JP4662808B2 - メタルマスク用フレーム及びその製造方法 - Google Patents
メタルマスク用フレーム及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4662808B2 JP4662808B2 JP2005143429A JP2005143429A JP4662808B2 JP 4662808 B2 JP4662808 B2 JP 4662808B2 JP 2005143429 A JP2005143429 A JP 2005143429A JP 2005143429 A JP2005143429 A JP 2005143429A JP 4662808 B2 JP4662808 B2 JP 4662808B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- metal mask
- mask
- thin plate
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 95
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 95
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 40
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 17
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 16
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 8
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 8
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 101100269850 Caenorhabditis elegans mask-1 gene Proteins 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000003562 lightweight material Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000005300 metallic glass Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
12 メタルマスク
13、13A、13B フレーム
13a、13b 薄板
15 マスク部
17 開口部
19 易切断線
20 スポット溶接部
23 クランプ
24 駆動手段(エアシリンダ)
31、31B 穴
Claims (7)
- メタルマスクを取り付けるための窓枠形状のフレームであって、複数枚の窓枠形状の薄板を積層して接合し、一体化した構造を備え、積層した前記薄板のうちの少なくとも複数枚が多数の穴を形成した窓枠形状の薄板であり、更に、積層した複数枚の薄板における穴形成パターンが複数種類あることを特徴とするメタルマスク用フレーム。
- 前記薄板が0.1〜1mmの厚さのものであり、前記穴がエッチングで形成されており、積層した複数枚の薄板が熱拡散結合により一体化されていることを特徴とする請求項1記載のメタルマスク用フレーム。
- 前記薄板に形成した穴の直径又は相当直径が、前記薄板の肉厚tの0.3倍〜3倍であり、前記薄板に対する穴の開口率が、10〜70%であることを特徴とする請求項1又は2記載のメタルマスク用フレーム。
- 前記薄板がインバー材で形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載のメタルマスク用フレーム。
- 複数枚の窓枠形状の薄板にエッチングで複数の穴を複数種類の穴形成パターンとなるように形成するエッチング工程と、複数枚の窓枠形状の薄板であって、そのうちの少なくとも複数枚が、多数の穴を複数種類の穴形成パターンで形成した窓枠形状の薄板である前記複数枚の窓枠形状の薄板を積層し熱拡散結合させて一体化する加圧加熱工程とを有するメタルマスク用フレームの製造方法。
- 請求項1から4のいずれか1項記載のメタルマスク用フレームと、テンションを付加された状態で前記フレームに固定されたメタルマスクとを備えたマスクユニット。
- 請求項6記載のマスクユニットを用いて、有機EL素子の有機層又はカソード電極を蒸着することを特徴とする、有機EL素子材料の蒸着方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005143429A JP4662808B2 (ja) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | メタルマスク用フレーム及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005143429A JP4662808B2 (ja) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | メタルマスク用フレーム及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006322015A JP2006322015A (ja) | 2006-11-30 |
JP4662808B2 true JP4662808B2 (ja) | 2011-03-30 |
Family
ID=37541907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005143429A Active JP4662808B2 (ja) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | メタルマスク用フレーム及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4662808B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5342127B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2013-11-13 | 富士重工業株式会社 | 発光装置 |
JP2009007649A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Nippon Yakin Kogyo Co Ltd | マスク用フレーム |
KR101450728B1 (ko) * | 2008-05-28 | 2014-10-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 조립체 및 그의 제조 방법 |
JP5215742B2 (ja) * | 2008-06-11 | 2013-06-19 | 株式会社ジャパンディスプレイイースト | 有機el表示装置の製造方法 |
KR100940579B1 (ko) * | 2009-02-12 | 2010-02-03 | 윤근천 | 오엘이디 제조설비의 증착챔버에 사용되는 마스크 프레임 |
JP6298110B2 (ja) * | 2016-07-08 | 2018-03-20 | キヤノントッキ株式会社 | マスク支持体、成膜装置及び成膜方法 |
JP6904718B2 (ja) * | 2017-02-10 | 2021-07-21 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法および蒸着マスクの製造装置 |
WO2019130389A1 (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-04 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 蒸着マスク、蒸着方法及び有機el表示装置の製造方法 |
CN111492090A (zh) * | 2017-12-25 | 2020-08-04 | 堺显示器制品株式会社 | 蒸镀掩模、蒸镀方法以及有机el显示设备的制造方法 |
WO2019130388A1 (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-04 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 蒸着マスク、蒸着方法及び有機el表示装置の製造方法 |
JP6768758B2 (ja) * | 2018-09-25 | 2020-10-14 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 蒸着マスク、蒸着方法及び有機el表示装置の製造方法 |
KR20200097370A (ko) * | 2019-02-07 | 2020-08-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 프레임 조립체와 그것을 채용한 증착 장치 및 그들의 제조방법 |
CN111411323B (zh) * | 2020-03-31 | 2023-01-20 | 云谷(固安)科技有限公司 | 一种掩膜板 |
CN115181934A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-10-14 | 广州国显科技有限公司 | 掩膜板及掩膜板的制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001025209A (ja) * | 1999-07-05 | 2001-01-26 | Nissan Motor Co Ltd | 電動機のロータ |
JP2003077660A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Ritsuo Inaba | 有機el素子作製用メタルマスク及び有機elの製造方法 |
JP2004323888A (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 蒸着マスク及び蒸着方法 |
JP2005105406A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-04-21 | Nippon Seiki Co Ltd | 蒸着用マスク |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08214481A (ja) * | 1995-02-06 | 1996-08-20 | Nippondenso Co Ltd | 回転電機の回転子 |
JPH10293045A (ja) * | 1997-04-17 | 1998-11-04 | Tokai Rika Co Ltd | エンコーダプレートとその製造方法 |
-
2005
- 2005-05-17 JP JP2005143429A patent/JP4662808B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001025209A (ja) * | 1999-07-05 | 2001-01-26 | Nissan Motor Co Ltd | 電動機のロータ |
JP2003077660A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Ritsuo Inaba | 有機el素子作製用メタルマスク及び有機elの製造方法 |
JP2004323888A (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 蒸着マスク及び蒸着方法 |
JP2005105406A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-04-21 | Nippon Seiki Co Ltd | 蒸着用マスク |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006322015A (ja) | 2006-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4662808B2 (ja) | メタルマスク用フレーム及びその製造方法 | |
CN110724904B (zh) | 蒸镀掩模的拉伸方法带框架的蒸镀掩模的制造方法有机半导体元件的制造方法及拉伸装置 | |
US11313027B2 (en) | Vapor deposition mask, vapor deposition mask production method, and organic semiconductor element production method | |
JP4439203B2 (ja) | 多面付けマスク装置及びその組立方法 | |
JP6304412B2 (ja) | 金属フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、パターンの形成方法 | |
US10658591B2 (en) | Method for producing deposition mask | |
WO2015053250A1 (ja) | 成膜マスク及びその製造方法 | |
WO2019009050A1 (ja) | 蒸着マスク、蒸着マスク装置、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスク装置の製造方法 | |
JP2003332057A (ja) | 有機el素子製造に用いる真空蒸着用多面付けマスク装置 | |
JP2006164815A (ja) | メタルマスクユニット及びその製造方法 | |
JP4656886B2 (ja) | 金属薄板の枠貼り方法及び装置 | |
CN112126893B (zh) | 掩膜板,掩膜板组件及其制造方法 | |
JP6090009B2 (ja) | 金属フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法 | |
WO2006062035A1 (ja) | メタルマスクユニット、その製造方法、金属テープの取付け方法およびテンション付加装置 | |
JP2004323888A (ja) | 蒸着マスク及び蒸着方法 | |
CN113930718A (zh) | 掩模组件 | |
JP2010090415A (ja) | 蒸着マスク | |
JP4592261B2 (ja) | メタルマスクの溶接固定方法 | |
JP4540305B2 (ja) | メタルマスク及びその取付方法 | |
JP7233954B2 (ja) | 蒸着マスク | |
JP7300366B2 (ja) | 積鉄心適用変圧器及び組み立て方法 | |
JP6844646B2 (ja) | 蒸着マスクの引張方法、フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、及び引張装置 | |
CN113253566B (zh) | 复合精细遮罩 | |
US20230068722A1 (en) | Apparatus for manufacturing display processing mask and method of manufacturing display processing mask using the same | |
CN113258021A (zh) | 复合精细遮罩 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080411 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100622 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100820 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101228 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4662808 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 Year of fee payment: 3 |