JP4745177B2 - マイクロコンタクトプリントにおけるプリント圧力検出方法及び装置 - Google Patents
マイクロコンタクトプリントにおけるプリント圧力検出方法及び装置 Download PDFInfo
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Description
以下図示の実施形態を参照し、本発明に係るマイクロコンタクトプリントにおけるプリント圧力検出方法について、より詳細に説明する。図1は、本発明のプリント圧力検出方法1の例を示しており、モールドを有するスタンプ11と、スタンプ11を保持した円形の平面形状を有するスタンプホルダー12が、スタンプホルダー支持台13の上に、配置されている構成の例である。スタンプホルダー12は、中心に方形の窓12aを有している。そして、予め所定の荷重を加えるために、複数個の重り18をスタンプホルダー12の上部に配置している。この方法1の例では、重り18を、軸18aに交換可能に取り付けており、本発明において予め加える荷重を変更することができる。この例は、具体的な構造の例示というよりも、変更可能な荷重を付与するものとして把握すべきである。
図2は、本発明のプリント圧力検出方法2の例を示しており、スタンプ11と、スタンプ11を下面に保持したスタンプホルダー12が、スタンプホルダー支持台13の上に、単に載っている例1の構成に加えて、スタンプホルダー12をセンサー手段14に対して予め加圧する与圧機構を装備した例である。与圧機構には、スタンプホルダー支持台13に回転可能に設けられた固定爪16を用い、各固定爪16は、各センサー手段14に1個ずつ設け、各固定爪16の回転により、センサー手段14の接触子14aの軸上に軸外の位置から配置されるように構成されている。
当該装置30の模式的説明図である。なお、既に方法1及び2の装置的構成における説明で使用した符号はこの装置の説明においても援用する。つまり同じ符号は、全ての図において共通の構成を指すものとする。
12 スタンプホルダー
13 スタンプホルダー支持台
14 センサー手段
15 薬液
16 固定爪
17 フォトマスク
18 重り
21 ワーク
22 ワーク台
23、23′ 平行調整機構
24、24′ XYZΘアライメント機構
25 基台
30 マイクロコンタクトプリント装置
31 プリントステーション
32 インク補充ステーション
33 上部基板
34 下部基板
35、36 ガイドレール
38 支軸
39 レバー
41 係止部
42 ストッパー
43 ナット
44 弾性部材
45 ワークを固定する手段
46、47 スタンプホルダー運搬のための保持部
48 受け部
Claims (4)
- スタンプとワークの平行出しがなされており、スタンプに転写剤として薬液が補充されており、そのスタンプとワークを相対的に接近させ、所要の接触圧力で接触させて薬液をワークに転写するために、接触圧力を管理する方法であって、
スタンプを保持しているスタンプホルダーに初期圧力を加圧するための手段は、ワークの上昇量に対応して移動可能な重りによる加圧を含む加圧手段であり、上記スタンプホルダーの側に、予め所定の荷重を加えてその値を初期圧力として検出し、スタンプの下位に配置されているワークをスタンプに対して上昇させ、接触圧力を加えるとともに、その接触圧力を検出し、スタンプを保持している側に加えられている初期圧力と上記接触圧力との差をプリント圧力として検出することを特徴とする
マイクロコンタクトプリントにおけるプリント圧力検出方法。 - スタンプとワークの平行出しがなされており、スタンプに転写剤として薬液が補充されており、そのスタンプとワークを相対的に接近させ、所要の接触圧力で接触させて薬液をワークに転写するために、接触圧力を管理する方法を実施する装置であって、
スタンプを下面に保持したスタンプホルダーと、スタンプホルダーを周辺部にて支持するスタンプホルダー支持台を具備するとともに、スタンプホルダーに接触して接触圧力を検出するセンサー手段を、複数個を1組としてスタンプホルダーとスタンプホルダー支持台との間に配置し、複数個のセンサー手段を配置したスタンプホルダー支持台に、スタンプホルダーをセンサー手段に対して予め加圧するために、ワークの上昇量に対応して移動可能な重りによる加圧を含む加圧手段から成る与圧機構を装備し、
ワークをスタンプに対して上昇させる昇降機構をスタンプの下位に配置し、昇降機構の作動によってワークによりスタンプに対して接触圧力を加えるものとし、
上記1組のセンサー手段により、スタンプを保持している側に加えられている初期圧力を検出するとともに、ワークによるスタンプに対する接触圧力を検出し、上記初期圧力と接触圧力との差をプリント圧力として検出することを特徴とする
マイクロコンタクトプリントにおけるプリント圧力検出装置。 - 与圧機構は、スタンプホルダー支持台に回転可能に設けられた固定爪であり、各固定爪は
、各センサー手段に1個ずつ設けられ、回転によりセンサー手段の軸外の位置から軸上に
配置されるように構成されている請求項2記載のマイクロコンタクトプリントにおけるプ
リント圧力検出装置。 - スタンプホルダーは円形の平面形状を有しており、その同心円上に3個のロードセルを等
角度間隔に配置した構成を有する請求項2記載のマイクロコンタクトプリントにおけるプ
リント圧力検出装置。
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Family Applications (1)
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