JP4658405B2 - 高周波用導波路とその製造方法 - Google Patents
高周波用導波路とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4658405B2 JP4658405B2 JP2001253537A JP2001253537A JP4658405B2 JP 4658405 B2 JP4658405 B2 JP 4658405B2 JP 2001253537 A JP2001253537 A JP 2001253537A JP 2001253537 A JP2001253537 A JP 2001253537A JP 4658405 B2 JP4658405 B2 JP 4658405B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric
- frequency
- wall
- rod
- waveguide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P3/00—Waveguides; Transmission lines of the waveguide type
- H01P3/16—Dielectric waveguides, i.e. without a longitudinal conductor
- H01P3/165—Non-radiating dielectric waveguides
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Waveguides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Aerials With Secondary Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、高周波用導波路とその製造方法に係り、特にマイクロ波、ミリ波、サブミリ波帯の電磁波が伝搬する導波路とその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
マイクロ波、ミリ波、サブミリ波帯の電磁波(以下、高周波という)の導波路として、導波管や金属と誘電体とを組み合わせたハイブリッド導波路が使用されている。金属と誘電体とを組み合わせた導波路として金属板2枚の間に誘電体を挟んだNRD(nonradiative dielectric)ガイドが使用されている。例えば公知文献として、IEEE TRANSACTIOS ON MICROWAVE THEORY AND TECHNIQUES,VOL. MTT-29,NO.11,NOVEMBER 1981, PP.1188-1192 やIEEE TRANSACTIOS ON MICROWAVE THEORY AND TECHNIQUES,VOL. MTT-32, NO.8,AUGUST 1984, PP.943-946、がある。
【0003】
このNRDガイドは導波路の曲がりの部分での放射損が生じないという特長を有しているが、導波路の遮断周波数近くで使用するため伝搬損失が大きい。この他に放射損の少ない導波路としてフォトニック・バンド結晶構造を用いた導波路が研究されている。
フォトニック・バンド結晶構造とは、結晶が電子をコントロールするのと同じように、高い誘電率比の誘電体周期構造を有した人工的な結晶を作成し、あるエネルギー領域で、その伝搬が禁止される事象を起こすことができる構造のことである。このフォトニック・バンド結晶構造の一部に周期構造を乱す部分を形成するとこの欠陥部分にのみ、エネルギーが伝搬し、エネルギーの伝播路とすることができる。
【0004】
フォトニック・バンド結晶構造を光伝送の導波路とする公知文献としては、NATURE, VOL 386, 13 MARCH 1997がある。
また、特開2000−352631号公報には、フォトニック結晶及びその製造方法についての記載があり、これは光伝送の分野で用いられるフォトニック結晶としての2次元的に蜂の巣格子状に配列された誘電体からなる完全バンドギャップに、機械的強度を高めるために三角格子状に配列された円柱状誘電体を組み合わせたものである。
【0005】
さらに、特開平11−218627号公報には、フォトニック結晶導波路およびその製造方法についての記載があり、これは光通信の分野で用いられるフォトニック結晶導波路をシリコン基板上に石英ガラスや高分子材料で形成したスラブ光導波路を形成したものである。このスラブ光導波路は中央の光導波領域の両側に三角格子状や六角格子状に屈折率の異なる材料を配列し屈折率変化領域を設けたものである。しかしながらこれらのフォトニック結晶導波路は光の導波に関する技術である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
図7はフォトニック・バンド構造による従来の高周波用導波路の斜視図である。
図7において、100は高周波導波路で、102はセラミックなどの誘電体、104は空気円柱でこの空気中の配列がフォトニック・バンド結晶構造をしている。106は空気円柱104に直交する方向に、誘電体102の両端面において接合された金属板である。図7において金属板106にハッチングを施しているのは断面を示すものではなく、2枚の金属板106と誘電体102の位置関係を明確にするためのものである。
【0007】
図8は図7のVIII−VIII断面における高周波導波路100の断面図である。VIII−VIII断面は空気円柱104に直交する断面である。
図8において、108は高周波反射領域、110は高周波伝搬領域である。
高周波が高周波導波路100内を伝搬すると、高周波反射領域108はフォトニック・バンド結晶構造に対応した高周波の伝搬を禁止するが、高周波伝搬領域110は空気円柱104が無くフォトニック・バンド結晶構造の欠陥となるために、この部分を高周波が伝搬可能となる。
【0008】
電磁波が高周波伝搬領域110を伝搬すると金属板106の接線方向の全方向の磁界による高周波電流が流れ、これがジュール熱の伝送損失になる。しかし磁界が主として高周波伝搬領域110の高周波伝送方向を持つモードについては、伝送損失は周波数が高くなるにつれて減少するために、通常は問題とはならない。
しかしながら、高周波伝搬領域110は誘電率の高い誘電体を用いているため誘電体損失が非常に大きくなる。
【0009】
図9は他のフォトニック・バンド構造による従来の高周波用導波路の斜視図である。図7及び図8と同じ符号は同一のものかまたは相当のものを示す。以下の図面の記載においても、同じ符号は同一のものかまたは相当のものを示す。
112は高周波導波路、114、116はセラミックなどの誘電体である。
また図10は高周波導波路112の図9のX−X断面における部分断面図、図11は高周波導波路112の図9のXI−XI断面における断面図である。
高周波導波路112では、高周波反射領域108は誘電体114,116に空気円柱104が規則的に配列された二つの独立した部分に分けて配設され、高周波伝搬領域110は空気の満たされた空間となっているので、この部分の誘電体損失は小さくすることができる。
【0010】
しかしながら、高周波導波路100や高周波導波路112のいずれの場合であっても、誘電体に所望の空気円柱104を形成してゆく作業は困難であり、高周波導波路112では高周波伝搬領域110を空間にするため、誘電体を取り除く加工が困難であり、大量生産に向いていなかった。
【0011】
また電子情報通信学会論文誌 Vol.J84-C No.4,pp.324-325,2001年4月にはアルミナを発泡スチロールで覆った円柱棒を三角格子配列にしたフォトニック結晶導波路を記載されているが、これは損失が多いものである。
【0012】
この発明は上記の問題点を解消するためになされたもので、第1の目的は、損失が少なく構成が簡単で安価な高周波導波路を提供することであり、第2の目的は損失が少なく構成が簡単な高周波導波路を簡単な工程で製造する製造方法を提供することである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る高周波用導波路は、誘電率の異なる複数の柱体が軸中心側の誘電率が低くなるように同心状に配設された所定の長さの誘電体棒が、この誘電体棒の軸中心が平面的な規則性を有するように複数層の層状に配設された第1の高周波反射壁と、この第1の高周波反射壁に誘電体を介して並行して対向するとともに、誘電率の異なる複数の柱体が軸中心側の誘電率が低くなるように同心状に配設された所定の長さの誘電体棒が、この誘電体棒の中心が平面的な規則性を有するように複数層の層状に配設された第2の高周波反射壁と、この第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の端面を介して互いに対向し、第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の両端面それぞれに結合された導体板と、を備えたもので、誘電体棒がフォトニック結晶構造を構成し、第1、第2の高周波反射壁が誘電体棒の軸方向に対して垂直な電界成分をもつ所定の周波数帯の高周波を全て反射し、放射損失が少なく伝送損失の少ない高周波用導波路とすることができる。
【0014】
さらに、誘電体棒を円柱状としたもので、誘電体棒の形状を簡単なものとし、第1、第2の高周波反射壁の構成を簡単な構成とすることができる。
【0015】
さらに、誘電体棒を中空状としたもので、誘電体棒の軸中心側の誘電率の低い材料を空気とすることで誘電体棒の構成を簡単にすることができる。
またさらに第1の高周波反射壁と第2の高周波反射壁との間の誘電体を空気としたもので、簡単な構成で伝送損失を少なくすることができる。
【0016】
さらに、第1、第2の高周波反射壁それぞれの最外層の誘電体棒の外側に金属壁をさらに配設したもので、金属壁により誘電体棒の軸方向に平行な電界成分をもつ高周波を反射することができる。
【0017】
さらに、金属壁を、誘電体棒と同じ長さの金属棒が誘電体棒に沿って配設された金属棒列で構成したもので、金属壁を誘電体棒に沿って配列しやすい簡単な構成にすることが出来る。
【0018】
またこの発明に係る高周波用導波路の製造方法は、誘電率の異なる複数の柱体が軸中心側において誘電率が低くなるように同心状に配設された所定の長さの誘電体棒を、この誘電体棒の中心が平面的な規則性を有する複数層の層状に積層し、第1、第2の高周波反射壁を形成する工程と、第1、第2の高周波反射壁を所定の間隔をおいて並行して対向させ、これら第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の端面を介して導体板を対向させ、第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の両端面それぞれに導体板を結合する工程と、を含むもので、放射損失が少なく伝送損失の少ない高周波用導波路を簡単な工程で製造することができる。
【0019】
さらに、第1、第2の高周波反射壁それぞれの最外層の誘電体棒の外側に金属壁を形成する工程をさらに含むもので、誘電体棒の軸方向に平行な電界成分をもつ高周波をも反射することができる高周波用導波路を簡単な工程で製造することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1はこの発明の一つの実施の形態に係る高周波用導波路の一部透過の部分斜視図である。図2は図1のII−II断面における高周波用導波路の部分断面図、図3は図1のIII−III断面における高周波用導波路の断面図である。
【0021】
図1において、10は高周波用導波路で、フォトニック・バンド結晶構造を用いた導波路で、マイクロ波、ミリ波、サブミリ波帯における電磁波を伝搬するための導波路である。12は第1の高周波反射壁としての第1誘電体壁、14は第2の高周波反射壁としての第2誘電体壁で、第1誘電体壁12および第2誘電体壁14はフォトニック・バンド結晶構造をなしている。
【0022】
16は所定の間隔をおいて並行して配設された第1誘電体壁12と第2誘電体壁14との間に挟まれた高周波伝搬領域である。この実施の形態1は、この高周波伝搬領域16は単なる空間で、誘電体としての空気16aに満たされているが、必ずしも空気16aでなくても良く誘電率の低い材料であれば、高周波を低損失で伝搬できる。
【0023】
18は第1誘電体壁12や第2誘電体壁14を構成する基本要素である誘電体棒としてのアルミナ円柱である。この実施の形態では中心が空気柱18aとその外側を取り巻くアルミナ円筒18bとから構成されている。中心側は、空気柱18aの替わりにアルミナ円筒18bより誘電率の低い材料の円柱を持ってきてもよい。つまり誘電率の低い中心側円柱の外側を誘電率の高い材料の円筒で同心円状に取り巻いた、複数層の層構造であれば良く、また必ずしも円柱でない他の断面形状を有する柱体でもよい。
【0024】
第1誘電体壁12や第2誘電体壁14はアルミナ円柱18を用いてフォトニック・バンド結晶構造を構成するために、アルミナ円柱18の軸中心が三角格子配列を構成するように3層に配列されている。このアルミナ円柱18の格子間隔は伝搬させる高周波の周波数によって適切な値が決定される。この格子配列は必ずしも三角格子配列でなくてもよく、6角格子配列など他の格子配列でも良い。また必ずしも3層である必要はなく、さらに層数を多くしても構わない。
【0025】
20は導体板としての金属板で、第1誘電体壁12および第2誘電体壁14を介して対向し、第1誘電体壁12および第2誘電体壁14を構成するアルミナ円柱18の両端で、金属板20それぞれが第1誘電体壁12および第2誘電体壁14と接着されている。図1において金属板20にハッチングを施しているのは断面を示すものではなく、2枚の金属板20と第1誘電体壁12や第2誘電体壁14との位置関係を明確にするためのものである。後に述べる図4においても同様である。
【0026】
図2において、矢印で示された寸法aは格子間隔を示す。
次に高周波用導波路10の製造方法の概略を説明する。
高周波の波長に対応したフォトニック・バンド結晶構造の格子間隔aと同じ直径をもち、所定の金属板20間隔に相当する高さの中空のアルミナ円柱18を用意し、高周波用導波路10の金属板20の平面形状に沿った形状にアルミナ円柱18の中心を並べ、アルミナ円柱18の外周を接すると共にアルミナ円柱18の両端を揃えて第1層のアルミナ円柱列を配列する。
【0027】
次に第1層のアルミナ円柱列を構成する隣接する二つのアルミナ円柱18に共に外周で接するように第2層のアルミナ円柱18を配列してゆくと第2層のアルミナ円柱列を構成するアルミナ円柱も互いに接する。この2層で少なくとも三角格子配列が構成される。
さらに第2層のアルミナ円柱列を構成する隣接する二つのアルミナ円柱18に共に外周で接するように第3層のアルミナ円柱18を配列して第3層のアルミナ円柱列を形成し、これらの第1層、第2層および第3層のアルミナ円柱列を接着材で接着する。これで第1誘電体壁12を形成する。
【0028】
次いで同様の方法で、第2誘電体壁14を形成し、第1誘電体壁12と第2誘電体壁14とを所定の間隔をあけて、誘電体壁を構成するアルミナ円柱18の円柱端面が金属板20に接するように配設し、金属板20と第1誘電体壁12、第2誘電体壁14とを接着し、さらにこの金属板20に第1誘電体壁12、第2誘電体壁14を介してもう一枚の金属板20を対向させ、この金属板20も第1誘電体壁12、第2誘電体壁14と接着する。
【0029】
また別の製造方法としては、誘電率の低い、例えば発泡スチロールのような材料で高周波伝搬領域16を形成し、この高周波伝搬領域16の両側に接して用意した中空のアルミナ円柱18を外周を接するように並べ、第1層のアルミナ円柱列を配列する。
次いで、第1層のアルミナ円柱列を構成する隣接する二つのアルミナ円柱18に共に外周で接するように第2層のアルミナ円柱18を配列してゆくと、第2層のアルミナ円柱列を構成するアルミナ円柱も各々互いに接した円柱列となり三角格子配列が形成される。
【0030】
さらに第2層のアルミナ円柱列を構成する隣接する二つのアルミナ円柱18に共に外周で接するように第3層のアルミナ円柱18を配列して第3層のアルミナ円柱列を形成する。
この様にして、高周波伝搬領域16に沿って、第1誘電体壁12および第2誘電体壁14を形成し、所定の導波路形状になるように高周波伝搬領域16第1誘電体壁12および第2誘電体壁14を整形し、接着剤で固着すると共に、第1誘電体壁12、第2誘電体壁14を介してもう二枚の金属板20を対向させ、この金属板20を第1誘電体壁12、第2誘電体壁14と接着する。
【0031】
これらの製造方法を採用することにより、伝送損失の少ない高周波用導波路を簡単な工程で製造することができる。
すなわちフォトニック・バンド結晶構造はアルミナ円柱18を配列することにより構成できるので製造方法が簡単である。マイクロ波、ミリ波、サブミリ波においては、フォトニック・バンド結晶構造の結晶格子間隔はmmオーダーとなるので、光のフォトニック・バンド結晶構造と異なり写真製版技術やエッチング技術を駆使する必要が無く、アルミナ円柱18を周期的に配列するだけでフォトニック・バンド結晶構造を製造することができ、数十cmや数mなどの長距離の高周波用導波路を容易に製造することができ、大量生産が可能となる。
【0032】
次に高周波用導波路10の動作について説明する。
高周波用導波路10の入力・出力部にはホーンが結合され、高周波が入・出力される。
高周波用導波路10の第1誘電体壁12および第2誘電体壁14は中空のアルミナ円柱18を三角格子配列に配列したフォトニック・バンド結晶構造をしている。従ってこの第1誘電体壁12および第2誘電体壁14では、フォトニック・バンド結晶構造に対応した周波数帯域の高周波の伝搬が禁止される。しかし高周波伝搬領域16では、フォトニック・バンド結晶構造が乱れた状態の欠陥部分に相当するため、この高周波伝搬領域16において入力された高周波が伝搬させられる。
【0033】
つまり、アルミナ円柱18の軸方向に対して垂直な電界成分をもつ平面電磁波に対しては、フォトニック・バンド結晶構造に対応した周波数帯域の高周波に対して全て反射し、高周波伝搬領域16に沿って高周波の電磁波は伝搬せざるを得ない。そしてこの高周波伝搬領域16は、空気のような誘電率の低い誘電体で満たされているので、高周波帯においても、伝送損失が小さくなる。
【0034】
また、従来あった誘電率の高い円柱の周りを誘電率の低い円柱で囲んだ誘電体棒を三角格子状に配列したI型導波路(仮にこの様に名付ける)と、この実施の形態1に示したような誘電率の低い円柱の周りを誘電率の高い円柱で囲んだ誘電体棒を構成要素としてフォトニック・バンド結晶構造を構成したII型導波路(仮にこの様に名付ける)とを比較すると、従来構成のI型導波路では、E波(電界の向きが誘電体棒の軸方向と同じ)に対してはギャップが開く、つまり伝搬しない周波数帯が存在するが、H波(電界の向きが誘電体棒の軸方向と直交する方向)にはギャップが開かない。このためI型導波路で高周波用導波路を形成しても伝送損失が大きくなる。
【0035】
これに対して、この実施の形態1に示したII型導波路では、E波、H波共にギャップが開き、さらに高周波用導波路10においてはフォトニック・バンド結晶構造の格子間隔に対応したある特定の周波数で、E波、H波共にギャップが開き伝送損失の少ない高周波用導波路を構成することができる。
【0036】
以上のようにこの実施の形態1の高周波用導波路は、第1誘電体壁12および第2誘電体壁14は中空のアルミナ円柱18の様な誘電体棒を基本要素として構成されるとともに、高周波伝搬領域16を誘電率の低い物質で構成したので、伝送損失を小さくできるとともに、簡単な工程で、また大量生産が可能となり、安価で伝送効率の良い高周波用導波路を構成することができる。
【0037】
実施の形態2.
図4はこの発明の他の一つの実施の形態に係る高周波用導波路の一部透過の部分斜視図である。図5は図4のV−V断面における高周波用導波路の部分断面図、図6は図4のVI−VI断面における高周波用導波路の断面図である。
図4において30は高周波用導波路、32は金属壁としての金属円柱列で、32aは金属円柱列32を構成する金属棒としての金属円柱である。この実施の形態2の金属円柱列32は、アルミナ円柱18と同じ直径、同じ長さの金属円柱32aを、第1誘電体壁12および第2誘電体壁14の外側に、第1誘電体壁12および第2誘電体壁14の最外層のアルミナ円柱18と三角格子配列をなすように配列されている。
【0038】
この高周波用導波路30の製造方法は実施の形態1の高周波用導波路10の製造方法と基本的に同じであり、第1誘電体壁12および第2誘電体壁14を形成する際、その最外層にアルミナ円柱18と三角格子配列を構成するように、金属円柱32aを一層設ければよい。
高周波伝搬領域16の両側に配設された第1誘電体壁12および第2誘電体壁14は、フォトニック・バンド結晶構造に対応した周波数帯域の高周波の伝搬が禁止される。すなわちアルミナ円柱18の軸方向に対して垂直な電界成分をもつ平面電磁波に対しては、フォトニック・バンド結晶構造に対応した周波数帯域の高周波に対して全て反射し、高周波伝搬領域16を伝搬せざるを得ない。
【0039】
しかしながら、高周波伝搬領域16を伝搬する高周波はアルミナ円柱18の軸方向に対して垂直方向の電界成分のみではなく、アルミナ円柱18の軸方向に平行な成分を持っておりこの成分は中空のアルミナ円柱18を通過することになる。
このアルミナ円柱18を通過する高周波成分を金属円柱32aで全て反射させることになる。このとき金属円柱列32には電流が流れて導体損となるが、これは周波数が高くなるにつれて減少するので、高い周波数ではそれほど問題にはならない。
【0040】
この実施の形態2では、金属壁として金属円柱列32を用いたが、他の形状の断面を有する金属柱列でも良いし、板状の金属壁でも良い。
すなわち、この実施の形態2の高周波導波路では、フォトニック・バンド結晶構造を構成するアルミナ円柱18の軸方向に対して垂直方向の電界成分のみならず、軸方向に平行な電界成分をも反射する低損失な導波路壁を設けることにより、高周波の漏れのない低損失な導波路を構成することができる。延いては安価で伝送効率の良い高周波用導波路を構成することができる。
【0041】
【発明の効果】
この発明に係る高周波用導波路およびその製造方法は以上に説明したような構成を備え、また工程を含んでいるので、以下のような効果を有する。
この発明に係る高周波用導波路においては、誘電率の異なる複数の柱体が軸中心側の誘電率が低くなるように同心状に配設された所定の長さの誘電体棒が、この誘電体棒の軸中心が平面的な規則性を有するように複数層の層状に配設された第1の高周波反射壁と、この第1の高周波反射壁に誘電体を介して並行して対向するとともに、誘電率の異なる複数の柱体が軸中心側の誘電率が低くなるように同心状に配設された所定の長さの誘電体棒が、この誘電体棒の中心が平面的な規則性を有するように複数層の層状に配設された第2の高周波反射壁と、この第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の端面を介して互いに対向し、第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の両端面それぞれに結合された導体板と、を備えたもので、誘電体棒がフォトニック結晶構造を構成し、第1、第2の高周波反射壁が誘電体棒の軸方向に対して垂直な電界成分をもつ所定の周波数帯の高周波を全て反射し、放射損失が少なく伝送損失の少ない高周波用導波路とすることができる。延いては簡単な構成で伝送損失が少なく安価な高周波用導波路を構成することができる。
【0042】
さらに、誘電体棒を円柱状としたもので、第1、第2の高周波反射壁の構成要素である誘電体棒の形状を簡単なものとすることができる。延いてはより簡単で安価な高周波用導波路を構成することができる。
【0043】
さらに、誘電体棒を中空状としたもので、誘電体棒の軸中心側の誘電率の低い材料を空気とすることで誘電体棒の構成を簡単にすることができる。延いては簡単な構成で安価な高周波用導波路を構成することができる。
またさらに第1の高周波反射壁と第2の高周波反射壁との間の誘電体を空気としたもので、簡単な構成で伝送損失を少なくすることができる。延いては簡単な構成で伝送損失が少なく安価な高周波用導波路を構成することができる。
【0044】
さらに、第1、第2の高周波反射壁それぞれの最外層の誘電体棒の外側に金属壁をさらに配設したもので、金属壁により誘電体棒の軸方向に平行な電界成分をもつ高周波を反射することが出来る。延いては高周波の漏れが少なく伝送効率の良い高周波用導波路を構成することができる。
【0045】
さらに、金属壁を、誘電体棒と同じ長さの金属棒が誘電体棒に沿って配設された金属棒列で構成したもので、金属壁を誘電体棒に沿って配列しやすい簡単な構成にすることが出来る。延いては安価で伝送効率の良い高周波用導波路を構成することができる。
【0046】
またこの発明に係る高周波用導波路の製造方法においては、誘電率の異なる複数の柱体が軸中心側において誘電率が低くなるように同心状に配設された所定の長さの誘電体棒を、この誘電体棒の中心が平面的な規則性を有する複数層の層状に積層し、第1、第2の高周波反射壁を形成する工程と、第1、第2の高周波反射壁を所定の間隔をおいて並行して対向させ、これら第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の端面を介して導体板を対向させ、第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の両端面それぞれに導体板を結合する工程と、を含むもので、放射損失が少なく伝送損失の少ない高周波用導波路を簡単な工程で製造することができる。延いては伝送特性の良い高周波用導波路を安価に提供することができる。
【0047】
さらに、第1、第2の高周波反射壁それぞれの最外層の誘電体棒の外側に金属壁を形成する工程をさらに含むもので、誘電体棒の軸方向に平行な電界成分をもつ高周波を反射することが出来る高周波用導波路を簡単な工程で製造することができる。延いては高周波の漏れが少なく伝送特性の良い高周波用導波路を安価に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施の形態に係る高周波用導波路の一部透過の部分斜視図である。
【図2】 この発明の一実施の形態に係る高周波用導波路の図1のII−II断面における部分断面図である。
【図3】 この発明の一実施の形態に係る高周波用導波路の図1のIII−III断面における断面図である。
【図4】 この発明の一つの実施の形態に係る高周波用導波路の一部透過の部分斜視図である。
【図5】 この発明の一実施の形態に係る高周波用導波路の図4のV−V断面における部分断面図である。
【図6】 この発明の一実施の形態に係る高周波用導波路の図4のVI−VI断面における断面図である。
【図7】 従来の高周波用導波路の一部透過の部分斜視図である。
【図8】 従来の高周波用導波路の図7のVIII−VIII断面における部分断面図である。
【図9】 従来の高周波用導波路の一部透過の部分斜視図である。
【図10】従来の高周波用導波路の図9のX−X断面における部分断面図である。
【図11】従来の高周波用導波路の図9のXI−XI断面における部分断面図である。
【符号の説明】
18 アルミナ円柱、 12 第1誘電体壁、 16a 空気、 14第2誘電体壁、 20 金属板、 32 金属円柱列、 32a 金属円柱。
Claims (8)
- 誘電率の異なる複数の柱体が軸中心側の誘電率が低くなるように同心状に配設された所定の長さの円柱状の外形を有する誘電体棒が、この誘電体棒の軸中心が平面的な規則性を有するように複数層の層状に配設された第1の高周波反射壁と、
この第1の高周波反射壁に上記柱体を構成する誘電体の最も高い誘電率よりも低い誘電率を有する誘電体を介して並行して対向するとともに、誘電率の異なる複数の柱体が軸中心側の誘電率が低くなるように同心状に配設された所定の長さの円柱状の外形を有する誘電体棒が、この誘電体棒の中心が平面的な規則性を有するように複数層の層状に配設された第2の高周波反射壁と、
この第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の端面を介して互いに対向し、上記第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の両端面それぞれに結合された導体板と、
を備えた高周波用導波路。 - 誘電体棒を中空状としたことを特徴とする請求項1記載の高周波用導波路。
- 第1の高周波反射壁と第2の高周波反射壁との間の誘電体が空気であることを特徴とした請求項1または2に記載の高周波用導波路。
- 第1、第2の高周波反射壁それぞれの最外層の誘電体棒の外側に金属壁をさらに配設したことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の高周波用導波路。
- 金属壁が誘電体棒と同じ長さの金属棒を上記誘電体棒に沿って配設した金属棒列で構成されたことを特徴とする請求項4記載の高周波用導波路。
- 誘電率の異なる複数の柱体が軸中心側において誘電率が低くなるように同心状に配設された所定の長さの円柱状の外形を有する誘電体棒を、この誘電体棒の中心が平面的な規則性を有する複数層の層状に積層し、第1、第2の高周波反射壁を形成する工程と、
第1、第2の高周波反射壁を、上記柱体を構成する誘電体の最も高い誘電率よりも低い誘電率を有する誘電体を介して並行して対向させ、これら第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の端面を介して導体板を対向させ、上記第1、第2の高周波反射壁を構成する誘電体棒の両端面それぞれに上記導体板を結合する工程と、
を含む高周波用導波路の製造方法。 - 第1、第2の高周波反射壁それぞれの最外層の誘電体棒の外側に金属壁を形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項6記載の高周波用導波路の製造方法。
- 金属壁を、誘電体棒と同じ長さの金属棒を上記誘電体棒に沿って配設し、金属棒列で形成することを特徴とする請求項7記載の高周波用導波路。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001253537A JP4658405B2 (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | 高周波用導波路とその製造方法 |
TW090125451A TW522266B (en) | 2001-08-23 | 2001-10-15 | High frequency waveguide and its production method |
KR10-2001-0072848A KR100407750B1 (ko) | 2001-08-23 | 2001-11-22 | 고주파용 도파로 및 그 제조방법 |
US10/067,286 US6917263B2 (en) | 2001-08-23 | 2002-02-07 | High-frequency waveguide with columnar bodies and reflecting walls and method of manufacturing the waveguide |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001253537A JP4658405B2 (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | 高周波用導波路とその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003069312A JP2003069312A (ja) | 2003-03-07 |
JP4658405B2 true JP4658405B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=19081848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001253537A Expired - Lifetime JP4658405B2 (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | 高周波用導波路とその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6917263B2 (ja) |
JP (1) | JP4658405B2 (ja) |
KR (1) | KR100407750B1 (ja) |
TW (1) | TW522266B (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100441507B1 (ko) * | 2002-05-06 | 2004-07-23 | 삼성전자주식회사 | 포토닉 결정구조 |
GB2390230B (en) | 2002-06-07 | 2005-05-25 | Murata Manufacturing Co | Applications of a three dimensional structure |
US8022793B2 (en) * | 2008-11-25 | 2011-09-20 | The Boeing Company | Sandwich vehicle structure having integrated electromagnetic radiation pathways |
KR101874694B1 (ko) | 2016-03-28 | 2018-07-04 | 한국과학기술원 | 전자기파 신호 전송을 위한 도파관 |
WO2018063342A1 (en) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | Rawlings Brandon M | Co-extrusion of multi-material sets for millimeter-wave waveguide fabrication |
US10461388B2 (en) | 2016-12-30 | 2019-10-29 | Intel Corporation | Millimeter wave fabric network over dielectric waveguides |
DE112021003953T5 (de) * | 2020-07-27 | 2023-06-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Photonisches Kristallelement |
CN112198679B (zh) * | 2020-09-18 | 2021-12-03 | 电子科技大学 | 一种用于二维光子晶体材料自旋磁场激励的电磁装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001188139A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-10 | Minolta Co Ltd | 光モジュール |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5187461A (en) * | 1991-02-15 | 1993-02-16 | Karl Brommer | Low-loss dielectric resonator having a lattice structure with a resonant defect |
JP3686736B2 (ja) * | 1996-08-30 | 2005-08-24 | 京セラ株式会社 | 誘電体導波管線路および配線基板 |
JPH10224120A (ja) * | 1997-02-06 | 1998-08-21 | Murata Mfg Co Ltd | 誘電体線路 |
JPH11218627A (ja) * | 1998-02-02 | 1999-08-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | フォトニック結晶導波路およびその製造方法 |
JP3407693B2 (ja) | 1999-06-09 | 2003-05-19 | 日本電気株式会社 | フォトニック結晶 |
-
2001
- 2001-08-23 JP JP2001253537A patent/JP4658405B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-15 TW TW090125451A patent/TW522266B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-11-22 KR KR10-2001-0072848A patent/KR100407750B1/ko active IP Right Grant
-
2002
- 2002-02-07 US US10/067,286 patent/US6917263B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001188139A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-10 | Minolta Co Ltd | 光モジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030038690A1 (en) | 2003-02-27 |
JP2003069312A (ja) | 2003-03-07 |
US6917263B2 (en) | 2005-07-12 |
KR20030017294A (ko) | 2003-03-03 |
KR100407750B1 (ko) | 2003-12-01 |
TW522266B (en) | 2003-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6281769B1 (en) | Electromagnetic transmission line elements having a boundary between materials of high and low dielectric constants | |
US3386787A (en) | Macroscopic optical waveguides | |
Hu et al. | Realization of ultrathin waveguides by elastic metagratings | |
JP3692354B2 (ja) | 電磁波周波数フィルタ | |
JP6112708B2 (ja) | メタマテリアル | |
JP5272173B2 (ja) | 2次元フォトニック結晶 | |
JP5304035B2 (ja) | バンドパスフィルタおよびバンドパスフィルタ用フォトニック結晶の製造方法 | |
WO2000010040A1 (en) | Composite photonic crystals | |
JP4658405B2 (ja) | 高周波用導波路とその製造方法 | |
WO2007074876A1 (ja) | 導波路の結合構造 | |
WO2009087825A1 (ja) | フォトニック結晶体 | |
JP2002365599A (ja) | 共振スタブチューナを備えたスラブ型フォトニック結晶導波路 | |
CN101682123A (zh) | 带有具有滤波涂层的谐振器的天线和包括该天线的*** | |
Song et al. | Ultracompact photonic circuits without cladding layers | |
KR20060123706A (ko) | 2차원 포토닉 결정 공진기 | |
JPWO2006088155A1 (ja) | 誘電体多層周期構造体 | |
CN115032742A (zh) | 一种菱圆混合型一维光子晶体纳米梁微腔结构 | |
JP2713358B2 (ja) | ピルボックス型光共振器の波長選択フィルタ | |
JP2004045709A (ja) | 結合光導波路 | |
JP2004505309A (ja) | 光学導波管フィルタ | |
JPH0549201B2 (ja) | ||
JPH11355010A (ja) | 導波管型帯域通過フィルタ | |
CN115144962A (zh) | 电磁波传输结构、器件及光芯片 | |
Zhou | Study of left-handed materials | |
JPH04150401A (ja) | モード結合型方向性結合器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080603 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100316 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101221 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101224 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4658405 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |