JP4757557B2 - レーザ加工ヘッド - Google Patents
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Description
別の好適な一態様においては、第2のモニタ部が、レーザ光の光強度測定値に対する反射光の光強度測定値の比率を演算し、その比率が経時的に低下する様子をモニタする。これによって、適時に検査や点検を促す判定結果を表示出力することができる。
10a レーザ発振器
12 レーザ加工ヘッド
14 光ファイバ
16 モニタ装置本体
18 コントローラ
20 ヘッド本体
22 レーザ出射口
24 光ファイバ取付部
26 レーザ光検出器
28 反射光受光器
30 保護ガラス
32 集束レンズ
34,40,42 ベントミラー
38 コリメータレンズ
46,48 信号線
66 YAG基本波レーザ発振器
68 YAG高調波レーザ発振器
70 レーザ加工ヘッド
76 ヘッド本体
78 レーザ出射口
80,82 光ファイバ取付部
84 レーザ光検出器
86 反射光受光器
96,98,110,112 ベントミラー
104,116
108,120 コリメートレンズ
Claims (6)
- レーザ発振部より発振出力されたレーザ光をレーザ伝送用の光ファイバを介してレーザ加工ヘッドへ伝送し、前記レーザ加工ヘッドより被加工物に向けて前記レーザ光を集光照射して所望のレーザ加工を行うレーザ加工装置であって、
前記被加工物の加工点と向かい合う第1の面にレーザ出射口と、前記第1の面と反対側の第2の面に前記光ファイバの終端部を取り付けるための光ファイバ接続部とをそれぞれ設け、前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光を前記被加工物の加工点に集光させるための光学レンズを収容し、前記レーザ出射口に保護ガラスを取り付けるヘッド本体と、
前記光ファイバに入射する前の前記レーザ光の出力を測定するためのレーザ出力測定部と、
前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光の光強度を測定するために前記ヘッド本体に取り付けられるレーザ光測定部と、
前記被加工物の加工点から前記レーザ出射口の中に反射されてきた光の光強度を測定するために前記ヘッド本体に取り付けられる反射光測定部と、
前記レーザ出力部より得られる前記レーザ光の出力の測定値と前記レーザ光測定部より得られる前記レーザ光の光強度の測定値とに基づいて、前記光ファイバが正常であるか否かをモニタする第1のモニタ部と、
前記レーザ光測定部より得られる前記レーザ光の光強度の測定値と前記反射光測定部より得られる前記反射光の光強度の測定値とに基づいて、前記被加工物の表面状態が正常であるか否か、または前記保護レンズが異常に汚れているか否かをモニタする第2のモニタ部と
を有するレーザ加工装置。 - 前記レーザ光はパルスレーザ光であり、
前記反射光測定部は、前記パルスレーザ光の立ち上がりエッジより所定時間後の第1の時点から前記パルスレーザ光の立ち下がりエッジより所定時間前の第2の時間までを演算区間とし、前記演算区間内で求めた前記反射光の光強度の平均値、積分値、最大値またはピーク値を測定値とする、
請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記第2のモニタ部は、前記レーザ光の光強度測定値に対する前記反射光の光強度測定値の比率を演算し、その比率が経時的に低下する様子をモニタする、請求項1または請求項2に記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザ光測定部が、前記ヘッド本体の第2の面に取り付けられる、請求項1〜3のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザ光に対応する前記第1のミラーの裏側に漏れる光を前記レーザ光測定部に向けて反射するために前記ヘッド本体の中に設けられる第2のミラーを有する、請求項4に記載のレーザ加工装置。
- 前記反射光測定部が、前記ヘッド本体の第2の面に取り付けられる、請求項1〜5のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
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