JP4650227B2 - 光走査装置及び画像表示装置 - Google Patents
光走査装置及び画像表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4650227B2 JP4650227B2 JP2005333763A JP2005333763A JP4650227B2 JP 4650227 B2 JP4650227 B2 JP 4650227B2 JP 2005333763 A JP2005333763 A JP 2005333763A JP 2005333763 A JP2005333763 A JP 2005333763A JP 4650227 B2 JP4650227 B2 JP 4650227B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- mirror
- reflection
- reflection mirror
- optical scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
を走査させることで画像を表示する画像表示装置に用いられる光走査装置の技術に関する
。
プロジェクタやディスプレイが提案されている。レーザ光は、単一波長であるため色純度
が高い、コヒーレンスが高く整形が容易である等の特徴を有する。レーザ光源を用いるこ
とで、従来のプロジェクタ等と比較して、小型化や構成要素の減少も可能と考えられる。
このことから、レーザ光を用いることで、小型な構成により高解像度かつ良好な色再現性
の画像を表示することが期待されている。ビーム光を走査させる画像表示装置において小
型化に適した構成とする技術としては、例えば、特許文献1に提案されるものがある。特
許文献1には、ビーム光を反射しているガルバノミラーを用いて、複数のビーム光を同時
に走査させる構成が開示されている。
られる。画像の明るさを確保するためには、特に、画面が大型になるほど、高い出力のレ
ーザ光が必要とされる。特許文献1に提案されている構成では、複数の光源からの複数の
色光が1つの反射ミラーに集中することとなる。レーザ光に対して反射ミラーの反射率が
低い場合、反射ミラーに吸収された熱による反射ミラーの変形、焼損等が引き起こされる
ことが考えられる。高い出力のレーザ光に対する反射ミラーの劣化を低減するためには、
反射ミラーの反射率は、例えば、99%以上とすることが望ましい。これに対して、互い
に異なる波長領域を有する複数の光に対して99%程度の高い反射率を実現することは極
めて困難である。
積された熱の放出は、回転軸を介した伝播のほか空気中への発散による程度となる。反射
ミラーに蓄積される熱を効率良く放出するには、トーションばねを大型とすることも考え
られる。これに対して、トーションばねが大型になるのに伴い反射ミラーが大型になると
、レーザ光の高速かつ安定な走査を行うことが困難となる。安定かつ高速にレーザ光を走
査させる観点からは反射ミラーを小型にすることが望まれる一方、小型な反射ミラーへ各
レーザ光を集中させるほど反射ミラーの劣化を促進させてしまうとも考えられる。このよ
うに、従来の技術によると、小型かつ高い信頼性の構成によりビーム光を走査させること
が困難であるという問題を生じる。本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、
小型かつ高い信頼性の構成によりビーム光を走査させることが可能な光走査装置、及び画
像表示装置を提供することを目的とする。
ーム光を供給する複数の光源部と、光源部からのビーム光を走査させる走査部と、を有し
、走査部は、色ごとに設けられた反射ミラーを備え、反射ミラーは、反射ミラーへ入射す
るビーム光の色とは異なる他の色のビーム光と比較して、反射ミラーへ入射するビーム光
を高い反射率で反射することを特徴とする光走査装置を提供することができる。
反射ミラーは、狭い波長領域の光については、比較的容易に高い反射率を実現することが
可能である。色ごとに反射ミラーを設ける構成とすることで、高い反射率を実現可能な波
長領域のビーム光のみを反射ミラーへ入射させることを可能とし、反射ミラーへ吸収され
るビーム光を低減することができる。反射ミラーへのビーム光の吸収を低減することで反
射ミラーへの熱の蓄積を低減することができる。反射ミラーへの熱の蓄積を低減すること
で、反射ミラーの劣化を低減でき、高い信頼性を得ることができる。また、各色光用光源
部に対応させて反射ミラーを配置するため、単独の反射ミラーにより各ビーム光を走査さ
せる場合と比較して、光源部を高い自由度で配置することができる。構成の自由度を向上
させることで、容易に小型化に適した構成とすることが可能となる。これにより、小型か
つ高い信頼性の構成によりビーム光を走査させることが可能な光走査装置を得られる。
ましい。誘電体多層膜を用いることで、反射ミラーへ入射する色光を高い反射率で反射可
能な構成とすることができる。
る金属層と、金属層の、ビーム光を反射する側に設けられ、反射ミラーで反射するビーム
光の波長領域に対応する膜厚で形成された増反射膜と、を有することが望ましい。金属層
及び増反射膜を用いることで、反射ミラーへ入射する色光を高い反射率で反射可能な構成
とすることができる。さらに、増反射膜は、金属層を保護する保護層として機能させるこ
ともできる。増反射膜を設けることで、反射ミラーの劣化を低減し、高い信頼性を得るこ
とができる。
ことが望ましい。同色とは、互いに同一又は近似する波長領域を有することをいうものと
する。これにより、各色光の光量を増加させることができる。本発明では、反射ミラーに
より、互いに同色であるビーム光を高い反射率で反射することが可能である。互いに同色
であるビーム光であれば、光量を増加させても反射ミラーの劣化を低減でき、高い信頼性
を維持できる。また、本発明では光源部及び反射ミラーを高い自由度で配置することが可
能であるから、大型なアレイ光源部を用いる場合であっても、容易に小型化を図ることが
できる。
第1反射ミラーと、第1反射ミラーからのビーム光を、第1の方向に略直交する第2の方
向へ走査させる第2反射ミラーと、を有し、第1反射ミラーは、第1反射ミラーへ入射す
るビーム光の色とは異なる他の色のビーム光と比較して、第1反射ミラーへ入射するビー
ム光を高い反射率で反射することが望ましい。これにより、ビーム光を第1の方向及び第
2の方向へ走査させることができる。
けられることが望ましい。これにより、第1反射ミラーと同数の第2反射ミラーを設ける
場合よりも部品点数を少なくし、より小型な構成とすることができる。第2反射ミラーへ
は、第1反射ミラーによる走査により、強度が分散されたビーム光が入射する。このため
、互いに異なる色のビーム光を第2反射ミラーへ同時に入射させることとしても、第2反
射ミラーの劣化を低減することが可能である。よって、高い信頼性を維持することができ
る。
あることが望ましい。これにより、第1反射ミラーにより第1の方向へ走査するビーム光
を第2反射ミラーへ入射させることができる。また、大型な第2反射ミラーにてビーム光
を十分分散させることを可能とし、さらに第2反射ミラーの劣化を低減することが可能で
ある。よって、さらに高い信頼性を得ることができる。本発明では、第2反射ミラーによ
り副走査方向へ1回ビーム光を走査させる間に、第1反射ミラーにより主走査方向へ複数
回レーザ光を往復させることが可能である。第2反射ミラーの高速な駆動が不要であれば
、第2反射ミラーを大型としてもビーム光の走査への影響は少ないと考えることができる
。
1の方向に略直交する第2の方向へ走査させることが望ましい。これにより、ビーム光を
第1の方向及び第2の方向へ走査させることができる。1つの反射ミラーで2方向へのビ
ーム光の走査を行う構成とすることで、1方向へビーム光を走査させる反射ミラーを組み
合わせて用いる場合より部品点数を少なくし、より小型な構成とすることができる。
は、光源部からのビーム光を第1の方向へ走査させ、ポリゴンミラーは、反射ミラーから
のビーム光を第1の方向に略直交する第2の方向へ走査させることが望ましい。これによ
り、ビーム光を第1の方向及び第2の方向へ走査させることができる。
、複数のミラー片のうち特定の側へ向けられた1つのミラー片を用いて複数のビーム光を
走査させることが望ましい。かかる構成の場合、特定の側へ向けられた1つのミラー片へ
の各ビーム光の入射角度を調整することにより、被照射面にて各ビーム光が走査するよう
に容易に調整することができる。反射ミラーによるビーム光の走査により、ポリゴンミラ
ーのミラー片では、反射ミラーからのビーム光が分散される。このため、互いに異なる色
のビーム光を1つのミラー片へ同時に入射させることとしても、ポリゴンミラーの劣化を
低減することが可能である。よって、高い信頼性を維持することができる。
、複数のミラー片のうち特定の側へ向けられた2以上のミラー片を用いて複数のビーム光
を走査させることが望ましい。2以上のミラー片へビーム光を入射させる構成とすること
で、光源部、反射ミラーを色光ごとに切り離して配置することが可能となる。これにより
、構成の自由度をさらに向上させ、さらに小型化に適した構成とすることができる。また
、2以上のミラー片にてビーム光を十分分散させることを可能とし、さらにポリゴンミラ
ーの劣化を低減することが可能である。よって、さらに高い信頼性を得ることができる。
よりビーム光を走査させることが望ましい。これにより、反射ミラーの変位量を増大させ
、少ないエネルギーで効率良くビーム光を走査させることができる。本発明では、反射ミ
ラーへ入射する色光を高い反射率で反射させることが可能であるから、小型な反射ミラー
へビーム光を集中させても、反射ミラーの劣化を低減できる。よって、小型な反射ミラー
を共振動作させることでビーム光を高速に走査させる場合でも、高い信頼性を維持できる
。
を用いて走査させることにより画像を表示することを特徴とする画像表示装置を提供する
ことができる。上記の光走査装置を用いることにより、小型かつ高い信頼性の構成により
ビーム光を走査させることができる。これにより、小型かつ高い信頼性の構成により画像
を表示可能な画像表示装置を得られる。
0は、スクリーン18の一方の面である被照射面Sにレーザ光を供給し、スクリーン18
の他方の面から出射される光を観察することで画像を鑑賞する、いわゆるリアプロジェク
タである。画像表示装置10は、画像信号に応じて変調されたビーム光を走査させること
により画像を表示する。
1Bとを有する。R光用光源部11Rは、ビーム光である赤色レーザ光(以下、「R光」
という。)を供給する。G光用光源部11Gは、ビーム光である緑色レーザ光(以下、「
G光」という。)を供給する。B光用光源部11Bは、ビーム光である青色レーザ光(以
下、「B光」という。)を供給する。各色光用光源部11R、11G、11Bとしては、
例えば、端面発光型半導体レーザを用いることができる。各色光用光源部11R、11G
、11Bは、それぞれ画像信号に応じて変調されたレーザ光を供給する。画像信号に応じ
た変調は、振幅変調、パルス幅変調のいずれを用いても良い。
光用第1反射ミラー12Rは、R光用光源部11RからのR光を、被照射面Sにおいて、
第1の方向であるX方向へ走査させる。G光用光源部11Gの出射側には、G光用第1反
射ミラー12Gが設けられている。G光用第1反射ミラー12Gは、G光用光源部11G
からのG光を、被照射面Sにおいて、第1の方向であるX方向へ走査させる。B光用光源
部11Bの出射側には、B光用第1反射ミラー12Bが設けられている。B光用第1反射
ミラー12Bは、B光用光源部11BからのB光を、被照射面Sにおいて、第1の方向で
あるX方向へ走査させる。このように、各第1反射ミラー12R、12G、12Bは、色
ごとに設けられている。各第1反射ミラー12R、12G、12Bは、レーザ光を反射し
ながら回転軸を中心として回動することにより、レーザ光を走査させる。
一の領域上を照射するような位置に設けられている。第2反射ミラー14は、各第1反射
ミラー12R、12G、12Bからのレーザ光を、被照射面SにおいてY方向へ走査させ
る。Y方向は、第1の方向に略直交する第2の方向である。第2反射ミラー14は、レー
ザ光を反射しながら回転軸を中心として回動することにより、レーザ光を走査させる。各
第1反射ミラー12R、12G、12B、及び第2反射ミラー14は、電位差に応じた静
電力によって駆動する構成のほか、圧電素子の伸縮力や電磁力を用いて駆動する構成とす
ることができる。
ミラー14を用いることから、第1反射ミラー12R、12G、12Bに対応して3つの
第2反射ミラーを用いる場合よりも部品点数を少なくし、より小型な構成とすることがで
きる。なお、3つの第1反射ミラー12R、12G、12Bに対して1つの第2反射ミラ
ー14を設ける構成には限られない。第1反射ミラーが第2反射ミラーより多く設けられ
る構成であれば良い。
部11R、11G、11Bからのレーザ光を走査させる走査部である。各色光用光源部1
1R、11G、11B及び走査部は、光走査装置20を構成する。画像表示装置10は、
画像信号に応じて変調されたレーザ光を、光走査装置20を用いて走査させることにより
画像を表示する。
ー14からのレーザ光をスクリーン18の方向へ反射する。スクリーン18は、筐体17
のうち観察者側の面に設けられている。筐体17は、筐体17内部の空間を密閉する。ス
クリーン18は、画像信号に応じて変調されたレーザ光を透過させる透過型スクリーンで
ある。スクリーン18は、例えば、光を観察者側へ角度変換するフレネルレンズや、光を
拡散させるレンチキュラーレンズ、光拡散性を備える拡散板(いずれも不図示。)等を有
する。観察者は、スクリーン18から出射する光を観察することで、画像を鑑賞する。
るものである。図2では、便宜上、説明に不要な構成の図示を省略している。各第1反射
ミラー12R、12G、12BがX方向についてレーザ光を往復させるのに対して、第2
反射ミラー14は、Y方向についてレーザ光を一つの向き、例えば下方向のみに走査させ
るフライバック走査を繰り返す。画像の1フレーム期間において第2反射ミラー14がY
方向へ1回レーザ光を走査させる間に、各第1反射ミラー12R、12G、12Bは、X
方向について複数回レーザ光を往復させる。
を用いることが望ましい。各第1反射ミラー12R、12G、12Bは、共振動作させる
ことで変位量を増大させることができる。各第1反射ミラー12R、12G、12Bの変
位量を増大させることにより、少ないエネルギーでかつ高速にレーザ光を走査させること
ができる。安定かつ高速にレーザ光を走査させる観点から、各第1反射ミラー12R、1
2G、12Bは、できるだけ小型とされる。なお、各第1反射ミラー12R、12G、1
2Bは、共振動作以外の動作により往復回動させる構成としても良い。
するレーザ光を入射させることができる程度、第1反射ミラー12R、12G、12Bよ
り大型となるように形成されている。第2反射ミラー14は、副走査方向へのレーザ光の
走査に用いられることから、第1反射ミラー12R、12G、12Bより駆動を低速にす
ることができる。よって、第2反射ミラー14を大型としてもレーザ光の走査への影響は
少ないと考えることができる。
ザ光を反射させる側の面に誘電体多層膜を形成することにより構成されている。R光用第
1反射ミラー12Rに形成された誘電体多層膜は、R光とは異なる他の色光と比較して、
R光用第1反射ミラー12Rへ入射するR光を高い反射率で反射するように構成されてい
る。G光用第1反射ミラー12Gは、G光とは異なる他の色光と比較して、G光用第1反
射ミラー12Gへ入射するG光を高い反射率で反射するように構成されている。B光用第
1反射ミラー12Bは、B光とは異なる他の色光と比較して、B光用第1反射ミラー12
Bへ入射するB光を高い反射率で反射するように構成されている。
る。特定の波長の略4分の1の光学的厚みで形成された高屈折率層と低屈折率層とを重ね
合わせた構成により、かかる特定波長の光を最大の反射率で反射させることが可能となる
。高反射率となる光の波長領域を広げるには、厚みが異なる複数の層を重ねるほか、厚み
を連続的に変化させた層を設けることが考えられる。但し、R、G、Bをいずれも含む波
長領域について1つの誘電体多層膜で反射させる構成とする場合、図3に示すように反射
率にむらを生じ易くなる。このため、互いに異なる波長領域を有する複数の光に対して9
9%程度の高い反射率を実現することは極めて困難である。
性を説明するものである。ここでは、G光用第1反射ミラー12Gに用いられる誘電体多
層膜を代表例として、反射率と波長との関係を示す。誘電体多層膜は、1つの色光を含む
狭い波長領域の光については、比較的容易に高い反射率を実現することが可能である。例
えば、G光用光源部11GからのG光の波長が527nmであるとすると、G光用第1反
射ミラー12Gに設けられる誘電体多層膜は、527nmを中心とする狭い波長領域につ
いて100%近い反射率となるように形成される。R光用第1反射ミラー12Rについて
もR光、B光第1反射ミラー12BについてもB光について、それぞれ100%近い反射
率となるように形成される。
率を実現可能な波長領域のレーザ光のみを各第1反射ミラー12R、12G、12Bへ入
射させることを可能とし、第1反射ミラー12R、12G、12Bへ吸収されるレーザ光
を低減することができる。なお、図4を用いて説明した誘電体多層膜の反射特性は、誘電
体多層膜へのレーザ光の入射角度に応じて変化することが考えられる。このため、単一波
長のレーザ光を用いる場合であっても、高い反射率となる波長領域にある程度の幅を持た
せることが望ましい。これにより、レーザ光の入射角度が第1反射ミラー12R、12G
、12Bの振動により変化する場合でも、高い反射率を維持することができる。
、各第1反射ミラー12R、12G、12Bへ吸収されるレーザ光を低減することで、第
1反射ミラー12R、12G、12Bへの熱の蓄積を低減することができる。第1反射ミ
ラー12R、12G、12Bへの熱の蓄積を低減することで、高い出力のレーザ光に対し
て第1反射ミラー12R、12G、12Bの変形、焼損等による劣化を低減することがで
きる。
射ミラー14は、例えば、平行平板である基板のうちレーザ光を反射させる面にアルミニ
ウムや銀等の金属薄膜を形成することにより構成できる。第2反射ミラー14へは、第1
反射ミラー12R、12G、12Bによる走査により、強度が分散されたレーザ光が入射
する。大型な第2反射ミラー14では、ビーム光を十分分散させることも可能である。こ
のため、第2反射ミラー14は、互いに異なる色のレーザ光を金属薄膜にて反射させる構
成としても、劣化を低減することが可能である。
2反射ミラー14の劣化を低減することにより、高い信頼性を得ることができる。また、
各色光用光源部11R、11G、11Bに対応させて第1反射ミラー12R、12G、1
2Bを配置するため、単独の反射ミラーにより各レーザ光を走査させる場合と比較して、
光源部11R、11G、11Bを高い自由度で配置することができる。構成の自由度を向
上させることで、容易に小型化に適した構成にできる。これにより、小型かつ高い信頼性
の構成により画像を表示することができるという効果を奏する。
査装置50は、上記の画像表示装置10に適用することができる。R光用走査部54Rは
、R光用光源部11RからのR光を走査させる。G光用走査部54Gは、G光用光源部1
1GからのG光を走査させる。B光用走査部54Bは、B光用光源部11BからのB光を
走査させる。各走査部54R、54G、54Bは、反射ミラー52と、反射ミラー52の
周囲に設けられた外枠部53とを有する、いわゆる二重ジンバル構造をなしている。
方向へ走査させるように回動する。外枠部53は、反射ミラー52とともに、レーザ光を
Y方向へ走査させるように回動する。かかる構成により、反射ミラー52は、レーザ光を
X方向及びY方向へ走査させる。1つの反射ミラー52で2方向へのレーザ光の走査を行
う構成とすることで、1方向へレーザ光を走査させる反射ミラーを組み合わせて用いる場
合より部品点数を少なくし、より小型な構成とすることができる。
ー52に設けられた誘電体多層膜は、R光以外の他の色光と比較して、R光を高い反射率
で反射するように形成されている。G光用走査部54Gの反射ミラー52に設けられた誘
電体多層膜は、G光以外の他の色光と比較して、G光を高い反射率で反射するように形成
されている。B光用走査部54Bの反射ミラー52に設けられた誘電体多層膜は、B光以
外の他の色光と比較して、B光を高い反射率で反射するように形成されている。本変形例
においても、小型かつ高い信頼性の構成によりレーザ光を走査させることができる。
査装置60は、上記の画像表示装置10に適用することができる。光走査装置60は、各
第1反射ミラー12R、12G、12Bからのレーザ光が入射する位置に設けられたポリ
ゴンミラー64を有する。ポリゴンミラー64は、回転軸66を中心として複数のミラー
片65を回転させることにより、各第1反射ミラー12R、12G、12Bからのレーザ
光をY方向へ走査させる。各第1反射ミラー12R、12G、12B、及びポリゴンミラ
ー64は、各色光用光源部11R、11G、11Bからのレーザ光を走査させる走査部で
ある。ポリゴンミラー64は、Y方向についてレーザ光を一つの向き、例えば下方向のみ
に走査させるフライバック走査を繰り返す。
つのミラー片65を用いて各色光を走査させる。かかる構成の場合、スクリーン18側へ
向けられた1つのミラー片65への各色光の入射角度を調整することにより、被照射面S
にて各色光が走査するように容易に調整することができる。ミラー片65では、各第1反
射ミラー12R、12G、12Bによる走査により、強度が分散されたレーザ光が入射す
る。このため、ポリゴンミラー64は、互いに異なる色のレーザ光を1つのミラー片65
へ同時に入射させる構成としても、劣化を低減することが可能である。本変形例において
も、小型かつ高い信頼性の構成によりレーザ光を走査させることができる。
用いて各色光を走査させる構成に限られない。例えば、図7に示す光走査装置70のよう
に、ポリゴンミラー64のうちスクリーン18側へ向けられた2つのミラー片65を用い
て各色光を走査させても良い。光走査装置70は、R光用第1ミラー12RからのR光、
及びG光用第1ミラー12GからのG光を、1つのミラー片65へ入射させる。B光用第
1ミラー12BからのB光は、R光及びG光を入射させるミラー片65に隣接するミラー
片65へ入射させる。これにより、B光用光源部11B及びB光用第1反射ミラー12B
は、他の光源部11R、11G、及び他の第1反射ミラー12R、12Gとは離れた位置
に配置される。さらに、3つのミラー片65を用いて各色光を走査させても良い。この場
合、R光、G光、B光をそれぞれ異なるミラー片65へ入射させる構成とする。
G、11B及び第1反射ミラー12R、12G、12Bを、色光ごとに切り離して配置す
ることが可能となる。これにより、構成の自由度をさらに向上させ、さらに小型化に適し
た構成とすることができる。また、2以上のミラー片65にてレーザ光を十分分散させる
ことを可能とし、ポリゴンミラー64の劣化をさらに低減することも可能である。なお、
スクリーン18側へ向けられたミラー片65へレーザ光を入射させる構成に限られず、ス
クリーン18の方向以外の方向へ向けられたミラー片65へレーザ光を入射させる構成と
しても良い。
例えば、同色かつ複数のレーザ光を走査させる構成とすることもできる。同色かつ複数の
レーザ光を走査させることで、各色光の光量を増加させることができる。例えば、各色光
用光源部として、図8に示すように、5つの発光部82から同色かつ5つのレーザ光を供
給するアレイ光源部81を用いることができる。同色とは、同一又は近似する波長領域を
有することをいうものとする。アレイ光源部81としては、例えば面発光型半導体レーザ
を用いることができる。
5つのレーザ光は、凸レンズ83による収束作用、及び凹レンズ84による拡散作用によ
り、間隔が狭められる。このようにして、同色かつ複数のレーザ光を小型な反射ミラーへ
入射させる構成とすることができる。なお、同色かつ複数のレーザ光について間隔を狭め
る構成に限られず、例えば、反射ミラーにて集光させる構成としても良い。また、複数の
レーザ光の合成には凸レンズ83及び凹レンズ84を用いる場合に限られず、他のレンズ
系を用いることとしても良い。また、反射ミラーへ入射させることが可能である程度にま
で複数のレーザ光の間隔を小さくできる場合、凸レンズ83及び凹レンズ84を省略して
も良い。さらに、アレイ光源部81としては、同色のレーザ光を供給する複数の端面発光
型半導体レーザを用いても良い。
とが可能であるから、反射ミラーへ入射させるビーム光の光量を増加させても、反射ミラ
ーの劣化を低減し、高い信頼性を維持できる。また、本発明では各色光用光源部11R、
11G、11Bを高い自由度で配置することが可能であるから、大型なアレイ光源部81
を用いる場合であっても、容易に小型化を図ることができる。
ない。反射ミラーは、金属層と増反射膜とを用いる構成としても良い。図9に断面構成を
示す反射ミラー92は、基板93、金属層94、及び増反射膜95を順次積層させて構成
されている。金属層94は、平行平板である基板93のうちレーザ光を反射させる側の面
に形成されている。金属層94は、光源部からのレーザ光を反射する。増反射膜95は、
金属層94の、レーザ光を反射する側に設けられている。
を用いて構成することができる。増反射膜95は、強固かつ高い安定性の透明部材、例え
ば、Si2O3を用いて構成することができる。増反射膜95は、反射ミラー92へ入射さ
せるレーザ光の波長の略4分の1の光学的厚みで形成することができる。この場合、増反
射膜95及び空気の界面で反射した光L1と、増反射膜95及び金属層94の界面で反射
した光L2とを同位相とし、高い反射率でレーザ光を反射することが可能となる。
5を用いる場合の反射特性R2とを示す。金属層94を用いる場合、比較的広い波長領域
の光について、90数%程度の反射率とすることが可能である。これに対して、金属層9
4に増反射膜95を積層させることにより、1つの色光を含む狭い波長領域の光について
、97%程度の高い反射率を実現することが可能となる。
95を形成することで、反射ミラー92へ入射する色光を高い反射率で反射可能な構成と
することができる。よって、金属層94及び増反射膜95を用いる場合も、高い信頼性を
得ることが可能となる。さらに、増反射膜95は、金属層94を保護する保護層として機
能させることもできる。増反射膜95を設けることで、金属層94の腐食や傷の付着を防
ぎ、反射ミラー92の劣化を低減することができる。これにより、さらに高い信頼性を得
ることもできる。
置110は、観察者側に設けられたスクリーン115にレーザ光を供給し、スクリーン1
15で反射する光を観察することで画像を鑑賞する、いわゆるフロント投写型のプロジェ
クタである。上記実施例1と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する
。光走査装置20からのレーザ光は、出射窓111を透過した後、スクリーン115に入
射する。本実施例の場合も、上記実施例1と同様に、小型かつ高い信頼性の構成により画
像を表示することができる。
が、ビーム状の光を供給可能な構成であれば、これに限られない。例えば、各色光用光源
部は、固体レーザ、液体レーザやガスレーザを用いる構成としても良い。
光を走査させることにより画像を表示する画像表示装置に用いる場合に適している。
光源部、12R R光用第1反射ミラー、12G G光用第1反射ミラー、12B B光
用第1反射ミラー、14 第2反射ミラー、15 反射部、17 筐体、18 スクリー
ン、20 光走査装置、S 被照射面、50 光走査装置、52 反射ミラー、53 外
枠部、54R R光用走査部、54G G光用走査部、54B B光用走査部、60 光
走査装置、64 ポリゴンミラー、65 ミラー片、66 回転軸、70 光走査装置、
81 アレイ光源部、82 発光部、83 凸レンズ、84 凹レンズ、92 反射ミラ
ー、93 基板、94 金属層、95 増反射膜、110 画像表示装置、111 出射
窓、115 スクリーン
Claims (13)
- 互いに異なる色のビーム光を供給する複数の光源部と、
前記光源部からの前記ビーム光を走査させる走査部と、を有し、
前記走査部は、色ごとに設けられた反射ミラーを備え、
前記反射ミラーは、前記反射ミラーへ入射する前記ビーム光の色とは異なる他の色のビーム光と比較して、前記反射ミラーへ入射する前記ビーム光を高い反射率で反射することを特徴とする光走査装置。 - 前記反射ミラーは、誘電体多層膜を有することを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
- 前記反射ミラーは、
前記光源部からの前記ビーム光を反射する金属層と、
前記金属層の、前記ビーム光を反射する側に設けられ、前記反射ミラーで反射する前記ビーム光の波長領域に対応する膜厚で形成された増反射膜と、を有することを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の光走査装置であって、
前記光源部は、同色の光を供給する複数の発光部から構成され、
前記ビーム光は、前記同色の光を供給する複数の発光部からの光を収束または集光したものであることを特徴とする光走査装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の光走査装置であって、
前記反射ミラーは前記光源部からの前記ビーム光を第1の方向へ走査させ、
前記走査部は、前記反射ミラーからの前記ビーム光を、前記第1の方向に略直交する第2の方向へ走査させる第2反射ミラーをさらに有することを特徴とする光走査装置。 - 前記反射ミラーは、前記第2反射ミラーより多く設けられることを特徴とする請求項5に記載の光走査装置。
- 前記第2反射ミラーは、前記反射ミラーより大型であることを特徴とする請求項5又は6に記載の光走査装置。
- 前記反射ミラーは、前記ビーム光を第1の方向、及び前記第1の方向に略直交する第2の方向へ走査させることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の光走査装置。
- 前記走査部は、ポリゴンミラーを有し、
前記反射ミラーは、前記光源部からの前記ビーム光を第1の方向へ走査させ、
前記ポリゴンミラーは、前記反射ミラーからの前記ビーム光を前記第1の方向に略直交する第2の方向へ走査させることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の光走査装置。 - 前記ポリゴンミラーは、複数のミラー片を回転させ、複数の前記ミラー片のうち特定の側へ向けられた1つのミラー片を用いて複数の前記ビーム光を走査させることを特徴とする請求項9に記載の光走査装置。
- 前記ポリゴンミラーは、複数のミラー片を回転させ、複数の前記ミラー片のうち特定の側へ向けられた2以上のミラー片を用いて複数の前記ビーム光を走査させることを特徴とする請求項9に記載の光走査装置。
- 前記走査部は、前記反射ミラーを共振動作させることにより前記ビーム光を走査させることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の光走査装置。
- 画像信号に応じて変調されたビーム光を、請求項1〜12のいずれか一項に記載の光走査装置を用いて走査させることにより画像を表示することを特徴とする画像表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005333763A JP4650227B2 (ja) | 2005-11-18 | 2005-11-18 | 光走査装置及び画像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005333763A JP4650227B2 (ja) | 2005-11-18 | 2005-11-18 | 光走査装置及び画像表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007140109A JP2007140109A (ja) | 2007-06-07 |
JP4650227B2 true JP4650227B2 (ja) | 2011-03-16 |
Family
ID=38203049
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005333763A Expired - Fee Related JP4650227B2 (ja) | 2005-11-18 | 2005-11-18 | 光走査装置及び画像表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4650227B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013027400A1 (ja) | 2011-08-25 | 2013-02-28 | 株式会社ニコン | 空間光変調素子の製造方法、空間光変調素子、空間光変調器および露光装置 |
US9534756B2 (en) | 2012-04-03 | 2017-01-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Light-emitting device, floodlight, and vehicle headlight |
JP6138420B2 (ja) * | 2012-04-06 | 2017-05-31 | シャープ株式会社 | 発光装置および車両用前照灯 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62226119A (ja) * | 1986-03-27 | 1987-10-05 | Seiko Epson Corp | 光スキヤナ− |
JP2005242035A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Canon Inc | 画像投射装置、および画像投射装置の制御方法 |
JP2006323354A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-30 | Seiko Epson Corp | 光走査装置及び画像表示装置 |
-
2005
- 2005-11-18 JP JP2005333763A patent/JP4650227B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62226119A (ja) * | 1986-03-27 | 1987-10-05 | Seiko Epson Corp | 光スキヤナ− |
JP2005242035A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Canon Inc | 画像投射装置、および画像投射装置の制御方法 |
JP2006323354A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-30 | Seiko Epson Corp | 光走査装置及び画像表示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007140109A (ja) | 2007-06-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10502972B2 (en) | Image display device and mobile object | |
US7948667B2 (en) | Optical scanning element and image display apparatus | |
KR101321475B1 (ko) | 커플링 렌즈, 조명 장치 및 전자 장치 | |
JP5237635B2 (ja) | レーザ画像表示装置およびレーザ画像表示スクリーン | |
US20090059585A1 (en) | Illumination system | |
JP5358451B2 (ja) | 面状照明装置及び画像表示装置 | |
WO2014119407A1 (ja) | ヘッドアップディスプレイ装置 | |
JP3967145B2 (ja) | プロジェクタ装置 | |
JP2007047245A (ja) | 光源装置、光走査装置及び画像表示装置 | |
JP6535702B2 (ja) | 走査型表示装置及び走査型表示システム | |
US20230110183A1 (en) | Light-source device, image projection apparatus, and display device | |
JP4790228B2 (ja) | 照明方法および表示装置 | |
JP6797049B2 (ja) | 画像形成装置、画像形成装置を搭載した車両 | |
KR101206031B1 (ko) | 변조 가능한 외부 공진기형 면발광 레이저 및 이를 채용한디스플레이 장치 | |
JP4852971B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP4650227B2 (ja) | 光走査装置及び画像表示装置 | |
JP6922655B2 (ja) | 虚像表示装置 | |
JP4998640B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP2007156057A (ja) | 光源装置及び画像表示装置 | |
JP2014029395A (ja) | 光束走査装置、及び光束走査型画像映写装置 | |
JP4645154B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP2006292792A (ja) | 光投射装置及びプロジェクタ | |
JP2006163281A (ja) | プロジェクタ装置 | |
US11506965B1 (en) | Illumination system and projection device | |
JP2019164204A (ja) | 光源装置、表示装置、表示システムおよび移動体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070405 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080605 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100810 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100921 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101116 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4650227 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131224 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |