JP4728866B2 - 共振回路、フィルタ回路および発振回路 - Google Patents
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Description
基板と、
帯状電極と、
前記帯状電極の両端において前記帯状電極を基板面から所定の高さに支持する複数の支持部材と、
前記帯状電極の真下に、前記帯状電極の長さ方向に沿って前記基板面に配置された複数の突起部と、
前記帯状電極の一部を押さえる複数の押さえ部と、
各前記押さえ部を前記帯状電極の長さ方向にそれぞれ異なる移動範囲で移動させ、前記押さえ部を前記突起部の真上に移動させる、移動機構と、
第1の一端から受ける入力信号を第1の他端に伝送する、前記第1の他端は前記帯状電極の長さ方向における一方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する入力線路と、
第2の一端から受ける出力信号を第2の他端に伝送する、前記第2の一端は前記帯状電極の前記一方の側面と反対側における他方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する出力線路と、を備え、
前記帯状電極は、前記入力信号に含まれる、前記複数の押さえ部間における帯状電極部分の長さに応じた共振周波数の信号で共振して、前記共振周波数をもつ信号を前記出力信号として前記出力線路の一端に与える。
本発明の別の態様としての共振回路は、
基板と、
帯状電極と、
前記帯状電極の両端において前記帯状電極を基板面から所定の高さに支持する複数の支持部材と、
前記帯状電極の一部を押さえる複数の押さえ部と、
各前記押さえ部を前記帯状電極の長さ方向にそれぞれ異なる移動範囲で移動させる移動機構と、
第1の一端から受ける入力信号を第1の他端に伝送する、前記第1の他端は前記帯状電極の長さ方向における一方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する入力線路と、
第2の一端から受ける出力信号を第2の他端に伝送する、前記第2の一端は前記帯状電極の前記一方の側面と反対側における他方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する出力線路と、
共振阻止機構と、を備え、
前記帯状電極は、前記入力信号に含まれる、前記複数の押さえ部間における帯状電極部分の長さに応じた共振周波数の信号で共振して、前記共振周波数をもつ信号を前記出力信号として前記出力線路の一端に与え、
前記共振阻止機構は、外部制御信号に応答して前記複数の支持部材間における帯状電極部分の略中央を押さえて前記帯状電極の共振を阻止する。
101…共振素子(帯状電極)
102…支持部材
103(1)、103(2)…水平方向調整部(押さえ部)
104(1)…入力線路
104(2)…出力線路
105…外部制御装置
106…半導体基板(基板)
107a、107b…突起部
108…垂直方向調整部
108a…突起部
109…MIMキャパシタ
121…絶縁体部分
122…短い金属の電極
201…共振回路
202…増幅器
203…負荷抵抗
204…出力端子
301…入力端子
302…キャパシタ
303…バイアス端子
304…インダクタ
305…トランジスタ
306…バイアス端子
307…インダクタ
308…コンデンサ
309…出力端子
401a、401b…駆動パッド
402a、402b…電圧源
403…絶縁素子
404…支持部材
405a…絶縁体部分
405b…金属電極
405c…絶縁素子
406…制御部
407…金属部材
Claims (6)
- 基板と、
帯状電極と、
前記帯状電極の両端において前記帯状電極を基板面から所定の高さに支持する複数の支持部材と、
第1の一端から受ける入力信号を第1の他端に伝送する、前記第1の他端は前記帯状電極の長さ方向における一方の側面に近接する入力線路と、
第2の一端から受ける出力信号を第2の他端に伝送する、前記第2の一端は前記帯状電極の前記一方の側面と反対側における他方の側面に近接する出力線路と、
外部制御信号に応答して前記複数の支持部材間における帯状電極部分の略中央を押さえて、前記帯状電極の共振を阻止する共振阻止機構と、を備え、
前記帯状電極は、前記共振阻止機構によって押さえられていない状態では、前記入力信号に含まれる、前記帯状電極部分の長さに応じた共振周波数の信号によって共振し、前記共振周波数をもつ信号を前記出力信号として前記第2の一端に与える、共振回路。 - 基板と、
帯状電極と、
前記帯状電極の両端において前記帯状電極を基板面から所定の高さに支持する複数の支持部材と、
前記帯状電極の真下に、前記帯状電極の長さ方向に沿って前記基板面に配置された複数の突起部と、
前記帯状電極の一部を押さえる複数の押さえ部と、
各前記押さえ部を前記帯状電極の長さ方向にそれぞれ異なる移動範囲で移動させ、前記押さえ部を前記突起部の真上に移動させる、移動機構と、
第1の一端から受ける入力信号を第1の他端に伝送する、前記第1の他端は前記帯状電極の長さ方向における一方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する入力線路と、
第2の一端から受ける出力信号を第2の他端に伝送する、前記第2の一端は前記帯状電極の前記一方の側面と反対側における他方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する出力線路と、を備え、
前記帯状電極は、前記入力信号に含まれる、前記複数の押さえ部間における帯状電極部分の長さに応じた共振周波数の信号で共振して、前記共振周波数をもつ信号を前記出力信号として前記出力線路の一端に与える、共振回路。 - 外部制御信号に応答して前記複数の支持部材間における帯状電極部分の略中央を押さえて前記帯状電極の共振を阻止する前記共振阻止機構をさらに備えたことを特徴とする請求項2に記載の共振回路。
- 基板と、
帯状電極と、
前記帯状電極の両端において前記帯状電極を基板面から所定の高さに支持する複数の支持部材と、
前記帯状電極の一部を押さえる複数の押さえ部と、
各前記押さえ部を前記帯状電極の長さ方向にそれぞれ異なる移動範囲で移動させる移動機構と、
第1の一端から受ける入力信号を第1の他端に伝送する、前記第1の他端は前記帯状電極の長さ方向における一方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する入力線路と、
第2の一端から受ける出力信号を第2の他端に伝送する、前記第2の一端は前記帯状電極の前記一方の側面と反対側における他方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する出力線路と、
共振阻止機構と、を備え、
前記帯状電極は、前記入力信号に含まれる、前記複数の押さえ部間における帯状電極部分の長さに応じた共振周波数の信号で共振して、前記共振周波数をもつ信号を前記出力信号として前記出力線路の一端に与え、
前記共振阻止機構は、外部制御信号に応答して前記複数の支持部材間における帯状電極部分の略中央を押さえて前記帯状電極の共振を阻止する、共振回路。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載された、第1および第2の前記共振回路と、
一端が前記第1の共振回路における前記出力線路の前記他端と接続され、他端が前記第2の共振回路における前記入力線路の前記一端と接続されたインピーダンス回路と、
を備えたフィルタ回路。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の共振回路と、
前記共振回路における前記出力線路の前記他端に接続された出力端子と、
前記出力線路の他端に一端が接続されたインピーダンス回路と、
前記インピーダンス回路の他端に一端が接続され、他端が前記共振回路における入力線路の一端に接続された増幅回路と、
を備えた発振回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006110825A JP4728866B2 (ja) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 共振回路、フィルタ回路および発振回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006110825A JP4728866B2 (ja) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 共振回路、フィルタ回路および発振回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007288321A JP2007288321A (ja) | 2007-11-01 |
JP4728866B2 true JP4728866B2 (ja) | 2011-07-20 |
Family
ID=38759713
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006110825A Expired - Fee Related JP4728866B2 (ja) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 共振回路、フィルタ回路および発振回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4728866B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4690436B2 (ja) * | 2008-05-01 | 2011-06-01 | 株式会社半導体理工学研究センター | Mems共振器、mems発振回路及びmemsデバイス |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2006
- 2006-04-13 JP JP2006110825A patent/JP4728866B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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JP2007288321A (ja) | 2007-11-01 |
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