JP4722974B2

JP4722974B2 - Hoop cleaning and drying equipment

Info

Publication number: JP4722974B2
Application number: JP2008207911A
Authority: JP
Inventors: 裕之門倉
Original assignee: 株式会社コンタクト
Priority date: 2008-08-12
Filing date: 2008-08-12
Publication date: 2011-07-13
Anticipated expiration: 2028-08-12
Also published as: JP2010045174A

Description

本発明は、洗浄槽内のフープに洗浄水を吹き付けてフープを洗浄するフープ洗浄乾燥装置に関する。 The present invention relates to a hoop cleaning / drying apparatus for cleaning a hoop by spraying cleaning water onto a hoop in a cleaning tank.

半導体ウエハ等は、フープ（FOUP：Ｆront Ｏpenning Ｕnify Ｐod）と称する搬送容器に収容されて搬送される。このフープは、前面部に開口部を有するフープ本体（シェルともいう）と、このフープ本体の開口部に着脱自在に装着されるドア（蓋ともいう）とからなっている。 Semiconductor wafers and the like are transferred in a transfer container called a FOUP (Front Opening Unify Pod). The hoop includes a hoop main body (also referred to as a shell) having an opening on the front surface portion and a door (also referred to as a lid) that is detachably attached to the opening of the hoop main body.

上記フープは、半導体ウエハ等の汚染源にならないようにするために、定期的に洗浄されることが好ましい。そこで、空のフープをフープ本体とドアに分離して洗浄室（洗浄槽ともいう）内に配置し、これらフープ本体及びドアに洗浄水を吹き付けて洗浄を行い、洗浄後、同洗浄室内でフープ本体及びドアに乾燥空気を吹き付けて乾燥させるようにしたフープ洗浄乾燥装置が提案されている（特許文献１参照）。 The hoop is preferably cleaned periodically so as not to become a contamination source such as a semiconductor wafer. Therefore, an empty hoop is separated into a hoop body and a door and placed in a cleaning chamber (also referred to as a cleaning tank). Washing water is sprayed onto the hoop body and the door, and then the hoop is washed in the cleaning chamber. There has been proposed a hoop cleaning and drying apparatus in which dry air is blown onto a main body and a door to dry (see Patent Document 1).

特開２００５−１０９５２３号公報JP 2005-109523 A

ところで、フープ洗浄乾燥装置は、工場に予め設置されている給水源に配管を介して接続され、この給水源からの純水でフープを洗浄するようになっている。このため、工場に設置された他の機器が給水源の純水を使用しているときなど、一時的に純水の供給量が低下することがあり、純水を安定して得られないことがあるという課題があった。また、かかる課題を解決するために給水源を強化するのは、設備が大型化し多大な費用がかかるため現実的でなかった。 By the way, the hoop cleaning / drying apparatus is connected to a water supply source installed in advance in a factory via a pipe, and cleans the hoop with pure water from the water supply source. For this reason, when other equipment installed in the factory is using pure water as a water supply source, the supply amount of pure water may temporarily decrease, and pure water cannot be obtained stably. There was a problem that there was. Moreover, it is not realistic to strengthen the water supply source in order to solve such a problem because the equipment is large and expensive.

そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、洗浄槽に純水を安定して供給でき、かつ、設備の大型化やコストアップを抑えることができるフープ洗浄乾燥装置を提供することにある。 Then, the objective of this invention is providing the hoop washing | cleaning drying apparatus which can solve the said subject, can supply a pure water stably to a washing tank, and can suppress the enlargement and cost increase of an installation. .

上記課題を解決するために本発明は、フープをフープ本体とドアに分離して収容する複数の洗浄槽と、これら洗浄槽に設けられ洗浄槽内のフープ本体とドアに給水源からのフープ洗浄用の純水又はドライエアを吹き付けるためのノズルとを備えたフープ洗浄乾燥装置において、上記ノズルに、複数の上記洗浄槽でフープを同時に洗浄するのに必要な容量の上記純水を収容する上下に長細い水タンクを給水管とバルブを介して接続すると共に、上記水タンクの底部に上記給水管と接続される送出口を設け、上記水タンクの上端部に、水圧送用の圧気を供給するための圧気供給手段を接続すると共に上記給水源を接続して上記水タンクをバッファタンクとし、上記洗浄槽に、フープ洗浄後に洗浄槽内の水を排出すると共に、フープ乾燥時に洗浄槽内の空気を排出するための排気排水口をそれぞれ形成し、これら排気排水口に気液分離器を介して空気吸引用のブロワを接続し、該ブロワと上記水タンクを同一のケーシング内に収容してユニット化したものである。 The present invention for solving the above-hoop washed from the water source hoop and a plurality of the cleaning tank for accommodating separating the FOUP main body and the door, the FOUP main body and the door in the cleaning tank is provided with these cleaning tank In a hoop cleaning / drying apparatus having a nozzle for spraying pure water or dry air for use in the above and below to accommodate the above-mentioned pure water in a capacity necessary for simultaneously cleaning the hoop in the plurality of cleaning tanks. A long and thin water tank is connected to the water supply pipe via a valve, and a feed outlet connected to the water supply pipe is provided at the bottom of the water tank , and pressurized air for water pressure feeding is supplied to the upper end of the water tank. the water tank to the buffer tank connected to the water supply source with connecting gas supply means for, in the cleaning tank, the discharging water in the cleaning tank after hoop washing, cleaning tank during hoop drying Air to form respectively a water discharge port for discharging, through the gas-liquid separator to these water discharge ports to connect the blower for air suction, housing the blower and the water tank in the same casing Unitized.

上記空気吸引手段がブロワからなり、上記ケーシングの上面には、ブロワからの熱気を放出するための穴を有するパンチングプレートが設けられ、該パンチングプレートとブロワの間には、ブロワからの騒音を遮るためのバッフルプレートが設けられるとよい。 The air suction means comprises a blower, and a punching plate having a hole for releasing hot air from the blower is provided on the upper surface of the casing, and noise from the blower is blocked between the punching plate and the blower. A baffle plate may be provided.

また、所定時間毎に上記水タンクと上記洗浄槽の間の給水系を洗浄すると共に、洗浄槽を洗浄し、かつ、洗浄槽と上記気液分離器の間の排水系を洗浄すべく、上記バルブを開くと共に上記空気吸引手段を駆動させる制御装置を備えるとよい。 In addition, the water supply system between the water tank and the washing tank is washed every predetermined time, the washing tank is washed, and the drainage system between the washing tank and the gas-liquid separator is washed. A control device for opening the valve and driving the air suction means may be provided.

上記気液分離器が、上記洗浄槽からの排水を水平方向に流す排水管部と、該排水管部から上方に分岐され上記空気吸引手段に接続される気液分離部とを備え、該気液分離部は、円筒状の排気管部と、該排気管部内に流路を一部遮るように設けられたトラップ板とを有しているとよい。 The gas-liquid separator is provided with a drain pipe part for flowing waste water from the washing tank in a horizontal direction, and a gas-liquid separator part branched upward from the drain pipe part and connected to the air suction means. The liquid separation unit may include a cylindrical exhaust pipe part and a trap plate provided so as to partially block the flow path in the exhaust pipe part.

本発明によれば、洗浄槽に純水を安定して供給でき、かつ、設備の大型化やコストアップを抑えることができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, a pure water can be stably supplied to a washing tank, and the enlargement and cost increase of an installation can be suppressed.

本発明の好適実施の形態を添付図面を用いて説明する。図１はフープ洗浄乾燥装置の平面図である。図２は、フープ洗浄乾燥装置のタンク・排気ユニットの側面図であり、図３はタンク・排気ユニットの正面図である。図４は、フープ洗浄乾燥装置の気液分離器の平面図であり、図５は気液分離器の側面図であり、図６は気液分離器の正面図である。図７は洗浄槽の側面図であり、図８はフープ洗浄乾燥装置本体の側面図である。 Preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a plan view of a hoop cleaning / drying apparatus. FIG. 2 is a side view of the tank / exhaust unit of the hoop cleaning / drying apparatus, and FIG. 3 is a front view of the tank / exhaust unit. 4 is a plan view of the gas-liquid separator of the hoop cleaning / drying apparatus, FIG. 5 is a side view of the gas-liquid separator, and FIG. 6 is a front view of the gas-liquid separator. FIG. 7 is a side view of the cleaning tank, and FIG. 8 is a side view of the hoop cleaning / drying apparatus main body.

図１及び図８に示すように、フープ洗浄乾燥装置１は、フープ５の洗浄・乾燥を行うフープ洗浄乾燥装置本体２と、フープ洗浄乾燥装置本体２の洗浄槽３に純水を供給すると共に洗浄槽３内の水及び空気を吸引するタンク・排気ユニット４とからなる。 As shown in FIGS. 1 and 8, the hoop cleaning / drying device 1 supplies pure water to a hoop cleaning / drying device main body 2 for cleaning and drying the hoop 5 and a cleaning tank 3 of the hoop cleaning / drying device main body 2. The tank / exhaust unit 4 sucks water and air in the cleaning tank 3.

フープ洗浄乾燥装置本体２は、架台６と、架台６の一端側に設けられフープ５の搬入搬出を行うためのロードポート部７と、架台６の他端側に設けられフープ５の洗浄及び乾燥を行う２つの洗浄槽３と、架台６の中央に設けられロードポート部７と洗浄槽３との間でフープ５の搬送を行う搬送ロボット８と、架台６の隅部に設けられ洗浄槽３から排出される水と空気を分離するための気液分離器９とを備えて構成されている。 The hoop cleaning and drying apparatus main body 2 includes a gantry 6, a load port unit 7 provided on one end side of the gantry 6 for carrying in and out of the hoop 5, and a hose 5 cleaning and drying provided on the other end side of the gantry 6. Two cleaning tanks 3 for carrying out the process, a transfer robot 8 provided at the center of the gantry 6 for transferring the hoop 5 between the load port unit 7 and the cleaning tub 3, and a cleaning tub 3 provided at the corner of the gantry 6. And a gas-liquid separator 9 for separating water discharged from the air and air.

ロードポート部７は、３ポートすなわち３個のフープ５を載置するようになっている。ロードポート部７は、左の２ポート分のエリアがロード専用となっており、右端の１ポート分のエリアがアンロード専用となっている。 The load port unit 7 is configured to mount three ports, that is, three hoops 5. In the load port section 7, the left two port areas are dedicated to loading, and the rightmost one port area is dedicated to unloading.

搬送ロボット８は、例えば６軸の回転が可能なアーム１０を有する多関節ロボットからなり、アーム１０の先端部にはフープ本体１１の上部に突設された被把持部１２又はドア１３を選択的に把持可能な把持機構１４が設けられている。 The transfer robot 8 is composed of, for example, an articulated robot having an arm 10 capable of six-axis rotation. A gripped portion 12 or a door 13 protruding from the top of the hoop body 11 is selectively selected at the tip of the arm 10. A gripping mechanism 14 that can be gripped is provided.

洗浄槽３は、上部が開放された洗浄槽本体１５と、この洗浄槽本体１５の上部に着脱自在に密着される筒状の内蓋１６と、内蓋１６の上部に着脱自在に密着される外蓋１７とから主に構成されている。内蓋１６及び外蓋１７はそれぞれ電動式パワーシリンダ１８、１９により開閉されるようになっている。外蓋１７の内面にはドア１３を吸着保持するためのドア保持部２０が設けられ、外蓋１７の外面にはドア保持部２０を回転させるドア回転機構２１が設けられている。 The cleaning tank 3 has a cleaning tank body 15 with an open top, a cylindrical inner lid 16 that is detachably attached to the upper part of the cleaning tank body 15, and a detachable contact with the upper part of the inner lid 16. It is mainly composed of an outer lid 17. The inner lid 16 and the outer lid 17 are opened and closed by electric power cylinders 18 and 19, respectively. A door holding part 20 for adsorbing and holding the door 13 is provided on the inner surface of the outer lid 17, and a door rotating mechanism 21 for rotating the door holding part 20 is provided on the outer surface of the outer lid 17.

図７に示すように、洗浄槽本体１５の底部中央部には、固定支軸２２が上下に貫通して設けられ、固定支軸２２の外周には筒状の回転軸２３が回転自在に設けられている。また、洗浄槽本体１５の底部には回転軸２３を外周側から回転自在に支持する軸受筒体２４が固定されており、軸受筒体２４と固定支軸２２とで回転軸２３を回転自在に支持するようになっている。回転軸２３の上端部には径方向外方に延出する回転台２５が設けられ、この回転台２５の先端にはフープ本体１１を開口部を下向きにした状態でその四隅を保持する爪状の保持部２６が上方に突出して設けられている。固定支軸２２には回転軸２３をタイミングベルト７４及びベルト車７５を介して回転駆動する電動機７６が取付金具７７を介して取り付けられており、洗浄時及び乾燥時に保持部２６に保持されたフープ本体１１を回転し得るようになっている。 As shown in FIG. 7, a fixed support shaft 22 is provided vertically through the central portion of the bottom of the cleaning tank body 15, and a cylindrical rotating shaft 23 is rotatably provided on the outer periphery of the fixed support shaft 22. It has been. A bearing cylinder 24 that rotatably supports the rotating shaft 23 from the outer peripheral side is fixed to the bottom of the cleaning tank main body 15, and the rotating shaft 23 is rotatable by the bearing cylinder 24 and the fixed support shaft 22. It comes to support. A rotary table 25 extending radially outward is provided at the upper end of the rotary shaft 23, and a claw-like shape that holds the four corners of the hoop body 11 with the opening facing downward is provided at the tip of the rotary table 25. Is provided so as to protrude upward. An electric motor 76 for rotating the rotating shaft 23 via a timing belt 74 and a belt wheel 75 is attached to the fixed support shaft 22 via a mounting bracket 77, and a hoop held by the holding portion 26 during cleaning and drying. The main body 11 can be rotated.

また、固定支軸２２の上端には、保持部２６に保持されたフープ本体１１の内側を洗浄し乾燥させるための複数のノズル２７を備えた内側洗浄管２８が複数立設されている。固定支軸２２の内部には内側洗浄管２８と連通する供給通路２９が形成されており、供給通路２９には、切替弁３０を介してタンク・排気ユニット４の水タンク３２（図１参照）又はドライエア供給装置（図示せず）のいずれか一方が選択的に接続されるようになっている。また、洗浄槽本体１５の外周部には、フープ本体１１の外側を洗浄し乾燥させるための複数のノズル２７を備えた外側洗浄管３１が立設されており、外側洗浄管３１にも、切替弁３０を介して水タンク３２（図１参照）又はドライエア供給装置（図示せず）のいずれか一方が選択的に接続されるようになっている。 In addition, a plurality of inner cleaning pipes 28 provided with a plurality of nozzles 27 for cleaning and drying the inside of the hoop body 11 held by the holding portion 26 are provided upright at the upper end of the fixed support shaft 22. A supply passage 29 communicating with the inner cleaning pipe 28 is formed inside the fixed support shaft 22. A water tank 32 of the tank / exhaust unit 4 (see FIG. 1) is connected to the supply passage 29 via a switching valve 30. Alternatively, either one of the dry air supply devices (not shown) is selectively connected. In addition, an outer cleaning pipe 31 having a plurality of nozzles 27 for cleaning and drying the outside of the hoop main body 11 is erected on the outer peripheral portion of the cleaning tank main body 15, and is switched to the outer cleaning pipe 31. One of a water tank 32 (see FIG. 1) and a dry air supply device (not shown) is selectively connected via the valve 30.

内蓋１６には、内蓋１６と洗浄槽本体１５との境界に位置して上方のドア１３と下方のフープ本体１１を洗浄し、乾燥させるノズル２７を上下に備えた上部洗浄管３３が設けられている。上部洗浄管３３には、切替弁３０を介して水タンク３２又はドライエア供給装置（図示せず）のいずれか一方が選択的に接続されるようになっている。 The inner lid 16 is provided with an upper cleaning pipe 33 provided with upper and lower nozzles 27 for cleaning and drying the upper door 13 and the lower hoop main body 11 at the boundary between the inner lid 16 and the cleaning tank main body 15. It has been. Either the water tank 32 or the dry air supply device (not shown) is selectively connected to the upper cleaning pipe 33 via the switching valve 30.

また、それぞれの洗浄槽本体１５の底部には排気排水口３４が設けられている。図４、図５及び図６に示すように、排気排水口３４には排出用開閉弁３５を介して気液分離器９が接続されている。 Further, an exhaust drainage port 34 is provided at the bottom of each cleaning tank body 15. As shown in FIGS. 4, 5, and 6, the gas / liquid separator 9 is connected to the exhaust drain port 34 via a discharge on-off valve 35.

気液分離器９は、洗浄槽３からの排水を水平方向に流す排水管部３６と、排水管部３６から上方に分岐され空気吸引手段に接続される気液分離部３７とを備えて構成されている。排水管部３６は、分岐部３８の流路面積よりも出口側の流路面積が小さくなるように出口部３９の流路を絞って形成されており、分岐部３８で水の流速を落として気液分離部３７での水と空気の分離が良好に行われるようになっている。気液分離部３７は、円筒状の排気管部４０と、排気管部４０内に流路を一部遮るように設けられたトラップ板４１と、排気管部４０の上端部に水平方向に挿入されタンク・排気ユニット４のブロワ４２に後述する吸込支管４３等を介して接続される出口管部４４とを備えて構成される。排気管部４０は、所定長さ鉛直に延びて形成されており、重力により水を落として水と空気を分離させるようになっている。また、排気管部４０の下端部４５は、空気と水との分離が促進されるように内径を絞って形成されている。トラップ板４１は、排気管部４０内に上下に間隔を隔てて複数段に設けられており、各段で空気に含まれるミストを捕捉して落下させるようになっている。また、トラップ板４１は、空気の流れを阻害しないように端部の板厚が徐々に薄くなるように形成されている。出口管部４４は、排気管部４０内に所定長さ没入されており、トラップ板４１により屈曲された空気の流れを更に屈曲させ、気液分離を更に良好に行うようになっている。 The gas-liquid separator 9 includes a drain pipe part 36 for flowing the waste water from the cleaning tank 3 in the horizontal direction, and a gas-liquid separator 37 branched upward from the drain pipe part 36 and connected to the air suction means. Has been. The drain pipe part 36 is formed by narrowing the flow path of the outlet part 39 so that the flow path area on the outlet side is smaller than the flow path area of the branch part 38. The separation of water and air in the gas-liquid separation unit 37 is favorably performed. The gas-liquid separation part 37 is inserted horizontally into the cylindrical exhaust pipe part 40, the trap plate 41 provided so as to partially block the flow path in the exhaust pipe part 40, and the upper end part of the exhaust pipe part 40. And an outlet pipe portion 44 connected to the blower 42 of the tank / exhaust unit 4 via a suction branch pipe 43 and the like which will be described later. The exhaust pipe portion 40 is formed to extend vertically by a predetermined length, and separates water and air by dropping water by gravity. Further, the lower end portion 45 of the exhaust pipe portion 40 is formed with a reduced inner diameter so as to promote separation of air and water. The trap plate 41 is provided in a plurality of stages at intervals in the vertical direction in the exhaust pipe portion 40, and traps and drops mist contained in air at each stage. Moreover, the trap plate 41 is formed so that the plate thickness of the end portion is gradually reduced so as not to hinder the air flow. The outlet pipe part 44 is immersed in the exhaust pipe part 40 for a predetermined length, and the air flow bent by the trap plate 41 is further bent so that the gas-liquid separation is performed more satisfactorily.

図１、図２及び図３に示すように、タンク・排気ユニット４は、供給用開閉弁４６及び切替弁３０を介してノズル２７に接続される水タンク３２と、気液分離器９を介して洗浄槽３の排気排水口３４に接続される空気吸引手段たるブロワ４２と、ブロワ４２と水タンク３２を収容するケーシング４７とを備えて構成されている。 As shown in FIGS. 1, 2, and 3, the tank / exhaust unit 4 includes a water tank 32 connected to a nozzle 27 via a supply on / off valve 46 and a switching valve 30, and a gas-liquid separator 9. And a blower 42 as air suction means connected to the exhaust / drain port 34 of the cleaning tank 3, and a casing 47 for housing the blower 42 and the water tank 32.

水タンク３２は、フープ洗浄用に純水を収容する洗浄専用のタンクであり、工場の既設の給水源４８から純水を得て貯留するようになっている。すなわち、水タンク３２は補給管４９を介して給水源４８に接続されており、水タンク３２は、給水源４８と洗浄槽３との間に介設されるバッファタンクとして機能するようになっている。水タンク３２は、上下に長く形成されており、底部を基台５０を介してケーシング４７に固定されると共に上端部を固定金具５１を介してケーシング４７に固定されている。また、水タンク３２の上端部には、給水源４８に補給管４９を介して接続される純水導入口５２が設けられると共に、送風機等の圧気供給手段５３に圧気供給管５４を介して接続される圧気導入口５５が設けられている。水タンク３２の底部には、水タンク３２内の純水を洗浄槽３に送り出すための送出口５６が設けられている。水タンク３２の容量は、２つの洗浄槽３を同時に洗浄できるサイズに設定されている。例えば、１つのフープ５を洗浄するために必要な純水が３０リットルである場合、６０リットルに若干の予備を足した７０リットルに設定される。水タンク３２の内面には、特殊なテフロン（登録商標）がコーティングされており、洗浄後の水に含まれる不純物や水垢等の汚れが付着し難いようになっている。 The water tank 32 is a tank dedicated to cleaning that contains pure water for hoop cleaning, and obtains and stores pure water from an existing water supply 48 in the factory. In other words, the water tank 32 is connected to the water supply source 48 via the supply pipe 49, and the water tank 32 functions as a buffer tank interposed between the water supply source 48 and the cleaning tank 3. Yes. The water tank 32 is long in the vertical direction, and has a bottom portion fixed to the casing 47 via the base 50 and an upper end portion fixed to the casing 47 via the fixing bracket 51. In addition, a pure water inlet 52 connected to a water supply source 48 via a supply pipe 49 is provided at the upper end of the water tank 32 and connected to a pressurized air supply means 53 such as a blower via a pressurized air supply pipe 54. A pressurized air inlet 55 is provided. At the bottom of the water tank 32, a delivery port 56 for sending the pure water in the water tank 32 to the cleaning tank 3 is provided. The capacity of the water tank 32 is set to a size that allows the two cleaning tanks 3 to be cleaned simultaneously. For example, when the pure water required for cleaning one hoop 5 is 30 liters, the liter is set to 70 liters, which is 60 liters plus some reserves. The inner surface of the water tank 32 is coated with a special Teflon (registered trademark) so that impurities such as impurities and scales contained in the water after washing are difficult to adhere.

また、水タンク３２と補給管４９には、水タンク３２の水位を常に一定にするための水位保持装置５７が設けられている。水位保持装置５７は、補給管４９に設けられた補給用開閉弁５８と、水タンク３２に設けられ水位を検出する水位検出センサ５９と、水位検出センサ５９と補給用開閉弁５８に接続され水位検出センサ５９で検出される水位が所定値に満たないとき補給用開閉弁５８を開く第一制御装置６０とを備えて構成される。 Further, the water tank 32 and the supply pipe 49 are provided with a water level holding device 57 for always keeping the water level of the water tank 32 constant. The water level holding device 57 is connected to the supply opening / closing valve 58 provided in the supply pipe 49, the water level detection sensor 59 provided in the water tank 32 for detecting the water level, the water level detection sensor 59, and the supply opening / closing valve 58. And a first control device 60 that opens the replenishment opening / closing valve 58 when the water level detected by the detection sensor 59 is less than a predetermined value.

ブロワ４２は、後述する分岐ボックス６１を介してそれぞれの気液分離器９に吸込側を接続されると共に工場の既設の排気路（図示せず）に吐出側を接続されており、洗浄槽３内でフープ５を洗浄した後で駆動することで洗浄槽３内から水を吸い出し、洗浄槽３内でフープ５を乾燥させるときに駆動することで洗浄槽３内を負圧にしてフープ５の乾燥を促進するようになっている。 The blower 42 has a suction side connected to each gas-liquid separator 9 via a branch box 61 described later and a discharge side connected to an existing exhaust passage (not shown) in the factory. By driving after washing the hoop 5 in the inside, water is sucked out from the washing tank 3, and when the hoop 5 is dried in the washing tank 3, the inside of the washing tank 3 is made negative pressure by driving. It is designed to promote drying.

ケーシング４７は、箱形に形成されており、四隅に高さ調節自在な支持脚６２を有する。ケーシング４７は、水タンク３２とブロワ４２を水平方向に並べて収容するようになっている。また、ブロワ４２の直上に位置されるケーシング４７の上面には、ブロワ４２からの熱気を放出するための穴を有するパンチングプレート６３が設けられており、パンチングプレート６３とブロワ４２の間には、ブロワ４２からの騒音を遮るためのバッフルプレート６４が設けられている。具体的には、バッフルプレート６４は、パンチングプレート６３の下方に所定間隔を隔てて配置される邪魔板部６５と、邪魔板部６５の両側から上方に延びる取付ブラケット部６６とを有し、パンチングプレート６３の両側の上面に取付ブラケット部６６の上端を取り付けられることでパンチングプレート６３に臨んで配置されるようになっている。 The casing 47 is formed in a box shape, and has support legs 62 whose heights can be adjusted at the four corners. The casing 47 accommodates the water tank 32 and the blower 42 side by side in the horizontal direction. A punching plate 63 having a hole for releasing hot air from the blower 42 is provided on the upper surface of the casing 47 located immediately above the blower 42. Between the punching plate 63 and the blower 42, A baffle plate 64 for blocking noise from the blower 42 is provided. Specifically, the baffle plate 64 includes a baffle plate portion 65 disposed at a predetermined interval below the punching plate 63 and mounting bracket portions 66 extending upward from both sides of the baffle plate portion 65. The upper end of the mounting bracket portion 66 is attached to the upper surface on both sides of the plate 63 so as to face the punching plate 63.

ケーシング４７の前面には、ブロワ４２の吸込側に接続される吸込管６７と、ブロワ４２の吐出側に接続される吐出管６８と、一方の洗浄槽３のノズル２７に純水を供給するための第一給水管６９と、他方の洗浄槽３のノズル２７に純水を供給するための第二給水管７０とがそれぞれケーシング４７外に延びて設けられている。吸込管６７は、箱状に形成された分岐ボックス６１を介して２系統の吸込支管４３に分岐されている。一方の吸込支管４３は、一方の洗浄槽３に接続された気液分離器９の出口管部４４に接続されており、他方の吸込支管４３は、他方の洗浄槽３に接続された気液分離器９の出口管部４４に接続されている。また、分岐ボックス６１は、ケーシング４７の上面に取付フレーム７１を介して前方に突出するように取り付けられており、底部に吸込管６７と吸込支管４３をそれぞれ接続するようになっている。 In order to supply pure water to the front surface of the casing 47, a suction pipe 67 connected to the suction side of the blower 42, a discharge pipe 68 connected to the discharge side of the blower 42, and the nozzle 27 of one cleaning tank 3. A first water supply pipe 69 and a second water supply pipe 70 for supplying pure water to the nozzle 27 of the other cleaning tank 3 are provided so as to extend outside the casing 47. The suction pipe 67 is branched to the two suction branch pipes 43 via a branch box 61 formed in a box shape. One suction branch pipe 43 is connected to the outlet pipe portion 44 of the gas-liquid separator 9 connected to one cleaning tank 3, and the other suction branch pipe 43 is a gas-liquid connected to the other cleaning tank 3. The separator 9 is connected to the outlet pipe 44. Further, the branch box 61 is attached to the upper surface of the casing 47 so as to protrude forward via the attachment frame 71, and the suction pipe 67 and the suction branch pipe 43 are connected to the bottom part, respectively.

ケーシング４７の底部には、結露等によりケーシング４７内に溜まった水を外部に排出するためのドレン管７２が接続されている。ドレン管７２の先端には、ドレン管７２を開閉するためのコック７３が設けられており、適宜コック７３を開くことでケーシング４７内に溜まった水を排出できるようになっている。 A drain pipe 72 for discharging water accumulated in the casing 47 due to condensation or the like to the outside is connected to the bottom of the casing 47. At the tip of the drain pipe 72, a cock 73 for opening and closing the drain pipe 72 is provided. By appropriately opening the cock 73, water accumulated in the casing 47 can be discharged.

また、搬送ロボット８、電動式パワーシリンダ１８、１９、ドア回転機構２１、フープ本体１１を回転させるための電動機７６、排出用開閉弁３５、供給用開閉弁４６及びブロワ４２は、第二制御装置７８に接続されており、それぞれ第二制御装置７８でコントロールされるようになっている。また特に、第二制御装置７８は所定時間毎に排出用開閉弁３５及び供給用開閉弁４６を開くと共に、ブロワ４２を駆動するようになっており、所定時間毎に水タンク３２と洗浄槽３の間の給水系を洗浄すると共に、洗浄槽３を洗浄し、かつ、洗浄槽３と気液分離器９の間の排水系を洗浄するようになっている。なお、上記所定時間は、第二制御装置の書き換え可能な記憶媒体に記憶されており、ユーザが任意に設定できるようになっている。 Further, the transfer robot 8, the electric power cylinders 18, 19, the door rotation mechanism 21, the electric motor 76 for rotating the hoop body 11, the discharge on-off valve 35, the supply on-off valve 46, and the blower 42 are the second control device. 78, and are controlled by the second control device 78, respectively. In particular, the second control device 78 opens the discharge on-off valve 35 and the supply on-off valve 46 every predetermined time and drives the blower 42. The water tank 32 and the washing tank 3 are driven every predetermined time. In addition, the water supply system between the cleaning tank 3 and the gas-liquid separator 9 is cleaned. The predetermined time is stored in a rewritable storage medium of the second control device and can be arbitrarily set by the user.

次に本実施の形態の作用を述べる。 Next, the operation of this embodiment will be described.

フープ５を洗浄する場合、搬送ロボット８はロードポート部７上のフープ５を把持し、洗浄槽３内に搬入する。このとき、フープ５はフープ本体１１とドア１３とに分割され、フープ本体１１が洗浄槽本体１５内の保持部２６上にセットされ、ドア１３が外蓋１７のドア保持部２０に吸着保持される。この後、水タンク３２側の流路がノズル２７側の流路に接続されてドライエア供給装置側の流路が閉じるように切替弁３０が切り替えられ、供給用開閉弁４６が開かれ、回転軸２３とドア回転機構２１が駆動される。これにより、水タンク３２内の純水が水タンク３２内の圧気によって押し出されてノズル２７から吹き出ると共に、フープ本体１１とドア１３がそれぞれ縦軸回りに回転され、フープ本体１１とドア１３が洗浄される。 When cleaning the hoop 5, the transfer robot 8 grips the hoop 5 on the load port unit 7 and carries it into the cleaning tank 3. At this time, the hoop 5 is divided into the hoop main body 11 and the door 13, the hoop main body 11 is set on the holding portion 26 in the cleaning tank main body 15, and the door 13 is sucked and held by the door holding portion 20 of the outer lid 17. The Thereafter, the switching valve 30 is switched so that the flow path on the water tank 32 side is connected to the flow path on the nozzle 27 side, and the flow path on the dry air supply device side is closed, the supply on / off valve 46 is opened, and the rotary shaft 23 and the door rotation mechanism 21 are driven. As a result, the pure water in the water tank 32 is pushed out by the pressure air in the water tank 32 and blown out from the nozzle 27, and the hoop body 11 and the door 13 are rotated about the vertical axis, respectively, and the hoop body 11 and the door 13 are washed. Is done.

フープ本体１１とドア１３の洗浄が終了したら、排出用開閉弁３５が開かれ、ブロワ４２が駆動されて洗浄槽３内の水が排水される。ブロワ４２が駆動されることにより気液分離器９の気液分離部３７内が負圧となり、水タンク３２内の水が空気と共に気液分離器９の排水管部３６内に吸い込まれる。排水管部３６内に吸い込まれた水と空気は、分岐部３８で分離される。具体的には、空気は排気管部４０に吸い込まれ、水は排気管部４０への流入をトラップ板４１により遮られ、自重により落下し、排水管部３６の下流側に流れる。また、排気管部４０には出口管部４４が没入されて流路がラビリンス状に屈曲されているため、たとえ水しぶきがトラップ板４１を越えて上昇したとしても出口管部４４内に到達することはない。出口管部４４を通過した空気は、ブロワ４２に吸い込まれ、排水管部３６を通過した水は、工場の既設の排水路（図示せず）に排水される。 When the cleaning of the hoop body 11 and the door 13 is completed, the discharge opening / closing valve 35 is opened and the blower 42 is driven to drain the water in the cleaning tank 3. When the blower 42 is driven, the gas-liquid separator 37 of the gas-liquid separator 9 has a negative pressure, and the water in the water tank 32 is sucked into the drain pipe 36 of the gas-liquid separator 9 together with the air. The water and air sucked into the drain pipe part 36 are separated at the branch part 38. Specifically, air is sucked into the exhaust pipe section 40, and water is blocked from flowing into the exhaust pipe section 40 by the trap plate 41, falls due to its own weight, and flows downstream of the drain pipe section 36. Further, since the outlet pipe portion 44 is immersed in the exhaust pipe portion 40 and the flow path is bent in a labyrinth shape, even if the spray rises beyond the trap plate 41, it reaches the outlet pipe portion 44. There is no. The air that has passed through the outlet pipe 44 is sucked into the blower 42, and the water that has passed through the drain pipe 36 is drained into an existing drainage channel (not shown) in the factory.

このようにして洗浄槽３内の水が排水されたら、水タンク３２側の流路が閉じてドライエア供給装置側の流路がノズル２７側の流路に接続されるように切替弁３０が切り替えられ、ドライエア供給装置が駆動されて洗浄槽３内にドライエアが供給され、フープ本体１１とドア１３が乾燥される。またこのとき、フープ本体１１とドア１３は洗浄時よりも高速で回転され、フープ本体１１とドア１３に付着した水滴が遠心力で飛ばされると共に、ブロワ４２が駆動されて洗浄槽３内が負圧になる。これにより、フープ本体１１とドア１３は短時間で確実に乾燥される。 When the water in the cleaning tank 3 is drained in this way, the switching valve 30 is switched so that the flow path on the water tank 32 side is closed and the flow path on the dry air supply device side is connected to the flow path on the nozzle 27 side. Then, the dry air supply device is driven to supply the dry air into the cleaning tank 3, and the hoop body 11 and the door 13 are dried. Further, at this time, the hoop body 11 and the door 13 are rotated at a higher speed than at the time of cleaning, water droplets adhering to the hoop body 11 and the door 13 are blown off by centrifugal force, and the blower 42 is driven to make the inside of the cleaning tank 3 negative. Become pressure. Thereby, the hoop main body 11 and the door 13 are reliably dried in a short time.

この後、内蓋１６と外蓋１７が開かれ、搬送ロボット８がフープ本体１１とドア１３を洗浄槽３外に搬出し、ロードポート部７に戻す。 Thereafter, the inner lid 16 and the outer lid 17 are opened, and the transfer robot 8 carries the hoop body 11 and the door 13 out of the cleaning tank 3 and returns them to the load port section 7.

また、水タンク３２への純水の供給は、工場の既設の給水源４８から行う。具体的には、水位検出センサ５９で検出される水タンク３２の水位が所定値に満たないとき、第一制御装置６０が補給用開閉弁５８を開いて水タンク３２に純水を補給する。すなわち、フープ洗浄開始と同時に水タンク３２への純水の補給が開始され、洗浄、排水、乾燥の各工程と並行して水タンク３２への純水の補給が行われる。このため、給水源４８からの純水の供給が多少不安定であっても純水を迅速に補給することができ、水タンク３２内の水位を速やかに回復することができる。 Further, pure water is supplied to the water tank 32 from an existing water supply source 48 of the factory. Specifically, when the water level of the water tank 32 detected by the water level detection sensor 59 is less than a predetermined value, the first control device 60 opens the replenishment opening / closing valve 58 and replenishes the water tank 32 with pure water. That is, the supply of pure water to the water tank 32 is started simultaneously with the start of the hoop cleaning, and the pure water is supplied to the water tank 32 in parallel with the cleaning, draining, and drying processes. For this reason, even if the supply of pure water from the water supply source 48 is somewhat unstable, pure water can be replenished quickly, and the water level in the water tank 32 can be quickly recovered.

また、フープ５の洗浄を行わない間、第二制御装置７８は、所定時間毎に供給用開閉弁４６及び排出用開閉弁３５を開くと共に、ブロワ４２を駆動する。これにより、水タンク３２と洗浄槽３の間の給水系と、洗浄槽３と、洗浄槽３と気液分離器９の間の排水系とに純水が循環され、洗浄される。給水系、洗浄槽３及び排水系にバクテリア等が発生するのを防ぐことができる。 While the FOUP 5 is not cleaned, the second control device 78 opens the supply opening / closing valve 46 and the discharge opening / closing valve 35 and drives the blower 42 every predetermined time. Thereby, pure water is circulated and washed in the water supply system between the water tank 32 and the cleaning tank 3, the cleaning tank 3, and the drainage system between the cleaning tank 3 and the gas-liquid separator 9. Bacteria and the like can be prevented from being generated in the water supply system, the washing tank 3 and the drainage system.

このように、洗浄槽３内のノズル２７に、フープ洗浄用に純水を収容する水タンク３２をバルブたる供給用開閉弁４６を介して接続し、水タンク３２に水圧送用の圧気を供給するための圧気供給手段５３を接続し、洗浄槽３に、フープ洗浄後に洗浄槽３内の水を排出すると共に、フープ乾燥時に洗浄槽３内の空気を排出するための排気排水口３４を形成し、排気排水口３４に気液分離器９を介して空気吸引手段たるブロワ４２を接続し、ブロワ４２と水タンク３２を同一のケーシング４７内に収容してユニット化したため、洗浄槽３に純水を安定して供給でき、かつ、給水源４８等の設備の大型化やコストアップを抑えることができる。 In this manner, the water tank 32 for storing pure water for hoop cleaning is connected to the nozzle 27 in the cleaning tank 3 via the supply opening / closing valve 46 serving as a valve, and pressurized water for water pressure feeding is supplied to the water tank 32. The pressure air supply means 53 for connecting to the cleaning tank 3 is connected, and the water in the cleaning tank 3 is discharged to the cleaning tank 3 after the hoop cleaning, and the exhaust drain port 34 for discharging the air in the cleaning tank 3 at the time of hoop drying is formed. The blower 42 as air suction means is connected to the exhaust drain 34 through the gas-liquid separator 9, and the blower 42 and the water tank 32 are accommodated in the same casing 47 and unitized. Water can be stably supplied, and an increase in the size and cost of facilities such as the water supply source 48 can be suppressed.

ケーシング４７の上面には、空気吸引手段たるブロワ４２からの熱気を放出するための穴を有するパンチングプレート６３が設けられ、パンチングプレート６３とブロワ４２の間には、ブロワ４２からの騒音を遮るためのバッフルプレート６４が設けられるものとしたため、ブロワ４２からの熱気と共に騒音が外部に漏れ出るのを抑えることができる。 A punching plate 63 having a hole for releasing hot air from the blower 42 as air suction means is provided on the upper surface of the casing 47, and noise from the blower 42 is blocked between the punching plate 63 and the blower 42. Since the baffle plate 64 is provided, it is possible to suppress leakage of noise together with hot air from the blower 42 to the outside.

また、所定時間毎に水タンク３２と洗浄槽３の間の給水系を洗浄すると共に、洗浄槽３を洗浄し、かつ、洗浄槽３と気液分離器９の間の排水系を洗浄すべく、供給用開閉弁４６及び排出用開閉弁３５を開くと共に空気吸引手段たるブロワ４２を駆動させる第二制御装置７８を備えたため、フープ５の洗浄を行わない間に給水系、洗浄槽３及び排水系にバクテリア等が発生するのを防ぐことができる。 In addition, the water supply system between the water tank 32 and the cleaning tank 3 is cleaned every predetermined time, the cleaning tank 3 is cleaned, and the drainage system between the cleaning tank 3 and the gas-liquid separator 9 is cleaned. Since the second control device 78 that opens the supply on / off valve 46 and the discharge on / off valve 35 and drives the blower 42 as the air suction means is provided, the water supply system, the cleaning tank 3 and the waste water are discharged while the hoop 5 is not cleaned. Bacteria and the like can be prevented from occurring in the system.

気液分離器９が、洗浄槽３からの排水を水平方向に流す排水管部３６と、排水管部３６から上方に分岐され空気吸引手段たるブロワ４２に接続される気液分離部３７とを備え、気液分離部３７が、円筒状の排気管部４０と、排気管部４０内に流路を一部遮るように設けられたトラップ板４１とを備えて構成されるものとしたため、吸引される空気と水を簡易な構造で確実に分離することができる。 The gas-liquid separator 9 includes a drain pipe 36 that allows the waste water from the washing tank 3 to flow in the horizontal direction, and a gas-liquid separator 37 that is branched upward from the drain pipe 36 and connected to a blower 42 that is an air suction means. The gas-liquid separation part 37 is configured to include a cylindrical exhaust pipe part 40 and a trap plate 41 provided so as to partially block the flow path in the exhaust pipe part 40. Air and water can be reliably separated with a simple structure.

なお、フープ洗浄乾燥装置本体２は、２つの洗浄槽３を具備するものとしたが、洗浄槽３の数は３つ以上の複数であってもよい。 Although the hoop cleaning / drying device main body 2 includes the two cleaning tanks 3, the number of the cleaning tanks 3 may be three or more.

ロードポート部７は、３個のフープ５を載置するものとしたが、これに限るものではない。ロードポート部７は、１つ又は複数のフープ５を載置するものとしてもよい。 Although the load port unit 7 is configured to mount the three hoops 5, the present invention is not limited to this. The load port unit 7 may be configured to mount one or a plurality of hoops 5.

また、第一制御装置６０と第二制御装置７８は、一つの制御装置に統合し、それぞれの機能を１つの制御装置でなし得るようにしてもよい。 Further, the first control device 60 and the second control device 78 may be integrated into one control device so that each function can be performed by one control device.

排出用開閉弁３５は必要に応じて省略してもよい。 The discharge on-off valve 35 may be omitted as necessary.

本発明の好適実施の形態を示すフープ洗浄乾燥装置の平面図である。It is a top view of the hoop washing | cleaning drying apparatus which shows suitable embodiment of this invention. フープ洗浄乾燥装置のタンク・排気ユニットの側面図である。It is a side view of the tank and exhaust unit of the hoop cleaning and drying apparatus. 図２の正面図である。FIG. 3 is a front view of FIG. 2. フープ洗浄乾燥装置の気液分離器の平面図である。It is a top view of the gas-liquid separator of a hoop cleaning drying apparatus. 図４の側面図である。FIG. 5 is a side view of FIG. 4. 図４の正面図である。FIG. 5 is a front view of FIG. 4. フープ洗浄乾燥装置の洗浄槽の側面図である。It is a side view of the washing tank of a hoop washing and drying apparatus. フープ洗浄乾燥装置の要部側面図である。It is a principal part side view of a hoop washing | cleaning drying apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１フープ洗浄乾燥装置
３洗浄槽
５フープ
９気液分離器
１１フープ本体
１３ドア
２７ノズル
３２水タンク
３４排気排水口
３６排水管部
３７気液分離部
４０排気管部
４１トラップ板
４２ブロワ（空気吸引手段）
４６供給用開閉弁（バルブ）
４７ケーシング
５３圧気供給手段
６３パンチングプレート
６４バッフルプレート
７８第二制御装置（制御装置） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hoop washing | cleaning drying apparatus 3 Washing tank 5 Hoop 9 Gas-liquid separator 11 Hoop main body 13 Door 27 Nozzle 32 Water tank 34 Exhaust drain port 36 Drain pipe part 37 Gas-liquid separation part 40 Exhaust pipe part 41 Trap board 42 Blower (air suction) means)
46 On-off valve for supply (valve)
47 Casing 53 Pressurized air supply means 63 Punching plate 64 Baffle plate 78 Second control device (control device)

Claims

フープをフープ本体とドアに分離して収容する複数の洗浄槽と、これら洗浄槽に設けられ洗浄槽内のフープ本体とドアに給水源からのフープ洗浄用の純水又はドライエアを吹き付けるためのノズルとを備えたフープ洗浄乾燥装置において、上記ノズルに、複数の上記洗浄槽でフープを同時に洗浄するのに必要な容量の上記純水を収容する上下に長細い水タンクを給水管とバルブを介して接続すると共に、上記水タンクの底部に上記給水管と接続される送出口を設け、上記水タンクの上端部に、水圧送用の圧気を供給するための圧気供給手段を接続すると共に上記給水源を接続して上記水タンクをバッファタンクとし、上記洗浄槽に、フープ洗浄後に洗浄槽内の水を排出すると共に、フープ乾燥時に洗浄槽内の空気を排出するための排気排水口をそれぞれ形成し、これら排気排水口に気液分離器を介して空気吸引用のブロワを接続し、該ブロワと上記水タンクを同一のケーシング内に収容してユニット化したことを特徴とするフープ洗浄乾燥装置。 Nozzles for blowing a plurality of the cleaning tank for accommodating and separating the hoop hoop body and the door, the Junmizumata the dry air for hoop wash from a water supply source to the FOUP main body and the door of the washing tank provided in these cleaning tank In the hoop cleaning / drying apparatus, the upper and lower thin water tanks containing the pure water in a capacity necessary for simultaneously cleaning the hoops in the plurality of cleaning tanks are provided to the nozzles through a water supply pipe and a valve. A water outlet connected to the water supply pipe is provided at the bottom of the water tank, and a pressurized air supply means for supplying pressurized air for water pressure feeding is connected to the upper end of the water tank and the water supply. connect the water source to the water tank and a buffer tank, to the cleaning tank, the discharging water in the cleaning tank after hoop washing water discharge port for discharging the air in the cleaning tank during hoop drying Respectively formed through the gas-liquid separator to these water discharge ports to connect the blower for air suction, hoop cleaning, wherein accommodated that unitized to the blower and the water tank within the same casing Drying equipment.

上記ケーシングの上面には、ブロワからの熱気を放出するための穴を有するパンチングプレートが設けられ、該パンチングプレートとブロワの間には、ブロワからの騒音を遮るためのバッフルプレートが設けられた請求項１記載のフープ洗浄乾燥装置。 The upper surface of the upper Symbol casing, the punching plate is provided with a hole for releasing the hot air from the blower, between the punching plate and the blower, baffle plates for shielding the noise from the blower is provided The hoop cleaning / drying apparatus according to claim 1.

所定時間毎に上記水タンクと上記洗浄槽の間の給水系を洗浄すると共に、洗浄槽を洗浄し、かつ、洗浄槽と上記気液分離器の間の排水系を洗浄すべく、上記バルブを開くと共に上記空気吸引手段を駆動させる制御装置を備えた請求項１又は２記載のフープ洗浄乾燥装置。 In order to wash the water supply system between the water tank and the washing tank every predetermined time, wash the washing tank, and wash the drainage system between the washing tank and the gas-liquid separator. 3. The hoop cleaning / drying apparatus according to claim 1, further comprising a control device that opens and drives the air suction means.

上記気液分離器が、上記洗浄槽からの排水を水平方向に流す排水管部と、該排水管部から上方に分岐され上記空気吸引手段に接続される気液分離部とを備え、該気液分離部は、円筒状の排気管部と、該排気管部内に流路を一部遮るように設けられたトラップ板とを有している請求項１〜３のいずれかに記載のフープ洗浄乾燥装置。 The gas-liquid separator is provided with a drain pipe part for flowing waste water from the washing tank in a horizontal direction, and a gas-liquid separator part branched upward from the drain pipe part and connected to the air suction means. The hoop cleaning according to any one of claims 1 to 3, wherein the liquid separation part includes a cylindrical exhaust pipe part and a trap plate provided so as to partially block the flow path in the exhaust pipe part. Drying equipment.