JP4751405B2 - クライオポンプ - Google Patents
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Claims (4)
- 排気されるべき気体が進入する吸気口を有するクライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器内部に配置され、前記吸気口側の端部に開口を有する放射シールドと、
前記放射シールド内部に配置され、前記放射シールドよりも低温に冷却される低温パネルと、
前記放射シールド内部に配置され、前記放射シールドよりも低温、かつ低温パネルよりも高温に冷却される中間パネルと、
冷凍機と、
前記放射シールドの開口部に設置されるバッフルとを備え、
前記冷凍機は前記クライオポンプ容器内部に配設され、かつ、気体の膨張作用によって冷却を実現するシリンダを含み、
前記シリンダは、第1冷却ステージと第2冷却ステージとを有し、
前記第1冷却ステージは前記放射シールドと接続し、
前記第2冷却ステージは前記低温パネルと接続し、
前記中間パネルは、
前記シリンダの、前記第1冷却ステージと、前記第2冷却ステージとの間に熱的に接続され、
前記バッフルと前記低温パネルとの間に配置され、
半導体製造におけるイオン注入工程に用いられるドーパントガスの飽和蒸気圧と、希望到達真空度とが一致する温度以下に冷却されることを特徴とするクライオポンプ。 - 排気されるべき気体が進入する吸気口を有するクライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器内部に配置され、前記吸気口側の端部に開口を有する放射シールドと、
前記放射シールド内部に配置され、前記放射シールドよりも低温に冷却される低温パネルと、
前記放射シールド内部に配置され、前記放射シールドよりも低温、かつ低温パネルよりも高温に冷却される中間パネルと、
冷凍機と、
前記放射シールドの開口部に設置されるバッフルとを備え、
前記冷凍機は前記クライオポンプ容器内部に配設され、かつ、気体の膨張作用によって冷却を実現するシリンダを含み、
前記シリンダは、第1冷却ステージと第2冷却ステージとを有し、
前記第1冷却ステージは前記放射シールドと接続し、
前記第2冷却ステージは前記低温パネルと接続し、
前記中間パネルは、
前記シリンダの、前記第1冷却ステージと、前記第2冷却ステージとの間に熱的に接続され、
前記バッフルと前記低温パネルとの間に配置され、
希望到達真空度と三フッ化ホウ素の飽和蒸気圧が一致する温度以下に冷却されることを特徴とするクライオポンプ。 - 排気されるべき気体が進入する吸気口を有するクライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器内部に配置され、前記吸気口側の端部に開口を有する放射シールドと、
前記放射シールド内部に配置され、前記放射シールドよりも低温に冷却される低温パネルと、
前記放射シールド内部に配置され、前記放射シールドよりも低温、かつ低温パネルよりも高温に冷却される中間パネルと、
冷凍機と、
前記放射シールドの開口部に設置されるバッフルとを備え、
前記冷凍機は前記クライオポンプ容器内部に配設され、かつ、気体の膨張作用によって冷却を実現するシリンダを含み、
前記シリンダは、第1冷却ステージと第2冷却ステージとを有し、
前記第1冷却ステージは前記放射シールドと接続し、
前記第2冷却ステージは前記低温パネルと接続し、
前記中間パネルは、
前記シリンダの、前記第1冷却ステージと、前記第2冷却ステージとの間に熱的に接続され、
前記バッフルと前記低温パネルとの間に配置され、
希望到達真空度とホスフィンの飽和蒸気圧が一致する温度以下に冷却されることを特徴とするクライオポンプ。 - 排気されるべき気体が進入する吸気口を有するクライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器内部に配置され、前記吸気口側の端部に開口を有する放射シールドと、
前記放射シールド内部に配置され、前記放射シールドよりも低温に冷却される低温パネルと、
前記放射シールド内部に配置され、前記放射シールドよりも低温、かつ低温パネルよりも高温に冷却される中間パネルと、
冷凍機と、
前記放射シールドの開口部に設置されるバッフルとを備え、
前記冷凍機は前記クライオポンプ容器内部に配設され、かつ、気体の膨張作用によって冷却を実現するシリンダを含み、
前記シリンダは、第1冷却ステージと第2冷却ステージとを有し、
前記第1冷却ステージは前記放射シールドと接続し、
前記第2冷却ステージは前記低温パネルと接続し、
前記中間パネルは、
前記シリンダの、前記第1冷却ステージと、前記第2冷却ステージとの間に熱的に接続され、
前記バッフルと前記低温パネルとの間に配置され、
希望到達真空度とアルシンの飽和蒸気圧が一致する温度以下に冷却されることを特徴とするクライオポンプ。
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JP2008015419A JP4751405B2 (ja) | 2008-01-25 | 2008-01-25 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008015419A JP4751405B2 (ja) | 2008-01-25 | 2008-01-25 | クライオポンプ |
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Family
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Family Applications (1)
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