JP4683883B2 - 発光装置 - Google Patents
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Description
電界発光装置では、層間絶縁膜として酸化ケイ素膜、窒化ケイ素膜、アクリル膜、ポリイミド膜やシロキサン系の膜等の絶縁性の膜を使用することが多い。特にアクリル膜やシロキサン系の膜は塗布法による成膜が可能であることと、平坦性が高いために好適な材料ではあるが、一方で比較的透水性が高いという特徴も有する。
本実施の形態では、基板周辺部の透水性の膜(今回は層間絶縁膜を想定。ただし、透水性の膜に対する対策としては対象は層間絶縁膜に限らず本発明は適用することが可能)を基板の外周から適当な距離だけ除去することによって、より水の浸入がしにくくなる構造とした例を図5を参照しながら示す。これらの断面図は図3のe−e’などに相当する。
本発明の構成の封止構造を作製する場合、図6を参照してもらってもわかるように、開口部106及び基板端面の層間絶縁膜除去部120は、層間絶縁膜102,104に形成されるコンタクトホールを開孔するのと同時に開口することができ、効率的である。
本実施の形態においては、層間絶縁膜が全ては除去することが困難となる構造において、層間絶縁膜を介して浸入する水の影響を極力抑えることができる構造について説明する。
本実施の形態では、外部端子と内部回路とをつなぐ配線部分(図3c等)においても基板外周部にの層間絶縁膜を除去し層間絶縁膜経由の水の浸入を防止することができる形態について図11を用いて説明する。
本実施の形態では実施の形態5と実施の形態3を組み合わせた例について説明する。
Claims (9)
- 基板と、
前記基板上に設けられた第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に設けられた第2の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜又は前記第2の絶縁膜上に設けられた、陽極及び陰極の間に発光性材料を挟み前記陽極及び前記陰極の間に電流を流すことで発光する素子と、を有し、
前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜の外周部において、
前記第1の絶縁膜を貫通する第1の開口部と、
前記第1の開口部と前記第1の開口部における第1の絶縁膜を被覆する第1の保護膜と、
前記第2の絶縁膜を前記第1の保護膜に達して貫通して、前記第1の開口部の内部に設けられた第2の開口部と、
前記第2の開口部と前記第2の開口部における第2の絶縁膜を被覆し、前記第1の保護膜に前記第2の開口部の底面において接する第2の保護膜と、を有し、
前記基板の端面において、
前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜が除去された部分を有し、
前記第1の絶縁膜の側面は前記第1の保護膜で覆われ、
前記第2の絶縁膜の側面は前記第2の保護膜で覆われ、
前記第1の保護膜は、前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜が除去された部分において、前記基板及び前記第2の保護膜と接していることを特徴とする発光装置。 - 基板と、
前記基板上に設けられた第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に設けられた第2の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜又は前記第2の絶縁膜上に設けられた、陽極及び陰極の間に発光性材料を挟み前記陽極及び前記陰極の間に電流を流すことで発光する素子と、を有し、
前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜の外周部において、
前記第1の絶縁膜を貫通する第1の開口部と、
前記第1の開口部と前記第1の開口部における第1の絶縁膜を被覆する第1の保護膜と、
前記第2の絶縁膜を前記第1の保護膜に達して貫通して、前記第1の開口部の内部に設けられた第2の開口部と、
前記第2の開口部と前記第2の開口部における第2の絶縁膜を被覆し、前記第1の保護膜に前記第2の開口部の底面において接する第2の保護膜と、を有し、
前記第1の保護膜及び前記第2の保護膜は金属膜からなり、かつ、配線として用いられ、
前記基板の端面において、
前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜が除去された部分を有し、
前記第1の絶縁膜の側面は前記第1の保護膜で覆われ、
前記第2の絶縁膜の側面は前記第2の保護膜で覆われ、
前記第1の保護膜は、前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜が除去された部分において、前記基板及び前記第2の保護膜と接していることを特徴とする発光装置。 - 基板と、
前記基板上に設けられた第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に設けられた第2の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜又は前記第2の絶縁膜上に設けられた、陽極及び陰極の間に発光性材料を挟み前記陽極及び前記陰極の間に電流を流すことで発光する素子と、を有し、
前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜の外周部において、
前記第1の絶縁膜を貫通する第1の開口部と、
前記第1の開口部と前記第1の開口部における第1の絶縁膜を被覆する第1の保護膜と、
前記第2の絶縁膜を前記第1の保護膜に達して貫通して、前記第1の開口部の内部に設けられた第2の開口部と、
前記第2の開口部と前記第2の開口部における第2の絶縁膜を被覆し、前記第1の保護膜に前記第2の開口部の底面において接する第2の保護膜と、を有し、
前記第1の開口部と前記第2の開口部は、複数繰り返し設けられ、
前記第1の保護膜及び前記第2の保護膜は金属膜からなり、かつ、配線として用いられ、
前記基板の端面において、
前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜が除去された部分を有し、
前記第1の絶縁膜の側面は前記第1の保護膜で覆われ、
前記第2の絶縁膜の側面は前記第2の保護膜で覆われ、
前記第1の保護膜は、前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜が除去された部分において、前記基板及び前記第2の保護膜と接していることを特徴とする発光装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、前記第2の保護膜は、前記素子の前記陽極又は前記陰極と同じ材料で形成されていることを特徴とする発光装置。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項において、前記素子に、薄膜トランジスタが接続されていることを特徴とする発光装置。
- 請求項5において、前記第1の保護膜は前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極に用いられる材料と同じ材料で形成されていることを特徴とする発光装置。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか一項において、前記第1の絶縁膜は、有機材料、無機材料又はシロキサン系の膜により形成されていることを特徴とする発光装置。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか一項において、前記第2の絶縁膜は、有機材料、無機材料又はシロキサン系の膜により形成されていることを特徴とする発光装置。
- 請求項7又は請求項8において、前記有機材料とはアクリルまたはポリイミドであることを特徴とする発光装置。
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