JP4755898B2 - カソード基板の作製方法及び表示素子の作製方法 - Google Patents
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Description
また、第2の実施の形態において、基板Sの成膜面に曲面からなる凹部を形成したが、基板Sの成膜面ではなく、基板S上のカソード電極1の上面に曲面からなる凹部を設けて、カソード電極1上に形成するエミッタを凹部を有するように構成しても良い。
このようにしてカソード基板を形成すれば、基板の凹部の形状に沿ってカソード電極及びエミッタが形成され、それぞれ凹部を有するようになる。また、基板に凹部を設けずに基板上にカソード電極を形成し、その後、カソード電極上面にフォトリソグラフィ法によりパターンを形成し、ウェットエッチングすることにより凹部を形成し、このカソード電極上にエミッタを形成して、所望の凹部を有するエミッタを形成することも可能である。
2 絶縁層 3 絶縁層ホール
4 エミッタ 5 ゲートホール
6 ゲート電極 7 ゲートホール領域
8 所定の広さの領域
Claims (5)
- 基板上に、カソード電極、2以上のゲートホールが形成されたゲートホール領域を有するゲート電極、絶縁層及びエミッタを少なくとも備えたカソード基板の作製方法において、
エミッタとゲート電極との間で形成される等電位面がエミッタから放出された電子を収束する凸面となるように、ゲート電極をエミッタ形成時の加熱により加熱して湾曲させる変形工程を含むことを特徴とするカソード基板の作製方法。 - 前記変形工程により形成した湾曲部の曲率半径が、ゲートホール領域の半径又はゲートホール領域の1辺の長さの半分の1〜3倍であることを特徴とする請求項1記載のカソード基板の作製方法。
- 前記ゲートホール領域内に、所定の広さの領域を残してゲートホールを形成する工程を含むことを特徴とする請求項1又は2記載のカソード基板の作製方法。
- 前記エミッタを、カソード基板上に形成した触媒層にカーボン系材料原料ガスを接触させ、触媒層上に形成したカーボン系材料から形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のカソード基板の作製方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のカソード基板の作製方法に従ってカソード基板を作製した後、このカソード基板と、蛍光体層、アノード用電極層及び上部基板を少なくとも含むアノード基板とを、支持体を介してはり合わせて表示素子を作製することを特徴とする表示素子の作製方法。
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