JP4658262B2 - 液体供給システム - Google Patents
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Description
前記複数の分岐通路を個別に開閉して当該分岐通路における液体の流通を許可又は禁止する一方、前記各分岐通路の分岐点の上流側又は下流側で圧力検出手段(圧力センサ33)により検出した液体圧力が目標値に一致するよう圧力調整用アクチュエータ(リリーフ弁31、電空レギュレータ32等)の操作により圧力フィードバック制御を実施する液体供給システムであって、
前記複数の分岐通路を介しての液体の流通状況を監視する監視手段(コントローラ35)と、
前記監視手段による監視結果に基づいて前記圧力フィードバック制御における制御態様を変更する制御態様変更手段(コントローラ35)と、
を備えたことを特徴とする液体供給システム。
前記制御態様変更手段は、前記分岐通路の開放数に基づいて前記圧力フィードバック制御における制御態様を変更することを特徴とする手段1に記載の液体供給システム。
前記圧力検出手段により前記リリーフ弁の一次側圧力を検出し、該検出した一次側圧力と目標とする圧力との偏差に基づいて前記パイロット圧調整手段によるパイロット圧を制御することを特徴とする手段1乃至4のいずれかに記載の液体供給システム。
前記圧力検出手段により前記圧力調整弁の二次側圧力を検出し、該検出した二次側圧力と目標とする圧力との偏差に基づいて前記パイロット圧調整手段によるパイロット圧を制御することを特徴とする手段1乃至4のいずれかに記載の液体供給システム。
液体を流通させる液体通路(供給ライン12)と、該液体通路の途中に設けられ前記液体を圧送する圧送手段(ポンプ13)と、前記液体通路から分岐させて設けられた複数の分岐通路(分岐ラインLN1〜LNn)とを備え、前記複数の分岐通路を個別に開閉して当該分岐通路における液体の流通を許可又は禁止するようにした液体供給システムにおいて、
前記各分岐通路の分岐点の下流側に設けられたパイロット作動式のリリーフ弁(リリーフ弁31)と、
該リリーフ弁に作用するパイロット圧を調整するパイロット圧調整手段(電空レギュレータ32)と、
前記リリーフ弁の一次側圧力を検出する圧力検出手段(圧力センサ33)と、
前記圧力検出手段により検出したリリーフ弁の一次側圧力と目標とする圧力との偏差に基づいて前記パイロット圧調整手段によるパイロット圧を制御する制御手段(コントローラ35)と、
を備えたことを特徴とする液体供給システム。
以下、本発明を具体化した第1の実施の形態を図面に従って説明する。本実施の形態における液体供給システムの概要を図1に基づいて説明する。図1の液体供給システムは、一例として、半導体製品や化学薬品等の製造時において複数の洗浄装置(ユースポイント)に洗浄液を分配供給するためのシステムを想定したものである。
上記実施の形態では、供給ライン12において各分岐ラインLN1〜LNnの下流側に圧力制御部30を設けたが、これを図5のように変更する。図5では、供給ライン12において各分岐ラインLN1〜LNnの分岐点よりも上流側に圧力制御部60を設けている。圧力制御部60は、供給ライン12上に設けられるパイロット作動式のレギュレータ61と、該レギュレータ61に供給する操作エアの圧力(パイロット圧)を調整する電空レギュレータ62と、供給ライン12の液体圧力(レギュレータ61の二次側圧力)を検出する圧力センサ63と、CPUや各種メモリ等を有するマイクロコンピュータよりなるコントローラ65とを具備している。
Claims (6)
- 液体を流通させる液体通路と、該液体通路の途中に設けられ前記液体を圧送する圧送手段と、前記液体通路から分岐させて設けられた複数の分岐通路とを備え、
前記複数の分岐通路を個別に開閉して当該分岐通路における液体の流通を許可又は禁止する一方、前記各分岐通路の分岐点の上流側又は下流側で圧力検出手段により検出した液体圧力が目標値に一致するよう圧力調整用アクチュエータの操作により圧力フィードバック制御を実施する液体供給システムであって、
前記複数の分岐通路を介しての液体の流通状況を監視する監視手段と、
前記監視手段による監視結果に基づいて前記圧力フィードバック制御における制御態様を変更する制御態様変更手段と、
を備えたことを特徴とする液体供給システム。 - 前記監視手段は、分岐通路ごとの通路開閉情報に基づいて当該分岐通路の開放数を求め、
前記制御態様変更手段は、前記分岐通路の開放数に基づいて前記圧力フィードバック制御における制御態様を変更することを特徴とする請求項1に記載の液体供給システム。 - 前記制御態様変更手段は、前記監視手段による監視結果に基づいて、前記圧力フィードバック制御で用いるフィードバックゲインを可変設定することを特徴とする請求項1又は2に記載の液体供給システム。
- 前記制御態様変更手段は、前記分岐通路の開放数に対応する複数のフィードバックゲインをあらかじめ設定しておき、都度の分岐通路の開放数に基づいて前記フィードバックゲインを選択的に用いることを特徴とする請求項3に記載の液体供給システム。
- 前記圧力調整用アクチュエータとして、前記液体通路において各分岐通路の分岐点よりも下流側にパイロット作動式のリリーフ弁を設けるとともに、該リリーフ弁に作用するパイロット圧を調整するパイロット圧調整手段を設け、
前記圧力検出手段により前記リリーフ弁の一次側圧力を検出し、該検出した一次側圧力と目標とする圧力との偏差に基づいて前記パイロット圧調整手段によるパイロット圧を制御することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の液体供給システム。 - 前記圧力調整用アクチュエータとして、前記液体通路において各分岐通路の分岐点よりも上流側にパイロット作動式の圧力調整弁を設けるとともに、該圧力調整弁に作用するパイロット圧を調整するパイロット圧調整手段を設け、
前記圧力検出手段により前記圧力調整弁の二次側圧力を検出し、該検出した二次側圧力と目標とする圧力との偏差に基づいて前記パイロット圧調整手段によるパイロット圧を制御することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の液体供給システム。
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