JP4662201B2 - 塗布方法 - Google Patents
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Description
(実施例1)
図1に示されるコーター10を使用してウエブWに上記の反射防止膜用の塗布液を塗布した。なお、以下の9条件(例1〜9)のうち、例2及び例9においては、脱泡装置30(膜脱気装置)を外して実施した。塗布液の流量を100ml/分とし、ウエブWへの塗布量を3.5ml/m2 (厚さ3.5μm)とした。脱泡装置30の減圧値は−70kPaに設定した。
図1に示されるコーター10を使用してウエブWに上記の反射防止膜用の塗布液を塗布した。塗布液の流量を100ml/分とし、ウエブWへの塗布量を3.5ml/m2 (厚さ3.5μm)とした。なお、各例において、脱泡装置30(膜脱気装置)を外して実施した。
(実施例3)
図4に示されるコーター10’を使用してウエブWに上記の反射防止膜用の塗布液を塗布した。なお、以下の8条件(例1〜8)のうち、例8のみ図1に示されるコーター10を使用した。塗布液の流量を100ml/分とし、ウエブWへの塗布量を3.5ml/m2 (厚さ3.5μm)とした。脱泡装置30の減圧値は−70kPaに設定した。
(比較例1)
図8は、比較例における塗布装置100の全体構成図であり、第1実施形態の図1、第2実施形態の図4に対応するものである。なお、図1と同一、類似の部材については、同様の符号を附し、その説明を省略する。
(比較例2)
図8に示されるコーター100を使用してウエブWに上記の反射防止膜用の塗布液を塗布した。塗布液の流量を100〜1000ml/分まで変化させた。そして、ウエブWへの塗布量を3.5ml/m2 (厚さ3.5μm)とした。
Claims (9)
- 塗布液をポンプにより送液配管を経てスロットダイに圧送し、連続走行する支持体上に前記スロットダイにより前記塗布液を塗布する塗布方法において、
前記塗布液の粘度を0.01N・s/m2以下とし、前記塗布液の流量を300ml/分以下とし、前記送液配管中に流量調節機構を設け、前記ポンプと前記流量調節機構の間の前記送液配管内の圧力を前記流量調節機構により0.02〜0.5MPaに制御することを特徴とする塗布方法。 - 前記スロットダイ出口における前記塗布液の脈動幅を5%以下に制御することを特徴とする請求項1に記載の塗布方法。
- 前記送液配管中に流量計を設け、該流量計による測定結果を前記ポンプにフィードバックすることを特徴とする請求項1又は2に記載の塗布方法。
- 前記送液配管中に気液分離膜を備えた脱泡装置を設けることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の塗布方法。
- 前記送液配管に振動測定手段を設け、該振動測定手段による測定結果を前記ポンプにフィードバックすることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の塗布方法。
- 前記送液配管に防振材を設けることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の塗布方法。
- 前記ポンプ直後の前記送液配管中に第1の流量調節機構を設けるとともに、前記スロットダイ直前の前記送液配管中に第2の流量調節機構を設け、前記第1の流量調節機構直後の配管内圧力と前記第2の流量調節機構直前の配管内圧力との差圧を0〜0.3MPaに制御することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の塗布方法。
- 前記ポンプが2連式以上の正流型ダイヤフラムポンプであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の塗布方法。
- 前記送液配管の一部又は全部に、ゴム材料又は樹脂材料を使用することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の塗布方法。
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