JP4654062B2 - 半導体装置製造用接着シート及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
はじめに、接着シート貼着工程において、リードフレームの一方の面に接着シートを貼着し、次いで、ダイアタッチ工程において、リードフレームに複数形成された半導体素子搭載部(ダイパッド部)に、ICチップ等の半導体素子を各々搭載する。次に、ワイヤボンディング工程において、リードフレームの各半導体素子搭載部の外周に沿って配設された複数のリードと半導体素子とをボンディングワイヤにより電気的に接続する。次に、樹脂封止工程において、リードフレームに搭載された半導体素子を封止樹脂により封止する。その後、接着シート剥離工程において、接着シートをリードフレームから剥離することにより、複数のQFNが配列されたQFNユニットを形成することができる。最後に、ダイシング工程において、このQFNユニットを各QFNの外周に沿ってダイシングすることにより、複数のQFNを同時に製造することができる。
しかしながら、上記構成の従来の半導体装置製造用接着シートを用いた場合、半導体装置製造用接着シートの接着剤露出面表層がプラズマクリーニングにより粗化され、半導体用接着シートの剥離時に、半導体装置の接続端子、封止樹脂面への接着剤移行(以下「糊残り」と表記することがある)が発生することがあった。このような糊残りが発生した場合に、封止樹脂により封止した部分や、その近傍のリードの外部接続端子部分に接着剤が付着するため、製造された半導体装置を配線基板等に実装する際に、接続不良が発生する恐れがあった。
ここで、接着剤層が熱硬化性樹脂成分(a)と熱可塑性樹脂成分(b)を含有し、該熱硬化性樹脂成分(a)と熱可塑性樹脂成分(b)のいずれかが、フッ素を含有するオレフィン系樹脂であることが望ましい。
また、半導体装置のリードフレームに貼着して硬化した接着剤層の150〜200℃における接着強度が0.03〜5N/cmであることが望ましい。
また、接着剤層の熱硬化性樹脂成分(a)及び熱可塑性樹脂成分(b)の質量比率(a)/(b)が0.05〜0.43であることが望ましい。
熱可塑性樹脂成分(b)の質量平均分子量は2,000〜1,000,000であることが望ましい。
接着剤層の硬化後の貯蔵弾性率は、150〜250℃にて、0.1MPa以上であることが望ましい。
基材は、ガラス転位温度が150℃以上、熱膨張係数が5〜50ppm/℃の耐熱性フィルム、又は、熱膨張係数が5〜50ppm/℃の金属箔であることが望ましい。
接着剤層の片面に保護フィルムが設けられていることが望ましい。
本発明の半導体装置並びにその製造方法は、上記半導体装置製造用接着シートを用いて製造することを特徴とするものである。
本発明の接着シートは、半導体装置のリードフレームまたは配線基板に剥離可能に貼着されるものである。ここで、リードフレームとは、金属板をエッチング又はプレス等により導体パターンを形成したものであり、配線基板とは、電気絶縁性基板の表面(または内面を含むことがある)に、導体パターンを導電性材料で形成し、固着したもののことである。
尚、以下の説明では、便宜的に、リードフレームを貼着対象として説明するが、配線基板に対しても同様である。
基材としては、耐熱性のあるもの、例えば、耐熱性樹脂フィルムや金属箔等を挙げることができる。
本発明の接着シートを用いてQFN等の半導体装置を製造する際に、接着シートは、ダイアタッチ工程、ワイヤボンディング工程、樹脂封止工程において、150〜250℃の高温に曝されるが、基材として耐熱性樹脂フィルムを用いる場合、該耐熱性フィルムの熱膨張係数はガラス転位温度(Tg)以上になると急激に増加し、金属製のリードフレームとの熱膨張差が大きくなるため、室温に戻した際に、耐熱性フィルムとリードフレームに反りが発生する恐れがある。そして、このように、耐熱性フィルムとリードフレームに反りが発生した場合には、樹脂封止工程において、金型の位置決めピンにリードフレームを装着することができず、位置ずれ不良を起こす恐れがある。
したがって、基材として耐熱性フィルムを用いる場合、ガラス転位温度が150℃以上の耐熱性フィルムであることが好ましく、更に180℃以上であることがより好ましい。また、耐熱性フィルムの150〜250℃における熱膨張係数が5〜50ppm/℃であることが好ましく、更に10〜30ppm/℃であることがより好ましい。かかる特性を有する耐熱性フィルムとしては、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、トリアセチルセルロース、ポリエーテルイミド等からなるフィルムを例示することができる。
また、リードフレームに対する接着剤層の硬化後の150〜200℃における接着強度が0.03〜5N/cmであることがモールドフラッシュを防止できるので好ましい。0.03N/cm未満では、モールドフラッシュが発生し易く、5N/cm超では糊残りが生じやすい。また、リードフレームに対する接着剤層の未硬化における常温の接着強度は0.98N/cm以上であることが製造工程上、好ましい。0.98N/cm未満では、製造工程における搬送時にリードフレームから接着剤層が剥離し易くなるからである。
接着剤層は、熱硬化性樹脂成分(a)、熱可塑性樹脂成分(b)を含有し、熱硬化性樹脂成分(a)または熱可塑性樹脂成分(b)のいずれかがフッ素樹脂を含有していることが望ましい。この場合、熱硬化性樹脂成分(a)と熱可塑性樹脂成分(b)の質量比率(a)/(b)は0.05〜0.43が好ましく、0.11〜0.25がより好ましい。
(a)/(b)が0.43より大きい場合、フッ素を含有している樹脂成分とフッ素を含有していない樹脂成分とが、塗料作製時に分離し接着剤層が形成できなくなる恐れがある。(a)/(b)が0.05未満の場合、接着剤層の凝集力が低下する為、樹脂封止工程でモールドフラッシュが発生しやすくなるおそれがある。
半導体装置を製造するための樹脂封止工程においては、150〜200℃に加熱しながら、5〜10GPaの圧力をかけて半導体素子を樹脂封止により封止する。そのため、接着シートの接着剤層が高温に曝される結果、接着剤層の接着力(接着剤層とリードフレームとの接着強度)が低下し、封止樹脂の圧力により、接着剤層がリードフレームから部分的に剥離してモールドフラッシュが発生する場合があるが、上記熱硬化性樹脂成分(a)、熱可塑性樹脂成分(b)を有する接着剤層を用いた本発明の接着シートでは、接着剤層の接着力がより低下しないため上記問題は生じない。
また、フッ素を含有する熱硬化性樹脂成分としては、上記熱硬化性樹脂成分にフッ素を導入したものや、二フッ化ビニリデン、ヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン、パーフルオロメチルビニルエーテル等のオレフィン系樹脂に反応性官能基を有するモノマーを含有させた重合体またはそれらの2種類以上を組み合わせた共重合体等を例示することができる。更にエチレンやプロピレン、アルキルビニルエーテル等を加えた共重合体でも良い。これらの中でも特にフッ素含有オレフィン系樹脂が含有するフッ素量が多くワイヤボンディング前のプラズマクリーニングへの耐性が高いことからより好ましい。
また、フッ素を含有する熱可塑性樹脂成分としては、上記熱可塑性樹脂成分にフッ素を導入したものや、オレフィン系樹脂として、二フッ化ビニリデン、ヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン、パーフルオロメチルビニルエーテル等の重合体または2種類以上を組み合わせた共重合体を例示することができる。更にエチレンやプロピレン、アルキルビニルエーテル等を加えた共重合体でも良い。特にオレフィン系樹脂によるものがフッ素量を多くすることができ、ワイヤボンディング前のプラズマクリーニングへの耐久性が高いことからより好ましい。
また、熱可塑性樹脂成分(b)の質量平均分子量が2,000〜1,000,000、好ましくは5,000〜800,000、更に好ましくは10,000〜500,000である場合には、接着剤層の凝集力を高めることができ、接着シート剥離工程における糊残りを更に防止することができるため好ましい。
図1、図2に基づいて、本発明の接着シートを用いて、半導体装置を製造する方法の一例について説明する。以下、半導体装置としてQFNを製造する場合を例として説明する。なお、図1はリードフレームを半導体素子を搭載する側から見たときの概略平面図であり、図2(a)〜(f)は、図1に示すリードフレームからQFNを製造する方法を示す工程図であって、リードフレームを図1のA−A’線の拡大概略断面図である。
次に、図2(e)に示すように、接着シート剥離工程において、接着シート10を封止樹脂40及びリードフレーム20から剥離することにより、複数のQFN50が配列されたQFNユニット60を形成することができる。最後に、図2(f)に示すように、ダイシング工程において、QFNユニット60を各QFN50の外周に沿ってダイシングすることにより、複数のQFN50を製造することができる。
このように本発明の接着シート10を用いてQFN等の半導体装置を製造することにより、熱硬化型接着剤のワイヤボンディング性、モールドフラッシュ防止性を維持したまま、該接着シートがプラズマクリーニング工程を経た状態においても、糊残りを防止することができ、半導体装置の不良品化を防止することができる。
各実施例、比較例において、接着剤を調製して接着シートを作製し、得られた接着剤層や接着シートの評価を行った。
下記表1に示す組成及び配合比(質量部)でトルエンに混合し接着剤溶液を作製した。
次に、耐熱性基材としてポリイミド樹脂フィルム(東レ・デュポン社製 商品名:カプトン100EN、厚さ25μm、ガラス転移温度300℃以上、熱膨張係数16ppm/℃)を用い、その上に乾燥後の厚さが6μmになるように、上記接着剤溶液を塗布した後、120℃で5分間乾燥させ、接着剤層を有する本発明の接着シートを得た。
下記表1に示す組成及び配合比でメチルエチルケトンに混合した接着剤溶液に変更した以外は実施例1と同様にして本発明の接着シートを得た。
実施例1と同様の組成及び配合比で接着剤溶液を作製し、次に耐熱性基材として3/4オンスの銅箔(三井金属鉱業社製 商品名:3EC−VLP、厚さ25μm、熱膨張係数16ppm/℃)を使用し、その粗化面上に乾燥後の厚さが8μmになるように上記接着剤溶液を塗布し、120℃で5分間乾燥させ、接着剤層を有する本発明の接着シートを得た。
下記表1に示す組成及び配合比でメチルエチルケトンに混合した接着剤溶液に変更した以外は実施例1と同様にして比較用の接着シートを得た。
[熱硬化性樹脂成分(a)]
・フッ素樹脂:旭硝子社製、商品名:ルミフロンLF200F
・エポキシ樹脂A:大日本インキ化学工業社製、商品名:HP−7200
・エポキシ樹脂B:ジャパンエポキシレジン社製、商品名:エピコート828
・フェノール樹脂A:昭和高分子社製、商品名:CKM2400
・フェノール樹脂B:新日本石油化学社製、商品名:DPP−6095H
[熱可塑性樹脂成分(b)]
・NBR(アクリロニトリル−ブタジエン共重合体樹脂):JSR社製、商品名:PNR−1H、質量平均分子量330,000
・エチレン−メチルアクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体樹脂:住友化学社製、商品名:ボンドファースト7M、質量平均分子量70,000
・アクリル酸エステル−グリシジルアクリレート−アクリロニトリル共重合体:帝国化学産業社製、SG P−3DR、質量平均分子量1,000,000
・SBR(スチレン−ブタジエン共重合体):旭化成社製、商品名:タフテックM1911、質量平均分子量110,000
・フッ素ゴム:デュポン・ダウ社製、商品名:バイトン VTR−7119、質量平均分子量300,000
[その他]
・硬化剤:日本ポリウレタン工業社製、商品名:コロネートL
・硬化促進剤:四国化成社製、2−エチル4−メチルイミダゾール(2E4MZ)
前記実施例及び比較例において得られた接着剤溶液を離型フィルム上に塗布した後、接着シートを作製する際と同じ乾燥条件にて乾燥し、更にダイアタッチ工程の熱処理条件(175℃で2時間)で熱処理を行い、接着剤層付き離型性フィルムを作製した。なお、乾燥後の厚さが0.1mmになるように接着剤の塗布、乾燥を行った。得られたサンプルを5mm×30mmに切断し、弾性率測定装置(オリエンテック社製レオバイブロンDDV−II)を用いて、周波数11Hz、昇温速度3℃/min、測定温度範囲150℃〜250℃で測定を行い、その結果を表2に示した。なお、表2の数値は、測定温度範囲150℃〜250℃における貯蔵弾性率の最小値を示す。
1.ワイヤボンディング不良
各実施例及び比較例において得られた接着シートを、外寸200mm×60mmのQFN用リードフレーム(Au−Pd−NiメッキCuリードフレーム、4×16個(計64個)のマトリックス配列、パッケージサイズ10mm×10mm、84ピン)にラミネート法により貼着した。次いで、エポキシ系ダイアタッチ剤を用いてアルミニウムが蒸着されたダミーチップ(6mm×6mm、厚さ0.4mm)をリードフレームの半導体素子搭載部に搭載した。得られたサンプルの半数について、プラズマクリーニングを行った。プラズマクリーニング条件は、プラズマエッチング装置(ヤマト科学社製、商品名:V1000)を用いて、使用ガス:Ar、ガス流量:45sccm、RF出力:450W、処理時間:5分である。その後、ワイヤボンダー(新川社製、UTC−470BI)を用い、加熱温度を210℃、US POWERを30、荷重を0.59N、処理時間を10msec/ピンとして、ダミーチップとリードとを金ワイヤにより電気的に接続した。得られた半導体装置64個を検査し、リード側接続不良が発生した半導体装置数を、ワイヤボンディング不良の発生個数として検出し、その結果を表2に示した。
ワイヤボンディング不良の評価後のリードフレームを用いてモールドフラッシュの評価を行った。先ずプラズマクリーニングを実施したフレームと実施しないフレームに分け、それぞれエポキシ系モールド剤(ビフェニルエポキシ系、フイラー量85質量%)を用い、加熱温度を180℃、圧力を10MPa、処理時間を3分間として、トランスファーモールド(金型成型)により、ダミーチップを封止樹脂により封止した。樹脂封止後の半導体装置64個を検査し、リードの外部接続用部分(リードの接着シート側の面)に封止樹脂が付着している半導体装置数を、モールドフラッシュの発生個数として検出し、その結果を表2に示した。
プラズマクリーニングの有無を含むモールドフラッシュの評価後のリードフレームを用い、糊残りの評価を行った。先ず接着シートをリードフレームから剥離速度500mm/minの条件で剥離した。接着シートの剥離後の半導体装置64個を検査し、リードの外部接続用部分、モールド樹脂面を含む接着シート剥離面に接着剤が付着している半導体装置個数を、糊残りの発生数として表2に示した。
各実施例及び比較例において得られた接着シートを1cm幅に切断し、50mm×100mm×0.25mmtの銅板(三菱メテックス社製 商品名:MF−202)、及びに銅板に金メッキした板に、ロールラミネーションにより圧着させた。次にダイアタッチキュア(175℃ 1時間)、モールド樹脂キュア(180℃ 4時間)相当の熱履歴後、常温に戻した。これらの板を150℃に加熱し、得られた積層体の接着剤層を板に対して90°方向に引き剥がしたときの剥離強度を測定した。同様に、この剥離強度の測定を、板の加熱温度を150℃から200℃まで5℃ごとに上昇させて行った。そして、150〜200℃の各測定温度における剥離強度のうち最小値を接着シートの接着強度とし、その結果を表2に示した。
20 リードフレーム
30 半導体素子
31 ボンディングワイヤ
40 封止樹脂
Claims (9)
- 半導体装置のリードフレームまたは配線基板に剥離可能に貼着した後に該リードフレームまたは配線基板から剥離される半導体装置製造用接着シートにおいて、
基材と樹脂成分を含有する接着剤層とを具備し、
前記樹脂成分が熱硬化性樹脂成分(a)と熱可塑性樹脂成分(b)からなり、該熱硬化性樹脂成分(a)と熱可塑性樹脂成分(b)のいずれかが、フッ素を含有するオレフィン系樹脂であることを特徴とする半導体装置製造用接着シート。 - 半導体装置のリードフレームに貼着して硬化した接着剤層の150〜200℃における接着強度が0.03〜5N/cmであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置製造用接着シート。
- 前記接着剤層の熱硬化性樹脂成分(a)及び熱可塑性樹脂成分(b)の質量比率(a)/(b)が0.05〜0.43であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置製造用接着シート。
- 熱可塑性樹脂成分(b)の質量平均分子量が2,000〜1,000,000であることを特徴とする請求項1、2、3のいずれか一項に記載の半導体装置製造用接着シート。
- 前記接着剤層の硬化後の貯蔵弾性率が、150〜250℃にて、0.1MPa以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置製造用接着シート。
- 前記基材が、ガラス転位温度が150℃以上、熱膨張係数が5〜50ppm/℃の耐熱性フィルムであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の半導体装置製造用接着シート。
- 前記基材が、熱膨張係数が5〜50ppm/℃の金属箔であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の半導体装置製造用接着シート。
- 接着剤層の片面に保護フィルムが設けられていることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の半導体装置製造用接着シート。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の半導体装置製造用接着シートを用いて製造することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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