JP4672301B2 - 固体撮像装置及び固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Description
3 固体撮像素子
4 半導体基板
5,61 スペーサー
6,51 カバーガラス
20 第1の反射防止膜
21 第2の反射防止膜
24 ガラス基板
30 スペーサー用ウエハ
32,35 レジストマスク
36,46 反射防止塗料
38 半導体ウエハ
54 ダイシングカッター
61a 粗面
Claims (5)
- 透明基板の一方の面に、固体撮像素子の外周を取り囲むためのスペーサーを多数形成する工程と、
各前記スペーサーの内壁面に、光の反射を防止する第2の反射防止層、または粗面を形成する工程と、
前記透明基板のスペーサーが形成されたスペーサー形成面と、一方の面に多数の前記固体撮像素子が形成された半導体ウエハとを接合し、前記透明基板及び前記スペーサーにより、各前記固体撮像素子を封止する工程と、
前記半導体ウエハと前記透明基板とを各前記固体撮像素子ごとに裁断し、前記透明基板及び前記スペーサーによって封止された前記固体撮像素子を有する固体撮像装置を多数形成する工程と、を含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2の反射防止層を形成する工程は、
前記透明基板の前記スペーサー形成面であって、前記固体撮像素子に対面する部分にマスクを形成する工程と、
前記スペーサーの内壁面に反射防止塗料を塗布する工程と、
前記反射防止塗料の乾燥後に前記マスクを除去する工程と、を含むことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2の反射防止層を形成する工程は、
前記スペーサーと、前記透明基板のスペーサー形成面とに反射防止塗料を塗布する工程と、
前記反射防止塗料の乾燥後に、前記透明基板の前記固体撮像素子に対面する部分の前記反射防止塗料を除去する工程と、を含むことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記スペーサーを形成する工程、及び前記粗面を形成する工程は、
前記透明基板の一方の面にスペーサー形成用基板を接合する工程と、
前記スペーサー形成用基板に前記スペーサーの形状のマスクを形成する工程と、
前記スペーサー形成用基板の前記マスクで覆われていない部分をその厚み方向において複数回に分けて除去することにより前記スペーサーを形成し、前記スペーサー形成用基板の除去により生じた複数の段差によって前記内壁面に前記粗面を形成することを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記透明基板を各前記固体撮像素子ごとに裁断する際に、エッジ部分がテーパー状にされたカッターを使用することにより、裁断された前記透明基板の側端面を、前記スペーサー形成面からその反対側の面に向けて略テーパー状にすることを特徴とする請求項1〜4いずれか記載の固体撮像装置の製造方法。
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