JP4709707B2 - 高周波プローブカード - Google Patents

Description

本発明は、プローブカード、詳しく言えば、低空間密度で伝送線を配置するプローブカードに関するものである。

プローブカードの主な目的は、プローブカード上のプローブと集積回路ウェハー上のチップ測定用スズ片とを接触させ、電気測定設備とソフトウェアーにより測定信号をプローブカード上の回路板を介してプローブとチップに伝送するように制御し、自動化ウェハーレベル測定の目的を達成することである。そのうちプローブの排列密度はチップ上の隣り合うテスト用スズ片の隙間に対応できるように極めて細かく設けられ、かつ単一プローブカードは製造技術が異なる集積回路ウェハーに汎用可能である。また、プローブカードの回路板の設計は必ずしも特定走線配置の方法に基づいて回路伝送構造を構成することであるとは限らず、また、電気測定機台に位置してポイントを探す導線とプローブとの間に配置される伝送線のジャンパー構造は電気測定信号をプローブに伝送する。

伝送線とサイズが極めて微細なプローブとを比べてみると、伝送線の直径の大きさのほうが二レベル以上大きい。それぞれの伝送線をプローブに対応させるように接続すれば、プローブに近ければ近いほど、伝送線が密集するようになる。特に、ウェハー回路を複雑化および多元化するように設計する傾向が強くなり、かつ多種の回路ユニットの特性を迅速に測定することにより、ウェハーレベル測定の要求を満足させるために、プローブカード上に数多くのプローブと回路ユニットを配置することにより、伝送線の配置密度を高くしたり、交錯重畳方法によりプローブに確実に接続したりする必要がある。図１２に示すように、周知のアーム式プローブのプローブカード構造であれば、伝送線モジュールの工程が複雑になるだけでなく、難しくなる。また、高周波信号を伝送する同軸伝送線構造において軸芯の金属信号導線を一定の厚さを有する絶縁材質で被覆し、信号伝送の抵抗特性を維持するように制御する必要があるが、外囲の接地金属との間の寄生静電容量効果のため、誘電損耗が発生し、信号抵抗が一致していないという問題を考慮しなければならないため、絶縁材質の厚さを相当厚くしなければならないだけでなく、誘電定数によって静電容量は異なる。どんな種類の絶縁材質であっても、伝送線の直径は軸芯の金属信号導線よりも大きいため、伝送線の空間上の分布密度を増加させてしまう。従って、高周波信号を伝送するプローブカードに数多くの信号プローブを高周波測定用電子ユニットとして配置することができなくなる。

また、周知の技術は、プローブカード上に空間転換器を有する多層回路構造を設けることが可能である。図１３に示すように、周知の垂直式プローブカード５は、上から下へ積み重なる回路板５ａ、空間転換器５ｂおよび数多くのプローブ５ｃを含む。回路板５ａは特定回路から構成される信号伝送の導線径路を有し、信号伝送の導線径路は回路板５ａの上表面から下表面まで延伸され、上表面の回路は電気測定機台のプローブヘッド６のプローブポイントに電気を供給し、下表面の回路は空間転換器５ｂに電気的に接続され、空間転換器５ｂは一般的な多層のセラミックス板（Multi-Layer Ceramic，ＭＬＣ）または多層の有機板（Multi-Layer Organic，ＭＬＯ）から構成される。また、空間転換器５ｂは上下両側にサイズと間隔とが異なって回路板５ａとプローブ５ｃに対応するように別々に接続される導電接点を有する。また、空間転換器５ｂは内部に半導体製造工程のように多層の回路配置構造を有し、かつプローブ５ｃに近ければ近いほど、回路の間隔が小さくなり、かつ回路板５ａの導線と密集分布を呈するプローブ５ｃとの間を電気的に接続させれば、回路空間転換の作用を達成することが可能である。従って、プローブポイントのウェハー７上の高密度の電子ユニットに対応することが可能となる。しかし、このような垂直式プローブ構造の空間転換器はマイクロ機電または薄膜の製造工程により製作しなければならないだけでなく、特定の絶縁材質を基底材料として使用する必要があるため、空間転換器の材料と製造工程だけにかかるコストがプローブカードの回路板の製造にかかるコストよりもかなり高い。従って、如何にプローブカードに経済的な回路伝送構造を持たせて全面的に高密度の電子ユニットに対して迅速なおかつ全面的に高周波電気測定を執行するとともに、高周波信号伝送の抵抗特性を保持し、良好な高周波電気測定の品質を得るのかが、プローブ製造業者において大きな課題となる。

本発明の主な目的は、低空間密度で配置される高品質の伝送線構造により高周波電気測定信号をプローブに伝送し、効率的に伝送線モジュールの工程を簡単化し、プローブカードの高周波電気測定の品質を向上させることが可能である高周波プローブカードを提供することである。

上述の目的を達成するために、本発明による高周波プローブカードは、回路板、複数の伝送線、複数の信号プローブおよび少なくとも一つの接地プローブを備える。回路板は数多くの信号回路と接地回路を有し、また、それぞれの信号回路と隣り合う一定の間隔上に少なくとも一つの接地回路を有する。さらに、回路板は、信号プローブと接地プローブを装着するためのプローブ座を有し、プローブ座は導電性のある金属材料から構成される接地面を有し、接地プローブは接地面に電気的に接続される。信号回路は測定機台の測定信号を伝送可能であり、接地回路は測定機台のゼロ電位に電気的に導通され、外部のノイズが信号回路に干渉することを防止可能な電気保護効果を有し、かつそれぞれの信号回路の抵抗特性の参考基準となる。伝送線は、回路板上に配置され、かつ第一導線と第二導線を有する。第一導線と第二導線は、導電性のある金属材料から構成される金属線であり、かつ一定の間隔を置いて隣り合うように設けられる。第一導線の両端は別々に信号回路と信号プローブに電気的に接続され、第二導線は接地回路に電気的に接続される。信号プローブと接地プローブは、適切な硬度と導電性を有する金属材料から構成され、そのうちの一端が回路板上に設けられ、他端が測定待ちの電子ユニットの突出導電部に接触するように設けられる。また、信号プローブは、並列するように配列されるアースラインを有し、アースラインは接地回路と接地面に電気的に接続される。

以下、実施例と図面に基づいて本発明の構造と効果を詳細に説明する。まず図面の説明は次の通りである。
図１は、本発明の第一実施例の平面図である。
図２は、本発明の第一実施例の底面図である。
図３は、本発明の第一実施例の構造を示す模式図である。

図４は、本発明の第一実施例における伝送線の構造を示す模式図である。
図５は、本発明の第一実施例における伝送線の信号周波数応答のグラフを示す図である。
図６は、本発明の第二実施例における伝送線の構造を示す模式図である。
図７は、本発明の第三実施例における伝送線の構造を示す模式図である。
図８は、本発明の第四実施例における伝送線の構造を示す模式図である。

図９は、本発明の第五実施例の構造を示す模式図である。
図１０は、本発明の第六実施例の構造を示す模式図である。
図１１は、本発明の第七実施例の構造を示す模式図である。
図１から図３に示すように、本発明の第一実施例による高周波測定用プローブカード１は、回路板１０、プローブ座２０、複数の伝送線３０、複数の高周波プローブ４０および複数の接地プローブ５０を備える。回路板１０は、向かい合う上表面１０１と下表面１０２、外周に位置する測定区域１０３および内周に位置するジャンパー区域１０４を有するように設けられる。また、回路板１０は電子回路を有し、ジャンパー区域１０４は上表面１０１と下表面１０２上に数多くの金属接点１０５と金属接点１０６を有し、電子回路は上表面１０１の測定区域１０３を介して測定機台（図中未表示）に電気的に接続され、測定機台はプローブカード１に高周波測定信号を出力可能であり、上表面１０１の接点１０５は伝送線３０に電気的に接続されると同時に下表面１０１の接点１０６に電気的に導通され、下表面１０２の接点１０６はプローブ４０とプローブ５０に電気的に接続される。

図１に示すように、回路板１０の電子回路は数多くの信号回路１１と接地回路１２を有し、接地回路１２は上表面１０１の測定区域１０３において信号回路１１を囲み、かつ一定の間隔を置くようにそれと隣り合う。信号回路１１は測定機台の測定信号を伝送可能であり、接地回路１２は測定機台のゼロ電位に電気的に導通され、外部のノイズが信号回路１１を干渉することを防止可能な電気保護効果を有し、かつそれぞれの信号回路１１の抵抗特性の参考基準となる。図３に示すように、接地回路１２は回路板１０内の測定区域１０３において平面に分布する導線を有し、かつ信号回路１１下方との間に一定の間隔を置くように設けられる。回路板１０内のジャンパー区域１０４の信号回路１１と接地回路１２は、上表面１０１の接点１０５を下表面１０２の接点１０６に正方向に導通可能である。

図２と図３に示すように、プローブ座２０は、回路板１０の下表面１０２のジャンパー区域１０４の内側に配置され、かつ接地面２１と固定リング２２とを有する。接地面２１は、導電性のある金属材料から構成され、かつ回路板１０上に形成される環状の金属平面である。固定リング２２はプローブ４０とプローブ５０の胴部を固定するように接地面２１上に配置され、プローブ４０とプローブ５０の尖端部位は固定リング２２の環状の欠け口２３から露出する。また、固定リング２２は、絶縁性および耐震性のある材料から構成される。本実施例では、固定リング２２はエポキシ樹脂から構成される。

図３に示すように、伝送線３０は、測定区域１０３内縁において電子回路に電気的に接続され、かつジャンパー区域１０４まで延伸され、接点１０５に電気的に接続され、かつ導電性のある金属線から形成される第一導線３１と第二導線３２を有する。第一導線３１と第二導線３２は軸方向に沿う外囲に被覆体３１１と被覆体３２１を有し、被覆体３１１と被覆体３２１は良好な絶縁性のある材質から構成される絶縁ケーシングであり、かつ外層上に導線３１と導線３２を固定するケーシング３３を有する。また、導線３１と導線３２の両端は第一端３１２、第一端３２２と第二端３１３、第二端３２３に別々に分けられ、第一導線３１の第一端３１２と第二端３１３は別々に測定区域１０３の信号回路１１と信号接点１０５ａに電気的に接続され、第二導線の第一端３２２と第二端３２３は別々にジャンパー区域１０４の接地回路１２と接地接点１０５ｂに電気的に接続される。続いて、図４に示すように、被覆体３１１と被覆体３２１は導線３１と導線３２の酸化、汚染または破損などを防止することが可能であり、ケーシング３３は被覆体３１１と被覆体３２１の特定の厚さにより導線３１と導線３２を平行に隣り合うように囲むことが可能である。

導線３１と導線３２の間隔はすなわち二つの被覆体３１１と被覆体３２１の厚さである。
図２と図３に示すように、高周波プローブ４０は、信号プローブ４１、アースライン４２およびケーシング４３を含む。信号プローブ４１は、適切な硬度と導電性を有する金属導体から構成され、その一端が回路板１０上の信号接点１０６ａに電気的に接続され、他端が測定待ちの電子ユニット（図中未表示）上の信号を伝送可能な突出導電部に接触する尖端４１０となり、また、軸方向に沿う外囲上に被覆体４１１を有する。被覆体４１１と伝送線３０の被覆体３１１は、機能と特性が同じである。また、信号プローブ４１の前段は固定リング２０と接点１０６との間に位置付けられ、アースライン４２と並列するように配置されると同時に、ケーシング４３により緊密に被覆される。アースライン４２の両端は、別々に接地接点１０６ｂと接地面２１に電気的に接続される。信号接点１０６ａと接地接点１０６ｂは別々に上表面１０１の信号接点１０５ａと接地接点１０５ｂに電気的に導通されるため、信号プローブ４１は測定待ちの電子ユニットに電気測定信号を伝送可能である。アースライン４２は電気的に接地され、信号プローブ４１の信号伝送の抵抗特性を維持可能である。接地プローブ５０は、適切な硬度と導電性を有する金属導体から構成され、その一端が回路板１０上の接地接点１０６ｂに電気的に接続され、他端が上述の電子ユニットの突出接地導電部に接触する尖端５００となり、また、その胴部が接地面２１に電気的に接続されるため、プローブカード１のあらゆる接地電位は接地面２１上において共同接続平面を形成することが可能となる。

プローブカード１の測定区域１０３の電子回路が上述の測定機台に電気的に接続される際、信号回路１１は電気測定信号を第一導線３１に伝送し、そののち、信号プローブ４１に伝送可能である。接地回路１２、第二導線３２およびアースライン４２は信号伝送過程に合わせるように配置されるため、効率的に高周波信号を伝送し、抵抗と対応性を維持することが可能なだけでなく、必要ない電気的な接続効果を抑制し、プローブカード１に極めて良好な高周波電気測定の信頼性を持たせることが可能である。また、伝送線３０は平行の二つの導線から構成され、信号の抵抗特性は二つの導線３１と導線３２の隣り合う距離に密接な関係がある。本実施例では、二つの被覆体３１１と被覆体３２１の厚さは二つの導線３１と導線３２の隙間を１ｍｍ以下に維持可能であるため、第一導線３１の抵抗特性を従来の同軸伝送線に必要な標準規格の５０オームから７５オームに制御することが可能となる。従って、従来の同軸伝送線のように内部同軸導線周囲の絶縁材質の誘電性に制限され、数ミリメートルの厚さを有する絶縁材質を使用する必要がなくなる。続いて、図５に示すのは、本実施例における伝送線３０の周波数特性曲線である。図中の伝送線３０の反射損失（return loss）曲線Ｓ１１が１００ＭＨｚから高周波ＧＨｚ段階まで極めて低い反射損失を示すことから、高周波段階において極めて良好な抵抗と対応性を有することが判明する。また、伝送線３０の挿入損失（insertion loss）曲線Ｓ２１から、伝送線３０は−３ｄＢ利得のパスバンド（passband）において周波数を１．２ＧＨｚに至るようになるまで制御することを可能にして、良好な高周波信号伝送の品質を持つことが判明する。従って、プローブカード１は、高周波電気測定信号を伝送する際に、損失が低く、対応が良好である特性を有する。また、伝送線３０の直径は１ｍｍ以下であるため、ジャンパー区域１０４上において低空間密度で数多くの伝送線３０を配置することにより、高周波信号を伝送して大量の電子ユニットを測定することが可能なだけでなく、ジャンパーモジュール工程の難度が原因でプローブカード１の回路品質を低下させることを避けることが可能である。

本実施例における伝送線は、二本の導線を基にする構造により信号伝送の品質を向上させ、伝送線の空間上の配置密度を減少させる。二本の導線を基にする構造の形態は、図６から図８に示すように、本発明の第二実施例、第三実施例、第四実施例における伝送線３４、伝送線３６、伝送線３８などを含む。
図６に示すように、伝送線３４は、第一導線３１と、第二導線３２と、第一導線３１を被覆する被覆体３１１とを有し、その外層がケーシング３５により被覆されるため、導線３１と導線３２を平行に隣り合わせるように維持し、導線３１と導線３２の隣り合う間隔を被覆体３１１の厚さに限定することが可能である。従って、第一導線３１の高周波信号を伝送する抵抗特性を標準規格の５０オームに限定するように制御し、さらに、伝送線３４の直径を縮小し、伝送線３４に占められる空間密度を減少させることが可能となる。

図７に示すように、伝送線３６は、第一導線３１と、第二導線３２と、導線３１と導線３２を被覆する被覆体３１１および被覆体３２１とを有し、かつ被覆体３１１と被覆体３２１との間は接着物３７を介して固定されるため、導線３１と導線３２を平行に隣り合わせるように維持可能である。従って、伝送線３６に占められる空間密度を減少させることが可能となる。

図８に示すように、伝送線３８は、第一導線３１と、第二導線３２と、導線３１と導線３２を被覆する被覆体３１１および被覆体３２１を有し、かつ導線３１と導線３２はより線構造により緊密に隣り合うように維持され、かつ導線３１と導線３２の隣り合う間隔はすなわち二つの被覆体３１１と被覆体３２１の厚さであるため、伝送線３８に占められる空間密度は上述の第一実施例または第二実施例よりも低い。

ここで、上述のプローブ座２０を配置する目的は、プローブ４０とプローブ５０を固定し、かつ接地面２１による共同接続効果を介してプローブカード１に共同の等電位接地平面を持たせるためである。従って、接地面２１の構造形態は限定されない。続いて、図９に示すように、本発明の第五実施例によるプローブカード２は、第一実施例により掲示されるものの代わりに、プローブ座２３を使用する。プローブ座２３は、固定リング２３０と接地面２３１とを有する。固定リング２３０は直接回路板１０の下表面１０２上に配置され、上述の実施例により掲示されるものと同じ機能と構造特性を有し、接地面２３１は固定リング２３０の外環周囲の側壁に配置され、アースライン４２と接地プローブ５０を電気的に接続させ、かつ等電位接地の共同平面を提供することが可能である。また、上述の実施例の固定リング２２は接地面２１を介して回路板１０上に装着されるのに対し、固定リング２３０は直接回路板１０に固定される。従って、固定リング２３０と回路板１０との間には金属部品が存在しないため、温度上昇に伴って金属が膨張し、冷却に伴って金属が縮む反応が原因で固定リング２３０が移動するとともにプローブ４０とプローブ５０を移動させ、電子ユニットを正確に測定することができなくなるという現象を防止することが可能である。

続いて、図１０に示すように、本発明の第六実施例による垂直式プローブカード３は、回路板６０、プローブ座７０、プローブセット８０および伝送線３０を備える。
回路板６０は、外周に位置する測定区域６０１と内周に位置する環状のジャンパー区域６０２とを有するように設けられる。また、回路板６０は、環状の欠け口にプローブ座７０を装着するためのプローブ区域６０３を有する。回路板６０の測定区域６０１は、上述の第一実施例により掲示されるものと同じように別々に伝送線３０の第一導線３１と第二導線３２に電気的に接続される信号回路１１と接地回路１２を有する。第一実施例との違いは、回路板６０がさらに接地回路１２に電気的に接続される数多くのアースライン１３を有し、伝送線３０とアースライン１３が測定区域６０１からジャンパー区域６０２まで延伸するように配置され、かつプローブ座７０上に接続されることである。

プローブ座７０は、回路板６０中央の環状の欠け口の槽体に装着され、槽口７０１が伝送線３０とアースライン１３を入り込ませるように上向きにし、かつ回路板６０の内環に沿って配置される壁面７１と槽底７０２を構成する底座７２を有し、底座７２の上には順番に積み重なる絶縁層７３と接地面７４を有する。壁面７１と接地面７４は導電性のある金属材質から構成され、底座７２と絶縁層７３は良好な絶縁性のある材料から構成される。底座７２は数多くの貫通孔７２０を有し、貫通孔７２０の大きさが第一導線３１と被覆層３１１を被覆する直径と一致し、第一導線３１は被覆層３１１とともに接地面７４を貫通して絶縁層７３内部まで延伸するように設けられ、かつ第一導線３１は貫通孔７２０を貫通し、槽底７０２から露出する。第二導線３２は接地面７４に電気的に接続され、アースライン１３は接地面７４に電気的に接続され、その末端が絶縁層７３を貫通し、槽底７０２から露出するように設けられる。従って、プローブ座７０の槽底７０２は、貫通孔７２０から露出する第一導線３１とアースライン１３を有する。

プローブセット８０は、プローブ座７０の槽底７０２上に装着され、適切な硬度と導電性を有する金属導体から構成される数多くの信号プローブ８１と接地プローブ８２を有する。プローブ８１とプローブ８２は二つの固定片８３を貫通してその上に直立するように設けられ、二つの固定片８３は良好な絶縁性のある材料から構成され、信号プローブ８１の末端８１０は貫通孔７２０中において第一導線３１に対応するように電気的に接続され、接地プローブ８２の末端８２０は貫通孔７２０中においてアースライン１３に対応するように電気的に接続される。プローブ８１とプローブ８２の尖端８１１と尖端８２１は、外部に突出し、かつ測定待ちの電気ユニットに接触可能である。

プローブカード３は、上述の実施例のように回路板１０のジャンパー区域１０４に接点１０５と接点１０６を配置することにより、縦方向に沿って電気測定信号を回路板１０から通過させて、高周波プローブ４０に伝送することなく、直接伝送線３０を介して信号プローブ８１に接触する測定待ちの電子ユニットに伝送するため、回路板６０内層において高周波信号を伝送する際に、誘電損失または抵抗が対応できないという現象が起こるのに伴って反射損失が発生することを防止することが可能である。従って、プローブカード３は、低空間密度で配置され、高品質で伝送することを可能にする伝送線３０を有するだけでなく、高周波信号伝送の抵抗特性を維持することにより、良好な電気測定の信頼性を得ることが可能である。

上述のプローブカード３のうちのプローブ座７０における等電位接地平面は、必ずしも接地面７４のような連接配置構造であるとは限らない。上述のプローブカード３に対し、図１１に示すように、本発明の第七実施例によるプローブカード４は、接地面７４を配置せず、壁面７１を等電位接地の共同平面として第二導線３２とアースライン１３とを壁面７１に電気的に接続させ、かつ直接壁面７１と接地プローブ８２とを電気的に接続させるため、本発明の所期の効果を達成することが可能である。
上述したものは本発明の好ましい一例に過ぎないため、本発明の明細書と請求範囲に基づき効果が同等な変化を加えるのは本発明の請求範囲に属するべきである。

本発明の第一実施例による高周波プローブカードの平面図である。 本発明の第一実施例による高周波プローブカードの底面図である。 本発明の第一実施例による高周波プローブカードの構造を示す模式図である。 本発明の第一実施例による高周波プローブカードの伝送線の構造を示す模式図である。 本発明の第一実施例による高周波プローブカードの伝送線の信号周波数応答のグラフを示す図である。 本発明の第二実施例による高周波プローブカードの伝送線の構造を示す模式図である。 本発明の第三実施例による高周波プローブカードの伝送線の構造を示す模式図である。 本発明の第四実施例による高周波プローブカードの伝送線の構造を示す模式図である。 本発明の第五実施例による高周波プローブカードの構造を示す模式図である。 本発明の第六実施例による高周波プローブカードの構造を示す模式図である。 本発明の第七実施例による高周波プローブカードの構造を示す模式図である。 周知のアーム式プローブのプローブカードの平面図である。 周知の垂直式プローブのプローブカードの構造を示す模式図である。

符号の説明

１ プローブカード、２ プローブカード、３ プローブカード、４ プローブカード、５ 垂直式プローブカード、５ａ 回路板、５ｂ 空間転換器、５ｃ プローブ、６ プローブヘッド、７ ウェハー、１０ 回路板、１１ 信号回路、１２ 接地回路、１３ アースライン、２０ プローブ座、２１ 接地面、２２ 固定リング、２３ 欠け口、２３ プローブ座、３０ 伝送線、３１ 第一導線、３２ 第二導線、３３ ケーシング、３４ 伝送線、３５ ケーシング、３６ 伝送線、３７ 接着物、３８ 伝送線、４０ 高周波プローブ、４１ 信号プローブ、４２ アースライン、４３ ケーシング、５０ 接地プローブ、６０ 回路板、７０ プローブ座、７１ 壁面、７２ 底座、７３ 絶縁層、７４ 接地面、８０ プローブセット、８１ 信号プローブ、８２ 接地プローブ、８３ 固定片、１０１ 上表面、１０２ 下表面、１０３ 測定区域、１０４ ジャンパー区域、１０５ 接点、１０５ａ 信号接点、１０５ｂ 接地接点、１０６ 接点、１０６ａ 信号接点、１０６ｂ 接地接点、２３０ 固定リング、２３１ 接地面、３１１ 被覆体、３１２ 第一端、３１３ 第二端、３２１ 被覆体、３２２ 第一端、３２３ 第二端、４１０ 尖端、４１１ 被覆体、５００ 尖端、６０１ 測定区域、６０２ ジャンパー区域、６０３ プローブ区域、７０１ 槽口、７０２ 槽底、７２０ 貫通孔、８１０ 末端、８１１ 尖端、８２０ 末端、８２１ 尖端、Ｓ１１ 反射損失曲線、Ｓ２１ 挿入損失曲線

Claims (9)

1. 複数の信号回路と接地回路とを有し、それぞれの信号回路と隣り合う一定の間隔上に少なくとも一つの接地回路を有し、接地回路がゼロ電位に電気的に導通される回路板と、
   回路板上に配置され、第一導線と第二導線を有し、第一導線と第二導線は導電性のある金属材料から構成される金属線であり、第一導線と第二導線は一定の間隔を置いて隣り合い、別々に信号回路と接地回路に電気的に接続される複数の伝送線と、
   導電性のある金属材料から構成され、第一導線に電気的に接続される複数の信号プローブと、
   導電性のある金属材料から構成され、ゼロ電位に電気的に導通される少なくとも一つの接地プローブと、
   を備え、
   回路板は、信号プローブと接地プローブを装着するためのプローブ座を有し、プローブ座は導電性のある金属材料から構成される接地面を有し、接地プローブは接地面に電気的に接続され、
   信号プローブは、並列するように配列されるアースラインを有し、アースラインは接地回路と接地面に電気的に接続されることを特徴とする高周波プローブカード。
2. 回路板は、向かい合う上表面と下表面、外周を囲む測定区域および内周に位置するジャンパー区域を有するように設けられ、接地回路は上表面の測定区域において信号回路を囲み、一定の間隔を置くようにそれと隣り合うことを特徴とする請求項１に記載の高周波プローブカード。
3. ジャンパー区域は、上表面と下表面に数多くの金属接点を別々に有し、これらの接点は数多くの信号接点と接地接点に分けられ、上表面の信号接点と接地接点は別々に信号回路と接地回路を介して下表面の信号接点と接地接点に正方向に導通され、上表面の信号接点は第一導線に電気的に接続され、下表面の信号接点は信号プローブに電気的に接続されることを特徴とする請求項２に記載の高周波プローブカード。
4. 信号プローブは、軸方向に沿う外囲を被覆する被覆体を有し、被覆体は良好な絶縁性のある材質から構成され、信号プローブとアースラインの隣り合う間隔はすなわち被覆体の管壁の厚さであることを特徴とする請求項１に記載の高周波プローブカード。
5. プローブ座は、固定リングを有し、固定リングは接地プローブと信号プローブの胴部を固定し、接地プローブと信号プローブの尖端部位は固定リングの環状の欠け口から露出し、固定リングは絶縁性および耐震性のある材料から構成されることを特徴とする請求項１に記載の高周波プローブカード。
6. 固定リングは、回路板上に装着され、接地面は固定リングの外環周囲の側壁上に装着されることを特徴とする請求項５に記載の高周波プローブカード。
7. 複数の信号回路と接地回路とを有し、それぞれの信号回路と隣り合う一定の間隔上に少なくとも一つの接地回路を有し、接地回路がゼロ電位に電気的に導通される回路板と、
   回路板上に配置され、第一導線と第二導線を有し、第一導線と第二導線は導電性のある金属材料から構成される金属線であり、第一導線と第二導線は一定の間隔を置いて隣り合い、別々に信号回路と接地回路に電気的に接続される複数の伝送線と、
   導電性のある金属材料から構成され、第一導線に電気的に接続される複数の信号プローブと、
   導電性のある金属材料から構成され、ゼロ電位に電気的に導通される少なくとも一つの接地プローブと、
   を備え、
   回路板は、環状の欠け口にプローブ座から構成される槽体を有する環状構造であり、プローブ座は絶縁層を有する底座から構成される槽底と槽口を有し、底座と絶縁層は良好な絶縁性の材料から構成され、伝送線は回路板上において槽口からプローブ座の内部まで延伸するように配置され、第一導線は絶縁層と底座を貫通して槽底から露出し、
   プローブ座は、導電性のある金属材料から構成される接地面を有し、
   各第二導線は、接地面と電気的に接続され、
   接地面は、この接地面と接地プローブとを接続するアースラインによって接地プローブと電気的に接続することを特徴とする高周波プローブカード。
8. アースラインは、導電性のある金属材料から構成される金属線であり、接地回路に電気的に接続され、回路板上において槽口からプローブ座の内部まで延伸するように配置され、接地面に電気的に接続されると共に、絶縁層と底座を貫通して槽底から露出し、接地プローブと電気的に接続されるものであり、
   接地プローブは、槽底に配置されることを特徴とする請求項７に記載の高周波プローブカード。
9. 接地面は、回路板の内環の周囲に沿うように形成される壁面であり、
   接地面が、この接地面と接地プローブとを接続するアースラインによって接地プローブと電気的に接続することに代えて、
   接地プローブは、アースラインを経由すること無しに、壁面に電気的に直接接続することを特徴とする請求項７に記載の高周波プローブカード。
   

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