JP4682722B2 - インクジェットの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェットの製造方法に関する。

インクジェット記録装置のインクジェットヘッドは、図１、図２に示すようにキャビティユニット２０にプレート型のアクチュエーター３０を接合し、更にフレキシブルプリント配線材４０を重ねた構造をしている。キャビティユニット２０は、図２に示すように複数の薄いプレートが積層して構成され、インクを吐出させるための複数のノズル１５とその各々のノズルに連通した複数の圧力室１６とを有する。アクチュエータ３０は、複数枚の圧電体３１が積層され、各圧電体３１のうち下から偶数段目の圧電体３１ｂの上面（広幅面）には、キャビティユニット２０における各々の圧力室１６に対応した箇所に細幅の個別電極３３が長辺方向に沿って列状に形成されている。また下から奇数段目の圧電体３１ａの上面（広幅面）には、複数の圧力室１６に対して共通のコモン電極３２が形成されている。個別電極３３とコモン電極３２とは圧電体３１を挟んで互いに対向している。そして、アクチュエータ３０における各々の個別電極３３と、キャビティユニット２０における各々の圧力室１６を対応させて、キャビティユニット２０とアクチュエータ３０が接着・固定される。アクチュエータ３０の最上層の上面には、個別電極３３およびコモン電極３２とに対応する表面電極２６および２７が形成されていて、外部からの制御信号を伝達するための配線パターンを有するフレキシブルプリント配線材４０がその表面電極２６、２７に接合されている。表面電極２６、２７は、積層された圧電体３１に積層する方向に貫通したスルーホール（図示しない）に充填された導通性材料を介して個別電極３３およびコモン電極３２と導通されている。また、フレキシブルプリント配線材４０には、駆動回路９２が実装されていて、電圧を印加することで圧電体３１を駆動可能とする。

駆動回路９２は、後述するように、吐出しない通常の状態では、すべての個別電極３３とコモン電極３２の間に電圧を印加し、圧電体の活性部が伸長変形して圧力室１６の容積を縮小した状態にある。この状態から、個別電極３３とコモン電極３２の間の電圧印加を選択的に停止すると、伸長状態にある圧電体の活性部が収縮して圧力室１６内を負圧にするとともにインクに圧力波を発生する。この圧力波がほぼ正の圧力に転じるタイミングで、再び電圧を印加して活性部を伸長し圧力室１６の容積を縮小することで、容積縮小による圧力と圧力波の正の圧力とが重畳されてインクがノズル１５から吐出される。

特許文献１では、上記インクジェットヘッドにおける駆動回路およびアクチュエータを分極させる製造方法が開示されている。図３は、本発明のインクジェット記録装置の電気回路図であるが、そのうち駆動回路９２は特許文献１の駆動回路とほぼ同じものであるので、図３にしたがって特許文献１の駆動回路について説明する。

図３に示すように、インクジェットヘッド１００において、駆動回路９２には、シフトレジスタ１０６、Ｄフリップフロップ１０７、ＯＲゲート１０８等からなるデータ出力部９６、およびドライバ部９７等から構成されている。ノズル数に対応してシフトレジスタ１０６は１５０段、Ｄフリップフロップ１０７は１５０個用意されていて、導線ＶＤＤ１、ＶＳＳ１はこれらデータ出力部９６の駆動電圧を供給するための導線である。また、ドライバ部９７、符号Ｃ（ＰＺＴ）であらわされる圧電体３１に駆動電圧（ここでは３０Ｖ）を供給するための導線がＶＤＤ２、ＶＳＳ２となっている。圧電体ＰＺＴのコモン電極に接続した導線ＶＳＳ３と導線ＶＳＳ２とは導線６５で示すように接続され、データ出力部９６の上記導線のうち一方の導線ＶＳＳ１と導線ＶＳＳ２とは導線６６で示すように接続されており、これらは共通の電位、例えば０Ｖ、つまりアースされている。導線ＶＳＳ１、ＶＳＳ２、ＶＳＳ３は、データ出力部９６およびドライバ部９７内の各回路の共通電位の部分、アクチュエータのコモン電極３２にそれぞれ接続されている。フレキシブルプリント配線材４０上には、駆動回路９２が搭載され、上記各導線や後述するイネーブル信号等のための信号線が形成されている。ドライバ部９７は、データ出力部９６が出力した駆動データを、アクチュエータの活性部を駆動するための電圧に変換して出力するためのドライバ回路１１０をアクチュエータの個別電極３３に対応して備える。

インクの吐出を行なう際の動作について図５（ｂ）を用いて説明する。シフトレジスタ１０６及びＤフリップフロップ１０７のリセット信号がＬの状態にあるとき、周知のようにイメージメモリから印字データ（吐出ありのとき０、吐出なしのとき１）がシリアルに読み出されてシフトレジスタ１０６に入力され、１つのインクジェットヘッドのノズル数に対応するパラレルデータに変換される。さらに、パラレルデータに変換された印字データは、Ｄフリップフロップ１０７にラッチされ、ストローブ信号に同期してＯＲゲート１０８に出力される。一方、各ＯＲゲート１０８には通常時において、イネーブル信号がＨの状態で印加されており、通常時の印字データ（吐出なしの１）にもとづいてイネーブル信号がＯＲゲート１０８から出力されて、各ドライバ回路１１０をオンさせ、導線ＶＤＤ２の電圧（３０Ｖ）をアクチュエータの個別電極３３に印加する。この状態では、まだインクを吐出しない。イネーブル信号は、吐出時間すなわち個別電極３３への電圧印加時間だけＬの状態に切り替えられ、その後再びＨの状態に切り替えられる動作を繰り返しており、そのＬの状態にあるとき、Ｄフリップフロップ１０７にラッチされたデータが吐出なしの１ならば、そのデータに対応するドライバ回路１１０はオンを継続し、インクは吐出しない。Ｄフリップフロップ１０７にラッチされたデータが吐出ありの０ならば、そのデータに対応するドライバ回路１１０はオフし、圧力室１６の容積を拡大する。そしてイネーブル信号が電圧印加時間後再び立ち上がると、ＯＲゲート１０８がＨになり、ドライバ回路１１０が個別電極３３への通電を再開する。これにより前述のようにインクに圧力が加えられインクが吐出される。

インクジェットヘッド１００の製造工程においては、キャビティユニット２０に圧電アクチュエータ３０を重合し、更に圧電アクチュエータ３０の表面電極２６、２７にフレキシブルプリント配線材４０をハンダ付けした後、圧電アクチュエータ３０の各圧電体が分極される。この工程を図４に示す。分極装置７０は、分極用電圧の一部を発生する回路７３と、分極用電圧の残りの部分を発生するための上記吐出動作を行う電源と同等の電源７２と、イネーブル信号およびリセット信号等の信号を発生する回路７１からなる。その電源７２、信号発生回路７１は、吐出動作を行うためにプリンタ本体内に設ける公知のものと同等であるので、詳細には説明しない。

それらの各回路７１、７３及び電源７２は、フレキシブルプリント配線材４０上に形成された前記各導線や各信号線の端子部分に接続される。回路７３は、アクチュエータの全活性部のコモン電極と接続した導線ＶＳＳ３と、全ドライバ回路１１０の共通電位の部分（アース側）に共通接続した導線ＶＳＳ２との間に分極用電圧を印加するための回路で、負電源−ＶＣＣ２、スイッチＳＷ１とＳＷ２、抵抗Ｒ２からなる。また、導線ＶＤＤ１と導線ＶＳＳ１との間、及び導線ＶＤＤ２と導線ＶＳＳ２との間には、上記吐出動作を行うための電源と同等の電源７２が接続される。なお、このとき、導線ＶＳＳ３と導線ＶＳＳ２との間には、導線６５は接続されてない。この状態において、個別電極３３とコモン電極３２とに挟まれる圧電体の分極が行われる。なお、分極をする際には、スイッチＳＷ１をＧ側、スイッチＳＷ２をＧ側（負電源−ＶＣＣ２を導線ＶＳＳ３に接続しない側）にしておく。

この状態において、シフトレジスタ１０６及びＤフリップフロップ１０７のリセット信号をＨとし、シフトレジスタ１０６及びＤフリップフロップ１０７の全データを吐出あり０の状態にする。そして、イネーブル信号をＬをＨに立ち上げると、ＯＲゲートの出力がＨとなり、全てのドライバ回路１１０が全個別電極３３への通電を開始する。この時はまだスイッチＳＷ１、ＳＷ２がＧ側になっているため、圧電体ＰＺＴにかかる電圧Ｖｐｚｔは３０Ｖ（抵抗Ｒ１による電圧低下分をここでは無視する）となる。これは吐出時圧電体ＰＺＴに掛かる電圧と同じであるため、分極はなされない。（図５(a)参照）
この状態からややあって、スイッチＳＷ１、ＳＷ２がＮ側にされる。すると電源−ＶＣＣ２の電圧（ここでは−４０Ｖ）が加わり、圧電体ＰＺＴの両端電圧は先の３０Ｖに加えて合計７０Ｖとなる。この電圧により分極が開始される。分極を開始するにあたり、高温下（例えば８０℃）にて、電源７２および電源７３による電圧を印加させる。分極が完了するとイネーブル信号をＬにする。Ｄフリップフロップ１０７の出力はリセット信号によりＬにされているため、イネーブル信号がＬになるとＯＲゲート１０８の出力もＬになる。これによりドライバ１１０により圧電体ＰＺＴへの通電が停止され、圧電体ＰＺＴには電源−ＶＣＣ２による電圧４０Ｖのみが掛かる。そしてここから所定時間経過後、スイッチＳＷ２がＧ側に戻され、個別電極３３の電圧Ｖｐｚｔがゼロとなる。こうして分極が完了する（すなわち活性部が形成される）と、分極装置をフレキシブルプリント配線材４０から取り外す。

特開２００２−１６０３７２号公報

しかしながら、前述したように分極工程は通常、圧電体を高温下で直流高電圧を印加して、強制的に分子構造を歪ませて分極が行われる。このとき、分極終了後、温度上昇している圧電体を分極装置から取り外し、次工程に移る間に放置されることで室温まで自然冷却されるため、その温度差により圧電体は焦電電荷が発生し蓄積される。特許文献１のような、駆動回路９２を介して第１の電源ＶＤＤ２と第２の電源−ＶＣＣ２の電圧が圧電体に印加される分極装置においては、分極直後、導線ＶＳＳ２と導線ＶＳＳ３が接続されていないため、圧電体に蓄積された焦電電荷は放電されない。この蓄積された焦電電荷は、このまま放置しておいても少しずつゆっくりと自然放電されていくが、長時間圧電体中に蓄積されたままとなる。この状態で次工程へインクジェットヘッドが運ばれる。この時、フレキシブルプリント配線材４０は、インクジェットヘッド上面から飛び出て自由に動く状態にあるため、フレキシブルプリント配線材４０の先端の端子部が周辺の金属と接触しショートを起こすと、蓄積されていた焦電電荷が急激に放電し、駆動回路９２に流れる。そのため、駆動回路９２が破壊されたり、故障してしまうことがある。

本発明は、上述した問題点を解消するものであり、インクジェット記録装置の製造工程において、分極処理した時に発生する焦電電荷を良好に放電できるようにし、また急激な放電による駆動回路の破壊を防止することを課題とするものである。

この課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、インクを吐出する複数のノズルと、その各々のノズルに連通して配置された複数の圧力室とを有するキャビティユニットと、
前記各々の圧力室毎に対向する位置に配置された個別電極と、前記複数の圧力室に共通のコモン電極と、その電極間に挟まれた圧電体とを含み、前記個別電極と前記コモン電極との間に電圧を印加することにより前記圧電体を変形して前記圧力室の容積を変化させるアクチュエーターと、
前記圧電体を変形させるための電圧を発する吐出用電源と、
その吐出用電源の発する電圧を、外部からの信号に応じて前記個別電極と前記コモン電極間に印加させることにより、前記キャビティ内のインクを前記ノズルから吐出させる駆動回路とを備えたインクジェット記録装置の製造方法において、
あらかじめ高抵抗体を、前記駆動回路を介して前記個別電極と前記コモン電極とに接続した状態で、
前記個別電極に前記駆動回路を通して前記吐出用電源と同等の第１の電源を接続するとともに、前記コモン電極にそれとは別の第２の電源を接続し、前記個別電極と前記コモン電極の間に、前記第１の電源による電圧に前記第２の電源による電圧を加えて、前記圧電体を分極するための電圧を生成し、その電圧を印加して分極させ、
前記圧電体を分極させた後、前記圧電体に蓄積された焦電電荷を、前記高抵抗体を通して放電させており、
前記高抵抗体は、前記圧電体を分極する際には短絡せず、前記焦電電荷を前記圧電体から放電させる際には通電する抵抗値であることを特徴とする。

請求項２に記載の発明では、前記第２の電源による電圧は、前記第１の電源による電圧の逆極性の電圧であることを特徴とする。

請求項３に記載の発明では、前記第１の電源による電圧の印加を開始した後、前記第２の電源による電圧の印加を開始することを特徴とする。

請求項４に記載の発明では、前記第１の電源による電圧の印加を停止した後、前記第２の電源による電圧の印加を停止することを特徴とする。

請求項５に記載の発明では、前記駆動回路を前記吐出用電源に接続する２つの導線のうち前記コモン電極と同電位とされる第１の導線と、前記コモン電極と接続した第２の導線とを分離して形成し、前記駆動回路を前記吐出用電源に接続する２つの導線のうちの残りの第３の導線と前記第１の導線との間に前記第１の電源による電圧を印加するとともに、前記第２の導線と前記第１の導線との間に前記第２の電源による電圧を印加することを特徴とする。

請求項６に記載の発明では、前記圧電体を分極した後、前記第１の導線と前記第２の導線とを接続することを特徴とする。

請求項１に記載の発明では、あらかじめ高抵抗体を、駆動回路を介して個別電極とコモン電極とに接続した状態で、その個別電極とコモン電極の間に、駆動回路を通して吐出用電源とほぼ同等の第１の電源を接続するとともに、それとは別の第２の電源を接続し、その電極間に、第１の電源による電圧に第２の電源による電圧を加えて、圧電体を分極するための電圧を生成し、その電圧を印加することにより分極を行なうので、インクジェットヘッドにフレキシブルプリント配線材などをハンダ付けした後にも分極を行なうことができる。そのとき、高抵抗体の抵抗値が高いことで個別電極とコモン電極との間が短絡されることなく、その両電極間に分極用の電圧を印加することができる。また、分極処理後、圧電体に蓄積された焦電電荷の放電回路が高抵抗体によって確保されるため、製造工程中の次工程に移るまでには、蓄積された焦電電荷を放電することができる。したがって、インクジェットヘッドの端子部分が他の金属に接触する等しても急激に大容量の電荷放電を起こすことがなく、駆動回路の破壊や故障を防止することができる。

請求項２に記載の発明では、前記第２の電源による電圧が逆極性であることにより、圧電体の両側の電位の絶対値を低くすることができる。これに反し、分極に必要な電圧を得るために圧電体の一方の電極の電位をゼロにしておくと、他方の電極の電位を極めて高くする必要が生じ、インクジェット記録装置の設計が困難となる。しかし、請求項７に記載のインクジェット記録装置の製造方法によれば、圧電体の両側で分極用の電圧を分担するので、インクジェット記録装置の設計を容易に行なうことができる。

請求項３に記載の発明では、吐出用電源と同等の第１の電源による電圧の印加を開始した後、第２の電源による電圧の印加を開始することで、段階的に電圧を印加することができるので、駆動回路への悪影響も心配する必要がない。

請求項４に記載の発明では、前記第１の電源による電圧の印加を停止した後、前記第２の電源による電圧の印加を停止することにより、第２の電源側から第１の電源側、ひいては駆動回路への電流の流入を抑えることができ、駆動回路の破壊を防止することができる。

請求項５に記載の発明では、前記駆動回路を前記吐出用電源に接続する２つの導線のうち前記コモン電極とほぼ同電位とされる第１の導線と、前記コモン電極と接続した第２の導線とを分離して形成し、前記駆動回路を前記吐出用電源に接続する２つの導線のうちの残りの第３の導線と前記第１の導線との間に前記第１の電源による電圧を印加するとともに、前記第２の導線と前記第１の導線との間に前記第２の電源による電圧を印加することにより、前述の圧電体の両側で分極用の電圧を分担することや、電圧の印加の順序による効果を着実に奏することができる。

請求項６に記載の発明では、前記圧電体を分極した後、前記第１の導線と前記第２の導線とを接続することにより、その両導線をほぼ同電位とし、第３の導線に吐出用電源を接続するだけで、吐出用電圧を圧電体に印加することができる。よって、分極後、インクジェット記録装置として使う際にも、第２の導線を有効に活用することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態は、図３、４のように、従来の駆動回路９２をそのまま用い、フレキシブルプリント配線材４０上において、導線ＶＳＳ２と導線ＶＳＳ３との間に、圧電体と並列に、つまりアクチュエータの個別電極３３とコモン電極３２とにドライバ部９７を介して、高抵抗体Ｒを接続している。通常の吐出動作を行う時は、駆動電圧ＶＤＤ２は２０Ｖを用いる。分極する時には駆動電圧ＶＤＤ２に吐出時と同等の２０Ｖおよび電源−ＶＣＣ２に−４０Ｖを用いている。この分極方法は高温下（例えば８０℃）で、前述した特許文献１に記載の方法と同様に行う。この時、導線ＶＳＳ２と導線ＶＳＳ３との間で前述したように高抵抗体Ｒで接続されているが、その抵抗値が非常に大きいので、圧電体ＰＺＴは高抵抗体Ｒで短絡されることなく、２０Ｖと−４０Ｖを加えた合計６０Ｖが印加される。こうして分極が完了すると、分極装置７０をフレキシブルプリント配線材４０から取り外し、インクジェットヘッド１００をプリンタ本体に取り付ける。

分極時に温度上昇した圧電体は、次工程に行くまでの間に放置され室温まで自然冷却されることで、その温度差により圧電体には焦電電荷が発生し蓄積される。しかし、高抵抗体Ｒが駆動回路を介して導線ＶＳＳ２と導線ＶＳＳ３との間に接続されていることにより、蓄積された焦電電荷が高抵抗体Ｒをとおして放電され、従来のようにフレキシブルプリント配線材４０の自由に動く状態にある端子が他の金属に接触しても、一度に多くの放電量が駆動回路に流れることがないため、駆動回路を破壊したり、故障させたりすることを防止することができる。

高抵抗体が１ＭΩより大幅に小さいと、分極工程において圧電体に所定の電圧がかからず分極できない。また、高抵抗体が１ＭΩより大幅に大きいと、蓄積されていた焦電電荷が、放電されないまま蓄積されてしまう。高抵抗体がこのように機能するものであれば、１ＭΩにかぎらず、回路の各種の条件によって決めてもよい。

また、上記形態では、高抵抗体Ｒは駆動回路を介してＶＳＳ２とＶＳＳ３との間に接続しているが、個別電極とコモン電極とを駆動回路を介して接続するならば、ＶＳＳ３と他の導線（例えばＶＳＳ１）とを接続しても差し支えない。

さらに、高抵抗体Ｒは、インクジェットヘッドの製造工程において、分極する前までに駆動回路を介して個別電極とコモン電極の間に接続すればよい。そのため、あらかじめフレキシブルプリント配線材４０上に高抵抗体Ｒを所定の導線と接続した状態で形成したり、あるいは部品としての高抵抗体Ｒをフレキシブルプリント配線材４０上に実装しても差し支えない。

ここでインクジェットプリンタ全体の電気回路について説明する。図３において、インクジェットプリンタは、本体側基板９０とヘッド基板９１と駆動回路９２と圧電アクチュエータ３０とが互いに接続されている。本体側基板９０には制御回路９３と制御信号用電源９４と吐出用電源９５とが搭載されている。

本体側基板９０は、インクジェットヘッドを搭載したキャリッジの外側の静止位置に設置され、ヘッド基板９１は、駆動回路９２および圧電アクチュエータ３０とともにキャリッジに搭載される。

制御回路９３は、データ出力部９６に所定の記録情報に基づきイネーブル、印字データ、クロック、ストローブ信号等の制御信号を出力するもので、その制御信号を出力するために制御信号導線９８を介してデータ出力部９６に配線接続されている。制御信号用電源９４は、データ出力部９６に電圧（例えば、５ボルト）を供給するもので、駆動用導線ＶＤＤ１と、アース用導線ＶＳＳ１とを介してデータ出力部９６に配線接続されている。具体的には、本体側基板９０とヘッド基板９１との間は、駆動用導線ＶＤＤ１とアース用導線ＶＳＳ１と制御信号導線９８とを幅方向に平面状に配置したフレキシブルプリント配線材９９の各端部を、本体側基板９０に配設されたコネクタ１０１と、ヘッド基板９１に配設されたコネクタ１０２とに連結して接続されている。

吐出用電源９５は、ドライバ部９７に電圧（例えば２０ボルト）を供給するもので、駆動電圧を印加する駆動用導線ＶＤＤ２と、アース用導線ＶＳＳ２とを介してドライバ部９７に配線接続されている。具体的には、本体側基板９０とヘッド基板９１との間は、駆動用導線ＶＤＤ２とアース用導線ＶＳＳ２とを幅方向に平面状に配置したフレキシブルプリント配線材１０３の各端部を、本体側基板９０に配設されたコネクタ１０４と、ヘッド基板９１に配設されたコネクタ１０５とに連結して接続されている。また、ヘッド基板９１上には、駆動用導線ＶＤＤ２とアース用導線ＶＳＳ２とに電解コンデンサ１０９がバイパス接続されおり、ドライバ部９７に供給する電荷を貯え、ドライバ部９７に瞬時の大電流が流れた場合の電圧降下の発生を抑制している。

一方、ヘッド基板９１と駆動回路９２との間は、前記導線９８、ＶＤＤ１、ＶＳＳ１、ＶＤＤ２、ＶＳＳ２、ＶＳＳ３を有するフレキシブルプリント配線材４０と、ヘッド基板９１に配設されたコネクタ１１１に連結することによって配線接続されている。ヘッド基板９１上には、アース用導線ＶＳＳ２とコモン電極に接続された導線ＶＳＳ３とを接続する導線６５、アース用導線ＶＳＳ１とＶＳＳ２とを接続する導線６６が形成され、フレキシブルプリント配線材４０をコネクタ１１１に連結することによって、それらがフレキシブルプリント配線材４０上の各導線と接続されている。

圧電インクジェットプリンタヘッドの分解斜視図である。 圧電インクジェットプリンタヘッドの拡大側断面図である。 本発明を適用したインクジェットプリンタ装置の電気回路図である。 本発明を適用したインクジェットプリンタ装置のインクジェットヘッドの分極の様子を説明する回路図である。 インクジェットヘッドで吐出する際、および圧電体を分極する際のタイムチャートである。

２０ キャビティユニット
２６,２７ 表面電極
３０ 圧電アクチュエーター
３１ 圧電体
３２ コモン電極
３３ 個別電極
４０, ９９, １０３ フレキシブルプリント配線材
９１ ヘッド基板
９２ 駆動回路
９３ 制御回路
９４ 制御信号用電源
９５ 吐出用電源
９６ データ出力部
９７ ドライバ部
１００ インクジェットヘッド
１０１, １０２等 コネクタ
１０６ シフトレジスタ
１０７ Ｄフリップフロップ
１０８ ＯＲゲート
１１０ ドライバ
Ｒ 高抵抗体

Claims (6)

1. インクを吐出する複数のノズルと、その各々のノズルに連通して配置された複数の圧力室とを有するキャビティユニットと、
   前記複数の圧力室毎に対向する位置に配置された個別電極と、前記複数の圧力室に共通のコモン電極と、前記個別電極と前記コモン電極に挟まれた圧電体とを含み、その電極間に電圧を印加することにより前記圧電体を変形して前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータと、
   前記圧電体を変形させるための電圧を発する吐出用電源と、
   その吐出用電源の発する電圧を、外部からの信号に応じて前記個別電極と前記コモン電極間に選択的に印加する駆動回路を備えたインクジェット記録装置の製造方法において、
   あらかじめ、高抵抗体を前記駆動回路を介して前記個別電極と前記コモン電極とに接続した状態で、
   前記個別電極に前記駆動回路を通して前記吐出用電源と同等の第１の電源を接続するとともに、前記コモン電極にそれとは別の第２の電源を接続し、前記個別電極と前記コモン電極の間に、前記第１の電源による電圧に前記第２の電源による電圧を加えて、前記圧電体を分極するための電圧を生成し、その電圧を印加して分極させ、
   前記圧電体を分極させた後、前記圧電体に蓄積された焦電電荷を、前記高抵抗体を通して放電させており、
   前記高抵抗体は、前記圧電体を分極する際には短絡せず、前記焦電電荷を前記圧電体から放電させる際には通電する抵抗値であることを特徴とするインクジェット記録装置の製造方法。
2. 請求項１に記載のインクジェット記録装置の製造方法において、前記第２の電源による電圧は、前記第１の電源による電圧の逆極性の電圧であることを特徴とするインクジェット記録装置の製造方法。
3. 請求項１または２に記載のインクジェット記録装置の製造方法において、前記第１の電源による電圧の印加を開始した後、前記第２の電源による電圧の印加を開始することを特徴とするインクジェット記録装置の製造方法。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェット記録装置の製造方法において、前記第１の電源による電圧の印加を停止した後、前記第２の電源による電圧の印加を停止することを特徴とするインクジェット記録装置の製造方法。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェット記録装置の製造方法において、前記駆動回路を前記吐出用電源に接続する２つの導線のうち前記コモン電極と同電位とされる第１の導線と、前記コモン電極と接続した第２の導線とを分離して形成し、前記駆動回路を前記吐出用電源に接続する２つの導線のうちの残りの第３の導線と前記第１の導線との間に前記第１の電源による電圧を印加するとともに、前記第２の導線と前記第１の導線との間に前記第２の電源による電圧を印加することを特徴とするインクジェット記録装置の製造方法。
6. 請求項５に記載のインクジェット記録装置の製造方法において、前記圧電体を分極した後、前記第１の導線と前記第２の導線とを接続することを特徴とするインクジェット記録装置の製造方法。

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