JP4667329B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
L=cosη・sinξ …(1)
M=sinη …(2)
N=cosη・cosξ …(3)
となる。
Tanφ=M/L=tanη/sinξ …(4)
となる。
図1は、この発明の実施の形態1によるHOEを用いたレーザ加工装置にて実施されるレーザ加工方法の原理を説明する光線追跡図である。図2は、図1においてHOEの配置位置Hに近い方の第1のガルバノスキャンミラーのミラー面内での光線追跡拡大図である。図3は、図2に示す第1のガルバノスキャンミラーのミラー面の法線方向での光線追跡拡大図である。図4は、図1において第1のガルバノスキャンミラーでの反射光を受ける第2のガルバノスキャンミラーのミラー面内での光線追跡拡大図である。図5は、図1において第2のガルバノスキャンミラーでの反射光を受けるfθレンズの受光面内でのHOE分光パターンの回転角を説明する図である。なお、構成要素の名称・符号は、説明の便宜から図14等の従来技術にて用いた名称・符号をそのまま使用する。
図13は、この発明の実施の形態2によるHOEを用いないレーザ加工装置にて実施されるレーザ加工方法の原理を説明する概念図である。HOEを用いないで単一の穴加工を行うレーザ加工装置は、図13に示すように、図14に示した構成において、マスク15を第1のガルバノスキャンミラー2aの入力段に設け、そのマスク形状を転写加工することが行われる。なお、図13では図示を省略したが、図14に示したように、第1のガルバノスキャンミラー2aは、第1のガルバノスキャナ3aの駆動軸に接続される。また、第2のガルバノスキャンミラー2bは、第2のガルバノスキャナ3bの駆動軸に接続される。
2a ガルバノスキャンミラー(第1のガルバノスキャンミラー)
2b ガルバノスキャンミラー(第2のガルバノスキャンミラー)
3a ガルバノスキャナ(第1のガルバノスキャナ)
3b ガルバノスキャナ(第2のガルバノスキャナ)
4 fθレンズ
5 加工ワーク
6 加工穴
7 スキャンエリア
8 分光器
9a,9b レーザヘッド
10 ホモグラフィック光学素子(HOE)
11 画面
12 HOE分光パターン
13 長穴パターン
14a 縦置き時のHOE分光パターン
14b 縦置き時のHOE分光パターン
15 マスク
16 長穴パターン
η,ξ 振れ角(走査角)
φ 仰角
Claims (3)
- レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を2次元走査する一組のガルバノスキャナと、
前記一組のガルバノスキャナにて2次元走査されたレーザ光を被加工物上に集光して照射するfθレンズとを備え、
前記一組のガルバノスキャナのうちレーザ光軸上において前記レーザ発振器側に配置される第1のガルバノスキャナに入射するレーザ光は、その照射パターンに存在する長軸および短軸のうちの長軸方向側が前記第1のガルバノスキャナの駆動軸の軸線方向側に向くように設定されている
ことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記第1のガルバノスキャナに入射するレーザ光は、前記レーザ発振器からのレーザ光を複数のレーザ光に分光するレーザ分光手段の出力レーザ光であり、
前記長軸方向側は、前記レーザ分光手段にて分光されたレーザ光の分光パターンにおける長手方向側である
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記第1のガルバノスキャナに入射するレーザ光は、前記レーザ発振器からのレーザ光を所望の断面形状に整形するマスクの出力レーザ光であり、
前記長軸方向側は、前記マスクにて整形されたレーザ光の照射パターンにおける長手方向側である
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
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