JP4684268B2 - 真空処理装置、基板搬送方法 - Google Patents
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Description
回転軸12a,12bと、該回転軸12a,12bが取り付けられた台座11が回転すると、ハンド25は、直線移動と回転移動する。
処理室541,542の内部では基板が配置される位置は決まっており、その位置を第一,第二の処理位置8a,8bとすると、第一,第二の載置部15a,15b上の基板16a,16bを、それぞれ第一,第二の処理位置8a,8b上に正確に配置する必要がある。
また、本発明は、処理室と、前記処理室に接続された搬送室とを有し、前記搬送室には、同一方向に同一距離一緒に移動される第一,第二の載置部を有する搬送ロボットが配置され、前記第一,第二の載置部に基板をそれぞれ水平に配置して、前記第一,第二の載置部を前記搬送室内から前記処理室内に移動させ、前記処理室内に設定された第一,第二の処理位置上に前記基板をそれぞれ配置するように構成された真空処理装置であって、前記第一,第二の載置部は先端が離間し、開口が形成された水平な二本の指部をそれぞれ有し、前記第一の載置部の前記指部と前記第二の載置部の前記指部は異なる高さに配置され、前記第一,第二の処理位置には、前記第一,第二の載置部の前記指部間に挿入可能な第一,第二の台座がそれぞれ配置され、前記指部間に前記第一,第二の台座を挿入させ、前記第一,第二の載置部を水平方向に移動させ、前記指部間の開口を通して前記第一,第二の台座を前記第一,第二の載置部の前記指部間から抜去できるようにに構成された真空処理装置である。
また、本発明は、前記第一,第二の載置部は、一緒に、鉛直な一の主回転軸線を中心とする回転移動と、前記回転軸線と垂直に交叉する放射方向に伸びる直線に沿った直線移動とが可能に構成された真空処理装置である。
また、本発明は、第一,第二の載置部上に第一,第二の基板をそれぞれ配置し、前記第一,第二の載置部が相対的に静止した状態で、鉛直な主回転軸線を中心とする回転移動と、前記主回転軸線と垂直な直線と平行な方向の直線移動とにより、前記第一,第二の載置部を対応する第一,第二の処理位置上にそれぞれ移動させ、前記第一,第二の載置部上に前記第一,第二の基板をそれぞれ配置する基板搬送方法であって、予め、前記第一,第二の処理位置上にそれぞれ第一,第二の台座を設け、前記第一,第二の載置部を、前記第一,第二の台座の上方にそれぞれ位置させた状態では、前記第一の台座からの前記第一の載置部の高さが、前記第二の台座からの前記第二の載置部の高さよりも低いようにしておき、前記第一,第二の載置部を前記第一,第二の台座上にそれぞれ位置させ、前記第一の載置部を前記第一の台座に対して位置合わせして降下させ、前記第一の基板を前記第一の台座上に配置した後、前記第二の載置部を前記第二の台座に対して位置合わせして降下させ、前記第二の基板を前記第二の台座上に配置する基板搬送方法である。
図1の符号50は、本発明の搬送方法を用いることができる搬送ロボットが配置された第一,第二例の真空処理装置を示している。この真空処理装置50は、搬送室51と、搬入室52と、搬出室53と、複数の処理室541〜543を有している。搬入室52と搬出室53と処理室541〜543は、搬送室51の周囲に配置され、内部が搬送室51の内部に接続されている。
搬送ロボット10の平面図を、図2、3に示す。
該搬送ロボット10は、台座(主回転軸)11と、第一,第二の副回転軸12a,12bと、アーム部20と、ハンド25とを有している。
第一,第二の副回転軸12a,12bは台座11に設けられており、台座11が回転すると第一,第二の副回転軸12a,12bも台座11と一緒に主回転軸線31を中心に回転するように構成されている。
第一,第二の副回転軸12a,12bの中心軸線は鉛直であり、その中心軸線を第一,第二の副回転軸線32a,32bとすると、第一,第二の副回転軸12a,12bは、第一,第二の副回転軸線32a,32bを中心に回転するように構成されている。
第一,第二の能動アーム13a,13bの一端は第一,第二の副回転軸12a,12bに取り付けられており、第一,第二の副回転軸12a,12bが回転すると、第一,第二の能動アーム13a,13bは第一,第二の副回転軸線32a,32bを中心に回転する。
第一,第二の回動中心34a,34bはハンド25に対して静止しており、従って、第一,第二の回動中心34a,34b間の距離は一定である。
これにより、第一,第二の副回転軸12a,12bは、同方向に同一角度しか回転できない。
第一,第二の載置部15a,15b上に基板16a,16bがそれぞれ配置された状態で、ハンド25が直線移動と回転移動をすると、基板16a,16bを所望位置に搬送することができる。
処理室541〜543内に位置する第一,第二の処理位置8a,8b上には、第一,第二の台座9a,9bが乗せられている。
第一,第二の載置部15a,15bは、U字形状に開き、一端に開口が形成されるように開いた二本一組の指部18a,19a,又は18b,19bをそれぞれ有している。
第一,第二の載置部15a,15b上の基板16a,16bを搬送し、基板16a,16bの中心点Pa,Pbが、第一,第二の処理位置8a,8bの中心点Qa,Qbの鉛直上方に配置しようとする場合、第一,第二の処理位置8a,8bの中心点Qa,Qbを結ぶ線分の水平成分が、第一,第二の載置部15a,15bの中心点Pa,Pb間を結ぶ線分の水平成分と平行でない場合や、第一,第二の処理位置8a,8bの中心点Qa,Qb間の距離が、第一,第二の載置部15a,15bの中心点Pa,Pb間の距離と異なる場合や、それらの組合せである場合は、第一,第二の載置部15a,15b上の基板16a,16bの中心点Pa,Pbを、第一,第二の処理位置8a,8bの中心点Qa,Qb上に同時に位置させることはできない。
アーム部20の回転と伸縮により、第一,第二の載置部15a,15bを、第一,第二の台座9a,9b上に位置させ、台座からの高さが低い方の第一の載置部15aの中心点Paが、第一の処理位置8aの中心点Qaの鉛直上方に位置するように位置合わせし、静止させる(図4(a)、図5(a))。
第一の載置部15aが基板16aから離間した状態でも、第二の載置部15b上の基板16bは、第二の台座9bの上方に位置し、第二の台座9bとは接触しないようにされている。
第一の台座9aと、第一の載置部15aの指部18a,19aとの間には隙間が形成されている。
従って、第二の載置部15bを水平面内で誤差距離LEがゼロになるように移動させることができる。
また、ハンドが二以上の回転軸線(上記実施例では主回転軸線)を有し、回転軸線に対する向きを変更できる搬送ロボットについても有効である。
第一,第二の載置部15a,15bが第一,第二の台座9a,9bの上部よりも下方に位置する場合には、第二の載置部15bと第二の台座9bの上部表面との間の距離の方が、第一の載置部15aと第一の台座9aの上部表面との間の距離よりも短くなっている。
この状態では、第一,第二の台座9a,9bは、第一,第二の載置部15a,15bよりも下方に位置しており、ハンド25は自由に移動させることができる。
15a,15b……第一,第二の載置部
8a,8b……第一,第二の処理位置
25……ハンド
31……回転軸線
Claims (4)
- 処理室と、前記処理室に接続された搬送室とを有し、
前記搬送室には、同一方向に同一距離一緒に移動される第一,第二の載置部を有する搬送ロボットが配置され、
前記第一,第二の載置部に基板をそれぞれ水平に配置して、前記第一,第二の載置部を前記搬送室内から前記処理室内に移動させ、前記処理室内に設定された第一,第二の処理位置上に前記基板をそれぞれ配置するように構成された真空処理装置であって、
前記第一,第二の載置部は先端が離間し、開口が形成された水平な二本の指部をそれぞれ有し、
前記第一,第二の処理位置には、高さが異なり、前記第一,第二の載置部の前記指部間に挿入可能な第一,第二の台座がそれぞれ配置され、
前記指部間に前記第一,第二の台座を挿入させ、前記第一,第二の載置部を水平方向に移動させ、前記指部間の開口を通して前記第一,第二の台座を前記第一,第二の載置部の前記指部間から抜去できるように構成された真空処理装置。 - 処理室と、前記処理室に接続された搬送室とを有し、
前記搬送室には、同一方向に同一距離一緒に移動される第一,第二の載置部を有する搬送ロボットが配置され、
前記第一,第二の載置部に基板をそれぞれ水平に配置して、前記第一,第二の載置部を前記搬送室内から前記処理室内に移動させ、前記処理室内に設定された第一,第二の処理位置上に前記基板をそれぞれ配置するように構成された真空処理装置であって、
前記第一,第二の載置部は先端が離間し、開口が形成された水平な二本の指部をそれぞれ有し、
前記第一の載置部の前記指部と前記第二の載置部の前記指部は異なる高さに配置され、
前記第一,第二の処理位置には、前記第一,第二の載置部の前記指部間に挿入可能な第一,第二の台座がそれぞれ配置され、
前記指部間に前記第一,第二の台座を挿入させ、前記第一,第二の載置部を水平方向に移動させ、前記指部間の開口を通して前記第一,第二の台座を前記第一,第二の載置部の前記指部間から抜去できるようにに構成された真空処理装置。 - 前記第一,第二の載置部は、一緒に、鉛直な一の主回転軸線を中心とする回転移動と、前記回転軸線と垂直に交叉する放射方向に伸びる直線に沿った直線移動とが可能に構成された請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の真空処理装置。
- 第一,第二の載置部上に第一,第二の基板をそれぞれ配置し、前記第一,第二の載置部が相対的に静止した状態で、鉛直な主回転軸線を中心とする回転移動と、前記主回転軸線と垂直な直線と平行な方向の直線移動とにより、前記第一,第二の載置部を対応する第一,第二の処理位置上にそれぞれ移動させ、前記第一,第二の載置部上に前記第一,第二の基板をそれぞれ配置する基板搬送方法であって、
予め、前記第一,第二の処理位置上にそれぞれ第一,第二の台座を設け、前記第一,第二の載置部を、前記第一,第二の台座の上方にそれぞれ位置させた状態では、前記第一の台座からの前記第一の載置部の高さが、前記第二の台座からの前記第二の載置部の高さよりも低いようにしておき、
前記第一,第二の載置部を前記第一,第二の台座上にそれぞれ位置させ、
前記第一の載置部を前記第一の台座に対して位置合わせして降下させ、前記第一の基板を前記第一の台座上に配置した後、
前記第二の載置部を前記第二の台座に対して位置合わせして降下させ、前記第二の基板を前記第二の台座上に配置する基板搬送方法。
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WO2012086164A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 川崎重工業株式会社 | 搬送ロボット、その基板搬送方法、及び基板搬送中継装置 |
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JP2013084823A (ja) * | 2011-10-11 | 2013-05-09 | Ulvac Japan Ltd | 搬送ロボット及び真空装置 |
WO2014113364A1 (en) * | 2013-01-18 | 2014-07-24 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot having arm with unequal link lengths |
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JP6190645B2 (ja) | 2013-07-09 | 2017-08-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送方法 |
KR101970780B1 (ko) * | 2017-04-13 | 2019-04-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법 |
US20200161162A1 (en) * | 2018-11-19 | 2020-05-21 | Mattson Technology, Inc. | Systems and methods for workpiece processing |
KR102116470B1 (ko) * | 2019-09-05 | 2020-05-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 처리 시스템 |
KR102367956B1 (ko) * | 2020-04-03 | 2022-02-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000503478A (ja) * | 1996-01-16 | 2000-03-21 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 二重基板ホルダを有する基板搬送装置 |
JP2001156149A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Anelva Corp | 基板処理装置 |
JP2002504744A (ja) * | 1997-11-28 | 2002-02-12 | マットソン テクノロジイ インコーポレイテッド | 真空処理を行う非加工物を、低汚染かつ高処理能力で取扱うためのシステムおよび方法 |
JP2002071753A (ja) * | 2000-08-30 | 2002-03-12 | Yokogawa Electric Corp | ハンドラ |
JP2002343844A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-29 | Kaijo Corp | ウェーハハンドリング機構 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6117742U (ja) * | 1984-07-09 | 1986-02-01 | 関西日本電気株式会社 | 半導体製造装置 |
JPH0786371A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
JPH09285982A (ja) * | 1996-04-19 | 1997-11-04 | Metsukusu:Kk | 薄型ワーク搬送装置 |
US5838121A (en) * | 1996-11-18 | 1998-11-17 | Applied Materials, Inc. | Dual blade robot |
JP3774283B2 (ja) * | 1996-11-19 | 2006-05-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム |
JP4109733B2 (ja) * | 1997-06-06 | 2008-07-02 | キヤノンアネルバ株式会社 | 基板搬送システム及び半導体製造装置 |
JPH11163090A (ja) * | 1997-12-02 | 1999-06-18 | Mecs Corp | 薄型ワークの搬送ロボット |
JPH11251398A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置およびこれを用いた基板洗浄装置ならびに基板搬送方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000503478A (ja) * | 1996-01-16 | 2000-03-21 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 二重基板ホルダを有する基板搬送装置 |
JP2002504744A (ja) * | 1997-11-28 | 2002-02-12 | マットソン テクノロジイ インコーポレイテッド | 真空処理を行う非加工物を、低汚染かつ高処理能力で取扱うためのシステムおよび方法 |
JP2001156149A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Anelva Corp | 基板処理装置 |
JP2002071753A (ja) * | 2000-08-30 | 2002-03-12 | Yokogawa Electric Corp | ハンドラ |
JP2002343844A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-29 | Kaijo Corp | ウェーハハンドリング機構 |
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