JP4741957B2 - 基板の処理装置 - Google Patents
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Description
上記基板が供給されるチャンバと、
上記処理液を上記チャンバへ供給する外部給液管と、
上記チャンバ内に設けられ上記外部給液管に供給された処理液をチャンバ内に導入する内部給液管と、
上記チャンバの一側板に形成された開口部で上記一側板に対して上記外部給液管と上記内部給液管を液密に接続する接続手段を具備し、
上記接続手段は、
外形寸法が上記開口部よりも大径に形成され上記外部給液管の端部が溶接される外部フランジと、
外形寸法が上記開口部よりも大径に形成され上記内部給液管の端部が溶接される内部フランジと、
上記開口部で上記チャンバの一側板を挟んで上記外部フランジと内部フランジをねじ止め固定する締結手段と、
上記内部フランジと外部フランジとのどちらか一方に設けられそのフランジと上記チャンバの一側板との液密状態を確保する第1のシール材と
上記内部フランジと外部フランジとのどちらか一方のフランジに設けられこれら第1のフランジと第2のフランジとの上記開口部で対向する面の液密状態を確保する第2のシール材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
側板に長孔が開口形成された複数のチャンバを有し、複数のチャンバが互いの側板を対向させて並設される装置本体と、
並設された一対のチャンバの側板の上記長孔が形成された部分を液密に接続する接続手段を具備し、
上記接続手段は、
外形寸法が上記長孔よりも大きく、内径寸法が上記長孔よりも小さくて上記基板が通過可能な大きさに形成されていて、隣り合う一対のチャンバの対向する一対の側板の一方の内面に設けられる第1の枠状部材と、
この第1の枠状部材とほぼ同じ大きさに形成されていて、隣り合う一対のチャンバの対向する一対の側板の他方の内面に設けられ第2の枠状部材と、
一対のチャンバの側板を挟んで対向する上記第1の枠状部材と第2の枠状部材をねじ止め固定する締結手段と、
上記第1の枠状部材と第2の枠状部材にそれぞれ設けられ各枠状部材と各チャンバの側板との液密状態を確保する第1のシール材と、
上記第1の枠状部材と第2の枠状部材の一方に設けられこれら枠状部材の上記長孔で対向する部分の液密を確保する第2のシール材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
上記内部フランジ33には、上記外部フランジ32に形成されたねじ孔39と対応する位置に複数の通孔41が厚さ方向に貫通して形成されている。
Claims (2)
- 基板を処理液によって処理する処理装置であって、
上記基板が供給されるチャンバと、
上記処理液を上記チャンバへ供給する外部給液管と、
上記チャンバ内に設けられ上記外部給液管に供給された処理液をチャンバ内に導入する内部給液管と、
上記チャンバの一側板に形成された開口部で上記一側板に対して上記外部給液管と上記内部給液管を液密に接続する接続手段を具備し、
上記接続手段は、
外形寸法が上記開口部よりも大径に形成され上記外部給液管の端部が溶接される外部フランジと、
外形寸法が上記開口部よりも大径に形成され上記内部給液管の端部が溶接される内部フランジと、
上記開口部で上記チャンバの一側板を挟んで上記外部フランジと内部フランジをねじ止め固定する締結手段と、
上記内部フランジと外部フランジとのどちらか一方に設けられそのフランジと上記チャンバの一側板との液密状態を確保する第1のシール材と
上記内部フランジと外部フランジとのどちらか一方のフランジに設けられこれら第1のフランジと第2のフランジとの上記開口部で対向する面の液密状態を確保する第2のシール材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。 - 基板を処理液によって処理する処理装置であって、
側板に長孔が開口形成された複数のチャンバを有し、複数のチャンバが互いの側板を対向させて並設される装置本体と、
並設された一対のチャンバの側板の上記長孔が形成された部分を液密に接続する接続手段を具備し、
上記接続手段は、
外形寸法が上記長孔よりも大きく、内径寸法が上記長孔よりも小さくて上記基板が通過可能な大きさに形成されていて、隣り合う一対のチャンバの対向する一対の側板の一方の内面に設けられる第1の枠状部材と、
この第1の枠状部材とほぼ同じ大きさに形成されていて、隣り合う一対のチャンバの対向する一対の側板の他方の内面に設けられ第2の枠状部材と、
一対のチャンバの側板を挟んで対向する上記第1の枠状部材と第2の枠状部材をねじ止め固定する締結手段と、
上記第1の枠状部材と第2の枠状部材にそれぞれ設けられ各枠状部材と各チャンバの側板との液密状態を確保する第1のシール材と、
上記第1の枠状部材と第2の枠状部材の一方に設けられこれら枠状部材の上記長孔で対向する部分の液密を確保する第2のシール材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。
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JP2006039409A JP4741957B2 (ja) | 2006-02-16 | 2006-02-16 | 基板の処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006039409A JP4741957B2 (ja) | 2006-02-16 | 2006-02-16 | 基板の処理装置 |
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JP2007220896A JP2007220896A (ja) | 2007-08-30 |
JP4741957B2 true JP4741957B2 (ja) | 2011-08-10 |
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ID=38497843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006039409A Expired - Fee Related JP4741957B2 (ja) | 2006-02-16 | 2006-02-16 | 基板の処理装置 |
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