JP4650619B2 - 駆動ユニット、光学ユニット、光学装置、並びに露光装置 - Google Patents
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Description
図11のステップ1では、まず、上述の如く、ミラーM1〜M6のそれぞれに対応する駆動ユニットを製造するとともに、所定の設計ミラーデータによる設計値に従って投影光学装置POを構成する各光学部材としてのミラーM1〜M6、及び各ミラーと駆動ユニットとが組み込まれる分割鏡筒152a〜152eを製造する。
ステップ2では、予め設定されている設計値に従って、各ミラーと該各ミラーを保持するミラー保持部材を有する駆動ユニットとから成るユニット(以下、「ミラーユニット」と呼ぶ)を、6つ組み立てる。なお、不図示ではあるが、各ミラーユニットのアウターリング48の下面側の各計測装置に対応する部分(3箇所)には、国際公開第02/16993号パンフレットに記載された調整装置が3つ設けられている。
ステップ3では、ステップ2で組み立てた各ミラーユニットをそれぞれに対応する分割鏡筒内に組み込む。
次いで、ステップ4では、エアスピンドルを用いた回転テーブル等の真直度を保証できる装置を用いて各分割鏡筒の偏心を調整し、分割鏡筒のそれぞれを隣接する分割鏡筒に分離環(リングワッシャ)を介して一時的に固定することで、鏡筒52を一旦組み立てる。そして、隣接する分割鏡筒相互間の距離、具体的には分離環(リングワッシャ)の厚さを意味する)を求め、一旦組み立てた鏡筒を分解して各分離環(リングワッシャ)の厚さを予め求められている厚さに変更する。なお、リングワッシャを複数種類用意し、最適なリングワッシャを選択することで調整することとしても良い。そして、分割鏡筒のそれぞれと、厚さの調整がなされた複数の分離環(リングワッシャ)とを、分割鏡筒、分離環、分割鏡筒、分離環、分割鏡筒、……という順序で、順次組み上げ、その組み上げられた各分割鏡筒の偏心量を周知の偏心調整機で調整する。その調整後に、分割鏡筒のそれぞれを隣接する分割鏡筒に分離環を介してボルト止めすることで、投影光学装置の組み立て(及び粗調整)が一応終了する。
ステップ5では、ステップ4で組み立てた投影光学装置POの光学特性、例えば波面収差を、波面収差計測機を用いて計測し、その波面収差の計測結果に基づいて、各ミラーの投影光学装置POの光軸に対するX軸方向、Y軸方向の位置ずれ量、すなわち、各ミラーが組み込まれた各分割鏡筒の偏心量を求め、これに基づいて、前述した3つの調整装置により、各ミラーの各分割鏡筒に対する位置関係を調整する。ここで、前述した3つの調整装置では、ミラーユニットの分割鏡筒に対する相対位置関係を6自由度で調整することが可能となっている。
その形状は問わず、また、第2保持部材61に関しては、第1、第2センサヘッド59A,59Bを保持することができ、かつアウターリング48に固定できるものであれば、その形状は問わない。
Claims (7)
- 第1物体と;
該第1物体と物理的に分離された第2物体と;
前記第1、第2物体にそれぞれ一端、他端が接続された2本のリンクを備えるリンク対を3つ備え、該3つのリンク対を用いて前記第1物体を前記第2物体に対して駆動するパラレルリンク機構と;
前記3つのリンク対が備える前記2本のリンクのそれぞれの間に配置される計測装置と;を備え、
前記計測装置は、前記第1、第2物体のうちの一方に接続され、スケールが設けられたスケール部と、前記第1、第2物体のうちの他方に接続され、前記スケールの位置の変化を計測することにより、前記スケール部の位置に応じた信号を位置情報として出力するセンサヘッドと;を備える駆動ユニット。 - 前記パラレルリンク機構は、前記第1物体を前記第2物体に対して6自由度方向に駆動することを特徴とする請求項1に記載の駆動ユニット。
- 前記計測装置は、前記第1物体と第2物体との第1軸方向と第2軸方向を含む異なる複数の方向の相対位置情報を計測することを特徴とする請求項1又は2に記載の駆動ユニット。
- 前記計測装置は、リニアエンコーダであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の駆動ユニット。
- 光学部材と;
該光学部材を前記第1物体にて保持する請求項1〜4のいずれか一項に記載の駆動ユニットと;を備える光学ユニット。 - 鏡筒と;
該鏡筒内の所定位置に配置された請求項5に記載の光学ユニットと;を備える光学装置。 - エネルギビームをマスクに照射して該マスクのパターンを基板上に転写する露光装置であって、
前記マスクから前記基板に至る前記エネルギビームの光路上に配置された請求項6に記載の光学装置を備えることを特徴とする露光装置。
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