JP4759637B2

JP4759637B2 - 振動装置及びそれを用いた画像機器

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Publication number: JP4759637B2
Application number: JP2009263998A
Authority: JP
Inventors: 澄夫川合
Original assignee: Olympus Imaging Corp
Current assignee: Olympus Imaging Corp
Priority date: 2008-12-22
Filing date: 2009-11-19
Publication date: 2011-08-31
Anticipated expiration: 2029-11-19
Also published as: JP2010171939A

Description

本発明は、自己の光電変換面上に照射された光に対応した画像信号を得る撮像素子を備える撮像装置や、スクリーンに投影する画像を表示する表示素子を備える画像投影装置等の、画像形成素子を備える画像機器、及び、そのような画像機器において画像形成素子の前面に配される防塵部材を振動させる振動装置に関する。

近年、撮像素子を用いた撮像装置や液晶等の表示素子を用いた画像投影装置のような、画像形成素子を用いた画像機器において、画質の向上は著しい。そのため、撮像素子や表示素子といった画像形成素子の表面またはその前面に位置する透明部材（光学素子）の表に塵埃が付着することで、生成する画像に塵埃の影を画像に生じさせてしまうことが、大きな問題となっている。

例えば、カメラ本体に対して撮影光学系を着脱自在となるように構成し、ユーザが所望するとき所望の撮影光学系を任意に着脱し交換することで、単一のカメラ本体において複数種類の撮影光学系を選択的に使用し得るように構成した所謂「レンズ交換可能な」形態のデジタルカメラが、一般に実用化されている。このようなレンズ交換可能なデジタルカメラにおいては、当該撮影光学系をカメラ本体から取り外した際にカメラが置かれた周囲環境に浮遊する塵埃がカメラ本体内に侵入し、あるいは、カメラ本体内部には例えばシャッタ・絞り機構等の機械的に動作する各種の機構が配されていることから、これら各種の機構等からその動作中にゴミ等が発生し、撮像素子の表面やその前面に位置するレンズやカバーガラス等の透明部材（光学素子）の表面に塵埃が付着してしまう場合がある。

また、ＣＲＴ、液晶等の表示素子に表示した画像を、光源と投影光学系とを用いてスクリーン上に拡大投影し、画像を観賞するといったプロジェクタも実用化されており、そのようなプロジェクタにおいても、表示素子の表面やその前面に位置するレンズやカバーガラス等の透明部材（光学素子）の表面に塵埃が付着して、塵埃の影がスクリーンに拡大投影されてしまうことが発生することもあった。

そこで、そのような画像機器内部の画像形成素子表面やその前面に位置するレンズやカバーガラス等の透明部材（光学素子）の表面に付着した塵埃を除去する機構が各種開発されている。

例えば、特許文献１は、画像形成素子の前面に該画像形成素子と一体にユニット化して透明な円盤状のガラス板（防塵部材）を配置し、この円盤状のガラス板の外周部に沿って一組の円環板状の圧電素子（加振部材）を固着し、各々の圧電素子に所定の周波数の周波電圧を印加することにより、円盤状のガラス板の円周方向に進む屈曲進行波が発生して、円盤状のガラス板に付着している塵埃を除去する塵埃除去機構を備えた電子撮像装置を開示している。この特許文献１には、円盤ガラス板の径方向に進行波を発生させる方法として、同心円状に円環圧電体を一組円盤状のガラス板に固着したものも開示されている。

また、特許文献２では、矩形板状の防塵部材の対向する辺に夫々圧電素子を設け、圧電素子に所定の周波数の振動を発生させ、防塵部材を共振させて、一方の辺から他方の辺に向けて屈曲の進行波が発生する振動モードにして、矩形板状の防塵部材に付着している塵埃を除去する塵埃除去機構を備えたカメラを開示している。この特許文献２に開示されているような振動モードでは、加振部材である圧電素子が固着した防塵部材が全面にわたり、同じ振幅で振動することになる。

特開２００４−３２１９１号公報特開２００２−２０４３７９号公報

上記特許文献１に開示されているような円盤状のガラス板（防塵部材）の外周部に沿って一組の円環板状の圧電素子（加振部材）を固着した構成では、円盤状のガラス板の中心の振幅が小さいため、中心部の塵埃を除去することができない。また、円盤状のガラス板の外周部ほど振動振幅が大きいが、この位置で円盤状のガラス板を支持するので、その支持することによって振動を減衰させてしまう。

また、同心円状に円環圧電体を一組円盤状のガラス板に固着した構成では、一組の圧電体の大きさが同じ形状にはならずに夫々の圧電体が発生する波の強さが一致しないので、進行波を効率よく作ることができない。さらに、上記円盤状のガラス板の外周部に沿って一組の円環板状の圧電素子を固着した構成の場合と同様に、円盤状のガラス板の外周部も大きく振動することになるので、円盤状のガラス板を振動の減衰が無く支持することができない。

また、上記特許文献２では、防塵部材周辺部でも大きな振動振幅を得ることができるが、防塵部材の周辺部を支持しようとすると振動を減衰させてしまい、充分な振動振幅を得ることができない。

本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、非円形の防塵部材に発生させた進行波の進行範囲内において、当該進行波の振動速度を高くするとともに充分な振動振幅が得られるようにした塵埃除去能力の高い振動装置、及び、そのような振動装置を用いた画像機器を提供することを目的とする。

本発明の振動装置の一態様は、
全体として板状をなす防塵部材と、
上記防塵部材上に設けられ、単独で振動することによって上記防塵部材に第１の定在波振動を発生させる第１の加振部材と、
上記防塵部材上に設けられ、単独で振動することによって上記防塵部材に第２の定在波振動を発生させる第２の加振部材と、
を具備し、
上記第１の加振部材と上記第２の加振部材は、当該第１の加振部材と当該第２の加振部材とを振動させた際に発生する、上記第１の定在波振動と上記第２の定在波振動とが重なることによって、一方向に進む進行波であって、且つ、振動振幅を殆ど持たない節領域を上記防塵部材の外周側に持つ進行波を発生させる位置に配置されていることを特徴とする。

また、本発明の画像機器の一態様は、
光学的な画像が生成される画像面を有する画像形成素子と、
全体として板状をなし、少なくとも自己の中心から放射方向に所定の広がりを持つ領域が透明部をなし、この透明部が上記画像面に対し所定の間隔を持って対向配設されている防塵部材と、
上記画像形成素子と上記防塵部材との両者が対向して形成される部位に、密閉された空間部を構成すべく当該画像形成素子及び当該防塵部材の周縁側で上記空間部を封止するように構成された封止構造部と、
上記画像面に光学画像を生成するための光線が透過する透過範囲外の、上記防塵部材上の位置に配置されていて、単独で振動することによって当該防塵部材に第１の定在波振動を発生させる第１の加振部材と、
上記防塵部材の、上記透過範囲外で、かつ、上記第１の加振部材とは重ならない位置に配置されていて、単独で振動することによって上記防塵部材に第２の定在波振動を発生させる第２の加振部材と、
を具備し、
上記第１の加振部材と上記第２の加振部材は、当該第１の加振部材と当該第２の加振部材とを振動させた際に発生する、上記第１の定在波振動と上記第２の定在波振動とが重なることによって、一方向に進む進行波であって、且つ、振動振幅を殆ど持たない節領域を上記防塵部材の外周側に持つ進行波を発生させる位置に配置されていることを特徴とする。

この場合、上記画像形成素子の上記画像面に対して上記所定の間隔を持って対向配置される上記防塵部材を支持するための支持部材を有し、当該支持部材は、当該防塵部材の外周側にある上記進行波の上記振動振幅を殆ど持たない節領域に配置されているようにすれば、振動を減衰させることなく支持できる。

本発明によれば、非円形の防塵部材に発生させた進行波の進行範囲内において、当該進行波の振動速度を高くするとともに充分な振動振幅が得られるようにした塵埃除去能力の高い振動装置、及び、そのような振動装置を用いた画像機器を提供することができる。

図１は、本発明の画像機器の第１実施形態としてのデジタルカメラの主に電気的なシステム構成例を概略的に示すブロック図である。図２は、デジタルカメラの塵埃除去機構を含む撮像素子ユニットの縦断側面図である。図３は、塵埃除去機構をレンズ側から見た正面図である。図４は、塵埃除去機構を構成する主要部の分解斜視図である。図５（Ａ）は、防塵フィルタに発生する振動の様子を説明するための防塵フィルタの正面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のＢＢ線断面図であり、図５（Ｃ）は、図５（Ａ）のＣＣ線断面図である。図６は、防塵フィルタに発生する進行波を説明するための防塵フィルタの概念図である。図７（Ａ）乃至（Ｃ）はそれぞれ、図５（Ａ）乃至（Ｃ）の状態から進行波が１波長分進んだ状態を示す図である。図８は、防塵フィルタ制御回路の構成を概略的に示す回路図である。図９は、防塵フィルタ制御回路における各構成部材から出力される各信号を説明するためのタイムチャートを示す図である。図１０は、第１実施形態におけるデジタルカメラのＢｕｃｏｍが行なうカメラシーケンス（メインルーチン）の手順を例示するフローチャートを示す図である。図１１（Ａ）は、図１０中のサブルーチン「無音加振動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図であり、図１１（Ｂ）乃至（Ｄ）はそれぞれ、図１１（Ａ）のサブルーチン「無音加振動作」の各タイミングにて並行して実行される「表示動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図である。図１２は、無音加振動作において、加振部材へ連続的に供給される共振周波数の波形を表わす図である。図１３は、本発明の画像機器の第２実施形態としてのデジタルカメラにおける防塵フィルタに発生する振動の様子を説明するための図である。図１４は、本発明の画像機器の第３実施形態としてのデジタルカメラにおけるサブルーチン「無音加振動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図である。

以下、本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。

［第１実施形態］
以下に具体的に例示する本発明の画像機器は、光電変換によって画像信号を得る撮像素子ユニットの塵埃除去機構を有するものであり、ここでは一例として電子カメラ（以下「カメラ」と略称する）の塵埃除去機能に係わる改良技術として説明する。特に、本第１実施形態では、レンズ交換可能な一眼レフレックス式電子カメラ（デジタルカメラ）に関して、図１乃至図３を参照して説明する。尚、図１は、本発明の画像機器の第１実施形態としてのデジタルカメラの主に電気的なシステム構成例を概略的に示すブロック図である。また、図２は、該デジタルカメラの塵埃除去機構を含む撮像素子ユニットの縦断側面図（図３でのＡＡ線断面図）であり、図３は、塵埃除去機構をレンズ側から見た正面図である。

まず、図１を参照して本実施形態におけるデジタルカメラ１０のシステム構成例について説明する。

このデジタルカメラ１０は、カメラ本体としてのボディユニット１００と、アクセサリ装置の一つである交換レンズとしてのレンズユニット２００とによりシステム構成されている。

レンズユニット２００は、ボディユニット１００の前面に設けられた図示しないレンズマウントを介して着脱自在である。レンズユニット２００の制御は、自身が有するレンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｌｕｃｏｍ”と称する）２０１が行う。ボディユニット１００の制御は、ボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｂｕｃｏｍ”と称する）１０１が行う。これらＬｕｃｏｍ２０１とＢｕｃｏｍ１０１とは、ボディユニット１００にレンズユニット２００を装着した状態において通信コネクタ１０２を介して互いに通信可能に電気的に接続される。そして、カメラシステムとして、Ｌｕｃｏｍ２０１がＢｕｃｏｍ１０１に従属的に協働しながら稼動するように構成されている。

レンズユニット２００は、撮影レンズ２０２と絞り２０３を備える。撮影レンズ２０２は、レンズ駆動機構２０４内に設けられた図示しないＤＣモータによって駆動される。絞り２０３は、絞り駆動機構２０５内に設けられた図示しないステッピングモータによって駆動される。Ｌｕｃｏｍ２０１は、Ｂｕｃｏｍ１０１の指令に基づいてこれら各モータを制御する。

ボディユニット１００内には、以下のような構成部材が図示の如く配設されている。例えば、光学系としての一眼レフ方式の構成部材（ペンタプリズム１０３、スクリーン１０４、クイックリターンミラー１０５、接眼レンズ１０６、サブミラー１０７）と、撮影光軸上のフォーカルプレーン式のシャッタ１０８と、サブミラー１０７からの反射光束を受けてデフォーカス量を検出するためのＡＦセンサユニット１０９と、が設けられている。

また、ＡＦセンサユニット１０９を駆動制御するＡＦセンサ駆動回路１１０と、クイックリターンミラー１０５を駆動制御するミラー駆動機構１１１と、シャッタ１０８の先幕と後幕を駆動するばねをチャージするシャッタチャージ機構１１２と、これら先幕と後幕の動きを制御するシャッタ制御回路１１３と、ペンタプリズム１０３からの光束を検出する測光センサ１１４に基づき測光処理を行う測光回路１１５が設けられている。

撮影光軸上には、上述の光学系を通過した被写体像を光電変換するための撮像ユニット１１６が設けられている。撮像ユニット１１６は、画像形成素子としての撮像素子であるＣＣＤ１１７と、その前面に配設された光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）１１８と、防塵部材である防塵フィルタ１１９とを、ユニットとして一体化してなるものである。ここで、本実施形態では、少なくとも透明部が空気と異なる屈折率を有する透明なガラス板（光学素子）を、上記防塵フィルタ１１９として使用している。しかしながら、上記ガラス板（光学素子）に限定されるものではなく、光路上に在り光の透過性をもった部材（光学素子）であれば良い。例えば、透明なガラス板（光学素子）に換えて、光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）、赤外カットフィルタ、偏向フィルタ、ハーフミラーなどであっても良い。この場合、振動に係わる周波数や駆動時間、加振部材（後述する）の設置位置などは、その部材に対応した値に設定する。また、ここでは撮像素子としてＣＣＤ１１７を例に挙げているが、もちろん、ＣＭＯＳやその他の撮像素子であっても構わない。

以下、防塵部材である防塵フィルタ１１９については、上述したように光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）等、様々な材質を用いることができるが、本実施例では、ガラス板（光学素子）を採用しているとして説明する。

上記防塵フィルタ１１９の周縁部には、２つの圧電素子１２０ａ，１２０ｂが取り付けられている。圧電素子１２０ａ，１２０ｂは、夫々２つの電極を有しており、圧電素子１２０ａ，１２０ｂを防塵フィルタ制御回路１２１によって所定の周波数で振動させることで、防塵フィルタ１１９に所定の振動を発生させ、フィルタ表面に付着した塵埃を除去し得るように構成されている。また、撮像ユニット１１６に対しては、手ブレ補正用の防振ユニットが付加されている。

また、本実施形態におけるデジタルカメラ１０は、ＣＣＤ１１７に接続したＣＣＤインターフェース回路１２２と、液晶モニタ１２３と、記憶領域として機能するＳＤＲＡＭ１２４やＦｌａｓｈＲＯＭ１２５などを利用して画像処理する画像処理コントローラ１２６とを備え、電子撮像機能とともに電子記録表示機能を提供できるように構成されている。ここで、記録メディア１２７は、各種のメモリカードや外付けのＨＤＤ等の外部記録媒体であり、通信コネクタを介してボディユニット１００と通信可能且つ交換可能に装着される。そして、この記録メディア１２７に撮影により得られた画像データが記録される。その他の記憶領域としては、カメラ制御に必要な所定の制御パラメータを記憶する、例えばＥＥＰＲＯＭからなる不揮発性メモリ１２８がＢｕｃｏｍ１０１からアクセス可能に設けられている。

Ｂｕｃｏｍ１０１には、当該デジタルカメラ１０の動作状態を表示出力によってユーザへ告知するための動作表示用ＬＣＤ１２９及び動作表示用ＬＥＤ１３０と、カメラ操作ＳＷ１３１と、ストロボ１３２を駆動するストロボ制御回路１３３と、が接続されている。ここで、動作表示用ＬＣＤ１２９あるいは動作表示用ＬＥＤ１３０には、防塵フィルタ制御回路１２１が動作している期間、防塵フィルタ１１９の振動動作を表示する表示部が設けられている。カメラ操作ＳＷ１３１は、例えばレリーズＳＷ、モード変更ＳＷ及びパワーＳＷなど、当該デジタルカメラ１０を操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群である。さらに、該ボディユニット１００内には、電源としての電池１３４と、該電池１３４の電圧を当該デジタルカメラ１０を構成する各回路ユニットが必要とする電圧に変換して供給する電源回路１３５が設けられ、また、外部電源から不図示のジャックを介して電流が供給されたときの電圧変化を検知する電圧検出回路（図示せず）も設けられている。

上述のように構成されたデジタルカメラ１０の各部は、概略的には以下のように稼動する。まず、画像処理コントローラ１２６は、Ｂｕｃｏｍ１０１の指令に従ってＣＣＤインターフェース回路１２２を制御してＣＣＤ１１７から画像データを取り込む。この画像データは画像処理コントローラ１２６でビデオ信号に変換され、液晶モニタ１２３で出力表示される。ユーザは、この液晶モニタ１２３の表示画像から、撮影した画像イメージを確認できる。

ＳＤＲＡＭ１２４は、画像データの一時的保管用メモリであり、画像データが変換される際のワークエリアなどに使用される。また、画像データは、ＪＰＥＧデータに変換された後、記録メディア１２７に保管される。

ミラー駆動機構１１１は、クイックリターンミラー１０５をアップ位置とダウン位置へ駆動するための機構であり、このクイックリターンミラー１０５がダウン位置にある時、撮影レンズ２０２からの光束はＡＦセンサユニット１０９側とペンタプリズム１０３側へと分割されて導かれる。ＡＦセンサユニット１０９内のＡＦセンサからの出力は、ＡＦセンサ駆動回路１１０を介してＢｕｃｏｍ１０１へ送信されて周知の測距処理が行われる。一方、ペンタプリズム１０３を通過した光束の一部は測光回路１１５内の測光センサ１１４へ導かれ、ここで検知された光量に基づき周知の測光処理が行われる。

次に、図２及び図３を参照してＣＣＤ１１７を含む撮像ユニット１１６について説明する。

撮像ユニット１１６は、撮影光学系を透過し自己の光電変換面上に照射された光に対応した画像信号を得る撮像素子としてのＣＣＤ１１７と、ＣＣＤ１１７の光電変換面側に配設され、撮影光学系を透過して照射される被写体光束から高周波成分を取り除く光学ＬＰＦ１１８と、この光学ＬＰＦ１１８の前面側において所定間隔をあけて対向配置された防塵部材である防塵フィルタ１１９と、この防塵フィルタ１１９の周縁部に配設されて防塵フィルタ１１９に対して所定の振動を与えるための加振部材である圧電素子１２０ａ，１２０ｂと、を備える。

ここで、ＣＣＤ１１７のＣＣＤチップ１３６は、固定板１３７上に配設されたフレキシブル基板１３８上に直接実装され、このフレキシブル基板１３８の両端から出た接続部１３９ａ，１３９ｂが、主回路基板１４０に設けられたコネクタ１４１ａ，１４１ｂを介して主回路基板１４０側と接続されている。また、ＣＣＤ１１７が有する保護ガラス１４２は、スペーサ１４３を介してフレキシブル基板１３８上に固着されている。

また、ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦ１１８との間には、弾性部材等からなるフィルタ受け部材１４４が配設されている。このフィルタ受け部材１４４は、ＣＣＤ１１７の前面側周縁部で光電変換面の有効範囲を避ける位置に配設され、且つ、光学ＬＰＦ１１８の背面側周縁部の近傍に当接することで、ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦ１１８との間を略気密性が保持されるように構成されている。そして、ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦ１１８とを気密的に覆うホルダ１４５が配設されている。このホルダ１４５は、撮影光軸周りの略中央部分に矩形状の開口１４６を有し、この開口１４６の防塵フィルタ１１９側の内周縁部には断面が略Ｌ字形状の段部１４７が形成され、開口１４６に対してその後方側から光学ＬＰＦ１１８及びＣＣＤ１１７が配設されている。ここで、光学ＬＰＦ１１８の前面側周縁部を段部１４７に対して略気密的に接触させるように配置することで、光学ＬＰＦ１１８は段部１４７によって撮影光軸方向における位置規制がなされ、ホルダ１４５の内部から前面側に対する抜け止めがなされる。尚、ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦ１１８との気密状態は、塵埃の侵入によって撮影画像に塵埃が写り込み、当該画像に塵埃の影響の出ることを防止可能なレベルであれば良く、必ずしも気体の侵入を完全に防止するレベルでなくても良い。

一方、ホルダ１４５の前面側の周縁部には、防塵フィルタ１１９を光学ＬＰＦ１１８の前面に所定間隔あけて保持するために段部１４７周りで段部１４７よりも前面側に突出させた防塵フィルタ受け部１４８が全周に亘って形成されている。この防塵フィルタ受け部１４８の開口部分が、結像光線通過エリア１４９となる。全体として多角形の板状（ここでは四角形）に形成された防塵フィルタ１１９は、一端部がねじ１５０で防塵フィルタ受け部１４８に固定された板ばね等の弾性体から成る押圧部材１５１によって、押圧状態で防塵フィルタ受け部１４８に支持される。ここで、押圧部材１５１と防塵フィルタ１１９の間にはゴムや樹脂等の振動減衰性のある受け部材１５２が介在され、一方、防塵フィルタ１１９の背面側の外周縁部に配設された圧電素子１２０ａ，１２０ｂ部分には、防塵フィルタ受け部１４８との間に光軸に略対称位置にゴム等の振動減衰性のある受け部材１５３が介在され、防塵フィルタ１１９の振動を阻害しないように保持をしている。また、光軸と垂直な面内における防塵フィルタ１１９のＹ方向の位置決めは、押圧部材１５１のＺ方向曲げ部に支持部材１５４を介して受けることにより行い、一方、同様に光軸と垂直な面内におけるＸ方向は、図３に示すように、ホルダ１４５に設けた支持部１５５に支持部材１５４を介して受けることにより位置決めしている。支持部材１５４もゴムや樹脂等の振動減性のある材料で形成され、防塵フィルタ１１９の振動を阻害しないようにしている。受け部材１５２，１５３の配置位置は、後に述べる防塵フィルタ１１９の進行波振動の周辺部に発生する振動振幅を殆ど持たないエリア位置にすると防塵フィルタ１１９の振動をほとんど阻害することが無く、高効率な塵埃除去機構を構成できる。また、防塵フィルタ１１９の周辺部と防塵フィルタ受け部１４８との間には、環状のリップ部を持つシール１５６が設置され、開口１４６を含む空間の気密状態が確保されている。撮像ユニット１１６は、このようにしてＣＣＤ１１７を搭載する所望の大きさに形成されたホルダ１４５を備える気密構造に構成されている。尚、防塵フィルタ１１９と防塵フィルタ受け部１４８との気密状態は、塵埃の侵入によって撮影画像に塵埃が写り込み、当該画像に塵埃の影響の出ることを防止可能なレベルであれば良く、必ずしも気体の侵入を完全に防止するレベルでなくても良い。

また、上述したように、上記防塵フィルタ１１９は、上記受け部材１５２，１５３を介して上記押圧部材１５１によって防塵フィルタ受け部１４８に支持されているが、少なくとも上記受け部材１５３による支持を上記シール１５６に肩代わりさせても良い。

さらに、加振部材である圧電素子１２０ａ，１２０ｂには、フレキシブルプリント基板であるフレキ１５７ａ，１５７ｂが端部に電気接続され、防塵フィルタ制御回路１２１からの後に述べる所定の電気信号を圧電素子１２０ａ，１２０ｂに入力し、圧電素子１２０ａ，１２０ｂに所定の振動を発生させている。フレキ１５７ａ，１５７ｂは、樹脂と銅箔等で作製されて柔軟性があることから圧電素子１２０ａ，１２０ｂの振動を減衰させることが少ない。また、振動振幅の小さいところ（後に述べる振動の節位置）に設けることで、より振動の減衰を抑えることができる。一方、以下に述べるような手ブレ補正機構を持つ場合、圧電素子１２０ａ，１２０ｂはボディユニット１００に対して相対的に移動するので、防塵フィルタ制御回路１２１がボディユニット１００と一体の固定部材にある場合には手ブレ補正機構の動作に従って、フレキ１５７ａ，１５７ｂは変形し、変位する。この場合、フレキ１５７ａ，１５７ｂは柔軟性があり薄いため、有効であり、手ブレ補正機構をもつカメラには最適である。

防塵フィルタ１１９でその表面から離脱した塵埃は後に述べるように、その振動の慣性力と、重力の作用により、ボディユニット１００の下側に落下する。そこで、本実施形態では、防塵フィルタ１１９の下側直近に設けた台１５８に、粘着材、粘着テープ等で形成された保持材１５９を配設し、落下した塵埃を確実に保持し、再び防塵フィルタ１１９の表面に戻らないようにしてある。防塵フィルタ１１９の直下に塵埃を集めるように振動を発生し、直下に保持材１５９を配置することで、塵埃がボディユニット１００内の他の機構に飛散して他の機能に不具合を発生することが無いと言う利点もある。

次に、簡単に手ブレ補正機能について説明する。この手ブレ補正機構は、図１に示すように、Ｘ軸ジャイロ１６０、Ｙ軸ジャイロ１６１、防振制御回路１６２、Ｘ軸アクチュエータ１６３、Ｙ軸アクチュエータ１６４、Ｘ枠１６５、Ｙ枠１６６（ホルダ１４５）、フレーム１６７、位置検出センサ１６８及びアクチュエータ駆動回路１６９から構成され、カメラのＸ軸回りの手ブレの角速度を検出するＸ軸ジャイロ１６０とカメラのＹ軸周りの手ブレの角速度を検出するＹ軸ジャイロ１６１とからの角速度信号から、防振制御回路１６２により手ブレ補償量を演算し、撮影光軸の方向をＺ軸方向とした場合、撮影光軸に直交するＸＹ平面内で直交する第１の方向であるＸ軸方向及び第２の方向であるＹ軸方向に、撮像素子であるＣＣＤ１１７をブレを補償するように変位移動させるものである。即ち、アクチュエータ駆動回路１６９から所定の駆動信号を入力するとＸ軸方向にＣＣＤ１１７を駆動するＸ軸アクチュエータ１６３と、同じく、所定の駆動信号を入力するとＹ軸方向にＣＣＤ１１７を駆動するＹ軸アクチュエータ１６４を駆動源として用い、Ｘ枠１６５と撮像ユニット１１６中のＣＣＤ１１７を搭載したＹ枠１６６（ホルダ１４５）とをフレーム１６７に対して移動する移動対象物として構成される。ここで、Ｘ軸アクチュエータ１６３及びＹ軸アクチュエータ１６４は、電磁回転モータとネジ送り機構等を組み合わせたものや、ボイスコイルモータを用いた直進電磁モータや、直進圧電モータ等が用いられている。尚、位置検出センサ１６８は、Ｘ枠１６５及びＹ枠１６６の位置を検出するものであり、防振制御回路１６２は該位置検出センサ１６８での検出結果に基づいて、変位移動可能な範囲を超えてＸ軸アクチュエータ１６３及びＹ軸アクチュエータ１６４駆動しないように、アクチュエータ駆動回路１６９を制御する。

ここで、第１実施形態の塵埃除去機構について図４乃至図７を参照してさらに詳しく説明する。図４は、塵埃除去機構を構成する主要部（振動子）の分解斜視図であり、図５は、防塵フィルタ１１９に発生する振動の様子を説明するための図で、特に図５（Ａ）は防塵フィルタ１１９の正面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＢＢ線断面図、図５（Ｃ）は図５（Ａ）のＣＣ線断面図である。図６は、防塵フィルタ１１９に発生する進行波を説明するための防塵フィルタ１１９の概念図（図５（Ｂ）に相当）である。図７は、図５の状態から進行波が１波長分進んだ状態を示す図である。

防塵フィルタ１１９は、全体として多角形の板状（本実施形態は四角形）のガラス板（光学素子）からなり、少なくとも自己の中心から放射方向に所定の広がりを持つ領域が透明部を構成している。尚、防塵フィルタ１１９は、円形の一部を直線状にカットしたＤ形状であっても構わない。そして、上述した取り付け手段により、この防塵フィルタ１１９の透明部が光学ＬＰＦ１１８の前面側に所定の間隔をもって対向配置されている。また、防塵フィルタ１１９の一方の面（本実施形態では背面側）の上側周縁部には、当該防塵フィルタ１１９に対して振動を与えるための第１の加振部材である圧電素子１２０ａが、例えば接着剤による貼着等の手段により配設されている。さらに、防塵フィルタ１１９の下側周縁部には、当該防塵フィルタ１１９に対して振動を与えるための第２の加振部材としての圧電素子１２０ｂが、同様に接着剤による貼着等の手段により配設されている。防塵フィルタ１１９に圧電素子１２０ａ，１２０ｂを夫々配設することで振動子１７０が形成され、該振動子１７０は、圧電素子１２０ａ，１２０ｂに所定の周波電圧を印加すると共振振動し、図５に示す屈曲振動を発生する。

図４に示すように、圧電素子１２０ａ，１２０ｂには、信号電極１７１ａ，１７１ｂと、該信号電極１７１ａ，１７１ｂに対向した裏面に設けられ、側面を通して上記信号電極１７１ａ，１７１ｂのある側の面に引き回された信号電極１７２ａ，１７２ｂとが形成されている。そして、信号電極１７１ａ，１７１ｂと信号電極１７２ａ，１７２ｂに、上記導電性パターンを持つフレキ１５７ａ，１５７ｂが電気的に夫々接続されている。夫々の電極１７１ａ，１７１ｂ，１７２ａ，１７２ｂには、フレキ１５７ａ，１５７ｂを介して接続された防塵フィルタ制御回路１２１によって位相の異なる所定周期を有する駆動電圧を印加することで、防塵フィルタ１１９に２つの定在波屈曲振動を発生させることができ、それら２つの定在波屈曲振動が重なることによって、防塵フィルタ１１９に図５に示す２次元の進行波屈曲振動を発生させることができるように構成されている。尚、図５（Ａ）では、防塵フィルタ１１９の中立面１７３が凸のエリア１７４と中立面１７３が凹のエリア１７５とを判別し易くするために異なるハッチングを付してある。

また、図５では、防塵フィルタ１１９は、矢印１７６で示す進行波の進行方向（Ｙ方向）が、進行波の進行方向に直交する方向よりも短い形状になっている。このように構成すると、進行波の進む距離が短くても結像光線通過エリア１４９に所定以上の振動振幅を発生可能で、塵埃除去の効率が良い。また、振動の節１７７付近は振動振幅が小さくなるが、Ｘ方向の屈曲振動の波長λ’即ちλｘが長く出来ることから、振動振幅が所定以上になるＸ方向の範囲も長くできるという利点もある。

次に、図６を用いて進行波の発生方法について詳しく説明する。図６は、図５（Ｂ）と対応する断面を示してある。

振動子１７０が所定時間ｔ０のときに実線に示した状態にあり、実線と破線で示す屈曲定在波が発生しているとすると、Ｙ＝０をＹ方向の基準位置として任意のＹ方向の振動子表面の質点Ｙ１の任意時刻ｔのＹ方向に沿った任意の位置ｙでの振動ｚは、屈曲振動の波長λｙごとに同じ位相で振動し、Ｙ＝２π・ｙ／λｙとおけば距離を位相角に変換することができ、振動の角速度ω、Ｚ方向の最大振幅Ａとして、下記の（１）式の通り表される。

ｚ＝Ａｓｉｎ（Ｙ）・ｃｏｓ（ωｔ） …（１）
ｙ＝０に配置された圧電素子１２０ａのみに後に述べる周波電圧が印加されると、上記（１）式の定在波が発生し、時間ｔ＝０の状態が実線で示してある（破線はｔ＝π／ωの状態）。

ここで、圧電素子１２０ａ，１２０ｂが図６に矢印１７８で示す方向に分極し、圧電素子１２０ｂの配設位置（圧電素子のＹ方向幅の中心）と、圧電素子１２０ａの配置位置（圧電素子のＹ方向幅の中心）との間隔Ｈが、ｋを奇数として、Ｈ＝ｋ（λｙ／４）となるように圧電素子１２０ａ，１２０ｂを配置し、また、圧電素子１２０ｂに印加される電圧は圧電素子１２０ａに印加する電圧に対して位相がπ／２ずれたものを印加する。この状態で、上記（１）式と同様にＹ方向の任意の位置ｙの振動ｚとすると、ｚは下記の（２）式の通りとなる。

ｚ＝Ａ・ｓｉｎ（Ｙ）・ｃｏｓ（ωｔ）
＋Ａ・ｓｉｎ（Ｙ＋π／２）・ｃｏｓ（ωｔ＋π／２） …（２）
この（２）式の第２項は、圧電素子１２０ｂのみに上記の周波電圧を印加した時の定在波振動を示している。従って、この（２）式は、第１項の圧電素子１２０ａの定在波振動と第２項の圧電素子１２０ｂの定在波振動とを重ね合わせることを意味している。

上記（２）式は、
ｚ＝Ａ・ｓｉｎ（Ｙ）・ｃｏｓ（ωｔ）
＋Ａ・ｓｉｎ（Ｙ＋π／２）・ｃｏｓ（ωｔ＋π／２）
＝Ａ・ｓｉｎ（Ｙ）・ｃｏｓ（ωｔ）−Ａ・ｃｏｓ（Ｙ）・ｓｉｎ（ωｔ）
＝Ａ・ｓｉｎ（Ｙ−ωｔ）
と変形できる。

つまり、この状態での振動ｚは、
ｚ＝Ａ・ｓｉｎ（Ｙ−ωｔ） …（３）
と示すことができ、この（３）式は、進行波を表している。このように、単独で定在波振動を発生させる振動子を２つ、Ｈ＝ｋ（λｙ／４）となる位置関係に配置し、それぞれに位相がπ／２ずれた所定周波数の電圧を印加すると、進行波振動を発生させることができる。

上記（３）式の進行波の進む方向は、Ｙ方向の正方向で、図６に矢印１７６で示す方向である。この時、防塵フィルタ１１９の表面の質点Ｙ１は、図６に示されるように楕円振動１７９をする。図６では、防塵フィルタ１１９に付着した塵埃は下方に慣性力を受けることになり、重力と合せて、より塵埃を離脱させる力が強くなる。

上記のような進行波の発生により、図７に示すように、図５で示した振動振幅の大きなエリア１８０及び振動振幅の殆ど無いエリア１８１は上方に移動することになる。従って、防塵フィルタ１１９のＸ方向の周辺部にできる、Ｙ方向に平行な振動の節１７７Ｙ（太い破線で表示）以外の場所は、全て振動振幅の大きなエリア１８０となる。

ここで、Ｘ方向の振動を見てみると、屈曲の定在波が発生していることがわかる（図５（Ｃ）参照）。この屈曲定在波の波長をλｘとし、結像光線通過エリア１４９のＸ方向サイズをＥｘとすると、λｘ／２＞Ｅｘであり、結像光線通過エリア１４９は、進行波の進行による振動振幅の大きな領域よりも小さいので、結像光線通過エリア１４９は十分な振動振幅を持つこととなり、塵埃の除去を確実にすることができる。

尚、図５（Ｃ）に示すように、Ｘ方向の圧電素子１２０ａ，１２０ｂの長さＳｘをλｘ／２以下とすれば、屈曲定在波振動の同位相のエリアになる（逆位相にならないエリアと言う意味）ことにより、高効率で振動を発生可能である。勿論、図３に示すように、λｘ／２より長くしても問題はない。

また、図７のＹ方向に平行な振動の節１７７Ｙ（太い破線で表示）は、進行波を発生させても、屈曲定在波振動の節となるため、この部分をＺ方向に押圧をかけて保持すると、振動の減衰が発生せず確実な支持ができる。この節１７７Ｙ部分は、Ｚ方向には小さな振動振幅しか持たないが、Ｘ方向、Ｙ方向には大きな振幅をもつ場合がある。このような場合は、ゴム等の振動減衰部材で作られた支持部材１５４を介して押圧支持することにより、防塵フィルタ１１９の振動を阻害することが無いので、効率良く支持をすることができる。一方、シール１５６も、その左右の２辺を上記節１７７Ｙに沿って設ければ、振動減衰は殆どなく、また、進行波発生部にシール１５６の上下の２辺が接触するが、該シール１５６をリップ形状にすることにより、屈曲振動振幅方向には力が強く作用しないように構成してあるので、シール１５６による振動の減衰は極めて少ない。

また、圧電素子１２０ａ，１２０ｂを振動させる上記所定の周波数は、振動子１７０を構成する防塵フィルタ１１９の形状、材質や支持の状態によって決まるものであるが、通常、温度は振動子１７０の弾性係数に影響し、その固有振動数を変化させる要因の１つとなっている。そのため、運用時にその温度を計測して、その固有振動数の変化を考慮するのが好ましい。この場合、温度測定回路（不図示）に接続された温度センサ（不図示）がデジタルカメラ１０内に設けられており、温度センサの計測温度から予め決められた振動子１７０の振動周波数の補正値を不揮発性メモリ１２８に記憶させ、計測温度と補正値をＢｕｃｏｍ１０１に読み込み、駆動周波数を演算して防塵フィルタ制御回路１２１の駆動周波数とすることによって、温度変化に対しても効率の良い振動を発生することができる。

このように構成される圧電素子１２０ａ，１２０ｂに対しては、防塵フィルタ制御回路１２１によって、夫々の板厚方向に所定の周波数の電圧が印加されている。上記（２）式で示したように、防塵フィルタ制御回路１２１の出力される第１の周波信号は、圧電素子１２０ａに印加され、この第１の周波信号と同じ周波数であるが位相がπ／２ずれた第２の周波信号が、圧電素子１２０ｂに印加される。

このように圧電素子１２０ａ，１２０ｂに周波信号を印加すると、上記（３）式のように、振動子１７０には図７に矢印１７６で示すような上側に進行する進行波が発生する。進行波の発生したときの防塵フィルタ１１９の面上の点の動きをみると、振動子１７０の両側に振動の節１７７Ｙを持つ振動モードとなっている。そして、本実施形態では、この節１７７Ｙの部分を受け部材１５２，１５３を介して押圧支持している。受け部材１５２，１５３は、ゴム等の振動減衰性のある軟質材料で形成されているので、防塵フィルタ１１９の面方向振動は許容し、押圧方向の振動は抑制するが、押圧支持方向の振動成分は殆ど無い節部分であるので防塵フィルタ１１９の結像光線通過エリア１４９の振動を減衰することがない。

次に、本実施形態におけるデジタルカメラ１０の防塵フィルタ制御回路１２１について、以下に説明する。

図８は、デジタルカメラ１０のボディユニット１００における防塵フィルタ制御回路１２１の構成を概略的に示す回路図である。図９は、図８の防塵フィルタ制御回路１２１における各構成部材から出力される各信号形態を示すタイムチャートである。

Ｂｕｃｏｍ１０１の内部に含まれるクロックジェネレータ１０１１（図８参照）は、圧電素子１２０ａ，１２０ｂに印加すべき信号周波数よりも充分に速い周波数でパルス信号（基本クロック）を出力する（図９に示すＳｉｇ１参照）。この基本クロック信号は、防塵フィルタ制御回路１２１のＮ進カウンタ１２１１に入力される。

Ｎ進カウンタ１２１１は、パルス信号をカウントし、所定値Ｎに達するごとにカウント終了パルス信号を出力する。即ち、基本クロック信号を１／Ｎで分周することになる（図９のＳｉｇ２参照）。

分周されたパルス信号は、ＨｉｇｈとＬｏｗのデューティー比が１：１では無いので、第１の１／２分周回路１２１２を介してデューティー比を１：１に変換する。この時に周波数は半分になる（図９のＳｉｇ３参照）。この第１の１／２分周回路１２１２の出力信号は、第２の１／２分周回路１２１３とイクスクルーシブオア（ＥｘＯＲ）回路１２１４へと出力される。

第２の１／２分周回路１２１３に入力されたパルス信号は、さらに周波数が半分になって出力される（図９のＳｉｇ４参照）。ここで、パルス信号Ｓｉｇ４のＨｉｇｈ状態において、ＭＯＳトランジスタＱ０１がＯＮ状態となる。一方、ＭＯＳトランジスタＱ０２へは、第１インバータ１２１５を介して当該パルス信号が印加される。従って、このパルス信号のＬｏｗ状態においてはＭＯＳトランジスタＱ０２がＯＮ状態になる。トランスＡ１２１６の１次側に接続されたＭＯＳトランジスタＱ０１及びＱ０２が交互にＯＮ状態になると、当該トランスＡ１２１６の２次側には、図９に示すＳｉｇ５の信号が発生する。この場合、トランスＡ１２１６の巻き線比は、電源回路１３５の出力電圧と一方の圧電素子１２０ａを駆動させるのに必要な電圧とによって決定される。尚、抵抗Ｒ００は、トランスＡ１２１６に過大な電流が流れることを制限するために配設されているものである。

圧電素子１２０ａを駆動させるのに際しては、ＭＯＳトランジスタＱ００がＯＮ状態にあり、且つ、電源回路１３５からトランスＡ１２１６のセンタータップに電圧が印加されている必要がある。そして、この場合において、ＭＯＳトランジスタＱ００のＯＮまたはＯＦＦの制御は、Ｂｕｃｏｍ１０１の出力ポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔＡから行われるようになっている。

周波数の算出は、次に示す（４）式による。即ち、
ｆｄｒｖ＝ｆｐｌｓ／４Ｎ …（４）
但し、ＮはＮ進カウンタ１２１１への設定値、ｆｐｌｓはクロックジェネレータ１０１１の出力パルスの周波数、ｆｄｒｖは圧電素子１２０ａに印加される信号の周波数である。

一方、上記第１の１／２分周回路１２１２の出力信号Ｓｉｇ３は、ＥｘＯＲ回路１２１４を経由して、第３の１／２分周回路１２１７へと出力される。この場合、ＥｘＯＲ回路１２１４によって、Ｂｕｃｏｍ１０１の出力ポートＰ＿θＣｏｎｔがＨｉｇｈ状態のときには、パルス信号Ｓｉｇ３は反転して第３の１／２分周回路１２１７へと出力され、また、出力ポートＰ＿θＣｏｎｔがＬｏｗ状態のときには、パルス信号Ｓｉｇ３はそのままの状態で第３の１／２分周回路１２１７に出力される（図９のＳｉｇ６参照）。このパルス信号Ｓｉｇ６は、さらに第３の１／２分周回路１２１７によって半分の周波数にされた後、出力される（図９のＳｉｇ７参照）。これによって、第２インバータ１２１８，ＭＯＳトランジスタＱ１１，ＭＯＳトランジスタＱ１２及びトランスＢ１２１９が駆動されて、圧電素子１２０ｂに所定の電圧の駆動信号（図９のＳｉｇ８）が出力される。

尚、第２インバータ１２１８、ＭＯＳトランジスタＱ１１，Ｑ１２、トランスＢ１２１９及び抵抗Ｒ１０のそれぞれの機能は、上述した第１インバータ１２１５、ＭＯＳトランジスタＱ０１，Ｑ０２、トランスＡ１２１６及び抵抗Ｒ００のそれぞれと略同様となっている。

また、第１乃至第３の１／２分周回路１２１２，１２１３，１２１７の何れにおいても、入力されるパルス信号の立ち上がりエッジに対応して分周動作をしている。そして、パルス信号の周波数が同じであっても、信号が反転しているときには、第２の１／２分周回路１２１３と第３の１／２分周回路１２１７とがそれぞれ出力するパルス信号には位相の相違が発生する。この場合における位相の差は９０°（即ち、π／２）となる。

従って、圧電素子１２０ａに印加される信号Ｓｉｇ５と、圧電素子１２０ｂに印加される信号Ｓｉｇ８との間には９０°（π／２）の位相差が発生することになる。そして、この位相差は、Ｂｕｃｏｍ１０１の出力ポートＰ＿θＣｏｎｔによって制御できる。例えば、出力ポートＰ＿θＣｏｎｔがＨｉｇｈ状態であれば、９０°（π／２）の位相差を発生し、Ｌｏｗ状態であれば、位相差は発生しないことになる。つまり、出力ポートＰ＿θＣｏｎｔを制御することによって異なる形態の振動を防塵フィルタ１１９に加えることができる。

以上のように圧電素子１２０ａ，１２０ｂに位相差９０°（π／２）の信号を加えると、上記（２）式の２つの定在波屈曲振動を防塵フィルタ１１９に与えることになり、２つの定在波屈曲振動の重ね合わせで屈曲進行波振動が発生されることとなる。

さらに、このデジタルカメラ１０は、超音波域（２０ｋＨｚ以上の周波数）の周波数で防塵フィルタ１１９を振動させる場合に、デジタルカメラ１０の操作者に防塵フィルタ１１９の動作を告知する表示部を、動作表示用ＬＣＤ１２９あるいは動作表示用ＬＥＤ１３０に設けている。つまり、上記ＣＣＤ１１７の前面に配置され振動可能な透光性をもつ防塵部材（防塵フィルタ１１９）に対して、加振部材（圧電素子１２０ａ，１２０ｂ）で振動を与えるとき、加振部材の駆動回路（防塵フィルタ制御回路１２１）の動作と連動してデジタルカメラ１０の表示部を動作させ、防塵フィルタ１１９の動作を告知することも実施する（詳細は後述する）。

上述の特徴を詳しく説明する為、Ｂｕｃｏｍ１０１が行なう制御について、図１０及び図１１を参照しながら具体的な制御動作について説明する。

図１０には、本実施形態のデジタルカメラ１０の動作制御をフローチャートで表わしており、このＢｕｃｏｍ１０１が行なうカメラシーケンス（メインルーチン）の手順を例示している。

Ｂｕｃｏｍ１０１で稼動可能な図１０に示すフローチャートに係わる制御プログラムは、カメラのボディユニット１００の電源ＳＷ（不図示）がＯＮ操作されると、その稼動を開始する。

最初に、当該デジタルカメラ１０を起動するための処理が実行される（ステップＳ１０１）。即ち、電源回路１３５を制御して当該デジタルカメラ１０を構成する各回路ユニットへ電力を供給する。また、各回路の初期設定を行なう。

次に、後述するサブルーチン「無音加振動作」をコールすることで、無音（即ち可聴範囲外）で防塵フィルタ１１９を振動させる（ステップＳ１０２）。尚、ここで云う可聴範囲は、一般人の聴力を基準にして約２０Ｈｚ〜２００００Ｈｚの範囲内とする。

続くステップＳ１０３からステップＳ１２４までは、周期的に実行されるステップ群である。即ち、まず、当該デジタルカメラ１０に対するアクセサリの着脱を検出する（ステップＳ１０３）。これは、例えば、アクセサリの１つであるレンズユニット２００が、ボディユニット１００に装着されたことを検出する。その着脱検出動作は、Ｌｕｃｏｍ２０１と通信を行なうことでレンズユニット２００の着脱状態を調べる。

もし、所定のアクセサリがボディユニット１００に装着されたことが検出されたならば（ステップＳ１０４）、サブルーチン「無音加振動作」をコールすることで、無音で防塵フィルタ１１９を振動させる（ステップＳ１０５）。

このように、カメラ本体であるボディユニット１００にアクセサリの特にレンズユニット２００が装着されていない期間には特に、各レンズや防塵フィルタ１１９等に塵埃が付着する可能性が高いので、上述の如くレンズユニット２００の装着を検出したタイミングで塵埃を払う動作を実行することは有効である。また、レンズ交換時にボディユニット１００内部に外気が循環し塵埃が進入して付着する可能性が高いので、このレンズ交換時に塵埃除去することは有意義である。そして、撮影直前とみなし、ステップＳ１０６へ移行する。

一方、上記ステップＳ１０４で、レンズユニット２００がボディユニット１００から外された状態であることを検出した場合は、そのまま次のステップＳ１０６へ移行する。

そして、ステップＳ１０６では、当該デジタルカメラ１０が有する所定の操作スイッチの状態検出が行なわれる。

ここで、レリーズＳＷを成す１ｓｔ．レリーズＳＷ（不図示）が操作されたか否かを、当該ＳＷのＯＮ／ＯＦＦ状態で判定する（ステップＳ１０７）。その状態を読み出し、もし１ｓｔ．レリーズＳＷが所定時間以上ＯＮ操作されない場合には、電源ＳＷの状態を判別する（ステップＳ１０８）。そして、電源ＳＷがＯＮされていれば上記ステップＳ１０３に戻り、ＯＦＦされていれば終了処理（スリープ等）となる。

一方、上記ステップＳ１０７にて１ｓｔ．レリーズＳＷがＯＮ操作されたと判別した場合には、測光回路１１５から被写体の輝度情報を入手し、この情報から撮像ユニット１１６の露光時間（Ｔｖ値）とレンズユニット２００の絞り設定値（Ａｖ値）を算出する（ステップＳ１０９）。

その後、ＡＦセンサ駆動回路１１０を経由してＡＦセンサユニット１０９の検知データを入手し、このデータに基づきピントのズレ量を算出する（ステップＳ１１０）。そして、その算出されたズレ量が許可された範囲内にあるか否かを判定し（ステップＳ１１１）、否の場合は撮影レンズ２０２の駆動制御を行って（ステップＳ１１２）、上記ステップＳ１０３へ戻る。

一方、許可された範囲内にズレ量が在る場合は、サブルーチン「無音加振動作」をコールして無音で防塵フィルタ１１９の振動を開始させる（ステップＳ１１３）。

さらに、レリーズＳＷを成す２ｎｄ．レリーズＳＷ（不図示）がＯＮ操作されたか否かを判定する（ステップＳ１１４）。この２ｎｄ．レリーズＳＷがＯＮ状態のときは、続くステップＳ１１５へ移行して所定の撮影動作（詳細後述）を開始するが、ＯＦＦ状態のときは上記ステップＳ１０８へ移行する。

尚、撮像動作中では、通常の如く、露出の為に予め設定された秒時（露出秒時）に対応した時間の電子撮像動作を制御する。

上記撮影動作として、ステップＳ１１５からステップＳ１２１までは、所定の順序にて被写体の撮像が行われる。まずＬｕｃｏｍ２０１へＡｖ値を送信して、絞り２０３の駆動を指令し（ステップＳ１１５）、クイックリターンミラー１０５をＵＰ位置へ移動させる（ステップＳ１１６）。そして、シャッタ１０８の先幕走行を開始させてＯＰＥＮ制御し（ステップＳ１１７）、画像処理コントローラ１２６に対して「撮像動作」の実行を指令する（ステップＳ１１８）。Ｔｖ値で示された時間だけのＣＣＤ１１７への露光（撮像）が終了すると、シャッタ１０８の後幕走行を開始させてＣＬＯＳＥ制御する（ステップＳ１１９）。そして、クイックリターンミラー１０５をＤｏｗｎ位置へ駆動すると共に、シャッタ１０８のチャージ動作を行なう（ステップＳ１２０）。

その後、Ｌｕｃｏｍ２０１に対して絞り２０３を開放位置へ復帰させるように指令して（ステップＳ１２１）、一連の撮像動作を終了する。

続いて、記録メディア１２７がボディユニット１００に装着されているか否かを検出し（ステップＳ１２２）、否の場合は、警告表示をする（ステップＳ１２３）。そして再び上記ステップＳ１０３へ移行して、同様な一連の処理を繰り返す。

一方、記録メディア１２７が装着されていれば、画像処理コントローラ１２６に対し撮影した画像データを記録メディア１２７へ記録するように指令する（ステップＳ１２４）。その画像データの記録動作が終了すると、再び、上記ステップＳ１０３へ移行して、同様な一連の処理を繰り返す。

以下、詳しい振動形態と音の関係について、上述した３つのステップ（Ｓ１０２，Ｓ１０５，Ｓ１１３）でコールされる「無音加振動作」サブルーチンの制御手順を図１１に基づき説明する。尚、この「振動形態」とは、加振部材である圧電素子１２０ａ，１２０ｂによって引き起こされる振動の形態である。

図１１（Ａ）は、上記サブルーチン「無音加振動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図であり、図１１（Ｂ）乃至（Ｄ）はそれぞれ、図１１（Ａ）のサブルーチン「無音加振動作」の各タイミングにて並行して実行される「表示動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図である。

この無音加振動作において、加振部材へ連続的に供給される共振周波数の波形を表わすグラフが図１２に示されている。図１１のサブルーチン「無音加振動作」と「表示動作」は、防塵フィルタ１１９の塵埃除去の為にだけの加振動作を目的とするルーチンであるので、振動周波数ｆ０は、その防塵フィルタ１１９の共振周波数付近の所定の周波数に設定されている。例えばこの場合は、８０ｋＨｚであり、少なくとも２０ｋＨｚ以上の振動である故に、ユーザにとっては無音である。

まず、防塵フィルタ１１９を振動させるための駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）と駆動周波数（共振周波数：Ｎｏｓｃｆ０）に関するデータを、不揮発性メモリ１２８の所定領域に記憶されている中から読み出す（ステップＳ２０１）。このタイミングで、動作表示用ＬＣＤ１２９あるいは動作表示用ＬＥＤ１３０に設けた表示部への加振モードの表示をＯＮする（ステップＳ３０１）。そして、所定時間が経過したかを判定し（ステップＳ３０２）、所定時間が経過していないときは加振モードの表示を継続し、所定時間経過後は加振モード表示をＯＦＦする（ステップＳ３０３）。

次に、Ｂｕｃｏｍ１０１の出力ポートＤ＿ＮＣｎｔから、駆動周波数Ｎｏｓｃｆ０を、防塵フィルタ制御回路１２１のＮ進カウンタ１２１１へ出力する（ステップＳ２０２）。

続くステップＳ２０３〜ステップＳ２０５では、次のように塵埃除去動作が行なわれる。即ち、まず塵埃除去動作を開始させ実行する。一方、この時の表示は、出力ポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔＡ，Ｐ＿ＰｗＣｏｎｔＢをＨｉｇｈのタイミングで加振動作表示を開始させ（ステップＳ３１１）、次に所定時間が経過したかを判定し（ステップＳ３１２）、所定時間が経過していないときは加振動作の表示を継続し、所定時間経過後は加振動作表示を終了する（ステップＳ３１３）。この時の加振動作表示は時間経過、あるいは塵埃除去経過に応じて変化する表示をする（不図示）。この場合の所定時間は、後に述べる加振動作の継続時間であるＴｏｓｃｆ０に略等しい。また、塵埃除去のために出力ポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔＡ，Ｐ＿ＰｗＣｏｎｔＢをＨｉｇｈに設定すると（ステップＳ２０３）、圧電素子１２０ａ，１２０ｂは所定の駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ０）で防塵フィルタ１１９を加振し、防塵フィルタ１１９面に付着した塵埃を振り払う。この塵埃除去動作で防塵フィルタ１１９面に付着した塵埃が振り払われるとき、同時に、空気振動が起こり、超音波が発生する。（但し、駆動周波数Ｎｏｓｃｆ０で駆動されても、一般人の可聴範囲内の音にはならず、聞こえない）。

所定駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）、防塵フィルタ１１９を振動させた状態で待機し（ステップＳ２０４）、その所定駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）経過後、出力ポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔＡ，Ｐ＿ＰｗＣｏｎｔＢをＬｏｗに設定することで、加振終了表示をＯＮする（ステップＳ３２１）とともに、塵埃除去動作を停止させる（ステップＳ２０５）。加振終了表示は、所定時間経過後（ステップＳ３２２）に、ＯＦＦされて表示を終了する（ステップＳ３２３）。そして、コールされたステップの次のステップへリターンする。

このサブルーチンで適用される振動周波数ｆ０（共振周波数（Ｎｏｓｃｆ０））と駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）は、図１２にグラフで表わした如くの波形を示す。即ち、一定の振動（ｆ０＝８０ｋＨｚ）が、塵埃除去に充分な時間（Ｔｏｓｃｆ０）だけ続く連続的な波形となる。

つまり、この振動形態が、加振部材に供給する共振周波数を調整して制御するものである。

［第２実施形態］
図１３（Ａ）は、本発明の画像機器の第２実施形態としてのデジタルカメラにおける防塵フィルタに発生する振動の様子を説明するための防塵フィルタの正面図であり、図１３（Ｂ）は、図１３（Ａ）のＢＢ線断面図であり、図１３（Ｃ）は、図１３（Ａ）のＣＣ線断面図である。

上記第１実施形態（図５参照）に対して異なるところのみ以下に説明する。
第１に異なるところは、第１の加振部材としての圧電素子１２０ａの設置位置であり、第２の加振部材としての圧電素子１２０ｂが設置されている防塵フィルタ１１９の裏側（第２の面）と反対側である防塵フィルタ１１９の表側（第１の面）上で、且つ、圧電素子１２０ｂの設置位置近くの防塵フィルタ１１９の下側に設置してある。但し、圧電素子１２０ａと圧電素子１２０ｂの中心位置の間隔Ｈは、ｋを奇数として、Ｈ＝ｋ（λ／４）である（図１３（Ｂ）の例はｋ＝１であり、圧電素子１２０ａは圧電素子１２０ｂと対向するように設けられている）。

第２に異なるところは、圧電素子１２０ａ，１２０ｂの形状であり、上記第１実施形態に比して、Ｘ方向の長さは短く、Ｙ方向の長さは長く構成している。このような形態にできるのは、Ｙ方向に圧電素子１２０ａと圧電素子１２０ｂを重なる状態で設置することができるからである。Ｘ方向の長さが短くなった分、Ｙ方向の長さを長くすることにより、振動エネルギーの発生を第１実施形態と同じにすることが可能である。このように、結像光線通過エリア１４９をＹ方向にずらすことにより、防塵フィルタ１１９のＹ方向の寸法をより小さくすることが可能となる。また、押圧部材の押圧位置も、防塵フィルタ１１９を直接押さえることが可能となるので、同じ押圧部材を用いることができるとともに、Ｚ方向寸法も圧電素子１２０ａが取り付けられた部分は第１の実施形態と同じだが、それ以外は小さく形成可能である。さらに、Ｘ方向の圧電素子１２０ａ，１２０ｂの長さが、屈曲定在波振動波長をλｘとしたとき、λｘ／２以内であり、屈曲定在波振動の同位相のエリアになる（逆位相にならないエリアと言う意味）ことにより、高効率で振動を発生可能である。

勿論、振動振幅を殆どもたない節１７７ができるのは上記第１実施形態と同様である。

［第３実施形態］
図１４は、本発明の画像機器の第３実施形態としてのデジタルカメラにおけるＢｕｃｏｍが行なうカメラシーケンス（メインルーチン）においてコールされるサブルーチン「無音加振動作」の動作手順を表わすフローチャートを示す図である。

これは、上記第１実施形態における図１１に示すサブルーチン「無音加振動作」の動作を変更したものであり、本第３実施形態は、防塵フィルタ１１９の動作が、上記第１実施形態と異なる。即ち、上記第１実施形態では、防塵フィルタ１１９の駆動周波数はｆ０と言う固定値にして進行波が発生する形態としていたが、本第３実施形態は、定在波振動と進行波振動が時間的に混在する振動を発生する。図１４のサブルーチン「無音加振動作」では、振動周波数ｆ０は、その防塵フィルタ１１９の共振周波数付近の所定の周波数に設定されている。例えばこの場合は、８０ｋＨｚであり、少なくとも２０ｋＨｚ以上の振動である故に、ユーザにとっては無音である。

まず、防塵フィルタ１１９を振動させるための駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）と駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）と周波数変移量（Δｆ）と駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｔ）に関するデータを、不揮発性メモリ１２８の所定領域に記憶されている中から読み出す（ステップＳ２１１）。このタイミングで、図１１（Ｂ）に示したような加振モードの表示を行うことは上記第１実施形態と同様である。

次に、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）に駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）を設定する（ステップＳ２１２）。また、Ｂｕｃｏｍ１０１の出力ポートＤ＿ＮＣｎｔから、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）を、防塵フィルタ制御回路１２１のＮ進カウンタ１２１１へ出力する（ステップＳ２１３）。

続くステップＳ２０３以降では、次のように塵埃除去動作が行なわれる。即ち、まず塵埃除去動作を開始させ実行する。また、このとき、図１１（Ｃ）に示したような加振動作表示を行うことは上記第１実施形態と同様である。

まず、塵埃除去のために出力ポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔをＨｉｇｈに設定すると（ステップＳ２０３）、圧電素子１２０ａ，１２０ｂは所定の駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）で防塵フィルタ１１９を加振する。このとき、共振周波数でないために、印加周波信号に対して発生する振動の位相がずれ、防塵フィルタ１１９に定在波振動が混ざった進行振動を生じさせる。防塵フィルタ１１９面に付着した塵埃は定在波振動と進行波振動の混合された振動により振り払われるが、定在波の節付近の振動振幅は小さくなり、このエリアの塵埃は除去できない。駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）の間、この振動は継続される（ステップＳ２０４）。次に、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）が駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｔ）であるかを比較判定し（ステップＳ２１４）、一致していなければ（ＮＯの判定）、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）に周波数変移量（Δｆ）を加算して、再び駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）に設定し（ステップＳ２１５）、上記ステップＳ２１２の動作から上記ステップＳ２０４までの動作を繰り返す。

そして、上記ステップＳ２１４で駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）が駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｔ）に一致したとき（ＹＥＳ）には、出力ポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔをＬｏｗに設定し、圧電素子１２０ａ，１２０ｂの加振動作が終了して（ステップＳ２０５）、一連の「無音加振動作」が終了する。また、このとき、図１１（Ｄ）に示したような加振終了表示を行うことは上記第１実施形態と同様である。

このように周波数を変更していった場合に、先に述べたように圧電素子１２０ａの振動と圧電素子１２０ｂの振動の位相が変化するとともに振動振幅も変化する。そこで、防塵フィルタ１１９にほぼ進行波振動が発生する周波数を通過するように駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）と周波数変移量（Δｆ）と駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｔ）を設定すれば、防塵フィルタ１１９に定在波振動と進行波振動が混在した振動がまず発生し、次第に定在波振動成分が小さくなり進行波振動成分が増大し、ほぼ進行波振動になった後、進行波振動成分が小さくなり、再び定在波振動が大きくなるといった制御をすることができる。そして、定在波振動によって防塵フィルタ１１９面上に残ったり、共振周波数でなくて振動振幅が小さくて防塵フィルタ１１９に付着したりしていた塵埃も振り落とすことが可能となる。

また、駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）と駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｔ）の間をある程度広くとれば、振動子１７０の温度や製造バラツキによる共振周波数の変化を吸収することが可能で、極めて簡単な回路構成で確実に防塵フィルタ１１９に付着した塵埃を振り払うことが可能となる。

更に、上記実施形態では、圧電素子１２０ａ，１２０ｂに印加される電圧の位相差はπ／２にしてあったが、位相を同相にしなければ進行波成分は発生するので、位相差を別の成分にしても良い。

以上、実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。

例えば、上記の加振部材による塵埃除去機構の他に、空気流によって防塵フィルタ１１９の塵埃を除去する方式、あるいはワイパーにより防塵フィルタ１１９の塵埃を除去するような機構を組み合わせて用いても良い。

また、上述した実施形態では、加振部材は圧電素子としていたが、電歪材料でも、超磁歪材でも勿論良い。

また、振動の際、加振する対象部材に付着している塵をより効率よく振り落とせるよう、その表面に、例えば、透明導電膜であるＩＴＯ（酸化インジウム・錫）膜、インジウム亜鉛膜、ポリ３，４エチレンジオキシチオフェン膜、吸湿型静電気防止膜である界面活性剤膜、シロキサン系膜、等をコーティング処理しても良い。振動に係わる周波数や駆動時間などは上記膜の部材に対応した値に設定する。

また、本願の一実施形態として記載した光学ＬＰＦ１１８を、複屈折性を有する複数枚の光学ＬＰＦとして構成しても良い。そして、それら複数枚に構成した光学ＬＰＦのうちの最も被写体側に配置された光学ＬＰＦを、図２に記載した防塵フィルタ１１９の代わりに防塵部材（加振対象）として使用しても良い。

また、本願の一実施形態として図２に記載した光学ＬＰＦ１１８を有さないカメラとし、防塵フィルタ１１９を、例えば、光学ＬＰＦ、赤外カットフィルタ、偏向フィルタ、ハーフミラー等の何れかの光学素子として使用するようにしても良い。

さらに、上記光学ＬＰＦ１１８を有さないだけでなく、防塵フィルタ１１９を、図２記載の保護ガラス１４２に代用させる構成としても良い。この場合、保護ガラス１４２とＣＣＤチップ１３６との防塵・防湿状態を維持するようにすると共に、保護ガラス１４２を支持しつつ振動させる構成として、図２記載の防塵フィルタ１１９を支持しつつ振動させる構成を利用すれば良い。なお、保護ガラス１４２を、光学ＬＰＦ、赤外カットフィルタ、偏向フィルタ、ハーフミラー等の何れかの光学素子として使用するようにしても良いのはいうまでもない。

尚、本発明を適用する画像機器としては、例示した撮像装置（デジタルカメラ）に限らず、塵埃除去機能を必要とする装置であれば良く、必要に応じて変形実施することで実用化され得る。より、具体的には液晶等の表示素子を用いた画像投影装置における表示素子と光源の間、あるいは表示素子と投影レンズとの間に、本発明の塵埃除去機構を設けても良い。

１０…デジタルカメラ、１００…ボディユニット、１０１…ボディ制御用マイクロコンピュータ（Ｂｕｃｏｍ）、１０５…クイックリターンミラー、１０７…サブミラー、１０８…シャッタ、１１６…撮像ユニット、１１７…ＣＣＤ、１１８…光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）、１１９…防塵フィルタ、１２０ａ，１２０ｂ…圧電素子、１２１…防塵フィルタ制御回路、１２２…ＣＣＤインターフェース回路、１２８…不揮発性メモリ、１２９…動作表示用ＬＣＤ、１３０…動作表示用ＬＥＤ、１３１…カメラ操作ＳＷ、１３４…電池、１３５…電源回路、１３６…ＣＣＤチップ、１３７…固定板、１３８…フレキシブル基板、１３９ａ，１３９ｂ…接続部、１４０…主回路基板、１４１ａ，１４１ｂ…コネクタ、１４２…保護ガラス、１４３…スペーサ、１４４…フィルタ受け部材、１４５…ホルダ、１４６…開口、１４７…段部、１４８…防塵フィルタ受け部、１４９…結像光線通過エリア、１５０…ねじ、１５１…押圧部材、１５２，１５３…受け部材、１５４…支持部材、１５５…支持部、１５６…シール、１５７ａ，１５７ｂ…フレキ、１５８…台、１５９…保持材、１６６…Ｙ枠、１７０…振動子、１７１ａ，１７１ｂ，１７２ａ，１７２ｂ…信号電極、１７３…中立面、１７４…中立面が凸のエリア、１７５…中立面が凹のエリア、１７６…進行波の進行方向を示す矢印、１７７…振動の節、１７７Ｙ…Ｙ方向に平行な振動の節、１７８…分極方向を示す矢印、１７９…楕円振動、１８０…振動振幅の大きなエリア、１８１…振動振幅の殆ど無いエリア、２００…レンズユニット、２０１…レンズ制御用マイクロコンピュータ（Ｌｕｃｏｍ）、２０２…撮影レンズ、２０３…絞り、１０１１…クロックジェネレータ、１２１１…Ｎ進カウンタ、１２１２，１２１３，１２１７…１／２分周回路、１２１４…イクスクルーシブオア（ＥｘＯＲ）回路、１２１５，１２１８…インバータ、１２１６…トランスＡ、１２１９…トランスＢ。

Claims

全体として板状をなす防塵部材と、
上記防塵部材上に設けられ、単独で振動することによって上記防塵部材に第１の定在波振動を発生させる第１の加振部材と、
上記防塵部材上に設けられ、単独で振動することによって上記防塵部材に第２の定在波振動を発生させる第２の加振部材と、
を具備し、
上記第１の加振部材と上記第２の加振部材は、当該第１の加振部材と当該第２の加振部材とを振動させた際に発生する、上記第１の定在波振動と上記第２の定在波振動とが重なることによって、一方向に進む進行波であって、且つ、振動振幅を殆ど持たない節領域を上記防塵部材の外周側に持つ進行波を発生させる位置に配置されていることを特徴とする振動装置。
上記防塵部材を任意の装置に対して支持するための支持部材をさらに有し、当該支持部材は、当該防塵部材の外周側にある上記進行波の上記振動振幅を殆ど持たない節領域に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の振動装置。
上記第１及び第２の加振部材は、上記進行波の進行方向と直交する方向に長辺をもつ略矩形であることを特徴とする請求項１に記載の振動装置。
上記第１の加振部材は第１の圧電素子からなり、
上記第２の加振部材は第２の圧電素子からなり、
上記進行波の進行方向の波長λ、ｋを任意の奇数としたとき、上記第１の圧電素子と上記第２の圧電素子とは、互いにｋ・（λ／４）離れた位置に設けられることを特徴とする請求項３に記載の振動装置。
上記第１の圧電素子と上記第２の圧電素子には、位相がπ／２異なる周波信号が印加されることを特徴とする請求項４に記載の振動装置。
上記防塵部材は略矩形であり、
上記進行波の進行方向とは直交する方向には少なくとも波長λ’の定在波が発生し、
上記第１の圧電素子及び上記第２の圧電素子は、上記定在波の波長λ’の１／２以下の長辺をもつ略矩形であることを特徴とする請求項４に記載の振動装置。
上記第１の圧電素子と上記第２の圧電素子とは、上記防塵部材の同一面上に設けられることを特徴とする請求項４に記載の振動装置。
上記第１の圧電素子は上記防塵部材の第１の面上に設けられ、上記第２の圧電素子は、上記防塵部材の第１の面と反対側の第２の面上で当該第１の圧電素子と対向するように設けられていることを特徴とする請求項４に記載の振動装置。
光学的な画像が生成される画像面を有する画像形成素子と、
全体として板状をなし、少なくとも自己の中心から放射方向に所定の広がりを持つ領域が透明部をなし、この透明部が上記画像面に対し所定の間隔を持って対向配設されている防塵部材と、
上記画像形成素子と上記防塵部材との両者が対向して形成される部位に、密閉された空間部を構成すべく当該画像形成素子及び当該防塵部材の周縁側で上記空間部を封止するように構成された封止構造部と、
上記画像面に光学画像を生成するための光線が透過する透過範囲外の、上記防塵部材上の位置に配置されていて、単独で振動することによって当該防塵部材に第１の定在波振動を発生させる第１の加振部材と、
上記防塵部材の、上記透過範囲外で、かつ、上記第１の加振部材とは重ならない位置に配置されていて、単独で振動することによって上記防塵部材に第２の定在波振動を発生させる第２の加振部材と、
を具備し、
上記第１の加振部材と上記第２の加振部材は、当該第１の加振部材と当該第２の加振部材とを振動させた際に発生する、上記第１の定在波振動と上記第２の定在波振動とが重なることによって、一方向に進む進行波であって、且つ、振動振幅を殆ど持たない節領域を上記防塵部材の外周側に持つ進行波を発生させる位置に配置されていることを特徴とする画像機器。
上記画像形成素子の上記画像面に対して上記所定の間隔を持って対向配置される上記防塵部材を支持するための支持部材を有し、当該支持部材は、当該防塵部材の外周側にある上記進行波の上記振動振幅を殆ど持たない節領域に配置されていることを特徴とする請求項９に記載の画像機器。
上記第１及び第２の加振部材は、上記進行波の進行方向と直交する方向に長辺をもつ略矩形であることを特徴とする請求項１０に記載の画像機器。
上記第１の加振部材は第１の圧電素子からなり、
上記第２の加振部材は第２の圧電素子からなり、
上記進行波の進行方向の波長λ、ｋを任意の奇数としたとき、上記第１の圧電素子と上記第２の圧電素子とは、互いにｋ・（λ／４）離れた位置に設けられることを特徴とする請求項１１に記載の画像機器。
上記進行波の進行方向とは直交する方向には少なくとも波長λ’の定在波が発生し、
上記光線の透過範囲の上記進行波の直交する方向の幅は、λ’／２以下であることを特徴とする請求項１２に記載の画像機器。
上記第１の圧電素子と上記第２の圧電素子には、位相がπ／２異なる周波信号が印加されることを特徴とする請求項１２に記載の画像機器。
上記防塵部材は略矩形であり、
上記進行波の進行方向とは直交する方向には少なくとも波長λ’の定在波が発生し、
上記第１の圧電素子及び上記第２の圧電素子は、上記定在波の波長λ’の１／２以下の長辺をもつ略矩形であることを特徴とする請求項１２に記載の画像機器。
上記第１の圧電素子と上記第２の圧電素子とは、上記防塵部材の同一面上に設けられることを特徴とする請求項１２に記載の画像機器。
上記第１の圧電素子と上記第２の圧電素子とは、上記防塵部材の上記光線の透過範囲を挟んだ位置に設けられることを特徴とする請求項１６に記載の画像機器。
上記第１の圧電素子は上記防塵部材の第１の面上に設けられ、上記第２の圧電素子は上記防塵部材の第１の面と反対側の第２の面上で当該第１の圧電素子と対向するように設けられていることを特徴とする請求項１２に記載の画像機器。
上記第１の圧電素子と上記第２の圧電素子とは、上記防塵部材の上記光線の透過範囲に関して一方の側の位置に設けられることを特徴とする請求項１８に記載の画像機器。