JP4673642B2 - 光導波路形成方法 - Google Patents
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Description
12 シリカガラス薄膜
13 レンズ
15 光導波路
16 クラッド
17 コア
L CO2レーザ
Claims (7)
- ガラス基板上に、高屈折率のコアと低屈折率のクラッドとからなる光導波路を形成する光導波路形成方法において、
シリカガラス基板上に、物理気相堆積法を用いて前記シリカガラス基板の屈折率より高い屈折率を有し、かつ、前記シリカガラス基板と同じ組成を有するシリカガラス薄膜を形成する工程と、
前記シリカガラス薄膜の任意の箇所を局所的に加熱し、その加熱部を前記クラッドに、非加熱部を前記コアに形成する工程と、を含み、
前記物理気相堆積法を行う際に、前記シリカガラス基板の温度を80〜580℃にし、かつ、
前記シリカガラス薄膜を局所的に加熱する際に、前記シリカガラス薄膜を600〜1000℃で加熱すると共に、前記クラッドと前記コアとは同じ組成であることを特徴とする光導波路形成方法。 - 前記シリカガラス薄膜にレーザを照射させて局所的に加熱する請求項1記載の光導波路形成方法。
- ガラス基板上に、高屈折率のコアと低屈折率のクラッドとからなる光導波路を形成する光導波路形成方法において、
シリカガラス基板上に、物理気相堆積法を用いて前記シリカガラス基板の屈折率より高い屈折率を有し、かつ、前記シリカガラス基板と同じ組成を有するシリカガラス薄膜を形成する工程と、
前記シリカガラス薄膜の上方にフォトマスクを設け、前記フォトマスクを介してレーザを前記シリカガラス薄膜に照射して、その照射部を前記クラッドに、非照射部を前記コアに形成する工程と、を含み、
前記物理気相堆積法を行う際に、前記シリカガラス基板の温度を80〜580℃にし、かつ、
前記シリカガラス薄膜を照射する際に、前記シリカガラス薄膜を600〜1000℃で照射すると共に、前記クラッドと前記コアとは同じ組成であることを特徴とする光導波路形成方法。 - 前記レーザがCO2レーザである請求項2または3記載の光導波路形成方法。
- 前記シリカガラス薄膜の膜厚が2〜100μmである請求項1〜4いずれかに記載の光導波路形成方法。
- 前記物理気相堆積法が、マグネトロン高周波スパッタ法、高周波スパッタ法、電子ビーム蒸着法、加熱蒸着法または反応性スパッタ法のいずれかである請求項1〜5いずれかに記載の光導波路形成方法。
- 前記物理気相堆積法を行う際に、前記シリカガラス基板を400℃以上の加熱温度で加熱する請求項1〜6いずれかに記載の光導波路形成方法。
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