JP4677305B2

JP4677305B2 - インクジェット記録ヘッド

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Publication number: JP4677305B2
Application number: JP2005235943A
Authority: JP
Inventors: 真樹及川
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Filing date: 2005-08-16
Publication date: 2011-04-27
Anticipated expiration: 2025-08-16
Also published as: JP2007050564A

Description

本発明は、インクジェット方式に従ってインクを吐出して記録媒体に記録を行うインクジェット記録ヘッドに関するものである。

記録装置において、電気熱変換素子を用いるインク吐出方法は、吐出エネルギ発生素子を配設するためのスペースを大きく確保する必要がなく、記録ヘッドの構造が簡素で、ノズルの集積化が容易であること等の利点がある。特に、特許文献１〜４に開示されたインクジェット記録方法は、記録信号によって電気熱変換素子を駆動させて発生した気泡を外気に通気させる構成としている。このインクジェット記録方法を採用することにより、飛翔するインク滴の体積の安定化を図り、微少量のインク滴を高速に吐出することを可能としている。また、気泡の消泡時に発生するキャビテーションを解消することでヒータの耐久性の向上を図ること等が可能となる。そのため、更なる高精細画像が容易に得られるようになる。上述した公報において、気泡を外気に連通させるための構成としては、インクに気泡を発生させる電気熱変換素子と、インクが吐出される開口である吐出口との間の最短距離を、従来に比して大幅に短くする構成が挙げられている。

この種の記録ヘッドの構成について、以下で説明する。

インクを吐出させる電気熱変換素子が設けられた素子基板と、この素子基板に接合されてインクの流路を構成する流路構成基板（オリフィス基板とも称す。）とを備えている。流路構成基板は、インクが流動する複数のノズルと、これら各ノズルにインクを供給する供給室と、インク滴を吐出するノズル先端開口である複数の吐出口とを有している。ノズルは、電気熱変換素子によって気泡が発生する発泡室と、この発泡室にインクを供給する供給路とからなる。素子基板には、発泡室内に位置して電気熱変換素子が配設されている。また、素子基板には、流路構成基板に接する主面とは反対側の裏面から供給室にインクを供給するための供給口が設けられている。そして、流路構成基板には、素子基板上の電気熱変換素子に対向する位置に吐出口が設けられている。

また、以上のように構成された記録ヘッドは、供給口から供給室内に供給されたインクが、各ノズルに沿って供給されて、発泡室内に充填される。発泡室内に充填されたインクは、電気熱変換素子により膜沸騰されて発生する気泡によって、素子基板の主面に対してほぼ直交する方向に飛翔されて、吐出口からインク滴として吐出される。

図９は、以上述べてきた好適なインクジェット記録ヘッドの従来例の一部切り欠き斜視図である。

図９に示す形態のインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子である複数のヒータ１を各ヒータ１に、インクの流路であるノズル５を個別に独立して形成するための隔離壁が、吐出口４から供給室６近傍まで延設された構成とされている。

このインクジェット記録ヘッドは複数のヒータ１および複数のノズル５を有している。そして、各ノズル５の長手方向が平行に配列された第１のノズル列７と、供給室６を挟んで第１のノズル列７に対向する位置に各ノズル５の長手方向が平行に配列された第２のノズル列８とを備えている。

第１および第２のノズル列７，８は、隣接する各ノズルの間隔が６００ｄｐｉピッチに形成されている。また、第２のノズル列８の各ノズル５は、第１のノズル列７の各ノズル５に対して、隣接する各ノズル間のピッチが互いに１／２ピッチずれて配列されている。

このような記録ヘッドは、特許文献５、６に開示されたインクジェット記録方法が適用されたインク吐出手段を有しており、インクの吐出時に発生する気泡が吐出口を介して外気に連通されている。

一方、インクジェット記録ヘッドに用いられるＳｉ基板は、通常のＩＣのようにＳｉウェハー上に多数個の回路を同時形成し、ダイシング等で切り離して用いることが一般的である。したがって、一個のＳｉ基板の価格は、一枚のウェハーから何個の基板が得られるか、で決定される。例えば、前述の１インチ幅の基板を得るためには、基板サイズが約３０ｍｍ×３ｍｍとすると、６インチのウェハーから１００個前後の基板しか得られない。これを用いて、前述のような６種のインクを用いるヘッドを作ろうとすると、約１６ヘッドしか得られないことになる。これに対し例えば、基板サイズが３０ｍｍ×１ｍｍで形成できるとすると、１枚のウェハーから約３００個の基板が得られ、大幅に価格を下げることができる。

基板の表面は、概ね、前述の抵抗体を含む電気回路部分と、貫通孔を含みインクが流れる流体部分と、に分かれる。このうち、電気回路部分はＬＳＩ等に用いられている微細配線プロセスと低抵抗配線プロセスにより小面積化することができるので、流体部分の小面積化が課題となる。流体部分のうち貫通孔を形成する手段は、サンドブラスト、レーザー加工、異方性エッチング、ドライエッチング等が知られているが、サンドブラストやレーザー加工は寸法精度が悪く、かつ孔の縁がギザギザとなる傾向があるため好ましくない。また、ドライエッチングは加工精度は良いが、小さい貫通孔を形成する場合は流体の抵抗が上昇し、液滴吐出の周波数応答性を下げる結果となる。異方性エッチングは、これに対し、例えば＜１００＞面のＳｉに裏面より異方性エッチングを行うと＜１１１＞面が５４．８°の角度で形成され、四角錘台の貫通孔が形成されるため、精度が良く流抵抗の低い好ましい貫通孔が得られる。しかし、Ｓｉ基板の厚みに比例して裏面の開口は大きくなるため、一般的なＳｉウェハーの厚み６２５μｍでは開口が約０．８ｍｍとなり、例えば基板の幅を１ｍｍにすると、支持基板との接着しろが０．１ｍｍしか残らず、接着が困難になってしまっていた。
特開昭５４−１６１９３５号公報特開昭６１−１８５４５５号公報特開昭６１−２４９７６８号公報特開平４−１０９４１号公報特開平４−１０９４０号公報

この問題を解決するために、裏面に窪みを形成することにより基板厚みが薄い領域（インク供給共通部）が形成されており、インク供給口が前記領域に形成されているといった構成も提案されている。この供給口は、数ノズル毎に形成されており、基板の薄い領域に設けられているため、強度を保つ理由から、インク供給共通部面積よりはるかに小さい面積でしかインク供給口の面積は取れず、供給口サイズを必要以上に大きくしたり、供給口の加工精度の問題から供給口の数を増やすこともむやみにはできない。

上述のように、基板厚みが薄い領域において、強度上の理由からインク供給口のない無駄な領域が必要であった。裏面に窪みを形成することにより基板厚みが薄い領域（インク供給共通部）を形成してインク供給口を設けるこの構成は、従来の一括の供給口に比べ非常に小さくはなるが、供給口のない領域は無駄な面積となり、コストの面からは問題となっている。特に上面は回路を構成している層であり、何も機能を持たない回路領域が存在するのは、非常に無駄な構成となっている。

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、強度の低下を抑制しつつ、効率良い基板のレイアウトとすることが可能なインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため本発明のインクジェット記録ヘッドは、エネルギを発生する複数のエネルギ発生素子と、エネルギ発生素子が設けられた素子基板と、素子基板上に、複数の第１のノズルを有する第１のノズル列と、複数の第２のノズルを有する第２のノズル列と、第１および第２のノズル列の間に、各ノズルに対してインクを供給するための複数のインク供給口が形成された供給口領域とを有し、各ノズル列のノズルからインクを素子基板の略垂直方向に吐出して記録媒体に画像を形成するインクジェット記録ヘッドにおいて、供給口領域は、素子基板の裏面側に窪み状のインク供給共通部が形成されることで形成された基板の厚みが薄くなった領域内にあり、供給口領域内のインク供給口が形成されている領域以外の非開口部に複数の第３のノズルを有することを特徴とする。

本発明によれば、従来、素子基板の強度確保のためにのみ利用されていた領域にノズルを形成することで素子基板の強度を低下させることなく効率良い基板のレイアウトとすることが可能となった。

以下添付図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
＜装置本体の概略説明＞
図１は、本発明の代表的な実施の形態であるインクジェットプリンタＩＪＲＡの構成の概要を示す外観斜視図である。図１において、駆動モータ５０１３の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア５００９〜５０１１を介して回転するリードスクリュー５００５の螺旋溝５００４に対して係合するキャリッジＨＣはピン（不図示）を有している。ガイドレール５００３に支持されて矢印ａ，ｂ方向を往復移動するキャリッジＨＣには、記録ヘッドＩＪＨとインクタンクＩＴとを内蔵した一体型インクジェットカートリッジＩＪＣが搭載されている。紙押え板５００２は、キャリッジＨＣの移動方向に亙って記録用紙Ｐをプラテン５０００に対して押圧する。フォトカプラ５００７，５００８は、キャリッジＨＣのレバー５００６のこの域での存在を確認して、モータ５０１３の回転方向切り換え等を行うためのホームポジション検知器である。部材５０１６は記録ヘッドＩＪＨの前面をキャップするキャップ部材５０２２を支持するものであり、吸引器５０１５は、このキャップ内を吸引するものであり、キャップ内開口５０２３を介して記録ヘッドの吸引回復を行う。クリーニングブレード５０１７は、部材５０１９によって前後方向に移動可能にされ、本体支持板５０１８にこれらが支持されている。クリーニングブレード５０１７は、この形態でなく周知のクリーニングブレードが本例に適用できることは言うまでもない。また、レバー５０２１は、吸引回復の吸引を開始するためのもので、キャリッジＨＣと係合するカム５０２０の移動に伴って移動し、駆動モータからの駆動力がクラッチ切り換え等の公知の伝達機構で移動制御される。

これらのキャッピング、クリーニング、吸引回復は、キャリッジＨＣがホームポジション側の領域に来た時にリードスクリュー５００５の作用によってそれらの対応位置で所望の処理が行えるように構成されている。しかしながら、周知のタイミングで所望の動作を行うようにすれば、本例にはいずれも適用できる。

＜制御構成の説明＞
次に、上述した装置の記録制御を実行するための制御構成について説明する。

図２はインクジェットプリンタＩＪＲＡの制御回路の構成を示すブロック図である。

インタフェース１７００には記録信号が入力される。ＲＯＭ１７０２はＭＰＵ１７０１が実行する制御プログラムを格納するＲＯＭであり、ＤＲＡＭ１７０３には各種データ（上記記録信号や記録ヘッドＩＪＨに供給される記録データ等）が保存される。ゲートアレイ（Ｇ．Ａ．）１７０４は記録ヘッドＩＪＨに対する記録データの供給制御を行い、インタフェース１７００、ＭＰＵ１７０１、ＲＡＭ１７０３間のデータ転送制御も行う。キャリアモータ１７１０は記録ヘッドＩＪＨを搬送するためのモータであり、搬送モータ１７０９は記録紙搬送のためのモータである。ヘッドドライバ１７０５は記録ヘッドＩＪＨを駆動するドライバであり、モータドライバ１７０６，１７０７はそれぞれ搬送モータ１７０９、キャリアモータ１７１０を駆動するためのドライバである。

上記制御構成の動作を説明すると、インタフェース１７００に記録信号が入るとゲートアレイ１７０４とＭＰＵ１７０１との間で記録信号がプリント用の記録データに変換される。そして、モータドライバ１７０６、１７０７が駆動されると共に、ヘッドドライバ１７０５に送られた記録データに従って記録ヘッドＩＪＨが駆動され、記録が行われる。

（第１の実施形態）
図３は、本実施形態のインクジェット記録ヘッドにおける発熱素子が列状に形成されたノズル列を模式的に示した一部拡大平面図であり、図４は図３におけるＡ−Ａ’断面の模式図である。なお、本実施形態の他、他の実施形態における説明では、第１のノズル列７が有する第１のノズル、第２のノズル列８が有する第２のノズル、および第３のノズル１０が有する第３のノズルは吐出する液滴サイズが異なる場合がある。しかし、インク液滴を吐出するという基本的機能は同じであるため、これら各ノズルはまとめてノズル５として説明する。

図３および図４に示す本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、素子基板２上には発熱素子（ヒータ）１が設けられており、素子基板２に対向して配置された流路構成基板３は吐出口４が形成されている。また、インクの流路であるノズル５を個別に独立して形成するための離隔壁１２が、吐出口４から後述する供給口領域９近傍まで延設された構成とされている。

このインクジェット記録ヘッドは従来のように、複数の発熱素子１および複数のノズル５を有している。そして、各ノズル５の長手方向が平行に配列された第１のノズル列７と、インク供給口６ａを含む供給口領域９を挟んで第１のノズル列７に対向する位置に各ノズル５の長手方向が平行に配列された第２のノズル列８とを備えている。これら第１のノズル列７の各ノズルに対して第２のノズル列８の各ノズルは所定のピッチだけずれて配列されている。発熱素子１は、発熱素子１に電圧を印加することにより、発熱素子１近傍のインクを瞬時に沸騰させて、沸騰時のインクの相変化により生じる急激な発泡圧によってインク滴を高速に吐出口４から吐出させる。吐出口４から吐出されるインクは後述するインク供給共通部６ｂからインク供給口６ａを介して供給される。

本実施形態のインクジェット記録ヘッドは本発明の特徴である複数のノズル５を有する第３のノズル列１０が、複数のインク供給口６ａの形成された供給口領域９の中に設けられている。

まず、供給口領域９に形成されているインク供給口６ａについて説明する。なお、供給口領域９とは図３に示す二点鎖線で囲んだ領域内を指し、インク供給口６ａと第３のノズル列１０とが形成されている領域を指すものとする。

素子基板２には、図４に示すように、基板厚みが薄い領域のインク供給共通部６ｂと厚い厚肉領域６ｃとが形成されている。インク供給口６ａはこの基板厚みが薄いインク供給共通部６ｂの一部領域を貫通して形成されている。そして、このようなインク供給口６ａが供給口領域９内に千鳥状に交互に配置されている。

このインク供給口６ａは、図３に示すように数ノズル毎に対応して形成されている。すなわち、本実施形態においては、インク供給口６ａは第１のノズル列７のノズルの２つに対して１つ形成され、また、第２のノズル列８のノズルの２つに対して１つ形成されている。なお、インク供給口６ａの開口面積は、インク供給共通部６ｂのインク供給口６ａが形成されている面の面積に対してはるかに小さい面積でしか形成することができない。これは強度を保つ必要があるためできるだけ開口面積を少なくしていることによるものである。また、インク供給口６ａの加工精度の問題からその開口数をむやみに増やすことができるものでもない。よって、肉厚の薄いインク供給共通部６ｂが形成された素子基板２のこの領域にはこれ以上開口等を形成することができない。すなわち、従来、素子基板２のインク供給口６ａの間の領域は強度を確保するためだけに用いられ、他の機能を有することのない、基板のレイアウトの点からすると無駄な領域となってしまっていた。

なお、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの代表的な寸法として、素子基板２の厚みは、肉厚の厚い厚肉領域６ｃで１００〜３００μｍ、インク供給共通部６ｂの肉厚の薄い領域で１０〜３０μｍである。インク供給共通部６ｂの幅が８０〜１００μｍ、インク供給口６ａは、３０μｍ×３０μｍの四辺形以上のものが加工上好ましい。なお、図３に示す本実施形態のインク供給口６ａは、その寸法が３０μｍ×６０μｍのものを例示している。インク供給共通部の窪みはウェットエッチングング、サンドブラストなど方法はあるが、ドライエッチングング法などの加工精度が高いものが良い。インク供給口６ａは、特に加工精度が必要であるため、ドライエッチングング法が好ましい。

続いて第３のノズル列１０について説明する。

第３のノズル列１０は供給口領域９のうち、これら千鳥状に交互に配置されているインク供給口６ａが形成されていない非開口部、すなわち、従来、基板レイアウトの点で無駄であった領域に設けられている。換言すれば、第３のノズル列１０は、各ノズルが、千鳥状に交互に配列されたインク供給口６ａを補間する位置に千鳥状に配置されてなるものである。あるいは、第３のノズル列１０は、インク供給口６ａと、インク供給口６ａの間に形成された無駄な領域に形成されたノズルとが交互に配列されており、インク供給口６ａのピッチ分だけずれたノズル列が２列平行に形成されたものであるともいえる。

第３のノズル列１０を形成する各ノズルは素子基板２に略垂直に形成された仕切壁１１で仕切られており、それぞれが１画素を記録する単ノズルとして形成されている。本実施形態では仕切壁１１の厚さは６μｍである。この仕切壁１１は吐出口側からみてコ字形状に形成されており、インク供給口６ａ側に向けて開口部分が形成されたものとなっている。

従来、素子基板２に間隔を空けて形成されたインク供給口６ａ間に開口を形成すると強度の低下が懸念されるため無駄な領域として残さざるを得なかった。しかしながら、本実施形態の場合、この無駄な領域に開口を形成してインク供給口を増やすといった利用の仕方ではなく、発熱素子１を設けてノズルとして機能させているため、素子基板２の強度を低下させてしまうことはない。さらに、単ノズルとして形成するために第３のノズル列１０を形成する各ノズルは仕切壁１１が設けられている。すなわち、仕切壁１１を設けることによってインクジェット記録ヘッドの剛性を高めることができる。

また、第３のノズル列１０は基板厚みが薄い領域に形成されているとともに、インク供給共通部６ｂ内のインクは流動していることより、第３のノズル列１０内に設けられた発熱素子１の熱をインク供給共通部６ｂ側に放熱しやすい。また、インク供給共通部６ｂ内のインクは最終的には外部に吐出されるのでインクジェット記録ヘッドの昇温を抑制することができる。

なお、第３のノズル列１０における発熱素子１への通電回路や配線は、素子基板２の薄い領域にインク供給口６ａを避けるように配することにより、配置は十分可能である。

本実施形態においては、流路構成基板３に形成された、第３のノズル列１０に対応する吐出口４の開口面積は、第１のノズル列７および第２のノズル列８に対応する吐出口の開口面積よりも小さい。本実施形態においては、第１のノズル列７および第２のノズル列８の吐出口４から吐出される液滴は５ｐｌ、第３のノズル列１０の液滴は０．５ｐｌであり、階調性の良い記録が可能である。また、本実施形態においては各ノズルのピッチは、すべてのノズル列において、すべて６００ｄｐｉで配置されている。

以上、本実施形態によれば、従来、強度確保のみに用いられ、他の機能を備えていなかったインク供給口６ａ間の領域にノズルを形成することで、基板の強度を低下させてしまうことなく基板の効率的なレイアウトが可能となった。

（第２の実施形態）
図５は、本実施形態のインクジェット記録ヘッドにおける発熱素子が列状に形成されたノズル列を模式的に示した一部拡大平面図である。

なお、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの基板上のレイアウトは第１の実施形態に示したものと基本的に同様であるため、用いる符号は同じものとし、また、詳細の説明は省略するものとする。

本実施形態では第１のノズル列７の吐出口４から吐出される液滴サイズが５ｐｌ、第２のノズル列８の吐出口４から吐出される液滴サイズが２ｐｌ、第３のノズル列１０の吐出口４から吐出される液滴サイズが０．５ｐｌである。このように本実施形態では、それぞれ大、中、小３種類の液滴サイズを吐出するノズルを備えている。
なお、ノズルピッチは同じく６００ｄｐｉである。本実施形態の場合、第２のノズル列８に中液滴を加えたことで、中間調の表現および階調性の良い高画質記録が可能である。

（第３の実施形態）
図６は、本実施形態のインクジェット記録ヘッドにおける発熱素子が列状に形成されたノズル列を拡大した模式的に示した一部拡大平面図である。

なお、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの基板上のレイアウトは第２の実施形態に示したものと基本的に同様であるため、用いる符号は同じものとし、また、詳細の説明は省略するものとする。

第１および第２の実施形態では、第３のノズル列１０を形成する各ノズルが、インク供給口６ａ側にのみ開口が形成されたコ字形状の仕切壁１１で囲われた例を示した。これに対して本実施形態のインクジェット記録ヘッドはインク供給口６ａ側のみならず、その反対側も開口となるように２枚の平行な仕切壁１１ａが設けられた構成となっている。本実施形態の場合、第２の実施形態と同様に、大中小３種類の液滴サイズを吐出する構成となっているが、このうち、第３のノズル列１０におけるインクの液滴サイズが０．５ｐｌで最も小さい。小液滴ほど高速な応答性（リフィル）が要求されるが、仕切壁１１ａを両側に開口が形成された形状とすることでノズル内の流抵抗を低減させることができ、リフィルを高速化することができる。また、第３のノズル列１０における小液滴のリフィルが上がるだけでなく、中大液滴と小液滴とを時間差をもって吐出することにより、同時に中大液滴のノズルと供給室の抵抗を下げることが可能となる。これにより、中大液滴、すなわち、第１のノズル列７および第２のノズル列８の各ノズルにおけるリフィル特性も向上させることができる。

（第４の実施形態）
図７は、本実施形態のインクジェット記録ヘッドにおける発熱素子が列状に形成されたノズル列を拡大した模式的に示した一部拡大平面図である。

なお、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの基板上のレイアウトも上述した各実施形態に示したものと基本的に同様であるため、用いる符号は同じものとし、また、詳細の説明は省略するものとする。

上述した各実施形態は第３のノズル列１０において吐出される液滴サイズが第１のノズル列７および第２のノズル列８において吐出される液滴サイズと比べて小さいものである構成を例に説明した。これに対して本実施形態は第３のノズル列１０において吐出される液滴サイズ（８ｐｌもしくは１０ｐｌ）が第１のノズル列７の液滴サイズ（０．５ｐｌ）および第２のノズル列８の液滴サイズ（２ｐｌ）と比べて大きいものとなるように構成されている。また、これに対応してインク供給口６ａの開口面積も拡大されている。上述した各実施形態ではインク供給口６ａの寸法が３０μｍ×３０μｍであったのに対し、本実施形態ではインク供給口６ａの寸法が１００μｍ×５０μｍである。なお、図７には仕切壁の形状がコ字形状のものを例示しているがこれに限定されるものではない。また、第１のノズル列７からは小サイズの液滴が吐出され、第２のノズル列８からは中サイズの液滴が吐出される構成を示しているがこれに限定されるものでもない。例えば、第１のノズル列７と第２のノズル列８とはいずれも同じ液滴サイズのインクを吐出するものであってもよい。

本実施形態の場合、第３のノズル列１０において吐出される液滴サイズを上述した各実施形態よりも大きくした例を示したが、これは普通紙など小液滴を必要としない画像の記録速度を向上させた構成である。さらに大液滴のインクを吐出するノズルを供給口領域９の中に形成された第３のノズル列１０とすることでインクの供給路における抵抗を軽減しリフィルも高速にしている。

また、本実施形態では、小液滴である第１のノズル列７におけるノズルの配列ピッチは１２００ｄｐｉとしている。これにより、第３のノズル列１０を大きくしたものであっても、写真などの高画質の記録を行う際、小液滴が多用されるのに対応した構成となっている。

（第５の実施形態）
図８は、本実施形態のインクジェット記録ヘッドにおける発熱素子が列状に形成されたノズル列を拡大した模式的に示した一部拡大平面図である。

本実施形態も大中小の３種類の液滴サイズを吐出するノズルを設けた構成としているが、第３のノズル列１０からは中サイズの液滴を吐出させるようにしている。また、本実施形態では小サイズの液滴を吐出する第１のノズル列７の配列ピッチを１２００ｄｐｉとしている。本実施形態は、中小液滴を多用する写真などの高画質を速い記録速度で記録するのに適した構成である。

なお、本発明は上述した各実施形態をどのように組み合わせるものであってもよい。

本発明に好適なインクジェットプリンタの一例の斜視図である。本発明におけるインクジェットプリンタの制御系の一例のブロック図である。本発明の第１の実施形態における複数のノズル列を模式的に示した一部拡大平面図である。図３に示すＡ−Ａ’線における側断面図である。本発明の第２の実施形態における複数のノズル列を模式的に示した一部拡大平面図である。本発明の第３の実施形態における複数のノズル列を模式的に示した一部拡大平面図である。本発明の第４の実施形態における複数のノズル列を模式的に示した一部拡大平面図である。本発明の第５の実施形態における複数のノズル列を模式的に示した一部拡大平面図である。本発明に好適なインクジェット記録ヘッドの実施の形態を一部切り欠いて見た斜視図である。

符号の説明

１発熱素子
２素子基板
３流路構成基板
４吐出口
５ノズル
６ａインク供給口
６ｂインク供給共通部
６ｃ厚肉領域
７第１のノズル列
８第２のノズル列
９供給口領域
１０第３のノズル列

Claims

エネルギを発生する複数のエネルギ発生素子と、前記エネルギ発生素子が設けられた素子基板と、前記素子基板上に、複数の第１のノズルを有する第１のノズル列と、複数の第２のノズルを有する第２のノズル列と、前記第１および第２のノズル列の間に、前記各ノズルに対してインクを供給するための複数のインク供給口が形成された供給口領域とを有し、前記各ノズル列の前記ノズルからインクを前記素子基板の略垂直方向に吐出して記録媒体に画像を形成するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記供給口領域は、前記素子基板の裏面側に窪み状のインク供給共通部が形成されることで形成された前記素子基板の厚みが薄くなった領域内にあり、前記供給口領域内の前記インク供給口が形成されている領域以外の非開口部に複数の第３のノズルを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
前記各インク供給口が千鳥状に交互に配列されて形成されており、前記各第３のノズルが、千鳥状に交互に配列された前記各インク供給口を補間する位置に千鳥状に配置されてなる第３のノズル列を有する、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記各第３のノズルはそれぞれ１画素を記録する単ノズルで形成されている、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記第３のノズルは、前記素子基板に垂直に形成された少なくとも２つの仕切壁によって流路が形成されたものである、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記第３のノズルから吐出されるインクの液滴サイズは、少なくとも前記第１および第２のノズルから吐出されるインクの液滴サイズのいずれか一方よりも小さい、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記第３のノズルから吐出されるインクの液滴サイズは、前記第１および第２のノズルから吐出されるインクの液滴サイズよりも大きい、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。