDT3および反射器4の電極パターンを変更したものであり、以下では、変更点を説明する。
図6に、本実施形態における弾性表面波素子の上面レイアウトを示す。第4実施形態では、IDT3および反射器4をなす電極11、12が奇数の多角形形状であったが、本実施形態では、これらの電極11、12が偶数の多角形形状となっている。
図7に、本実施形態における弾性表面波素子の上面レイアウトを示す。また、図8に図7中のVIII−VIII線断面図を示す。本実施形態は、第1実施形態に対して、弾性表面波素子1の構成を変更したものであり、以下では、変更点のみを説明する。
図9に、本実施形態における弾性表面波素子の上面レイアウトを示す。また、図10に図9中のX−X線断面図を示し、図11に図9中のXI−XI線断面図を示す。本実施形態は、第1実施形態に対して、弾性表面波素子1の構成を変更したものであり、以下では、変更点のみを説明する。
図12に、本実施形態における弾性表面波素子の上面レイアウトを示す。また、図13に図12中のXIII−XIII線断面図を示す。本実施形態は、第1実施形態に対してIDT3と反射器4の位置を入れ替えたものである。
図14に、本実施形態における弾性表面波素子の上面レイアウトを示す。また、図15に図14中のXV−XV線断面図を示す。本実施形態は、第1実施形態に対してIDT3に接続される配線の位置を基板2の内部から空中に変更したものである。
図17に、本実施形態における弾性表面波素子の上面レイアウトを示す。また、図18に図17中のXVIII−XVIII線断面図を示す。本実施形態は、第1実施形態に対してIDT3に接続される配線の位置を基板2の内部から基板2の平面上に変更したものである。
図21に、本実施形態における弾性表面波素子の上面レイアウトを示す。本実施形態は、第10実施形態の一部を変更したものであり、以下では変更点のみを説明する。
(1)第10、11実施形態の弾性表面波素子は、第1実施形態の弾性表面波素子に対してIDT3に接続される配線の位置を基板2の内部から基板2の平面上に変更したものであったが、第6〜第8実施形態の弾性表面波素子に対して、IDT3に接続される配線の位置を基板2の内部から基板2の平面上に変更しても良い。
2 基板
3、3a、3b IDT
4、4a、4b 反射器
7、27、31 IDTに電気的に接続されている配線
11 IDTを構成する電極
12 反射器を構成する電極
Claims (10)
- 一部もしくは全部が圧電材料で構成された基板(2)の平面上に、弾性表面波の発生もしくは受信が可能な第1電極(3)と、前記第1電極に対して物理的に離れた位置にある第2電極(4)とが形成された弾性表面波素子において、
前記第1電極は弾性表面波を発生させる駆動電極(3)であり、前記第2電極は伝搬された弾性表面波を反射する反射器(4)であり、
前記第1電極(3)は、曲線または折れ線による閉じられた周形状の複数の電極(11)が、同心状に所定間隔で配置された構成であり、
前記第2電極(4)は、前記第1電極(3)と同じ周形状の複数の電極(11、12)が、前記第1電極(3)の中心側もしくは外側に、前記第1電極(3)に対して同心状に所定間隔で配置された構成であることを特徴とする弾性表面波素子。 - 前記第1電極(3)は、曲線による閉じられた周形状の複数の電極(11)が、同心状に所定間隔で配置された構成であり、
前記第1電極(3)と前記第2電極(4)のうち中心側に位置する方は、前記曲線の任意の2点での法線が、前記曲線の内部で交差し、前記曲線の外部で交差しない形状であることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波素子。 - 前記第1電極(3)は、多角形形状の複数の電極(11)が、同心状に所定間隔で配置された構成であることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波素子。
- 前記第1電極(3)を構成する複数の電極(11)が角を偶数個有する多角形形状であることを特徴とする請求項3に記載の弾性表面波素子。
- 一部もしくは全部が圧電材料で構成された基板(2)の平面上に、弾性表面波の発生もしくは受信が可能な第1電極(3、3a)と、前記第1電極に対して物理的に離れた位置にある第2電極(4、3b)とが形成された弾性表面波素子において、
前記第1電極(3、3a)は、折れ線による閉じられた周形状であって、角を偶数個有する多角形の複数の電極(11)が、同心状に所定間隔で配置された構成であり、
前記第2電極(4、3b)は、前記第1電極(3、3a)と同じ周形状の複数の電極(11、12)が、前記第1電極(3、3a)の中心側もしくは外側に、前記第1電極(3、3a)に対して同心状に所定間隔で配置された構成であり、
前記第1、第2電極がなす前記多角形の各辺に垂直な方向において、前記第1、第2電極の辺がすべて正対していることを特徴とする弾性表面波素子。 - 前記第1電極(3、3a)に電気的に接続された配線(7)を備え、
前記配線(7)は前記基板(2)の内部に形成されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つ記載の弾性表面波素子。 - 前記第1電極(3、3a)に電気的に接続された配線(27)を備え、
前記配線(27)は前記基板(2)の前記平面から所定高さ離れた空中に形成されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つ記載の弾性表面波素子。 - 一部もしくは全部が圧電材料で構成された基板(2)の平面上に、弾性表面波の発生もしくは受信が可能な第1電極(3、3a)と、前記第1電極に対して物理的に離れた位置にある第2電極(4、3b)とが形成された弾性表面波素子において、
前記基板(2)の平面上に、前記第1電極(3、3a)に接続された配線(31)が形成されており、
前記第1電極(3、3a)は、前記配線(31)を避けて曲線もしくは折れ線による周状に形成された複数の電極(11)が、同心状に所定間隔で配置された構成であり、
前記第2電極(4、3b)は、前記第1電極の中心側もしくは外側に、前記配線(31)を避けて曲線もしくは折れ線による周状に形成された複数の電極(12)が、前記第1電極に対して同心状に所定間隔で配置された構成であり、
前記第1、第2電極(3、4)の端部(32、33)と前記配線(31)との間に絶縁膜(34、35)が介在しており、
前記第1、第2電極(3、4)と前記配線(31)とが前記絶縁膜(34、35)を介して連続していることを特徴とする弾性表面波素子。 - 一部もしくは全部が圧電材料で構成された基板(2)の平面上に、弾性表面波の発生もしくは受信が可能な第1電極(3)と、前記第1電極に対して物理的に離れた位置にある第2電極(4)とが形成された弾性表面波素子において、
前記第1電極は弾性表面波を発生させる駆動電極(3)であり、前記第2電極は伝搬された弾性表面波を反射する反射器(4)であり、
前記基板(2)の平面上に、前記第1電極(3)に接続された配線(31)が形成されており、
前記第1電極(3)は、前記配線(31)を避けて曲線もしくは折れ線による周状に形成された複数の電極(11)が、同心状に所定間隔で配置された構成であり、
前記第2電極(4)は、前記第1電極の中心側もしくは外側に、前記配線(31)を避けて曲線もしくは折れ線による周状に形成された複数の電極(12)が、前記第1電極に対して同心状に所定間隔で配置された構成であることを特徴とする弾性表面波素子。 - 前記第1電極は弾性表面波を発生させる駆動電極(3a)であり、前記第2電極は伝搬された弾性表面波を受信する検出用電極(3b)であることを特徴とする請求項5または8に記載の弾性表面波素子。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009047818A JP4760931B2 (ja) | 2009-03-02 | 2009-03-02 | 弾性表面波素子 |
US12/659,197 US8330557B2 (en) | 2009-03-02 | 2010-02-26 | Surface acoustic wave device having concentrically arranged electrodes |
DE201010002473 DE102010002473A1 (de) | 2009-03-02 | 2010-03-01 | Einrichtung für eine akustische Oberflächenwelle |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009047818A JP4760931B2 (ja) | 2009-03-02 | 2009-03-02 | 弾性表面波素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010206363A JP2010206363A (ja) | 2010-09-16 |
JP4760931B2 true JP4760931B2 (ja) | 2011-08-31 |
Family
ID=42538707
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009047818A Expired - Fee Related JP4760931B2 (ja) | 2009-03-02 | 2009-03-02 | 弾性表面波素子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8330557B2 (ja) |
JP (1) | JP4760931B2 (ja) |
DE (1) | DE102010002473A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017157426A1 (en) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | Centre National De La Recherche Scientifique | Acoustic tweezers |
US20200316586A1 (en) | 2016-05-24 | 2020-10-08 | Centre National De La Recherche Scientifique | Acoustic tweezers |
DE102016115260B3 (de) * | 2016-08-17 | 2018-02-08 | Infineon Technologies Ag | Schallwellensensor |
WO2019081521A1 (en) | 2017-10-25 | 2019-05-02 | Universite De Lille | ACOUSTIC KNIVES |
CN110868188A (zh) * | 2019-11-25 | 2020-03-06 | 武汉大学 | 一种基于环形电极的超高频谐振器结构 |
CN113676150A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-11-19 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | 一种兰姆波器件及其制备方法 |
CN116032238A (zh) * | 2023-02-13 | 2023-04-28 | 成都频岢微电子有限公司 | 一种叉指换能器及蜂窝状结构声表面波滤波器 |
CN115996039B (zh) * | 2023-03-23 | 2023-07-11 | 武汉敏声新技术有限公司 | 多工器 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USRE23813E (en) * | 1947-12-26 | 1954-04-20 | Piezoelectric transducer and method for producing same | |
NL261168A (ja) * | 1960-03-07 | |||
US3582838A (en) * | 1966-09-27 | 1971-06-01 | Zenith Radio Corp | Surface wave devices |
US3523200A (en) * | 1968-02-28 | 1970-08-04 | Westinghouse Electric Corp | Surface wave piezoelectric resonator |
US3760204A (en) * | 1972-03-01 | 1973-09-18 | Motorola Inc | Acoustic surface wave resonator |
SU627558A1 (ru) * | 1975-09-15 | 1978-10-05 | Московский Инженерно-Физический Институт | Ультразву2ова лини задержки на поверхностных волнах |
US4453242A (en) * | 1982-07-13 | 1984-06-05 | Rca Corporation | Surface acoustic wave cutterhead for disc recording having a circular transducer |
JPS61199314A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-03 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振子 |
FR2661292B1 (fr) * | 1990-04-24 | 1995-07-21 | Thomson Csf | Filtre a ondes de surface et a faibles pertes. |
JP2987468B2 (ja) * | 1991-03-28 | 1999-12-06 | ニスカ株式会社 | 水準検出方法および装置 |
US5374863A (en) * | 1992-06-29 | 1994-12-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Surface acoustic wave device, and demodulation device and communication system using the same |
JPH09150502A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-06-10 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴噴射装置 |
JP2939504B2 (ja) * | 1995-12-28 | 1999-08-25 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録装置およびインクジェット記録方法 |
JP3587354B2 (ja) * | 1999-03-08 | 2004-11-10 | 株式会社村田製作所 | 横結合共振子型表面波フィルタ及び縦結合共振子型表面波フィルタ |
US6720842B2 (en) * | 2000-02-14 | 2004-04-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter device having first through third surface acoustic wave filter elements |
GB2363011B (en) * | 2000-05-31 | 2002-04-17 | Acoustical Tech Sg Pte Ltd | Surface acoustic wave device |
JP3823699B2 (ja) | 2000-07-12 | 2006-09-20 | 凸版印刷株式会社 | 球状弾性表面波素子 |
JP2004040636A (ja) * | 2002-07-05 | 2004-02-05 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波装置 |
JP4507239B2 (ja) * | 2003-09-16 | 2010-07-21 | 祥子 塩川 | 弾性表面波を利用した加熱装置 |
JP4423976B2 (ja) * | 2004-01-21 | 2010-03-03 | セイコーエプソン株式会社 | 薄膜弾性表面波デバイス |
JP2005318547A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-11-10 | Sanyo Electric Co Ltd | バルク波デバイス |
JP2007181087A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Toshiba Corp | 薄膜圧電共振器およびフィルタ回路 |
DE102006042616B4 (de) * | 2006-09-04 | 2008-07-03 | Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. | Wellenleiterbauelemente auf der Grundlage akustischer Oberflächenwellen und deren Verwendung |
US8018010B2 (en) * | 2007-04-20 | 2011-09-13 | The George Washington University | Circular surface acoustic wave (SAW) devices, processes for making them, and methods of use |
-
2009
- 2009-03-02 JP JP2009047818A patent/JP4760931B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-02-26 US US12/659,197 patent/US8330557B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-01 DE DE201010002473 patent/DE102010002473A1/de not_active Ceased
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8330557B2 (en) | 2012-12-11 |
DE102010002473A1 (de) | 2010-09-09 |
JP2010206363A (ja) | 2010-09-16 |
US20100219910A1 (en) | 2010-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4760931B2 (ja) | 弾性表面波素子 | |
JP5931868B2 (ja) | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 | |
JP6710161B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP4591800B2 (ja) | 弾性表面波デバイスおよび弾性表面波発振器 | |
KR102329740B1 (ko) | 탄성파 장치 | |
JP5471303B2 (ja) | 振動片及び振動子 | |
JP5833102B2 (ja) | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 | |
JP4569447B2 (ja) | 弾性表面波素子片および弾性表面波デバイス | |
WO2011087018A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP4858730B2 (ja) | 弾性表面波デバイスおよび弾性表面波発振器 | |
US8207649B2 (en) | Surface wave resonator having reduced parasitic resonance | |
JP5815383B2 (ja) | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 | |
JP3871547B2 (ja) | タッチパネル装置 | |
JP6767497B2 (ja) | 弾性波素子 | |
JP5527410B2 (ja) | 温度センサ | |
JP6748010B2 (ja) | 弾性波デバイスの製造方法 | |
JP2017028543A (ja) | 弾性表面波素子 | |
JP2005318366A (ja) | 圧電薄膜共振子、フィルタ及び圧電薄膜共振子の製造方法 | |
JP5662052B2 (ja) | 弾性波装置 | |
US10840882B2 (en) | Crystal unit and manufacturing method thereof | |
WO2021261485A1 (ja) | 弾性波装置及び通信装置 | |
JP5886911B2 (ja) | 弾性波装置および実装体 | |
JP4687345B2 (ja) | 薄膜バルク音響共振器 | |
JP7515586B2 (ja) | 弾性波装置及び通信装置 | |
JP5882842B2 (ja) | 弾性表面波素子および弾性表面波装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100622 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110325 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110523 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140617 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4760931 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140617 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |