JP4654104B2 - Ceramic package - Google Patents
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Description
本発明は、表面側メタライズ層にロウ材層を介してロウ付けされたシールリングを備え、そのシールリング上にメタルリッドが固着可能なセラミックパッケージに関する。 The present invention relates to a ceramic package including a seal ring brazed to a surface side metallized layer via a brazing material layer, and a metal lid can be fixed on the seal ring.
従来、半導体素子や、水晶振動子、水晶発振器、圧電振動子、表面弾性波フィルタなどの電子部品素子を収容するための小型のセラミックパッケージが各種提案されている。具体的には、図17に示すようなセラミックパッケージ111が挙げられる。この種のセラミックパッケージ111はキャビティ112を有しており、素子113はそのキャビティ112の底面に実装される。また、セラミックパッケージ111におけるキャビティ112の外周部の上面にはメタライズ層114が設けられ、そのメタライズ層114上にはロウ材層116を介してシールリング117がロウ付けされる。さらに、シールリング117上にはメタルリッド118が固着される。つまり、キャビティ112の外周部は、キャビティ112の内外の連通を遮断するためのシール部分として機能する。
Conventionally, various types of small ceramic packages for housing electronic component elements such as semiconductor elements, crystal oscillators, crystal oscillators, piezoelectric oscillators, and surface acoustic wave filters have been proposed. Specifically, there is a
ところで、メタルリッド118は、例えばシーム溶接法(シームウェルディング法)を用いることにより、セラミックパッケージ111のシールリング117上に固着される。しかし、シーム溶接法は、セラミックパッケージ111の抵抗値とメタルリッド118の抵抗値との組み合わせに左右されやすく、その組み合わせ如何によっては、メタルリッド118の固着が困難になる場合があった。例えば、ロウ材層116の体積を増やしてセラミックパッケージ111全体の抵抗値を下げることにより、上記の抵抗値の組み合わせを最適化する技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。具体的には、メタライズ層114を凸形状にすることに伴い、メタライズ層114上に形成されるロウ材層116の体積を増加させている(図17参照)。
ところが、セラミックパッケージ111は、年々小型化(例えば、縦2.0mm×横1.6mm)されつつある。これにより、上記特許文献1に記載の従来技術を用いたとしても、ロウ材層116の体積はあまり増加しないため、セラミックパッケージ111全体の抵抗値を十分に下げることができない。ゆえに、シールリング117上にメタルリッド118を固着することが困難になる。たとえ、メタルリッド118をシールリング117上に固着できたとしても、メタルリッド118−シールリング117間にはクラックが生じやすいため、歩留まりの低下に繋がりやすい。
However, the
また、セラミックパッケージ111の小型化に伴って、ロウ材層116とメタライズ層114との接触面積も小さくなる。このため、シーム溶接を行う際などに、ロウ材層116−メタライズ層114間にクラックが生じ、歩留まりの低下に繋がる可能性がある。
Further, as the
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、メタルリッドをシールリング上に確実に固着させることができるセラミックパッケージを提供することにある。また、本発明の別の目的は、クラックの発生を防止することが可能なセラミックパッケージを提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a ceramic package that can securely fix a metal lid on a seal ring. Another object of the present invention is to provide a ceramic package capable of preventing the occurrence of cracks.
上記課題を解決するための手段(手段1)としては、基板表面にて開口するキャビティを有するセラミック基板と、前記基板表面上にて前記キャビティを包囲するように形成された表面側メタライズ層と、前記表面側メタライズ層上に形成されたロウ材層と、前記ロウ材層を介して前記表面側メタライズ層にロウ付けされたシールリングとを備え、メタルリッドが前記シールリング上にシーム溶接法により固着可能なセラミックパッケージにおいて、前記セラミック基板の側面に凹部が配置され、前記凹部の表面に形成されたメタライズ導体部が前記表面側メタライズ層に導通する一方で前記セラミック基板における前記表面側メタライズ層以外の導体から絶縁されるとともに、前記メタライズ導体部上にも前記ロウ材層が形成されていることを特徴とするセラミックパッケージがある。 Means for solving the above problems (means 1) include a ceramic substrate having a cavity opened on the substrate surface, a surface side metallization layer formed on the substrate surface so as to surround the cavity, A brazing material layer formed on the surface side metallization layer, and a seal ring brazed to the surface side metallization layer via the brazing material layer, and a metal lid is formed on the seal ring by a seam welding method. In the fixable ceramic package, a concave portion is disposed on a side surface of the ceramic substrate, and a metallized conductor formed on the surface of the concave portion is electrically connected to the surface-side metallized layer, while other than the surface-side metallized layer in the ceramic substrate. The brazing material layer is also formed on the metallized conductor portion. There is a ceramic package characterized by.
従って、この手段1のパッケージによると、セラミック基板の側面に凹部を配置し、表面側メタライズ層上だけでなく、凹部の表面に形成されたメタライズ導体部上にもロウ材層を形成することにより、ロウ材層の体積が増加する。これにより、セラミックパッケージ全体の抵抗値を十分に下げることができ、セラミックパッケージ全体の抵抗値とメタルリッドの抵抗値との組み合わせを最適化することができる。よって、メタルリッドをシールリング上に確実に固着させることができる。 Therefore, according to the package of this means 1, the concave portion is disposed on the side surface of the ceramic substrate, and the brazing material layer is formed not only on the surface side metallized layer but also on the metallized conductor portion formed on the surface of the concave portion. The volume of the brazing material layer increases. Thereby, the resistance value of the entire ceramic package can be sufficiently lowered, and the combination of the resistance value of the entire ceramic package and the resistance value of the metal lid can be optimized. Therefore, the metal lid can be securely fixed on the seal ring.
しかも、メタルリッドがシールリング上に確実に固着されることにより、メタルリッドとシールリングとの接合部に対するクラックの発生を防止できる。また、凹部を配置することで、ロウ材層とメタライズ層(表面側メタライズ層、メタライズ導体部)との接触面積が大きくなるため、両者が確実に接合される。従って、ロウ材層とメタライズ層との接合部に対するクラックの発生を防止できる。ゆえに、セラミックパッケージの歩留まりの低下を防止できる。 In addition, since the metal lid is securely fixed on the seal ring, it is possible to prevent the occurrence of cracks at the joint between the metal lid and the seal ring. Moreover, since the contact area between the brazing material layer and the metallized layer (surface-side metallized layer, metallized conductor) is increased by disposing the concave portion, both are reliably bonded. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of cracks at the joint between the brazing material layer and the metallized layer. Therefore, it is possible to prevent a decrease in the yield of the ceramic package.
また、メタライズ導体部がセラミック基板における表面側メタライズ層以外の導体から絶縁されている。よって、完成後の使用時において、表面側メタライズ層以外の導体を流れる電流がメタライズ導体部や表面側メタライズ層に流れることを防止できるため、これに起因したセラミックパッケージの性能低下を防止できる。 Further, the metallized conductor portion is insulated from conductors other than the surface side metallized layer in the ceramic substrate. Therefore, in use after completion, current flowing through a conductor other than the surface-side metallized layer can be prevented from flowing into the metallized conductor part and the surface-side metallized layer, and therefore the performance degradation of the ceramic package due to this can be prevented.
手段1のパッケージを構成するセラミック基板の好適例としては、アルミナ、ベリリア、窒化アルミニウム、窒化ほう素、窒化珪素、低温焼成セラミックなどを主体とするセラミック多層基板などを挙げることができる。上記セラミック基板は、例えば基板表面及び基板裏面を有する略板状の部材であって、その基板表面側にはキャビティが形成されている。
Preferable examples of the ceramic substrate constituting the package of
キャビティは平面視略矩形状であって、当該キャビティの底面には1つまたは2つ以上の素子が搭載可能になっている。前記素子としては、例えば、半導体素子や、水晶発振子、圧電振動子、表面弾性波フィルタ素子などが挙げられる。 The cavity has a substantially rectangular shape in plan view, and one or more elements can be mounted on the bottom surface of the cavity. Examples of the element include a semiconductor element, a crystal oscillator, a piezoelectric vibrator, and a surface acoustic wave filter element.
ここで、前記セラミック基板の最大辺の長さを2mm以下とし、前記キャビティの開口縁の幅を0.4mm以下とすれば、ロウ材層の体積が小さくなるため、メタルリッドをシールリング上に固着しにくいという課題が顕著になる。この場合、凹部を配置してロウ材層の体積を大きくすることによる効果が大きくなる。 Here, if the length of the maximum side of the ceramic substrate is set to 2 mm or less and the width of the opening edge of the cavity is set to 0.4 mm or less, the volume of the brazing material layer is reduced, so that the metal lid is placed on the seal ring. The problem that it is difficult to adhere becomes prominent. In this case, the effect of increasing the volume of the brazing material layer by arranging the recesses is increased.
なお、前記ロウ材層を形成するための材料は、表面側メタライズ層やメタライズ導体部を形成する材料よりも導電性が高いことが好ましく、例えば銀ロウ材や銅ロウ材などが挙げられるが、特には銀ロウ材が好適である。銀ロウ材は、銅などの他の金属に比べて電気抵抗が小さいため、ロウ材層、ひいてはセラミックパッケージ全体の抵抗値を下げやすいからである。銀ロウ材とは、銀(Ag)を主成分として、これに銅(Cu)、亜鉛(Zn)などの金属を加えた合金のことを指す。銅ロウ材とは、銅(Cu)を主成分として、これに銀(Ag)、亜鉛(Zn)などの金属を加えた合金のことを指す。ちなみに、銀ロウ材及び銅ロウ材以外のロウ材としては、金ロウ材、ニッケルロウ材、アルミニウムロウ材などがあるが、これらのロウ材をロウ材層形成用の金属材として用いることも可能である。あるいは、低融点のロウ材であるはんだをロウ材層形成用の金属材として用いることも可能である。 The material for forming the brazing material layer preferably has higher conductivity than the material for forming the surface side metallized layer or the metallized conductor, and examples thereof include a silver brazing material and a copper brazing material. In particular, silver brazing material is suitable. This is because the silver brazing material has a lower electrical resistance than other metals such as copper, and therefore it is easy to lower the resistance value of the brazing material layer, and thus the entire ceramic package. The silver brazing material refers to an alloy in which silver (Ag) is a main component and a metal such as copper (Cu) or zinc (Zn) is added thereto. The copper brazing material refers to an alloy containing copper (Cu) as a main component and a metal such as silver (Ag) or zinc (Zn) added thereto. Incidentally, there are gold brazing material, nickel brazing material, aluminum brazing material, etc. as brazing materials other than silver brazing material and copper brazing material, but these brazing materials can also be used as metal materials for brazing material layer formation. It is. Alternatively, it is also possible to use solder, which is a low melting point brazing material, as the metal material for forming the brazing material layer.
また、キャビティの側面には、例えば、凹部の表面上にメタライズ導体部を設けた構造のキャスタレーションが形成されている。前記凹部は、溝形状であり、セラミック基板の外周部に配置されている。前記凹部は、セラミック基板の外周部に単数配置されていてもよいが、複数個配置されていることが好ましい。このように構成すれば、ロウ材層の体積がよりいっそう増加するため、セラミックパッケージ全体の抵抗値をより確実に下げることができ、メタルリッドをシールリング上に確実に固着できる。 Further, on the side surface of the cavity, for example, a castellation having a structure in which a metallized conductor portion is provided on the surface of the concave portion is formed. The concave portion has a groove shape and is disposed on the outer peripheral portion of the ceramic substrate. A single recess may be disposed on the outer peripheral portion of the ceramic substrate, but a plurality of recesses are preferably disposed. With this configuration, the volume of the brazing material layer is further increased, so that the resistance value of the entire ceramic package can be more reliably lowered, and the metal lid can be securely fixed onto the seal ring.
なお、表面側メタライズ層及びメタライズ導体部は、金属粉末を含む導体ペーストを従来周知の手法、例えばメタライズ印刷法で塗布した後に焼成することにより、形成される。同時焼成法によって表面側メタライズ層、メタライズ導体部及びセラミック基板を形成する場合、表面側メタライズ層及びメタライズ導体部中の金属粉末は、セラミック基板の焼成温度よりも高融点である必要がある。例えば、セラミック基板がいわゆる高温焼成セラミック(例えばアルミナ等)からなる場合には、表面側メタライズ層中及びメタライズ導体部中の金属粉末として、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、マンガン(Mn)等やそれらの合金が選択可能である。セラミック基板がいわゆる低温焼成セラミック(例えばガラスセラミック等)からなる場合には、表面側メタライズ層中及びメタライズ導体部中の金属粉末として、銅(Cu)、銀(Ag)等やそれらの合金が選択可能である。 The surface-side metallized layer and the metallized conductor portion are formed by applying a conductive paste containing metal powder by a conventionally well-known method, for example, a metallized printing method and then baking. When forming a surface side metallized layer, a metallized conductor part, and a ceramic substrate by the simultaneous firing method, the metal powder in the surface side metallized layer and the metallized conductor part needs to have a melting point higher than the firing temperature of the ceramic substrate. For example, when the ceramic substrate is made of a so-called high-temperature fired ceramic (for example, alumina), tungsten (W), molybdenum (Mo), manganese (Mn), etc. are used as the metal powder in the surface-side metallized layer and metallized conductor. And their alloys can be selected. When the ceramic substrate is made of a so-called low-temperature fired ceramic (for example, glass ceramic), copper (Cu), silver (Ag), or an alloy thereof is selected as the metal powder in the surface-side metallized layer and metallized conductor. Is possible.
また、前記表面側メタライズ層は2層構造であり、上側の層の幅は、下側の層の幅よりも狭いことが好ましい。このように構成すれば、上側の層の両側にロウ材層を形成できる領域が存在するため、その分だけロウ材層のボリュームを増やすことができる。よって、セラミックパッケージ全体の抵抗値を容易に下げることができる。なお、ロウ材層は、シート状に形成されたロウ材シート、または、ボール状のロウ材を所定箇所に配置し、炉内で加熱して溶かすことで形成される。 The surface-side metallized layer preferably has a two-layer structure, and the width of the upper layer is preferably narrower than the width of the lower layer. With this configuration, since there is a region where the brazing material layer can be formed on both sides of the upper layer, the volume of the brazing material layer can be increased accordingly. Therefore, the resistance value of the entire ceramic package can be easily reduced. The brazing material layer is formed by placing a brazing material sheet formed in a sheet shape or a ball-shaped brazing material at a predetermined location and heating and melting it in a furnace.
なお、メタライズ導体部は、前記セラミック基板における前記表面側メタライズ層以外の導体から絶縁されている。ここで、前記セラミック基板における前記表面側メタライズ層以外の導体としては、例えば、キャビティの底面に設けられたメタライズ層からなる素子搭載部、パッケージ内部に設けられたメタライズ層からなる内層導体パターン、パッケージの主面と反対側の面に設けられたメタライズ層からなるパッド、素子搭載部と内層導体パターンとを接続するビア導体、内層導体パターンとパッドとを接続するビア導体などを挙げることができる。 In addition, the metallized conductor part is insulated from conductors other than the surface side metallized layer in the ceramic substrate. Here, as the conductor other than the surface-side metallization layer in the ceramic substrate, for example, an element mounting portion made of a metallization layer provided on the bottom surface of the cavity, an inner layer conductor pattern made of a metallization layer provided inside the package, a package And a pad made of a metallized layer provided on the surface opposite to the main surface, a via conductor connecting the element mounting portion and the inner layer conductor pattern, a via conductor connecting the inner layer conductor pattern and the pad, and the like.
上記課題を解決するための別の手段(手段2)としては、基板表面にて開口するキャビティを有するセラミック基板と、前記基板表面上にて前記キャビティを包囲するように形成された表面側メタライズ層と、前記表面側メタライズ層上に形成されたロウ材層と、前記ロウ材層を介して前記表面側メタライズ層にロウ付けされたシールリングとを備え、メタルリッドが前記シールリング上にシーム溶接法により固着可能なセラミックパッケージにおいて、前記キャビティの側壁面上にメタライズ導体部が設置され、前記メタライズ導体部が前記表面側メタライズ層に導通する一方で前記セラミック基板における前記表面側メタライズ層以外の導体から絶縁されるとともに、前記メタライズ導体部上にも前記ロウ材層が形成されていることを特徴とするセラミックパッケージがある。 As another means (means 2) for solving the above problems, a ceramic substrate having a cavity opened on the substrate surface, and a surface-side metallization layer formed so as to surround the cavity on the substrate surface And a brazing material layer formed on the surface side metallization layer, and a seal ring brazed to the surface side metallization layer via the brazing material layer, and a metal lid is seam welded onto the seal ring In a ceramic package that can be fixed by a method, a metallized conductor is disposed on a side wall surface of the cavity, and the metallized conductor is electrically connected to the surface-side metallized layer, while a conductor other than the surface-side metallized layer in the ceramic substrate. The brazing material layer is also formed on the metallized conductor portion. There is a ceramic package to be.
従って、この手段2のパッケージによると、表面側メタライズ層上だけでなく、セラミック基板の側壁面上に設置されたメタライズ導体部上にもロウ材層を形成することにより、ロウ材層の体積が増加する。これにより、セラミックパッケージ全体の抵抗値を十分に下げることができ、セラミックパッケージ全体の抵抗値とメタルリッドの抵抗値との組み合わせを最適化することができる。よって、メタルリッドをシールリング上に確実に固着させることができる。
Therefore, according to the package of the
しかも、メタルリッドがシールリング上に確実に固着されることにより、メタルリッドとシールリングとの接合部に対するクラックの発生を防止できる。ゆえに、セラミックパッケージの歩留まりの低下を防止できる。 In addition, since the metal lid is securely fixed on the seal ring, it is possible to prevent the occurrence of cracks at the joint between the metal lid and the seal ring. Therefore, it is possible to prevent a decrease in the yield of the ceramic package.
また、メタライズ導体部がセラミック基板における表面側メタライズ層以外の導体から絶縁されている。よって、完成後の使用時において、表面側メタライズ層以外の導体を流れる電流がメタライズ導体部や表面側メタライズ層に流れることを防止できるため、これに起因したセラミックパッケージの性能低下を防止できる。 Further, the metallized conductor portion is insulated from conductors other than the surface side metallized layer in the ceramic substrate. Therefore, at the time of use after completion, it is possible to prevent a current flowing through a conductor other than the surface side metallized layer from flowing into the metallized conductor part or the surface side metallized layer, thereby preventing the performance of the ceramic package from being deteriorated.
[第1の実施形態] [First Embodiment]
以下、本発明を具体化した実施形態のセラミックパッケージ10及びその製造方法を図1〜図14に基づき説明する。
Hereinafter, a
図1〜図3に示されるように、本実施形態のセラミックパッケージ10は、SAWフィルタ等に代表される電子部品素子21を実装するための装置である。このセラミックパッケージ10を構成するセラミック基板11は、上面12(基板表面)及び下面13を有し、縦2.0mm×横1.65mm×高さ0.51mmの矩形平板状をなす部材である。このセラミック基板11は、上側セラミック焼結層14、中間セラミック焼結層15及び下側セラミック焼結層16からなる3層構造を有している。本実施形態において、上側セラミック焼結層14、中間セラミック焼結層15及び下側セラミック焼結層16は、いずれもアルミナ焼結体からなる。なお、本実施形態では3層構造としたが、2層構造を採用しても構わないし、4層以上の多層構造を採用しても構わない。
As shown in FIGS. 1 to 3, the
このセラミック基板11は、上面12において開口するキャビティ22を備えている。本実施形態のキャビティ22は平面視で略矩形状を呈している。キャビティ22の外形寸法は、セラミック基板11の外形寸法の50%〜90%程度に設定されており、本実施形態ではセラミック基板11の外形寸法の63%程度に設定されている。従って、キャビティ22の開口縁の幅は、0.1mm〜0.4mm程度に設定される。また、キャビティ22の深さは上側セラミック焼結層14の厚さ分に相当している。キャビティ22の底面における2箇所には、タングステン等のような高融点金属のメタライズ層からなる素子搭載部23が形成されている。電子部品素子21は、これらの素子搭載部23上にAgエポキシ樹脂やAg−Si樹脂を用いて接着される。なお、電子部品素子21は、素子搭載部23上にAu−Au接合によって接合されていてもよい。また、中間セラミック焼結層15において素子搭載部23に対応した箇所には、タングステンを主体とするビア導体18が形成されている。中間セラミック焼結層15と下側セラミック焼結層16との界面には、タングステンを主体とするメタライズ層からなる内層導体パターン28が形成されていて、それら内層導体パターン28はビア導体18の下端に対してそれぞれ電気的に接続されている。
The
図1に示されるように、下側セラミック焼結層16において内層導体パターン28に対応した箇所にも、タングステンを主体とするビア導体18が形成されている。セラミック基板11における下面13の外周部には、メタライズ層からなるパッド27が複数個設けられていて、それらパッド27は下側セラミック焼結層16のビア導体18の下端に対してそれぞれ電気的に接続されている。これらのパッド27は、セラミックパッケージ10を図示しない他の基板上に実装する際に、複数の基板側端子に対して接合される。
As shown in FIG. 1, via
図1〜図3に示されるように、セラミック基板11におけるキャビティ22の外周部には、上面12上にてキャビティ22を包囲する表面側メタライズ層41が形成されている。表面側メタライズ層41は、上側の層42と下側の層43とからなる2層構造をなしている(図3参照)。上側の層42の幅は、下側の層43の幅よりも狭く、下側の層43の幅の1/2程度の大きさに設定されている。上側の層42の一端及び下側の層43の一端は、キャビティ22の側壁面102と面一になっている。この表面側メタライズ層41上には、図示しないめっき層と、ロウ材層としての銀ロウ層29とが形成されるとともに、その銀ロウ層29を介して金属製のシールリング25がロウ付けされている。なお、銀ロウ層29は、シールリング25の下端部の内側(キャビティ22側)及び外側(セラミック基板11の側面17側)で僅かに膨らんでおり、フィレットを形成している。そして、シールリング25上には、キャビティ22を塞ぐためのメタルリッド26がシームウェルディング法(シーム溶接法)により固着されている。メタルリッド26は、例えばNi−Fe合金(コバール(登録商標)など)によって形成されている。つまり、キャビティ22の外周部は、キャビティ22内外の連通を遮断するためのシール部分として機能するようになっている。
As shown in FIGS. 1 to 3, a surface-
図1〜図3に示されるように、このセラミックパッケージ10は、セラミック基板11の側面17(外周面)にキャスタレーション31を複数個備えている。キャスタレーション31の深さは、前記上側セラミック焼結層14の厚さ分に相当している。キャスタレーション31は、円弧状の溝形状をなす凹部32を有しており、凹部32の表面上には、メタライズ層からなるメタライズ導体部33が形成されている。メタライズ導体部33は、表面側メタライズ層41に接続されており、表面側メタライズ層41に導通している。一方、メタライズ導体部33は、セラミック基板11における表面側メタライズ層41以外の導体(素子搭載部23、内層導体パターン28、パッド27、ビア導体18)からは絶縁されている。なお、メタライズ導体部33上にも、上記の銀ロウ層29が形成されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, the
次に、上記構造のセラミックパッケージ10を製造する方法について図4〜図13に基づいて説明する。
Next, a method for manufacturing the
まず、セラミック基板11となるべきセラミック未焼結体を準備する準備工程を実施する。具体的には、アルミナ粉末、有機バインダ、溶剤、可塑剤等を混合してスラリーを作製する。そしてこのスラリーを従来周知の手法(例えばドクターブレード法やカレンダーロール法)によりシート状に成形して、図4に示すようなセラミックグリーンシート64,65,66を3枚作製する。
First, the preparatory process which prepares the ceramic unsintered body which should become the
続く第1穴あけ工程では、セラミック未焼結体である上側セラミックグリーンシート64における製品領域の切断予定線上の位置に、後にキャスタレーション31となるべき穴部75を貫通形成する(図5参照)。さらに、セラミックグリーンシート65,66の複数箇所に、後にビア導体18となるべき穴部76をそれぞれ貫通形成する。これら穴部75,76は、従来周知のパンチング(打ち抜き)加工によって形成されてもよく、あるいはレーザ加工やドリル加工などの手法によって形成されてもよい。
In the subsequent first drilling step, a
続く導体部形成工程では、穴部75,76内にそれぞれ導体部を形成する。より具体的にいうと、まず従来周知のペースト印刷装置によるビアメタライズ充填を行って、穴部76内にタングステンペースト77を充填する(図6参照)。即ち、穴部76を完全にタングステンペースト77で満たすようにする。次いで、キャスタレーション印刷を行って、穴部75の内周面にタングステンペースト77を付着させる。従って、穴部75内は完全にタングステンペースト77で満たされていなくてもよく、穴部75の中心部は空洞状になっている。なお、上記のようにビアメタライズ充填後にキャスタレーション印刷を行ってもよいほか、キャスタレーション印刷後にビアメタライズ充填を行ってもよい。そして次に、セラミックグリーンシート64,65,66の上にタングステンペースト77をパターン印刷する(図7参照)。これらの印刷層は、後に素子搭載部23、表面側メタライズ層41、パッド27、内層導体パターン28となるべき部分である。さらに、後に表面側メタライズ層41となるタングステンペースト77の一部に、タングステンペースト77を重ねてパターン印刷する。
In the subsequent conductor portion forming step, conductor portions are formed in the
続く第2穴あけ工程では、上側セラミックグリーンシート64の略中央部に、平面視略矩形状のキャビティ22を貫通形成する(図8参照)。このキャビティ22は、従来周知のパンチング(打ち抜き)加工によって形成されてもよく、あるいはレーザ加工やドリル加工などの手法によって形成されてもよい。なお、上側セラミックグリーンシート64の略中央部にあるタングステンペースト77は、キャビティ22の打ち抜きと同時に打ち抜かれる。
In the subsequent second drilling step, a
続く積層工程では、下側セラミックグリーンシート66の上に中間セラミックグリーンシート65及び上側セラミックグリーンシート64を順次積層し、従来周知のラミネート装置を用いて厚さ方向に所定の荷重を加えることにより、これらを圧着、一体化して積層体を形成する(図9参照)。
In the subsequent lamination process, the intermediate ceramic
その後、この積層体をアルミナが焼結しうる所定の温度(例えば1500℃〜1800℃程度の温度)に加熱する焼成工程を行う。この焼成を経ると、上側セラミックグリーンシート64、中間セラミックグリーンシート65及び下側セラミックグリーンシート66が焼結して、キャビティ22を有するセラミック基板11が得られる。また、タングステンペースト77の焼結によって、素子搭載部23、表面側メタライズ層41、パッド27、内層導体パターン28、ビア導体18、キャスタレーション31のメタライズ導体部33が形成される。なお、この状態のものは、セラミックパッケージ10となるべき製品領域を平面方向に沿って縦横に複数配列した構造の多数個取り用セラミックパッケージであると把握することができる。
Then, the baking process which heats this laminated body to the predetermined | prescribed temperature (for example, temperature of about 1500 degreeC-1800 degreeC) which an alumina can sinter is performed. After this firing, the upper ceramic
さらに、多数個取り用セラミックパッケージをブレーク溝(図示略)に沿って分割した後、表面側メタライズ層41及びメタライズ導体部33に対して、電解ニッケルめっき、銀ロウ層29の形成、シールリング25のロウ付け等を行う(図10参照)。
Further, after the multi-cavity ceramic package is divided along a break groove (not shown), electrolytic nickel plating, formation of a
その後、セラミックパッケージ10のキャビティ22に電子部品素子21を実装し、メタルリッド26の取り付けを行う(図11参照)。具体的にいうと、メタルリッド26を、シームウェルディング法を用いて、シールリング25上に固着する。即ち、まずシールリング25上にメタルリッド26を重ねる。次に、3〜4V程度の電圧が印加された一対のローラ電極81をメタルリッド26の外周縁に接触させ、両ローラ電極81間に200mA程度のパルス電流を流す(シームウェルド)。そして、両ローラ電極81を回転させながら平行移動させ、連続溶接を行う。その結果、メタルリッド26がシールリング25上に固着され、図1に示す素子付きセラミックパッケージが完成する。
Thereafter, the
ところで、シームウェルディング法を行う場合、セラミックパッケージ10、メタルリッド26、ローラ電極81間には、図12に示される関係(等価回路)が成立する。ここで、RLはメタルリッド26の抵抗、RRはシールリング25の抵抗、Rs1はメタルリッド26とローラ電極81との接触部の抵抗(図11参照)、Rs2はシールリング25とメタルリッド26との接触部の抵抗(図11参照)を示している。
When the seam welding method is performed, the relationship (equivalent circuit) shown in FIG. 12 is established among the
また図13に示されるように、メタルリッド26とシールリング25との接合性(以下、「シーム性」という)は、セラミックパッケージ10−メタルリッド26間の発熱量差が小さいほど優れている。つまり、セラミックパッケージ10及びメタルリッド26の両方が均等に発熱することが好ましい。この発熱量差は、メタルリッド26の抵抗RLとセラミックパッケージ10の抵抗RRとの関係によって決定される。従って、抵抗RL,RRを測定すれば、発熱量差を測定することができる。なお、発熱量は、電圧(V)×電流(A)×時間(t)によって求められ、発熱量差は、(メタルリッド26の発熱量)−(セラミックパッケージ10の発熱量)によって求められる。また、本実施形態では、抵抗RL,RRの関係が図13に示す領域A1(発熱量差が小さい領域)内にあればシーム性に優れると推定されている。即ち、メタルリッド26の抵抗RLの値が大きいほどシーム性に優れ、セラミックパッケージ10の抵抗RRの値が小さいほどシーム性に優れる可能性が高い。
Further, as shown in FIG. 13, the bondability between the
次に、シーム性についての評価方法及びその結果を説明する。 Next, an evaluation method for seam properties and a result thereof will be described.
まず、測定用サンプルを次のように準備した。本実施形態と同じセラミックパッケージ10及びメタルリッド26を準備し、これを実施例とした。また、従来技術と同じセラミックパッケージ111及びメタルリッド118(図17参照)を準備し、これを比較例1とした。さらに、表面側メタライズ層41が単層構造であるセラミックパッケージと、メタルリッドとを準備し、これを比較例2とした。
First, a measurement sample was prepared as follows. The same
次に、各測定用サンプル(実施例、比較例1,2)に対してセラミックパッケージ及びメタルリッドの電気抵抗の測定を行った。抵抗の測定は、図14に示す測定装置(日置電機株式会社製 ミリオームハイテスタ)を用いて行った。この測定装置は、測定対象物91(セラミックパッケージまたはメタルリッド)を挟持する一組のクリップ92と、各クリップ92がリード線93を介して接続される抵抗測定部94とを備えている。
Next, the electrical resistance of the ceramic package and the metal lid was measured for each measurement sample (Example, Comparative Examples 1 and 2). Resistance was measured using a measuring apparatus (Mirium Hitester manufactured by Hioki Electric Co., Ltd.) shown in FIG. This measuring apparatus includes a pair of
この測定装置を用いた測定では、まず、測定対象物91の対角線上にある一対の角部を、クリップ92でそれぞれ挟持した。そして、抵抗測定部94によって抵抗を測定した。
In the measurement using this measuring apparatus, first, a pair of corners on the diagonal line of the measuring
このように測定した結果、メタルリッドの抵抗は、いずれも8mΩであった。一方、実施例のセラミックパッケージ10の抵抗は2.5mΩであり、比較例1のセラミックパッケージ111の抵抗は7.5mΩであり、比較例2のセラミックパッケージ111の抵抗は12mΩであった。ところが、比較例2では、抵抗RL,RRの関係が領域A1外にあるため、シーム性に劣っていた。従って、メタルリッド26をシールリング25上に上手く固着できないため、セラミックパッケージ10への比較例の採用は困難であることが証明された。一方、比較例1及び実施例では、抵抗RL,RRの関係が領域A1内にあるため、シーム性は良好であった。しかし、比較例1は、発熱量差が実施例の場合よりも大きいため、メタルリッド26を固着させる能力は実施例よりも劣ってしまう。従って、セラミックパッケージ10には、メタルリッド26をシールリング25上に固着させるうえで最も問題がない実施例が適することが分かった。
As a result of the measurement, the resistance of the metal lid was 8 mΩ in all cases. On the other hand, the resistance of the
従って、本実施形態によれば以下の効果を得ることができる。 Therefore, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1)本実施形態のセラミックパッケージ10によれば、表面側メタライズ層41上だけでなく、メタライズ導体部33上にも銀ロウ層29が形成されるため、銀ロウ層29の体積が増加する。これにより、セラミックパッケージ10全体の抵抗値を十分に下げることができ、セラミックパッケージ10全体の抵抗値とメタルリッド26の抵抗値との組み合わせを最適化することができる。よって、メタルリッド26をシールリング25上に確実に固着させることができる。
(1) According to the
(2)本実施形態では、メタルリッド26がシールリング25上に確実に固着されるため、メタルリッド26とシールリング25との接合部に対するクラックの発生を防止できる。また、凹部32が配置されることで、銀ロウ層29とメタライズ層(表面側メタライズ層41及びメタライズ導体部33からなる層)との接触面積が大きくなるため、両者が確実に接合される。従って、銀ロウ層29とメタライズ層との接合部に対するクラックの発生を防止できる。ゆえに、セラミックパッケージ10の歩留まりの低下を防止できる。
(2) In this embodiment, since the
(3)本実施形態では、メタライズ導体部33がセラミック基板11における表面側メタライズ層41以外の導体(素子搭載部23、内層導体パターン28、パッド27、ビア導体18)から絶縁されている。よって、完成後の使用時において、素子搭載部23、内層導体パターン28、パッド27及びビア導体18を流れる電流がメタライズ導体部33や表面側メタライズ層41に流れることを防止できるため、これに起因したセラミックパッケージ10の性能低下を防止できる。
(3) In this embodiment, the metallized
(4)本実施形態では、表面側メタライズ層41は2層構造であり、上側の層42の幅は、下側の層43の幅よりも狭くなっている。このため、表面側メタライズ層41が単層構造である場合に比べて、シールリング25と表面側メタライズ層41との接触面積が大きくなるため、両者の接合強度を向上させることができる。
[第2の実施形態]
(4) In the present embodiment, the surface side metallized
[Second Embodiment]
以下、本発明を具体化した実施形態のセラミックパッケージ101を図15に基づき説明する。ここでは第1実施形態との相違点について述べ、共通点については説明を省略する。
Hereinafter, a
図15に示されるように、本実施形態では、キャビティ22の側壁面102上にメタライズ導体部33が設置される点が第1実施形態のものと異なっている。メタライズ導体部33上には、第1実施形態の場合と同様に銀ロウ層29が形成されている。なお、メタライズ導体部33は、側壁面102の一部に設置されていてもよいし、側壁面102全体に設置されていてもよいが、側壁面102全体に設置したほうが銀ロウ層29の体積が増加するため、セラミックパッケージ101全体の抵抗値がより確実に低下する。
As shown in FIG. 15, the present embodiment is different from the first embodiment in that the metallized
そして、このような構造の本実施形態によれば、第1実施形態と同様に銀ロウ層29の体積が増加するため、セラミックパッケージ101全体の抵抗値を十分に下げることができ、メタルリッド26をシールリング25上に確実に固着できる。しかも、メタルリッド26とシールリング25との接合部に対するクラックの発生を防止でき、セラミックパッケージ101の歩留まりの低下を防止できる。
According to the present embodiment having such a structure, the volume of the
また、本実施形態では、第1実施形態にて形成されていた凹部32(即ちキャスタレーション31)が不要である。よって、キャスタレーション31の形成に伴う製造コスト増を回避できる。
Further, in the present embodiment, the concave portion 32 (that is, the castellation 31) formed in the first embodiment is unnecessary. Therefore, an increase in manufacturing cost accompanying the formation of the
なお、本発明の実施形態は以下のように変更してもよい。 In addition, you may change embodiment of this invention as follows.
・上記各実施形態において、表面側メタライズ層41以外の導体(例えば素子搭載部23など)とメタライズ導体部33とが繋がった状態でセラミックパッケージ10を製造し、セラミックパッケージ10の完成前に両者を切断するようにしてもよい。
In each of the above embodiments, the
・上記第1の実施形態のキャスタレーション31の深さは、上側セラミック焼結層14の厚さ分に相当していた。しかし、図16に示されるように、キャスタレーション31の深さは、上側セラミック焼結層14の厚さ、中間セラミック焼結層15の厚さ、下側セラミック焼結層16の厚さの合計に相当していてもよい。即ち、キャスタレーション31は、セラミック基板11を厚さ方向に貫通していてもよい。但し、キャスタレーション31は、素子搭載部23、内層導体パターン28、パッド27及びビア導体18からは絶縁されている。
The depth of the
・上記第1の実施形態のキャスタレーション31は、セラミック基板11の側面17(外周面)に設けられていた。しかし、キャスタレーション31は、セラミック基板11の内周面、即ち、キャビティ22の側壁面102に設けられていてもよい。
The
・上記各実施形態ではキャビティ22内に電子部品素子21を1つ実装した構造を例示したが、その数は2つ以上であっても構わない。具体例を挙げると、平面視で長方形状のキャビティを形成し、そのキャビティの底面に素子搭載部23を4つ形成する。そしてこれら4つの素子搭載部23上に、2つの電子部品素子21を実装する。
In each of the above embodiments, the structure in which one
次に、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。 Next, the technical ideas grasped by the embodiment described above are listed below.
(1)基板表面にて開口するキャビティを有するセラミック基板と、前記基板表面上にて前記キャビティを包囲するように形成された表面側メタライズ層と、前記表面側メタライズ層上に形成され、前記表面側メタライズ層よりも導電性が高いロウ材層と、前記ロウ材層を介して前記表面側メタライズ層にロウ付けされたシールリングとを備え、メタルリッドが前記シールリング上にシーム溶接法により固着可能なセラミックパッケージにおいて、前記セラミック基板の側面に凹部が配置され、前記凹部の表面に形成されたメタライズ導体部が前記表面側メタライズ層に導通する一方で前記セラミック基板における前記表面側メタライズ層以外の導体から絶縁されるとともに、前記メタライズ導体部上にも前記ロウ材層が形成されていることを特徴とするセラミックパッケージ。 (1) A ceramic substrate having a cavity opened at the substrate surface, a surface-side metallization layer formed on the substrate surface so as to surround the cavity, and the surface-side metallization layer formed on the surface A brazing material layer having higher conductivity than the side metallization layer and a seal ring brazed to the surface side metallization layer via the brazing material layer, and a metal lid is fixed on the seal ring by a seam welding method In a possible ceramic package, a recess is disposed on a side surface of the ceramic substrate, and a metallized conductor formed on the surface of the recess is electrically connected to the surface-side metallized layer, while other than the surface-side metallized layer in the ceramic substrate. Insulated from the conductor, and the brazing material layer is also formed on the metallized conductor. Ceramic package which is characterized.
(2)基板表面にて開口するキャビティを有するセラミック基板と、前記基板表面上にて前記キャビティを包囲するように形成された表面側メタライズ層と、前記表面側メタライズ層上に形成されたロウ材層と、前記ロウ材層を介して前記表面側メタライズ層にロウ付けされたシールリングとを備え、メタルリッドが前記シールリング上にシーム溶接法により固着可能なセラミックパッケージにおいて、前記セラミック基板の側面に凹部が配置され、前記凹部の表面に形成されたメタライズ導体部が前記表面側メタライズ層に導通する一方で前記セラミック基板における前記表面側メタライズ層以外の導体から絶縁されるとともに、前記メタライズ導体部上にも前記ロウ材層が形成されており、前記ロウ材層は銀ロウ層であることを特徴とするセラミックパッケージ。 (2) A ceramic substrate having a cavity opened on the substrate surface, a surface-side metallization layer formed so as to surround the cavity on the substrate surface, and a brazing material formed on the surface-side metallization layer And a seal ring brazed to the surface-side metallization layer via the brazing material layer, wherein the metal lid can be fixed onto the seal ring by a seam welding method. The metallized conductor part formed on the surface of the concave part is electrically connected to the surface-side metallized layer while being insulated from conductors other than the surface-side metallized layer in the ceramic substrate, and the metallized conductor part The brazing material layer is also formed thereon, and the brazing material layer is a silver brazing layer. Ceramic package.
(3)基板表面にて開口するキャビティを有するセラミック基板と、前記基板表面上にて前記キャビティを包囲するように形成された表面側メタライズ層と、前記表面側メタライズ層上に形成されたロウ材層と、前記ロウ材層を介して前記表面側メタライズ層にロウ付けされたシールリングとを備え、メタルリッドが前記シールリング上にシーム溶接法により固着可能なセラミックパッケージとなるべき製品領域を平面方向に沿って縦横に複数配列した多数個取り用セラミックパッケージにおいて、前記セラミック基板の側面に凹部が配置され、前記凹部の表面に形成されたメタライズ導体部が前記表面側メタライズ層に導通する一方で前記セラミック基板における前記表面側メタライズ層以外の導体から絶縁されるとともに、前記メタライズ導体部上にも前記ロウ材層が形成されていることを特徴とする多数個取り用セラミックパッケージ。 (3) A ceramic substrate having a cavity opened on the substrate surface, a surface-side metallization layer formed so as to surround the cavity on the substrate surface, and a brazing material formed on the surface-side metallization layer And a seal ring brazed to the surface-side metallization layer via the brazing material layer, and a flat product region to be a ceramic package in which the metal lid can be fixed onto the seal ring by a seam welding method. In the multi-cavity ceramic package arranged in a plurality of vertical and horizontal directions along the direction, a concave portion is disposed on the side surface of the ceramic substrate, and the metallized conductor portion formed on the surface of the concave portion is electrically connected to the surface-side metallized layer. Insulating from conductors other than the surface-side metallization layer in the ceramic substrate, Ceramic package multi-piece, characterized in that the brazing material layer to the conductor portion is formed.
10,101…セラミックパッケージ
11…セラミック基板
12…基板表面としての上面
17…セラミック基板の側面
22…キャビティ
25…シールリング
26…メタルリッド
29…ロウ材層としての銀ロウ層
32…凹部
33…メタライズ導体部
41…表面側メタライズ層
42…側の層
43…下側の層
102…キャビティの側壁面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10,101 ...
Claims (5)
前記セラミック基板の側面に凹部が配置され、前記凹部の表面に形成されたメタライズ導体部が前記表面側メタライズ層に導通する一方で前記セラミック基板における前記表面側メタライズ層以外の導体から絶縁されるとともに、前記メタライズ導体部上にも前記ロウ材層が形成されていることを特徴とするセラミックパッケージ。 A ceramic substrate having a cavity opened on the substrate surface; a surface-side metallization layer formed on the substrate surface so as to surround the cavity; and a brazing material layer formed on the surface-side metallization layer; In a ceramic package comprising a seal ring brazed to the surface-side metallized layer via the brazing material layer, and a metal lid can be fixed on the seal ring by a seam welding method.
A recess is disposed on a side surface of the ceramic substrate, and a metallized conductor formed on the surface of the recess is electrically connected to the surface-side metallized layer while being insulated from conductors other than the surface-side metallized layer in the ceramic substrate. The ceramic package, wherein the brazing material layer is also formed on the metallized conductor portion.
前記キャビティの側壁面上にメタライズ導体部が設置され、前記メタライズ導体部が前記表面側メタライズ層に導通する一方で前記セラミック基板における前記表面側メタライズ層以外の導体から絶縁されるとともに、前記メタライズ導体部上にも前記ロウ材層が形成されていることを特徴とするセラミックパッケージ。 A ceramic substrate having a cavity opened on the substrate surface; a surface-side metallization layer formed on the substrate surface so as to surround the cavity; and a brazing material layer formed on the surface-side metallization layer; In a ceramic package comprising a seal ring brazed to the surface-side metallized layer via the brazing material layer, and a metal lid can be fixed on the seal ring by a seam welding method.
A metallized conductor is disposed on the side wall surface of the cavity, and the metallized conductor is electrically insulated from conductors other than the surface-side metallized layer in the ceramic substrate while being electrically connected to the surface-side metallized layer. A ceramic package, wherein the brazing material layer is also formed on the part.
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000068414A (en) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Manufacture of lead-less package |
JP2001148436A (en) * | 1999-11-22 | 2001-05-29 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Ceramic package and its manufacturing method |
JP2002016163A (en) * | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | Ceramic package |
JP2002231836A (en) * | 2001-01-30 | 2002-08-16 | Kyocera Corp | Electronic part mounting board |
JP2004319831A (en) * | 2003-04-17 | 2004-11-11 | Mitsubishi Electric Corp | Package for electronic component and electronic component device employing it |
JP2004335496A (en) * | 2003-03-10 | 2004-11-25 | Fujitsu Media Device Kk | Package of electronic device, base substrate, electronic component and its manufacturing method |
JP2005175520A (en) * | 2003-12-05 | 2005-06-30 | Tokyo Denpa Co Ltd | Piezoelectric vibrator |
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2005
- 2005-10-05 JP JP2005292508A patent/JP4654104B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000068414A (en) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Manufacture of lead-less package |
JP2001148436A (en) * | 1999-11-22 | 2001-05-29 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Ceramic package and its manufacturing method |
JP2002016163A (en) * | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | Ceramic package |
JP2002231836A (en) * | 2001-01-30 | 2002-08-16 | Kyocera Corp | Electronic part mounting board |
JP2004335496A (en) * | 2003-03-10 | 2004-11-25 | Fujitsu Media Device Kk | Package of electronic device, base substrate, electronic component and its manufacturing method |
JP2004319831A (en) * | 2003-04-17 | 2004-11-11 | Mitsubishi Electric Corp | Package for electronic component and electronic component device employing it |
JP2005175520A (en) * | 2003-12-05 | 2005-06-30 | Tokyo Denpa Co Ltd | Piezoelectric vibrator |
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