JP4671077B2 - ウェハ形成方法および装置 - Google Patents
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Description
また本発明に係るウェハ形成方法は、定ピッチ間隔の複数ワイヤ列からなり一対のローラ間の一つの切断経路上に複数のインゴットを平行な状態で横断移動させて、砥粒を含むスラリーを前記複数のインゴットに供給しながら、前記ワイヤによる複数のインゴットの切断幅が常に一定となるように前記インゴットを固定している昇降ヘッドの移動速度を個別に制御して複数のインゴットを単一のワイヤソーによりワイヤピッチ間隔の厚さのウェハに切断するようにしたものである。
本発明に係るウェハ形成装置は、複数のローラに一定ピッチで巻回して一対の前記ローラ間に一つのインゴット切断経路を形成するワイヤと、前記切断経路に対して上下方向に動き前記インゴットを固定する昇降ヘッドと、前記ワイヤによる複数のインゴットの切断幅が常に一定となるように前記インゴットを固定している昇降ヘッドの移動速度を個別に制御する制御手段を備えてなり、前記昇降ヘッドを複数設けて複数のインゴットを平行に配置して前記切断経路に対して昇降可能とし、前記複数のインゴットを前記複数列の切断経路でスライスしてウェハを形成することを特徴としている。
この場合において、前記複数のインゴットの間に砥粒を含むスラリーを前記複数のインゴットに同時に供給可能なスラリー供給ノズルを備えればよい。砥粒を含むスラリーを昇降ヘッドの両側部から同時に前記複数のインゴットへ供給するスラリー供給ノズルを備えればよい。
まず、図3を参照してワイヤソーの全体構成を説明する。このワイヤソー装置は、四角形の各頂点部分に水平に配置された4本のローラ12(12A、12B、12C、12D)を設けている。これにはワイヤ供給ドラム20から繰り出されるワイヤ14をローラ群に対し螺旋状に一定ピッチ間隔で複数回巻き付けており、終端側を巻取りドラム22に巻き取るようにしている。4本のローラ12の内、上部の一対のローラ12A、12Bの間は切断経路であり、これに2個のシリコンインゴット10A、10Bを平行な状態で横断移動させるようにしている。
Claims (7)
- 定ピッチ間隔の複数ワイヤ列からなり一対のローラ間の一つの切断経路上に複数のインゴットを平行な状態で横断移動させて、砥粒を含むスラリーを前記複数のインゴットに供給しながら、昇降ヘッドを交互に時間差をおいて昇降させて前記複数のインゴットを単一のワイヤソーによりワイヤピッチ間隔の厚さのウェハに切断するように制御したことを特徴とするウェハ形成方法。
- 前記ワイヤによる複数のインゴットの切断幅が常に一定となるように前記インゴットを固定している昇降ヘッドの移動速度を個別に制御することを特徴とする請求項1に記載のウェハ形成方法。
- 定ピッチ間隔の複数ワイヤ列からなり一対のローラ間の一つの切断経路上に複数のインゴットを平行な状態で横断移動させて、砥粒を含むスラリーを前記複数のインゴットに供給しながら、前記ワイヤによる複数のインゴットの切断幅が常に一定となるように前記インゴットを固定している昇降ヘッドの移動速度を個別に制御して複数のインゴットを単一のワイヤソーによりワイヤピッチ間隔の厚さのウェハに切断するようにしたことを特徴とするウェハ形成方法。
- 複数のローラに一定ピッチで巻回して一対の前記ローラ間に一つのインゴット切断経路を形成するワイヤと、前記切断経路に対して上下方向に動き前記インゴットを固定する昇降ヘッドと、前記昇降ヘッドを交互に時間差をおいて昇降させる制御手段を備えてなり、前記昇降ヘッドを複数設けて複数のインゴットを平行に配置して前記切断経路に対して昇降可能とし、前記複数のインゴットを前記複数列の切断経路でスライスしてウェハを形成することを特徴とするウェハ形成装置。
- 複数のローラに一定ピッチで巻回して一対の前記ローラ間に一つのインゴット切断経路を形成するワイヤと、前記切断経路に対して上下方向に動き前記インゴットを固定する昇降ヘッドと、前記ワイヤによる複数のインゴットの切断幅が常に一定となるように前記インゴットを固定している昇降ヘッドの移動速度を個別に制御する制御手段を備えてなり、前記昇降ヘッドを複数設けて複数のインゴットを平行に配置して前記切断経路に対して昇降可能とし、前記複数のインゴットを前記複数列の切断経路でスライスしてウェハを形成することを特徴とするウェハ形成装置。
- 前記複数のインゴットの間に砥粒を含むスラリーを前記複数のインゴットに同時に供給可能なスラリー供給ノズルを備えてなることを特徴とする請求項4又は5に記載のウェハ形成装置。
- 砥粒を含むスラリーを前記昇降ヘッドの両側部から同時に前記複数のインゴットへ供給するスラリー供給ノズルを備えたことを特徴とする請求項4ないし6のいずれか1項に記載のウェハ形成装置。
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