JP4759760B2 - 微細霧化粒子洗浄装置 - Google Patents
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Description
6a 仕切板
7 霧化液体供給装置
8 霧化液体
9 超音波振動子
10 発振器
11 霧化粒子
12 搬送ガス供給装置
13 搬送管
14 デミスタ部
15 フィルタ
16 搬送管
17 ノズル部
18 被洗浄体
19 冷却装置
20 冷却部
21 搬送管
Claims (4)
- 液体供給装置から霧化液体が供給され、該供給された霧化液体を霧化する超音波振動子が底部に装着され、該超音波振動子の上部に装着され、前記霧化液体の近傍に掛けて内部に傾斜して仕切板を設け、超音波振動子で霧化された霧化粒子に、前記超音波振動子の上部に装着された吹き出し口から、搬送ガス供給装置からの搬送ガスを前記仕切板に吹き付けて大径の霧化粒子が除去される霧化部と、該霧化部から搬送管を通って搬送された微小霧化粒子から大径の霧化粒子を除去するフィルタを備えたデミスタ部と、該デミスタ部から搬送ガスとともに搬送された微小霧化粒子を吹き出すノズル部とを備え、該ノズル部から吹き出された微小霧化粒子を被洗浄体に吹き付けて洗浄することを特徴とする微細霧化粒子洗浄装置。
- 前記デミスタ部から搬送ガスとともに搬送された霧化粒子を冷却装置で冷却して、さらに大径の霧化粒子を除去し、前記ノズル部から前記被洗浄体に吹き付けて洗浄することを特徴とする請求項1記載の微細霧化粒子洗浄装置。
- 前記搬送ガス供給装置から搬送されるガスは窒素ガス、アルゴン、炭酸ガス又はドライエアーであることを特徴とする請求項1及び2のいずれか1項記載の微細霧化粒子洗浄装置。
- 前記霧化液体は機能水又は電解イオン水であることを特徴とする請求項1及び2のいずれか1項記載の微細霧化粒子洗浄装置。
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