JP4682856B2 - 角速度センサ装置 - Google Patents

Description

本発明は、振動体を有する角速度検出素子を含む構造体をケースに収納してなる角速度センサ装置に関する。

従来より、振動体を有する角速度検出用の角速度検出素子を含む構造体を、ケースに収納してなる振動型の角速度センサ装置が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。このような角速度センサ装置では、振動体を駆動振動させ、角速度印加時のコリオリ力による振動体の変位を検出することで角速度検出を行う。

また、このものでは、たとえば自動車に搭載された場合など、車両振動などの外部振動がケースから構造体内の角速度検出素子へ伝達され、センサ特性に悪影響を及ぼすため、従来では、防振ゴムやゲル材料などを用い、これら防振部材を介してケースに構造体を支持している。
特開２００１−１２６４６２号公報

しかしながら、従来の防振構造では、ゴム材料やゲル材料の経時劣化により、防振特性が変化し、角速度検出素子の出力特性に影響を与えてしまう可能性がある。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、振動体を有する角速度検出素子を含む構造体をケースに収納してなる角速度センサ装置において、防振ゴムやゲル材料を用いることなく角速度検出素子の防振を行うことを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、振動型の角速度センサ装置において、構造体（１００）とケース（２００）との間に、これら両者間にて互いに反発する磁力を作用させ、この磁力によって、構造体（１００）を、ケース（２００）内の空間に浮いた状態で収納するようにし、ケース（２００）には、構造体（１００）に対向する部位に電磁石（５００）を設け、この電磁石（５００）から構造体（１００）に対して引力となる磁力を発生するようにしたことを特徴とする。

それによれば、角速度検出素子（２０）を含む構造体（１００）は、ケース（２００）と非接触の状態で当該ケース（２００）に収納されることで、外部振動がケース（２００）から角速度検出素子（２０）へ伝達するのを防止できるため、防振ゴムやゲル材料を用いることなく角速度検出素子（２０）の防振を行うことができる。

また、請求項１に記載の発明では、ケース（２００）には、構造体（１００）に対向する部位に電磁石（５００）を設け、この電磁石（５００）から構造体（１００）に対して引力となる磁力を発生するようにしているから、上記反発する磁力とこの電磁石（５００）の引力である磁力とにより、浮いた状態にある構造体（１００）のバランスをとることができる。

請求項２に記載の発明では、振動型の角速度センサ装置において、構造体（１００）とケース（２００）との間に、これら両者間にて互いに反発する磁力を作用させ、この磁力によって、構造体（１００）を、ケース（２００）内の空間に浮いた状態で収納するようにし、ケース（２００）に、構造体（１００）に対して静電引力を作用させる静電引力発生手段（６００）を設けたことを特徴とする。それによれば、角速度検出素子（２０）を含む構造体（１００）は、ケース（２００）と非接触の状態で当該ケース（２００）に収納されることで、外部振動がケース（２００）から角速度検出素子（２０）へ伝達するのを防止できるため、防振ゴムやゲル材料を用いることなく角速度検出素子（２０）の防振を行うことができる。また、ケース（２００）に、構造体（１００）に対して静電引力を作用させる静電引力発生手段（６００）を設けているから、上記の電磁石（５００）の場合と同様に、浮いた状態にある構造体（１００）のバランスをとることができる。

また、上記請求項１または請求項２の場合、請求項３に記載の発明のように、反発する磁力は、構造体（１００）とケース（２００）との互い対向する部位に、それぞれ同じ極性の永久磁石（４００、４１０）を対向して設けることにより発現することができる。また、請求項４に記載の発明のように、上記の反発する磁力を、構造体（１００）に対して、重力方向における下側と上側、および水平方向における対向する両側から作用させるようにすれば、構造体（１００）の上下左右を取り巻くように磁力が作用するため、構造体（１００）において安定な浮いた状態を実現しやすい。

また、請求項５に記載の発明のように、構造体（１００）を、角速度検出素子（２０）と電気的に接続されたパッケージ（１０）を有するものとし、このパッケージ（１０）に、フレキシブルプリント配線板（３００）を電気的に接続し、このフレキシブルプリント配線板（３００）を介して、角速度検出素子（２０）と外部とを電気的に接続するようにしてもよい。

浮いた状態にある構造体（１００）に対して接続される配線は、剛性の高いものではダメージを受けやすいが、フレキシブルプリント配線板（３００）にすれば、そのフレキシブル性によってダメージを受けることがなくなる。

また、請求項６に記載の発明のように、このフレキシブルプリント配線板に代えて、構造体（１００）とケース（２００）との間に、角速度検出素子（２０）と外部との電気的なやりとりを光伝達もしくは電波にて行う非接触配線手段（７００）を設ければ、浮いた状態にある角速度検出素子（２０）と外部との電気的な信号のやりとりを適切に行える。

このような非接触配線手段（７００）としては、請求項７に記載の発明のように、構造体（１００）とケース（２００）との互いに対向する部位において、発光素子（７１０）およびこの発光素子（７１０）からの光を受光する受光素子（７２０）のどちらか一方が構造体（１００）側に設けられ、他方がケース（２００）側に設けられてなるものであって、これら発光素子（７１０）と受光素子（７２０）との間の光の伝達により、角速度検出素子（２０）の信号を外部に取り出すようにしたものにできる。

また、上記構成において、請求項８に記載の発明のように、構造体（１００）には、光を電気に変換するソーラーセル（８００）を設けてもよく、それによれば、浮いた状態にある角速度検出素子（２０）に対して、ケース（２００）と非接触の状態にあっても、電源の供給が可能である。

ここで、請求項９に記載の発明のように、ケース（２００）に、ソーラーセル（８００）に光を供給する発光部（８１０）を設けたり、請求項１０に記載の発明のように、ケース（２００）の少なくとも一部を、ソーラーセル（８００）に外部の光を供給するように光透過性材料より構成すれば、ソーラーセル（８００）に対する光の供給を適切に行える。

なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動型の角速度センサ装置Ｓ１の概略断面構成を示す図であり、図２は、この角速度センサ装置Ｓ１におけるケース２００内の概略平面構成を示す図である。なお、図２ではフレキシブルプリント配線板３００は省略してある。この角速度センサ装置Ｓ１は、たとえば自動車に搭載されて自動車に印加される角速度を検出するものとして適用される。

図１に示されるように、この角速度センサ装置Ｓ１は、振動体２１を有する角速度検出素子２０を含む構造体１００を、ケース２００に収納してなる。

構造体１００は、ジャイロユニットであり、大きくは、パッケージ１０上に、図示しない接着剤を介して、回路基板３０、角速度検出素子２０が積層されるとともに、各部の電気的な接続がボンディングワイヤ４０にて行われているものである。

パッケージ１０は、角速度検出素子２０、回路基板３０を収納するものであり、構造体１００の本体を区画形成する基部となる。このようなパッケージ１０は、図示しないが、たとえばアルミナなどのセラミック層が複数積層された積層基板として構成されており、各層の表面や各層に形成されたスルーホールの内部に配線が形成されたものを採用することができる。

このパッケージ１０の開口部には、金属や樹脂あるいはセラミックなどからなる蓋（リッド）１１が溶接やロウ付けなどにより取り付けられ、この蓋１１によってパッケージ１０の内部が封止されている。そして、パッケージ１０の底部には、回路基板３０が接着固定され、回路基板３０の上には、角速度検出素子２０が接着固定されている。

角速度検出素子２０は角速度検出の用途をなすものであり、一般に知られているようなものと同様に、振動体２１を備えた半導体チップとして構成されたものである。このような角速度検出素子２０は、たとえばＳＯＩ（シリコン−オン−インシュレータ）基板などの半導体基板に対して周知のマイクロマシン加工を施すことにより形成され、たとえば矩形板状のものである。

具体的に、角速度検出素子２０における振動体２１は、一般に知られている櫛歯構造を有する梁構造体とすることができ、弾性を有する梁により支持されて角速度の印加により可動となっている。

そして、図１において、振動体２１がｘ軸方向に駆動振動しているときにｚ軸回りの角速度Ωが印加されると、ｘ軸と直交するｙ軸の方向へコリオリ力により振動体２１が検出振動するようになっている。

そして、角速度検出素子２０には、図示しない検出用電極が設けられ、振動体２１の検出振動による振動体２１と当該検出用電極との間の静電容量変化を検出することにより、角速度Ωの検出が可能となっている。

また、回路基板３０は、角速度検出素子２０へ駆動や検出用の信号を送ったり、角速度検出素子２０からの電気信号を処理して外部へ出力する等の機能を有する信号処理チップとして構成されたものである。

このような回路基板３０は、たとえばシリコン基板等に対してＭＯＳトランジスタやバイポーラトランジスタ等が、周知の半導体プロセスを用いて形成されているＩＣチップなどにより構成され、たとえば矩形板状のものである。

そして、図１に示されるように、角速度検出素子２０と回路基板３０、および、回路基板３０とパッケージ１０の上記配線とは、それぞれ金やアルミニウムなどからなるボンディングワイヤ４０を介して電気的に接続されている。こうして角速度検出素子２０、回路基板３０、およびパッケージ１０の各部間はボンディングワイヤ４０を介して電気的に接続されている。

そして、図１に示されるように、このような構造体１００は、セラミックや樹脂などよりなるケース２００に収納されている。このケース２００は、角速度センサ装置Ｓ１の測定を行うべく自動車における適所に取り付けられるようになっており、構造体１００を収納する本体部２１０と、この本体部２１０に取り付けられ本体部２１０の開口部を遮蔽する蓋部２２０とよりなる。

また、このような角速度検出素子２０と電気的に接続されたパッケージ１０には、フレキシブルプリント配線板３００が電気的に接続されている。このフレキシブルプリント配線板３００は一般的なものであり、ポリイミド樹脂などをベースとし、銅箔などを配線パターンとして形成したものである
フレキシブルプリント配線板３００は、構造体１００の上記配線とはんだなどにより接続されており、ケース２００に設けられた穴やケース２００の本体部２１０と蓋部２２０との隙間などを介して、ケース２００の外部へ引き出されて外部と電気的に接続可能となっている。

このようにして、角速度検出素子２０と外部とが電気的に接続されるようになっている。そして、角速度検出素子２０からの電気信号は回路基板３０へ送られて、たとえば、回路基板３０に備えられたＣ／Ｖ変換回路などにより電圧信号に変換されて、角速度信号として、フレキシブルプリント配線板３００から外部へ出力されるようになっている。

ここで、本実施形態では、構造体１００とケース２００との間には、これら両者１００、２００間にて互いに反発する磁力が作用しており、この磁力によって、構造体１００は、ケース２００内の空間に浮いた状態で収納されている。

本実施形態では、図１、図２に示されるように、構造体１００とケース２００との互い対向する部位において、構造体１００側とケース２００側とに、それぞれ同じ極性の永久磁石４００、４１０を、接着剤などにより対向して設けている。

具体的には、構造体１００側の永久磁石４００およびケース２００側の永久磁石４１０を、ともにＮ極同士で対向させるか、ともにＳ極同士で対向させるように配置する。それにより、構造体１００とケース２００との間にて互いに反発する磁力を発現させるようにしている。

また、図１、図２に示されるように、本例では、構造体１００の上下左右において、構造体１００とケース２００との互い対向する部位に、同じ極性の永久磁石４００、４１０の組を対向して設けている。

それにより、反発する磁力が、構造体１００に対して、重力方向における下側と上側、および水平方向における対向する両側から作用するようにしている。本例では、特に、上記ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸よりなるｘｙｚ空間座標において、構造体１００を中心としてｘ軸、ｙ軸、ｚ軸の３方向に沿った両側に、合計６組の対向する永久磁石４００、４１０の組を配置している。

なお、この対向する永久磁石４００、４１０の組は、１箇所だけでもよいが、その場合、これによる反発する磁力と重力との釣り合いにより、構造体１００がケース２００内に浮いた状態となる。また、複数個の組を設ける場合でも、図１、図２に示される例よりも少ない組数としてもよい。

しかし、本例のように、構造体１００の上下左右を取り巻くように永久磁石４００、４１０の組を設けて磁力を作用させれば、構造体１００において安定な浮いた状態が実現しやすくなり、ケース２００内における構造体１００の余分な動きを極力抑制することが可能となる。

また、図１、図２に示される例以外にも、さらに永久磁石４００、４１０の組数を増やしたり、あるいは、構造体１００の外面全体とケース２００の内面全体に同じ極性の永久磁石を設けて反発する磁力を作用させても、同様の効果が期待できる。

このように、本実施形態の角速度センサ装置Ｓ１によれば、角速度検出素子２０を含む構造体１００は、ケース２００との間に作用する反発する磁力によって、ケース２００と非接触の状態で当該ケース２００に収納されている。

そうすることで、ケース２００に加わる外部振動は、ケース２００から構造体１００との間で遮断され、角速度検出素子２０へは伝達されない。そのため、本実施形態によれば、従来のような防振ゴムやゲル材料を用いることなく、角速度検出素子２０の防振を行うことができる。

なお、永久磁石４００、４１０としては、一般的なもののなかから、上記した構造体１００の支持を適切に行える磁力を発生できるものを選択して採用すればよい。

（第２実施形態）
図３は、本発明の第２実施形態に係る振動型の角速度センサ装置Ｓ２の概略断面構成を示す図である。

図３に示されるように、本実施形態の角速度センサ装置Ｓ２は、上記第１実施形態に示される角速度センサ装置に対して、さらに、電磁石５００および磁性体５１０を設けたものである。なお、これら電磁石５００および磁性体５１０としては一般的なものを用いてかまわない。

電磁石５００は、ケース２００の内面に接着などにより取り付けられるものであり、ケース２００に設けられた図示しない配線を介して通電されて磁力を発生するように構成される。

一方、磁性体５１０は、構造体１００の外面に接着などにより取り付けられるものであり、電磁石５００の作動時に磁性体５１０と電磁石５００との間で、引き合う磁力が発生するようになっている。

このように、本実施形態では、ケース２００において、構造体１００に対向する部位に電磁石５００を設け、電磁石５００から構造体１００に対して引力となる磁力を発生させることが可能となっている。

それにより、上記した永久磁石４００、４１０による反発する磁力とこの電磁石５００による引力である磁力とによって、浮いた状態にある構造体１００のバランスをとることができる。

このような構造体１００のバランスの調整は、電磁石５００への通電量を調整することで行えるが、この調整は使用前に初期的に行ってもよいし、角速度センサ装置Ｓ２の作動中に行ってもよい。

作動中に行う場合には、たとえば、構造体１００のパッケージ１０内部に図示しない加速度センサを収納しておき、この加速度センサにより構造体１００の傾きを検知し、この傾きの信号をフレキシブルプリント配線板３００から外部の調整回路などへフィードバックして、電磁石５００の通電調整を行えばよい。

なお、この電磁石５００とこれに対向する磁性体５１０との組の数や配置の位置は、図３に示される例に限定されるものではなく、種々の数や位置が可能である。

（第３実施形態）
図４は、本発明の第３実施形態に係る振動型の角速度センサ装置Ｓ３の概略断面構成を示す図である。

図４に示されるように、本実施形態の角速度センサ装置Ｓ３は、上記第１実施形態に示される角速度センサ装置に対して、さらに、ケース２００に、構造体１００に対して静電引力を作用させる静電引力発生手段６００を設けたものである。

この静電引力発生手段６００は、構造体１００の外面に設けられた構造体側電極６１０と、この構造体側電極６１０と対向するケース２００の内面に設けられたケース側電極６２０とを備える。

そして、たとえば、ケース側電極６２０に対して、ケース２００に設けられた図示しない配線を介して電界を加えることにより、対向する一対の電極６１０、６２０の間で、静電引力を発生させるようにしている。このような静電引力は、たとえば、一対の電極６１０、６２０の一方をＧＮＤ、他方を正もしくは負とすることで発現される。

なお、本角速度センサ装置Ｓ３においては、対向する一対の電極６１０、６２０間の距離は、対向する永久磁石４００、４１０間の距離よりも短くすることが好ましく、それにより、適切に静電引力を発揮させることができる。

このように、本実施形態によれば、上記した永久磁石４００、４１０による反発する磁力とこの静電引力発生手段６００による静電引力とによって、浮いた状態にある構造体１００のバランスをとることができる。そして、その調整時期については、上記電磁石５００の場合と同様に、使用前でも作動中でもよい。

なお、この静電引力発生手段６００の数や配置の位置は、図４に示される例に限定されるものではなく、種々の数や位置が可能である。

（第４実施形態）
上記各実施形態では、構造体１００とケース２００との間をフレキシブルプリント配線板３００で接続することで、このフレキシブルプリント配線板３００により外部への信号の取出を行っていた。浮いた状態にある構造体１００においては、微小な変位は避け難く、フレキシブル性を有する配線を用いることで、電気的接続を確保しやすい。

本発明の第４実施形態は、これと同様の観点から電気的な接続を確保することを考慮したものであり、構造体１００とケース２００との間に、角速度検出素子２０と外部との電気的なやりとりを非接触で行う構成としたものである。

図５は、本発明の第４実施形態に係る振動型の角速度センサ装置Ｓ４の概略断面構成を示す図である。

図５に示されるように、本実施形態の角速度センサ装置Ｓ４は、上記第１実施形態に示される角速度センサ装置に対して、さらに、構造体１００とケース２００との間に、角速度検出素子２０と外部との電気的なやりとりを光伝達にて行う非接触配線手段７００を設けたものである。

この非接触配線手段７００は、構造体１００とケース２００との互いに対向する部位において、一方に発光素子７１０を設け、この発光素子７１０からの光を受光する受光素子７２０を他方に設けたものである。このような発光素子７１０や受光素子７２０は、レーザダイオードやホトダイオード、ＬＥＤなど、一般的なものを採用できる。

ここでは、構造体１００側に受光素子７２０、ケース２００側に発光素子７１０を設けた組（図５中の左側の組）と、ケース２００側に受光素子７２０、構造体１００側に発光素子７１０を設けた組（図５中の右側の組）とにより、非接触配線手段７００が構成されている。

具体的には、これら発光素子７１０や受光素子７２０を、構造体１００内の回路基板３０や、ケース２００またはケース２００の外部に設けられた図示しない回路部に接続する。そして、これら回路基板３０や回路部において、電気信号を変換して各光素子７１０、７２０へ送ることで、対向する各光素子７１０、７２０間の光伝達を行う。それにより、角速度検出素子２０の信号を外部に取り出せるようにしている。

なお、この非接触配線手段７００の数や配置の位置は、図５に示される例に限定されるものではなく、種々の数や位置が可能である。また、本実施形態は、上記各実施形態において、フレキシブルプリント配線板３００に代えて、適用が可能である。

また、本実施形態では、非接触配線手段として、発光素子および受光素子による光伝達を行うものを例に挙げたが、それ以外にも、非接触配線手段としては、たとえば、無線通信のような電波によるものであってもよい。

（第５実施形態）
図６は、本発明の第５実施形態に係る振動型の角速度センサ装置Ｓ５の概略断面構成を示す図である。

図６に示されるように、本実施形態の角速度センサ装置Ｓ５は、上記第１実施形態に示される角速度センサ装置に対して、さらに、構造体１００に対して、光を電気に変換するソーラーセル８００を設けたものである。

なお、図６では省略してあるが、本角速度センサ装置Ｓ５では、構造体１００と外部との電気的な配線手段としては、上記第１実施形態と同様に、フレキシブルプリント配線板でもよいが、上記第４実施形態に示した非接触配線手段でもよい。

このソーラーセル８００は、一般的に知られている太陽電池であり、シリコン、ガリウムヒ素などの半導体素材からなり、光を吸収して電気キャリアに変換したうえで電気エネルギーを作り出すものである。

このソーラーセル８００は、構造体１００の外面に接着などにより固定されており、構造体１００の配線と電気的に接続されている。それにより、ソーラーセル８００を電源として、浮いた状態にある角速度検出素子２０や回路基板３０に対して、電源の供給が可能となっている。

さらに、本実施形態では、ケース２００には、このソーラーセル８００に対して光を供給する発光部８１０が設けられている。この発光部８１０としては、たとえば上記第４実施形態に述べたような発光素子を採用することができ、その発光素子の作動方法は、上記同様にできる。

なお、このソーラーセル８００および発光部８１０の数や配置の位置は、図６に示される例に限定されるものではなく、種々の数や位置が可能である。また、本実施形態は、上記各実施形態に適用可能である。

（第６実施形態）
図７は、本発明の第６実施形態に係る振動型の角速度センサ装置Ｓ６の概略断面構成を示す図である。

本実施形態の角速度センサ装置Ｓ６は、上記第５実施形態に示されるソーラーセル８００を用いた角速度センサ装置において、ソーラーセル８００に対する光の供給手段を変更したものである。

なお、この図７においても、上記図６と同様、構造体１００と外部との電気的な配線手段を省略してあるが、当該配線手段としては、フレキシブルプリント配線板や非接触配線手段を採用できる。

図７に示されるように、本実施形態では、ケース２００における蓋部２２０をガラスや透明樹脂などの光透過性材料より構成し、それにより、この蓋部２２０から外部の光をソーラーセル８００に供給するようにしている。

本実施形態によれば、上記第５実施形態のように発光部を設けることなく、ソーラーセル８００に対する光の供給を適切に行える。なお、本実施形態においては、ケース２００全体を光透過性材料により構成してもよい。また、本実施形態は、上記第１〜第４の各実施形態に適用可能である。

（他の実施形態）
また、角速度検出素子２０としては、振動体２１を有しコリオリ力を利用した角速度検出を行うものであればよく、駆動振動の方向や検出振動の方向は上記図１に示されるようなｘ、ｙ軸に限定されるものではない。

また、パッケージ１０としては、上記したセラミックパッケージに限定されるものではなく、また、その形状や、パッケージ内部の各部の電気的接続構成も上記実施形態に限定されない。

また、構造体１００としては、振動体２１を有する角速度検出素子２０を含むものであればよく、たとえば、回路基板３０を省略してパッケージ１０の直上に角速度検出素子２０が搭載されていてもよい。

本発明の第１実施形態に係る角速度センサ装置の概略断面図である。 図１に示される角速度センサ装置におけるケース内の概略平面図である。 本発明の第２実施形態に係る角速度センサ装置の概略断面図である。 本発明の第３実施形態に係る角速度センサ装置の概略断面図である。 本発明の第４実施形態に係る角速度センサ装置の概略断面図である。 本発明の第５実施形態に係る角速度センサ装置の概略断面図である。 本発明の第６実施形態に係る角速度センサ装置の概略断面図である。

符号の説明

１０…パッケージ、２０…角速度検出素子、２１…振動体、１００…構造体、
２００…ケース、３００…フレキシブルプリント配線板、
４００、４１０…永久磁石、５００…電磁石、６００…静電引力発生手段、
７００…非接触配線手段、７１０…発光素子、７２０…受光素子、
８００…ソーラーセル、８１０…発光部。

Claims (10)

1. 振動体（２１）を有する角速度検出素子（２０）を含む構造体（１００）を、ケース（２００）に収納してなる角速度センサ装置において、
   前記構造体（１００）と前記ケース（２００）との間には、これら両者間にて互いに反発する磁力が作用しており、この磁力によって、前記構造体（１００）は、前記ケース（２００）内の空間に浮いた状態で収納されており、
   前記ケース（２００）には、前記構造体（１００）に対向する部位に電磁石（５００）が設けられており、前記電磁石（５００）からは前記構造体（１００）に対して引力となる磁力が発生するようになっていることを特徴とする角速度センサ装置。
2. 振動体（２１）を有する角速度検出素子（２０）を含む構造体（１００）を、ケース（２００）に収納してなる角速度センサ装置において、
   前記構造体（１００）と前記ケース（２００）との間には、これら両者間にて互いに反発する磁力が作用しており、この磁力によって、前記構造体（１００）は、前記ケース（２００）内の空間に浮いた状態で収納されており、
   前記ケース（２００）には、前記構造体（１００）に対して静電引力を作用させる静電引力発生手段（６００）が設けられていることを特徴とする角速度センサ装置。
3. 前記反発する磁力は、前記構造体（１００）と前記ケース（２００）との互い対向する部位に、それぞれ同じ極性の永久磁石（４００、４１０）を対向して設けることにより発現されるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の角速度センサ装置。
4. 前記反発する磁力は、前記構造体（１００）に対して、重力方向における下側と上側、および水平方向における対向する両側から作用するようになっていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の角速度センサ装置。
5. 前記構造体（１００）は、前記角速度検出素子（２０）と電気的に接続されたパッケージ（１０）を有しており、このパッケージ（１０）には、フレキシブルプリント配線板（３００）が電気的に接続され、このフレキシブルプリント配線板（３００）を介して、前記角速度検出素子（２０）と外部とが電気的に接続されるようになっていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の角速度センサ装置。
6. 前記構造体（１００）と前記ケース（２００）との間には、前記角速度検出素子（２０）と外部との電気的なやりとりを光伝達もしくは電波にて行う非接触配線手段（７００）が設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の角速度センサ装置。
7. 前記非接触配線手段（７００）は、前記構造体（１００）と前記ケース（２００）との互いに対向する部位において、発光素子（７１０）および前記発光素子（７１０）からの光を受光する受光素子（７２０）のどちらか一方が前記構造体（１００）側に設けられ、他方が前記ケース（２００）側に設けられてなるものであって、
   これら発光素子（７１０）と受光素子（７２０）との間の光の伝達により、前記角速度検出素子（２０）の信号を外部に取り出すようにしたものであることを特徴とする請求項６に記載の角速度センサ装置。
8. 前記構造体（１００）には、光を電気に変換するソーラーセル（８００）を設けられていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の角速度センサ装置。
9. 前記ケース（２００）には、前記ソーラーセル（８００）に光を供給する発光部（８１０）が設けられていることを特徴とする請求項８に記載の角速度センサ装置。
10. 前記ケース（２００）の少なくとも一部は、前記ソーラーセル（８００）に外部の光を供給するように光透過性材料より構成されていることを特徴とする請求項８に記載の角速度センサ装置。

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