JP4687362B2 - X-ray inspection equipment - Google Patents

X-ray inspection equipment Download PDF

Info

Publication number
JP4687362B2
JP4687362B2 JP2005293971A JP2005293971A JP4687362B2 JP 4687362 B2 JP4687362 B2 JP 4687362B2 JP 2005293971 A JP2005293971 A JP 2005293971A JP 2005293971 A JP2005293971 A JP 2005293971A JP 4687362 B2 JP4687362 B2 JP 4687362B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray
fluoroscopic
ray image
mouse
monitor screen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005293971A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007101446A (en
Inventor
敬嗣 櫛引
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2005293971A priority Critical patent/JP4687362B2/en
Publication of JP2007101446A publication Critical patent/JP2007101446A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4687362B2 publication Critical patent/JP4687362B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

本発明は、工業製品などの透視検査またはＣＴ検査を行うためのＸ線検査装置に関する。   The present invention relates to an X-ray inspection apparatus for performing fluoroscopic inspection or CT inspection of industrial products and the like.

工業製品などの透視検査を行うＸ線検査装置では、Ｘ線発生装置のＸ線源に対向するようにして、イメージインテンシファイア（以下、ＩＩと略す）とＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器が配置してある。最近はＩＩ、ＣＣＤカメラからなるＸ線検出器に代えて、フラットパネルＸ線検出器を使用したＸ線検査装置も利用されている。
これらのＸ線検査装置は、Ｘ線源とＸ線検出器との間に、ステージを配置し、この上に被測定物を載置して位置を調整し、透視Ｘ線像を撮影する。また、ステージの他にＸ線検出器を傾動できるようにして（あるいはＸ線検出器とＸ線源とを一体で傾動できるようにして）、斜め方向からの透視Ｘ線像を撮影するようにしたものも利用されている。 In X-ray inspection equipment that performs fluoroscopic inspection of industrial products and the like, X-ray detection is performed by combining an image intensifier (hereinafter abbreviated as II) and a CCD camera so as to face the X-ray source of the X-ray generator. A vessel is arranged. Recently, an X-ray inspection apparatus using a flat panel X-ray detector is used instead of an X-ray detector composed of II and CCD cameras.
In these X-ray inspection apparatuses, a stage is arranged between an X-ray source and an X-ray detector, a measurement object is placed thereon, the position is adjusted, and a fluoroscopic X-ray image is taken. Further, in addition to the stage, the X-ray detector can be tilted (or the X-ray detector and the X-ray source can be tilted integrally), and a fluoroscopic X-ray image from an oblique direction is taken. It is also used.

Ｘ線検査装置による検査では、通常、位置合わせや測定倍率調整、測定角度調整のために視野移動を行う。視野移動は、入力操作により、ステージ移動機構やＸ線測定光学系の光軸を傾斜する傾動機構で構成される駆動部に対して駆動制御信号を与えることにより、ステージ等を所望の方向に所望の速度で移動させ、同時に被測定物の透視Ｘ線画像を撮影するようにし、これにより被測定物の検査位置、検査角度を探し出す。そして、適切な検査位置や検査角度が見つかると視野移動を停止し、その状態でモニタ画面に表示された透視Ｘ線画像を観察する。   In the inspection by the X-ray inspection apparatus, the visual field is usually moved for alignment, measurement magnification adjustment, and measurement angle adjustment. The field of view is moved in a desired direction by giving a drive control signal to a drive unit composed of a stage moving mechanism and a tilting mechanism that tilts the optical axis of the X-ray measurement optical system by an input operation. At the same time, a fluoroscopic X-ray image of the object to be measured is taken, thereby finding the inspection position and inspection angle of the object to be measured. Then, when an appropriate inspection position and inspection angle are found, the visual field movement is stopped, and the fluoroscopic X-ray image displayed on the monitor screen is observed in that state.

Ｘ線検査装置における視野移動の操作を行うための入力装置としては、いろいろ考えられるが、操作者がステージをＸＹＺ方向に移動する場合に、移動方向と移動速度との制御信号を同時に指示することができ、しかも操作者が状況に応じて操作量を感覚的に把握して入力しやすい入力装置として、ジョイスティックが一般的に利用されている。例えば、図４に示すように、ジョイスティック５０のスティック５１を傾斜させた方向によりステージの移動方向を制御し、スティック５１の傾斜角度の大きさでステージの移動速度を制御する。さらにスティック周辺にボタン５２を設け、ステージの回転動作、昇降動作などの動作の指示を与えることができるようにしてある。   There are various possible input devices for performing visual field movement operations in an X-ray inspection apparatus, but when the operator moves the stage in the XYZ directions, the control signals for the movement direction and movement speed are simultaneously indicated. In addition, a joystick is generally used as an input device that allows an operator to intuitively grasp and input an operation amount according to a situation. For example, as shown in FIG. 4, the moving direction of the stage is controlled by the direction in which the stick 51 of the joystick 50 is tilted, and the moving speed of the stage is controlled by the size of the tilt angle of the stick 51. Further, a button 52 is provided around the stick so as to be able to give instructions for operations such as rotating and moving the stage.

一方、最近のＸ線検査装置は、パーソナルコンピュータと接続されているものが一般的になっており、マウスによるコンピュータ操作に慣れた操作者が、マウスを用いて指示を与えることができるようにしてある（例えば特許文献１参照）。
マウスのクリック操作により、ステージの移動制御を行うことができるようにしたものも利用されている。例えば、図５に示すように、モニタ画面５３上に透視Ｘ線画像５４とともにマウス用操作画面５５が表示されており、マウス用操作画面上の特定領域（選択ボタン）をクリック操作することにより、予めその位置に対応して登録してある制御信号により、ステージ移動機構や傾動機構を制御するようにしてある。
特開２００１−２５５２８６号公報 On the other hand, a recent X-ray inspection apparatus is generally connected to a personal computer so that an operator who is accustomed to computer operation with a mouse can give instructions using the mouse. Yes (see, for example, Patent Document 1).
A device that can control the movement of the stage by clicking the mouse is also used. For example, as shown in FIG. 5, a mouse operation screen 55 is displayed on the monitor screen 53 together with the fluoroscopic X-ray image 54, and by clicking on a specific area (select button) on the mouse operation screen, The stage moving mechanism and the tilting mechanism are controlled by a control signal registered in advance corresponding to the position.
JP 2001-255286 A

上述したように、最近のＸ線検査装置はパーソナルコンピュータに接続されたものが多い。パーソナルコンピュータはマウスで操作することが多いことから、ステージ移動の操作を行う場合に、入力装置をマウスからジョイスティックに代えて操作するのではなく、そのままマウスを用いて操作できるようにするのが望ましい。   As described above, many recent X-ray inspection apparatuses are connected to a personal computer. Since a personal computer is often operated with a mouse, it is desirable that the input device be operated using the mouse as it is, instead of operating the input device from a mouse to a joystick when performing a stage movement operation. .

その場合に、図５に示したようなマウス操作画面を用いた方法で制御する場合は、ジョイスティックのように、複数の制御量、すなわち移動方向および移動速度を関連させて操作することが困難である。この方法では、マウスで１度に選択できるのは１種類であるため、ステージ移動方向とステージ移動速度とは同時には制御できず、柔軟な操作が困難である。   In this case, when the control is performed by the method using the mouse operation screen as shown in FIG. 5, it is difficult to perform the operation by relating a plurality of control amounts, that is, the moving direction and the moving speed, like a joystick. is there. In this method, since only one type can be selected with the mouse at a time, the stage moving direction and the stage moving speed cannot be controlled simultaneously, and flexible operation is difficult.

そこで、本発明はＸ線検査装置においてステージ駆動機構や傾動機構のような駆動機構を操作する際に、マウスを用いて移動方向と移動速度を含む複合的な制御信号を簡単なクリック操作で発生することができるようにしたＸ線検査装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、ステージ駆動機構や傾動機構をジョイスティックにより操作するときと同様に、直感的に適度の操作量を指示することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention generates a complex control signal including a moving direction and a moving speed with a simple click operation using a mouse when operating a driving mechanism such as a stage driving mechanism or a tilting mechanism in an X-ray inspection apparatus. It is an object of the present invention to provide an X-ray inspection apparatus that can be used.
It is another object of the present invention to provide an X-ray inspection apparatus capable of instructing an appropriate operation amount intuitively in the same manner as when operating a stage drive mechanism and a tilt mechanism with a joystick.

上記課題を解決するためになされた本発明のＸ線検査装置は、被測定物に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源と被測定物の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、Ｘ線源とＸ線検出器との間において被測定物を載置するステージと、ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整する駆動部と、モニタ画面と、Ｘ線検出器により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線画像を作成するＸ線画像作成部と、モニタ画面に透視Ｘ線画像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部と、モニタ画面の任意の位置にポインタを表示するとともにクリック操作によりポインタの位置を指定するマウスとを備えるＸ線検査装置であって、駆動部はステージ面方向であるＸＹ方向への並進移動機構と、ステージ面に垂直なＺ方向への並進移動機構と、Ｚ方向の回転軸に対する回転移動機構と、ステージ面に対するＸ線測定光学系の光軸を傾斜させる傾動移動機構とを有し、マウスは左クリックボタンと中クリックボタンと右クリックボタンとを有し、モニタ画面に表示した四角形の透視Ｘ線画像の中心を原点とし、当該中心を通る水平線を基準線とするとともに、対角線を設定し、モニタ画面に表示した透視Ｘ線画像上でマウスの左クリック操作による位置指定が行われたときに、原点に対する指定位置の方向と距離に応じて、ＸＹ方向への並進移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生し、透視Ｘ線画像上でマウスの中クリック操作による位置指定が行われたときに、基準線に対する指定位置の位置と距離に応じて、Ｚ方向への並進移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生し、透視Ｘ線画像上でマウスの右クリック操作による位置指定が行われたときに、対角線及び原点に対する指定位置の位置と距離に応じて、Ｚ方向の回転軸に対する回転移動機構又はステージ面に対するＸ線測定光学系の光軸を傾斜させる傾動移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生する駆動信号発生部とを備えるようにしている。
An X-ray inspection apparatus according to the present invention, which has been made to solve the above problems, includes an X-ray source that irradiates X-rays for fluoroscopy toward an object to be measured and an X-ray detector that captures an X-ray image of the object to be measured. Adjusting the positional relationship between the X-ray measuring optical system, the stage on which the object to be measured is placed between the X-ray source and the X-ray detector, and the X-ray measuring optical system on the stage. Drive unit, a monitor screen, an X-ray image creation unit that creates a fluoroscopic X-ray image based on a video signal captured by an X-ray detector, and an X-ray that displays an image of the fluoroscopic X-ray image on the monitor screen An X-ray inspection apparatus including an image display control unit and a mouse that displays a pointer at an arbitrary position on a monitor screen and designates the position of the pointer by a click operation , and a drive unit in an XY direction that is a stage surface direction Translational movement mechanism and Z direction perpendicular to the stage surface A translational movement mechanism, a rotational movement mechanism with respect to the rotation axis in the Z direction, and a tilting movement mechanism that inclines the optical axis of the X-ray measurement optical system with respect to the stage surface. The mouse has a left click button and a middle click button, A right-click button, and the center of a rectangular fluoroscopic X-ray image displayed on the monitor screen is the origin, the horizontal line passing through the center is a reference line, and a diagonal line is set and the fluoroscopic X-ray displayed on the monitor screen When position designation is performed by left- clicking on the image on the image , driving including control information on the movement direction and movement speed of the translation mechanism in the XY directions according to the direction and distance of the designated position with respect to the origin Generates a signal and translates in the Z direction according to the position and distance of the specified position with respect to the reference line when the position is specified on the fluoroscopic X-ray image by middle mouse click. When a drive signal including control information related to the moving direction and moving speed of the moving mechanism is generated and the position is specified by right-clicking the mouse on the fluoroscopic X-ray image, the position of the specified position with respect to the diagonal line and the origin Drive that generates a drive signal including control information regarding the moving direction and moving speed of the rotational movement mechanism for the rotation axis in the Z direction or the tilt movement mechanism for inclining the optical axis of the X-ray measurement optical system with respect to the stage surface according to the distance And a signal generator.

この発明によれば、Ｘ線測定光学系によってステージ上に載置された被測定物の透視Ｘ線像が撮影され、Ｘ線画像作成部がＸ線検出器からの撮影信号に基づいて透視Ｘ線画像を作成する。
Ｘ線画像表示制御部は、作成された透視Ｘ線画像をモニタ画面に表示する。マウスは、モニタ画面にポインタを表示し、マウスの位置を移動させることによりモニタ画面上のポインタを移動するとともに、マウスのクリック操作ボタンをクリックすることにより、クリック時点のポインタの位置を指定する。ポインタがモニタ画面の透視Ｘ線画像上に表示された状態でクリック操作が行われると、その指定位置に応じた駆動信号が発生する。この駆動信号は、モニタ画面の二次元面上の位置に応じて駆動内容（駆動軸）の種類、移動方向、移動速度を同時に制御する信号とすることができるので、１回のクリック操作で複合的な駆動信号を発生させることができる。 According to the present invention, a fluoroscopic X-ray image of an object to be measured placed on a stage is taken by an X-ray measuring optical system, and the X-ray image creating unit performs fluoroscopic X based on a radiographing signal from an X-ray detector. Create a line image.
The X-ray image display control unit displays the created fluoroscopic X-ray image on the monitor screen. The mouse displays a pointer on the monitor screen, moves the pointer on the monitor screen by moving the position of the mouse, and designates the position of the pointer at the time of clicking by clicking the click operation button of the mouse. When a click operation is performed in a state where the pointer is displayed on the fluoroscopic X-ray image on the monitor screen, a drive signal corresponding to the designated position is generated. This drive signal can be a signal that simultaneously controls the type of drive content (drive axis), movement direction, and movement speed according to the position on the two-dimensional surface of the monitor screen, so it can be combined with a single click. Drive signals can be generated.

本発明によれば、ステージ駆動機構や傾動機構のような駆動機構を操作する際に、マウスによる１回のクリック操作で、駆動内容（駆動軸）の種類、移動方向(正転、逆転)、移動速度等の複合して同時に制御することができ、柔軟な位置決め操作を実行することができる。
また、透視Ｘ線画像上でクリック操作を行うので、例えば透視Ｘ線画像を右に移動したいときに、透視Ｘ線画像上の右側をクリックすれば右方向に移動するようにするなど、実際の表示画像に合った駆動信号を発生させるようにすれば、直感的な操作で所望の移動を行わせることができる。 According to the present invention, when operating a drive mechanism such as a stage drive mechanism or a tilting mechanism, the type of drive (drive axis), the direction of movement (forward rotation, reverse rotation), The moving speed and the like can be combined and controlled simultaneously, and a flexible positioning operation can be executed.
In addition, since a click operation is performed on the fluoroscopic X-ray image, for example, when the fluoroscopic X-ray image is to be moved to the right, if the right side of the fluoroscopic X-ray image is clicked, the rightward movement is performed. If a drive signal suitable for the display image is generated, a desired movement can be performed by an intuitive operation.

（その他の課題を解決するための手段および効果）
上記発明において、駆動部は、ステージ面方向であるＸＹ方向への並進移動機構、ステージ面に垂直なＺ方向への並進移動機構、Ｚ方向の回転軸に対する回転移動機構、ステージ面に対するＸ線測定光学系の光軸を傾斜させる傾動移動機構の少なくともいずれかの移動機構を有するようにしてもよい。
これによれば、駆動部による動作がＸＹ方向並進駆動、Ｚ方向並進駆動、回転駆動、傾動駆動のいずれでもマウスによるクリック操作で、複合的な制御を行うことができる。 (Means and effects for solving other problems)
In the above invention, the drive unit is a translational movement mechanism in the XY direction that is the stage surface direction, a translational movement mechanism in the Z direction perpendicular to the stage surface, a rotational movement mechanism with respect to the rotation axis in the Z direction, and an X-ray measurement with respect to the stage surface. You may make it have at least any one movement mechanism of the tilt movement mechanism which inclines the optical axis of an optical system.
According to this, even if the operation by the drive unit is any of XY direction translation drive, Z direction translation drive, rotation drive, and tilt drive, complex control can be performed by clicking with the mouse.

上記発明において、さらに駆動信号発生部は、透視Ｘ線画像上の指定位置に応じて、いずれかの移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生するようにしてもよい。
これによれば、移動方向と移動速度を１回のクリック操作で指示することができるので、ジョイスティックと同様の操作性を与えることができる。 In the above invention, the drive signal generator may further generate a drive signal including control information related to the moving direction and moving speed of any of the moving mechanisms according to the designated position on the fluoroscopic X-ray image. .
According to this, since the moving direction and moving speed can be instructed by a single click operation, the same operability as a joystick can be provided.

上記発明において、駆動部は複数の移動機構を有し、マウスは複数のクリック操作用ボタンを有し、異なるクリック操作用ボタンには異なる移動機構の駆動信号が割り付けられるようにしてもよい。
これによれば、複数の移動機構の動作をクリック操作ボタンにより使い分けて指示することができる。 In the above invention, the drive unit may have a plurality of movement mechanisms, the mouse may have a plurality of click operation buttons, and different click operation buttons may be assigned drive signals of different movement mechanisms.
According to this, the operation of a plurality of moving mechanisms can be instructed separately using the click operation buttons.

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments described below, and it goes without saying that various aspects are included without departing from the spirit of the present invention.

図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。このＸ線検査装置１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とで構成されるＸ線測定光学系１３と、被測定物を載置するステージ１４と、被測定物の測定視野を調整するための駆動機構１５（駆動部）と、装置全体の制御を行う制御系２０とにより構成される。   FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. The X-ray inspection apparatus 1 includes an X-ray measurement optical system 13 composed of an X-ray generator 11 and an X-ray detector 12, a stage 14 on which the object to be measured is placed, and a measurement visual field of the object to be measured. It comprises a drive mechanism 15 (drive unit) for adjustment and a control system 20 that controls the entire apparatus.

制御系２０は汎用のコンピュータ装置により構成されるが、そのハードウェアをさらにブロック化して説明すると、ＣＰＵ２１、入力装置であるキーボード２２、同じく入力装置であるマウス２３、モニタ画面２４ａを有する表示装置２４により構成される。
また、ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、Ｘ線画像作成部３１、Ｘ線画像表示制御部３２、駆動信号発生部３３に分けられる。 The control system 20 is constituted by a general-purpose computer device. The hardware of the control system 20 is further described. The display device 24 includes a CPU 21, a keyboard 22 as an input device, a mouse 23 as an input device, and a monitor screen 24a. Consists of.
Further, the functions processed by the CPU 21 will be described in blocks. The functions are divided into an X-ray image creation unit 31, an X-ray image display control unit 32, and a drive signal generation unit 33.

Ｘ線測定光学系１３を構成するＸ線発生装置１１は、透視Ｘ線照射用のＸ線管を備えている。Ｘ線検出器１２は、Ｘ線管に対向するように配置されるイメージインテンシファイア（以下ＩＩと略す）と、このＩＩの後側に一体的に取り付けられたＣＣＤカメラとからなり、ＩＩが透視Ｘ線を検出することにより形成した蛍光像をＣＣＤカメラで撮影することにより、透視Ｘ線像の映像信号が出力されるようにしてある。   The X-ray generator 11 constituting the X-ray measurement optical system 13 includes an X-ray tube for fluoroscopic X-ray irradiation. The X-ray detector 12 includes an image intensifier (hereinafter abbreviated as II) disposed so as to face the X-ray tube, and a CCD camera attached integrally to the rear side of the II. An image signal of a fluoroscopic X-ray image is output by photographing a fluorescent image formed by detecting fluoroscopic X-rays with a CCD camera.

ステージ１４は、ＸＹ面となる２次元平面を有しており、この上に被測定物Ｓを載置することができるようにしてある。
駆動機構１５は、Ｘ線測定光学系１３（Ｘ線検出器１２、またはＸ線発生装置１１とＸ線検出器１２）を傾動移動するＸ線測定光学系傾動機構１６と、ステージ１４をＸＹＺ方向に並進移動するとともにＺ方向軸に対して回転移動するためのステージ移動機構１７とからなる。
そして、図２に示すように、ＸＹ面移動（Ｘ方向並進およびＹ方向並進）、上下移動（Ｚ方向並進）、Ｚ軸回転α、Ｚ軸傾動βの５種類の駆動内容について、それぞれの駆動軸方向に並進又は回転するためのモータが搭載されており、モータの回転方向（正回転、負回転）に基づいて移動方向が決定され、モータの回転速度に基づいて移動速度を決定されることになる。 The stage 14 has a two-dimensional plane serving as an XY plane, and the object to be measured S can be placed thereon.
The drive mechanism 15 includes an X-ray measurement optical system tilting mechanism 16 that tilts and moves the X-ray measurement optical system 13 (the X-ray detector 12 or the X-ray generator 11 and the X-ray detector 12), and the stage 14 in the XYZ directions. And a stage moving mechanism 17 for rotationally moving with respect to the Z-direction axis.
Then, as shown in FIG. 2, XY plane movement (translation in the X direction and translation in the Y direction), vertical movement (translation in the Z direction), Z axis rotation α, and Z axis tilt β are each driven. A motor for translation or rotation in the axial direction is mounted, the movement direction is determined based on the rotation direction (positive rotation, negative rotation) of the motor, and the movement speed is determined based on the rotation speed of the motor. become.

ＣＰＵ２１の各機能ブロックについて説明する。Ｘ線画像作成部３１は、Ｘ線検出器１２から送られてきた透視Ｘ線像の映像信号を、次々とデジタル画像に変換し、表示装置２４のモニタ画面２４ａに透視Ｘ線画像２４ｂとして表示するためのコマ画像データを作成する制御を行う。   Each functional block of the CPU 21 will be described. The X-ray image creation unit 31 sequentially converts the video signals of the fluoroscopic X-ray images sent from the X-ray detector 12 into digital images and displays them as a fluoroscopic X-ray image 24b on the monitor screen 24a of the display device 24. Control to create frame image data to be performed.

Ｘ線画像表示制御部３２は、Ｘ線画像作成部３１により作成されたコマ画像データを、次々とモニタ画面２４ａに表示する制御を行う。これにより、モニタ画面２４ａの一部または全面には、被測定物Ｓの透視Ｘ線画像２４ｂ（動画像）が表示される。   The X-ray image display control unit 32 performs control to display the frame image data created by the X-ray image creation unit 31 on the monitor screen 24a one after another. Thereby, a fluoroscopic X-ray image 24b (moving image) of the object S to be measured is displayed on a part or the entire surface of the monitor screen 24a.

駆動信号発生部３３は、モニタ画面２４ａに透視Ｘ線画像２４ｂが表示されている状態で、透視Ｘ線画像２４ｂの上にマウスのポインタ２４ｃの位置が移動されクリック操作による位置指定が行われたときに、その指定位置を読み取り、指定位置座標に応じて予め設定してある駆動機構１５に対する駆動制御信号を発生する制御を行う。
本実施形態では、マウス２３には、３つのクリック操作ボタンが設けてあり、それぞれに異なる駆動軸に対する移動方向および移動速度の駆動制御信号が発生するようにしている。 In the state where the fluoroscopic X-ray image 24b is displayed on the monitor screen 24a, the drive signal generator 33 moves the position of the mouse pointer 24c on the fluoroscopic X-ray image 24b and performs position designation by a click operation. Sometimes, the designated position is read, and control is performed to generate a drive control signal for the drive mechanism 15 set in advance according to the designated position coordinates.
In the present embodiment, the mouse 23 is provided with three click operation buttons, each of which generates a drive control signal for the movement direction and movement speed with respect to different drive axes.

図３は、マウス２３の各クリック操作ボタンと透視Ｘ線画像２４ｂでのクリック操作との関係を説明する図である。マウス２３には、左クリックボタン２３ａ、中クリックボタン２３ｂ、右クリックボタン２３ｃが設けてある。
透視Ｘ線画像２４ｂは、どのクリックボタンが操作されるかによって異なる制御モードが割り付けられる。すなわち、左クリックボタン２３ａを操作したときはＸＹ面移動の駆動軸を制御するモードＡとなり、中クリックボタン２３ｂを操作したときは上下移動の駆動制御信号が発生するモードＢとなり、右クリックボタンを操作したときは回転移動および傾動移動の駆動軸を制御するモードＣとなるようにしてある。 FIG. 3 is a diagram illustrating the relationship between each click operation button of the mouse 23 and the click operation on the fluoroscopic X-ray image 24b. The mouse 23 is provided with a left click button 23a, a middle click button 23b, and a right click button 23c.
The fluoroscopic X-ray image 24b is assigned a different control mode depending on which click button is operated. That is, when the left click button 23a is operated, the mode A for controlling the drive axis for the XY plane movement is set, and when the middle click button 23b is operated, the mode B for generating the drive control signal for the vertical movement is set. When operated, the mode C for controlling the drive shaft of the rotational movement and the tilt movement is set.

次に、各モードでの入力操作について説明する。モードＡでは、透視Ｘ線画像２４ｂの中心を原点として原点からクリックで指定した位置に向かう方向によってＸＹ面内の移動方向を指示し、中心からの距離により移動速度を指示する。これにより、透視Ｘ線画像２４ｂを見ながら、移動したい方向の画像部分をクリックすればよいので、直感的に移動方向を設定することができる。
モードＢでは、透視Ｘ線画像２４ｂの中心を通る水平線を基準線として、それより上部側が上方移動、下部側が下方移動を指示する領域となる。また、基準線からの距離に応じて移動速度を指示する。これにより、画面の上下位置と、上下移動方向および移動速度とを対応させて直感的に指示することができる。
モードＣでは、透視Ｘ線画像２４ｂが２本の対角線で上下左右に４分割され、そのうち上下２つの領域が傾動移動、左右２つの領域が回転移動の操作領域となる。傾動および回転は、移動方向は正転、逆転の２種類しかないので、上領域と右領域が正転、下領域と左領域が逆転の指示領域とする。移動速度は、モードＡと同様に中心からの距離により指示する。
これにより、直感的に移動方向、移動速度を設定することができるようにしてある。 Next, input operations in each mode will be described. In mode A, the center of the fluoroscopic X-ray image 24b is set as the origin, and the movement direction in the XY plane is instructed by the direction from the origin to the position designated by clicking, and the movement speed is instructed by the distance from the center. Thus, the user can click the image portion in the direction in which he wants to move while viewing the fluoroscopic X-ray image 24b, so that the direction of movement can be set intuitively.
In mode B, a horizontal line passing through the center of the fluoroscopic X-ray image 24b is used as a reference line, and the upper side is an area for instructing upward movement and the lower side is an area for instructing downward movement. Also, the moving speed is instructed according to the distance from the reference line. Thereby, it is possible to instruct intuitively by associating the vertical position of the screen with the vertical movement direction and the movement speed.
In mode C, the fluoroscopic X-ray image 24b is divided into four upper and lower and right and left by two diagonal lines, of which two upper and lower areas are tilt movement and two left and right areas are rotation movement operation areas. Since there are only two types of tilting and rotation, the forward direction and the reverse direction are the moving directions, so that the upper region and the right region are the forward direction, and the lower region and the left region are the reverse direction regions. The moving speed is indicated by the distance from the center as in the mode A.
Thus, the movement direction and movement speed can be set intuitively.

したがって、モニタ画面２４ａに透視Ｘ線画像２４ｂが表示された状態で、操作者がマウスを移動してポインタを移動し、透視Ｘ線画像２４ｂの上でクリックすると、クリックしたクリックボタンの種類、透視Ｘ線画像２４ｂ上の指定位置とに基づいて、駆動する駆動軸の種類および駆動軸の移動方向、移動速度を一挙に設定することができるようになる。   Accordingly, when the operator moves the mouse and moves the pointer while the fluoroscopic X-ray image 24b is displayed on the monitor screen 24a, and clicks on the fluoroscopic X-ray image 24b, the type of click button and fluoroscopy Based on the designated position on the X-ray image 24b, the type of drive shaft to be driven, the moving direction of the driving shaft, and the moving speed can be set all at once.

上記実施形態では、モードＣにおいて、傾動と回転との指示を行うようにしたが、クリックボタンを４つ以上有するマウスを用いる場合は、傾動と回転とを別々のクリックボタンに対応させて別々のモードとしてもよい。   In the above embodiment, in the mode C, the tilt and rotation are instructed. However, when a mouse having four or more click buttons is used, the tilt and rotation are associated with different click buttons, and the separate click buttons are used. It is good also as a mode.

本発明は、マウスを用いて視野調整を行うＸ線検査装置に利用することができる。   The present invention can be used in an X-ray inspection apparatus that performs visual field adjustment using a mouse.

本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the X-ray inspection apparatus which is one Embodiment of this invention. 駆動軸による移動方向の種類を説明する図。The figure explaining the kind of moving direction by a drive shaft. マウスのクリック操作ボタンと透視Ｘ線画像上でのクリック操作との関係を説明する図。The figure explaining the relationship between the click operation button of a mouse | mouth, and the click operation on a fluoroscopic X-ray image. 従来からの入力装置のひとつであるジョイスティックの構成を示す図。The figure which shows the structure of the joystick which is one of the conventional input devices. 従来からのマウスによる入力操作を説明する図。The figure explaining the input operation by the conventional mouse | mouth.

符号の説明Explanation of symbols

１、２： Ｘ線検査装置
１１： Ｘ線発生装置（Ｘ線源）
１２： Ｘ線検出器
１３： Ｘ線測定光学系
１４： ステージ
１５： 駆動機構（駆動部）
１６： Ｘ線測定光学系傾動機構
１７： ステージ移動機構
２０： 制御系
２３： マウス
２４： 表示装置
２４ａ： モニタ画面
２４ｂ： 透視Ｘ線画像
３１： Ｘ線画像作成部
３２： Ｘ線画像表示制御部
３３： 駆動信号発生部 1, 2: X-ray inspection device 11: X-ray generator (X-ray source)
12: X-ray detector 13: X-ray measurement optical system 14: Stage 15: Drive mechanism (drive unit)
16: X-ray measurement optical system tilting mechanism 17: Stage moving mechanism 20: Control system 23: Mouse 24: Display device 24a: Monitor screen 24b: Perspective X-ray image 31: X-ray image creation unit 32: X-ray image display control unit 33: Drive signal generator

Claims (1)

被測定物に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源と被測定物の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、
Ｘ線源とＸ線検出器との間において被測定物を載置するステージと、
ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整する駆動部と、
モニタ画面と、
Ｘ線検出器により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線画像を作成するＸ線画像作成部と、
モニタ画面に透視Ｘ線画像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部と、
モニタ画面の任意の位置にポインタを表示するとともにクリック操作によりポインタの位置を指定するマウスとを備えるＸ線検査装置であって、
駆動部はステージ面方向であるＸＹ方向への並進移動機構と、ステージ面に垂直なＺ方向への並進移動機構と、Ｚ方向の回転軸に対する回転移動機構と、ステージ面に対するＸ線測定光学系の光軸を傾斜させる傾動移動機構とを有し、
マウスは左クリックボタンと中クリックボタンと右クリックボタンとを有し、
モニタ画面に表示した四角形の透視Ｘ線画像の中心を原点とし、当該中心を通る水平線を基準線とするとともに、対角線を設定し、
モニタ画面に表示した透視Ｘ線画像上でマウスの左クリック操作による位置指定が行われたときに、原点に対する指定位置の方向と距離に応じて、ＸＹ方向への並進移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生し、
透視Ｘ線画像上でマウスの中クリック操作による位置指定が行われたときに、基準線に対する指定位置の位置と距離に応じて、Ｚ方向への並進移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生し、
透視Ｘ線画像上でマウスの右クリック操作による位置指定が行われたときに、対角線及び原点に対する指定位置の位置と距離に応じて、Ｚ方向の回転軸に対する回転移動機構又はステージ面に対するＸ線測定光学系の光軸を傾斜させる傾動移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生する駆動信号発生部とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
An X-ray measurement optical system comprising an X-ray source that irradiates fluoroscopic X-rays toward the object to be measured and an X-ray detector that images a fluoroscopic X-ray image of the object to be measured;
A stage for placing an object to be measured between an X-ray source and an X-ray detector;
A drive unit for adjusting the positional relationship between an object to be measured on the stage and the X-ray measurement optical system;
A monitor screen;
An X-ray image creation unit that creates a fluoroscopic X-ray image based on a video signal imaged by the X-ray detector;
An X-ray image display control unit for displaying an image of a fluoroscopic X-ray image on a monitor screen;
An X-ray inspection apparatus comprising a mouse that displays a pointer at an arbitrary position on a monitor screen and designates the position of the pointer by a click operation,
The drive unit includes a translational movement mechanism in the XY direction that is the stage surface direction, a translational movement mechanism in the Z direction perpendicular to the stage surface, a rotational movement mechanism with respect to the rotation axis in the Z direction, and an X-ray measurement optical system for the stage surface. A tilt movement mechanism for tilting the optical axis of
The mouse has a left click button, a middle click button and a right click button,
The center of the rectangular fluoroscopic X-ray image displayed on the monitor screen is the origin, the horizontal line passing through the center is the reference line, and the diagonal line is set,
When a position is specified by a left- click operation of the mouse on the fluoroscopic X-ray image displayed on the monitor screen, the direction and movement of the translation mechanism in the XY directions according to the direction and distance of the specified position with respect to the origin Generate a drive signal containing control information about speed,
Control information on the moving direction and moving speed of the translation mechanism in the Z direction according to the position and distance of the specified position with respect to the reference line when the position is specified by the middle click operation of the mouse on the fluoroscopic X-ray image Drive signal containing
When the position is specified by right-clicking the mouse on the fluoroscopic X-ray image, the rotational movement mechanism with respect to the rotation axis in the Z direction or the X-ray with respect to the stage surface according to the position and distance of the specified position with respect to the diagonal line and the origin An X-ray inspection apparatus comprising: a drive signal generating unit that generates a drive signal including control information related to a moving direction and a moving speed of a tilt moving mechanism that tilts an optical axis of a measurement optical system .
JP2005293971A 2005-10-06 2005-10-06 X-ray inspection equipment Expired - Fee Related JP4687362B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005293971A JP4687362B2 (en) 2005-10-06 2005-10-06 X-ray inspection equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005293971A JP4687362B2 (en) 2005-10-06 2005-10-06 X-ray inspection equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007101446A JP2007101446A (en) 2007-04-19
JP4687362B2 true JP4687362B2 (en) 2011-05-25

Family

ID=38028523

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005293971A Expired - Fee Related JP4687362B2 (en) 2005-10-06 2005-10-06 X-ray inspection equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4687362B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101467478B1 (en) * 2013-09-13 2014-12-01 (주)시스트 Apparatus and method for scanning circuit elements using x-ray

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003114201A (en) * 2001-10-02 2003-04-18 Shimadzu Corp Fluoroscopic radiographic apparatus
JP2004212298A (en) * 2003-01-07 2004-07-29 Toshiba It & Control Systems Corp Radioscopic examination apparatus
JP2005024499A (en) * 2003-07-03 2005-01-27 Toshiba It & Control Systems Corp X-ray fluoroscopic inspection apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003114201A (en) * 2001-10-02 2003-04-18 Shimadzu Corp Fluoroscopic radiographic apparatus
JP2004212298A (en) * 2003-01-07 2004-07-29 Toshiba It & Control Systems Corp Radioscopic examination apparatus
JP2005024499A (en) * 2003-07-03 2005-01-27 Toshiba It & Control Systems Corp X-ray fluoroscopic inspection apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007101446A (en) 2007-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4670572B2 (en) X-ray inspection equipment
JP4570942B2 (en) X-ray apparatus and method for creating X-ray image data set
JP3891285B2 (en) X-ray fluoroscope
JPWO2019131859A1 (en) X-ray CT imaging device
JP4665696B2 (en) X-ray inspection equipment
JP2006343193A (en) X-ray fluoroscope
JP4687362B2 (en) X-ray inspection equipment
JP3780891B2 (en) X-ray fluoroscopic equipment
JP2009294047A (en) X-ray inspection device
JP4577215B2 (en) X-ray inspection equipment
JP5711531B2 (en) Sample stage apparatus and electron beam apparatus
JP4274869B2 (en) X-ray fluoroscopy system
JP4072420B2 (en) Calibration method for fluoroscopic inspection apparatus
JP2004257914A (en) X-ray fluoroscopic apparatus
JP4577214B2 (en) X-ray inspection equipment
JP4622814B2 (en) X-ray inspection equipment
JP6483968B2 (en) Dental X-ray equipment
JP2007192776A (en) X-ray inspection device
JP6837452B2 (en) Control method of X-ray CT imaging device and X-ray CT imaging device
JP4577212B2 (en) X-ray inspection equipment
JP4534459B2 (en) Surgical X-ray machine
JP4665774B2 (en) X-ray inspection equipment
JP2005098867A (en) X-ray ct device
JP2007132772A (en) X-ray inspection device
JP2003185601A (en) Cone ct scanner

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080111

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20090910

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101022

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101026

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101215

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110118

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110131

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4687362

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140225

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees