JP4649363B2 - Pellicle storage container - Google Patents

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Description

本発明は、半導体デバイス、プリント基板あるいは液晶ディスプレイ等を製造する際のゴミよけとして使用される、リソグラフィー用ペリクル、特には液晶ディスプレイ製造に用いられる大型のペリクル収納容器に関するものである。   The present invention relates to a pellicle for lithography, particularly a large pellicle storage container used for manufacturing a liquid crystal display, which is used as a dust prevention when manufacturing a semiconductor device, a printed circuit board, a liquid crystal display or the like.

ウエハー或いは液晶用ガラス原板に光を照射してパターンを作製するが、この時に用いるフォトマスクあるいはレチクル（以下、単にフォトマスクという）にゴミが付着していると、このゴミが光を遮ったり、曲げたりしてしまうために、転写したパターンが損なわれるという問題があった。
このため、これらの作業は通常クリーンルーム内で行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つ事が難しい。そこで、フォトマスク表面にゴミよけとして、ペリクルを貼付する方法が取られている。 A pattern is produced by irradiating a wafer or a liquid crystal glass original plate with light. If dust adheres to a photomask or reticle (hereinafter simply referred to as a photomask) used at this time, the dust blocks light. There is a problem that the transferred pattern is damaged due to bending.
For this reason, these operations are normally performed in a clean room, but it is still difficult to keep the photomask clean. Therefore, a method of sticking a pellicle as a dust guard on the photomask surface is taken.

この場合、異物はフォトマスクの表面上には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。このペリクルは、通常光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースあるいはフッ素系樹脂などからなる透明なペリクル膜をアルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクルフレームの上端面にペリクル膜の良溶媒を塗布し、風乾して接着する（特許文献１参照）か、エポキシ樹脂（特許文献２、特許文献３参照）やアクリル樹脂等の接着剤で接着し、更に、ペリクルフレームの下端には、フォトマスクに装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が設けられる。   In this case, the foreign matter does not adhere directly to the surface of the photomask but adheres to the pellicle. Therefore, if the focus is set on the pattern of the photomask during lithography, the foreign matter on the pellicle becomes irrelevant to the transfer. This pellicle usually has a transparent pellicle film made of nitrocellulose, cellulose acetate, fluorine resin or the like that transmits light well, and a pellicle film good solvent is applied to the upper end surface of a pellicle frame made of aluminum, stainless steel, polyethylene, etc. Adhere by air-drying (refer to Patent Document 1) or adhere with an adhesive such as epoxy resin (refer to Patent Document 2 or Patent Document 3) or acrylic resin, and attach to a photomask at the lower end of the pellicle frame In order to protect the adhesive layer, a pressure-sensitive adhesive layer made of polybutene resin, polyvinyl acetate resin, acrylic resin or the like is provided.

また、ペリクルをフォトマスクに貼り付けた状態において、ペリクル内部に囲まれた空間と外部との気圧差をなくすことを目的として、ペリクルフレームの一部に気圧調整用の小孔を開け、小孔を通じて移動する空気からの異物侵入を防ぐためのフィルターが設置されることもある。
ペリクルを使用する際にはセパレータ（ライナー）を剥離して粘着層を露出させなければならない。辺長が３００ｍｍを超えるような大型のペリクルの場合、ペリクルを水平にしたまま剥離するのが困難なため、図４（ａ）〜（ｃ）に示すようにペリクルをほぼ垂直に立てた状態で行われることが多い。 In addition, when the pellicle is attached to the photomask, a small hole for adjusting the atmospheric pressure is formed in a part of the pellicle frame in order to eliminate the pressure difference between the space enclosed inside the pellicle and the outside. A filter may be installed to prevent intrusion of foreign matter from the air moving through.
When using a pellicle, the separator (liner) must be peeled to expose the adhesive layer. In the case of a large pellicle having a side length exceeding 300 mm, it is difficult to peel the pellicle while keeping the pellicle horizontal, so that the pellicle is in an upright position as shown in FIGS. Often done.

通常、セパレータは厚さ１００〜１５０μｍ程度のＰＥＴ等の樹脂フィルムで作られていて剛性がないため、剥離時は極めて不安定な挙動を示す。そのため、図４（ｄ）に示すように、剥離時にペリクル膜に接触して損傷させたり、あるいは付着していた異物が飛び散ってペリクル膜を汚染することがあった。
これを防ぐために、剥離時にひらひらしないよう全面を覆う形状とすることも考えられるが、面積が極めて大きくなるため、全面を清浄に洗浄することが難しくなる。また、重量の増加や中央部の弛み等に由来する取り扱いの問題、セパレータ貼付後にペリクル膜の検査ができないといった問題があり、採用できない。 Usually, since the separator is made of a resin film such as PET having a thickness of about 100 to 150 μm and has no rigidity, it exhibits extremely unstable behavior at the time of peeling. For this reason, as shown in FIG. 4D, the pellicle film may be damaged by contact with the pellicle film at the time of peeling, or the adhered foreign matter may be scattered to contaminate the pellicle film.
In order to prevent this, it may be possible to form a shape that covers the entire surface so that it does not flutter during peeling, but since the area becomes extremely large, it becomes difficult to clean the entire surface. Further, there are problems in handling due to an increase in weight, slackness in the central portion, and the like, and a problem that the pellicle film cannot be inspected after the separator is pasted.

冶具（例えば、セパレータを数箇所で固定する）を使用する方法では、セパレータへの冶具の取付けがきわめて困難と予想され、また、冶具をペリクルサイズ別に用意する必要があるという問題もある。
以上のように、ペリクルを垂直に立ててセパレータを剥離する方法において、セパレータのペリクル膜への接触やペリクル膜への異物付着を防ぐ有効かつ簡便な手段はない。したがって、ペリクルを水平にした状態でセパレータを剥離するのが良いのだが、上記のように、ペリクルを何かに置いて剥離しようとすると下側にセパレータが来てしまい、剥離させることができない。 In a method using a jig (for example, fixing a separator at several points), it is expected that the jig is attached to the separator, and there is a problem that the jig needs to be prepared for each pellicle size.
As described above, there is no effective and simple means for preventing the contact of the separator with the pellicle film and the adhesion of foreign matter to the pellicle film in the method of peeling the separator while standing the pellicle vertically. Therefore, it is preferable to peel the separator in a state where the pellicle is horizontal. However, as described above, when the pellicle is placed on something and peeled, the separator comes to the lower side and cannot be peeled off.

そのため、ペリクルを横方向から何らかの冶具で保持して高く持ち上げておいて、その状態で下方向にセパレータを引っ張ってやる必要がある。そのため、これを装置で実現しようとすると、かなり大掛かりなものが必要になり、簡単には実施できない。
通常、ペリクルはペリクル収納容器に水平に収納されている。取り出しは、ペリクル収納容器トレイ上に載置されたペリクルをほぼ水平に保ったまま上方へ持ち上げて行われる。このとき、セパレータが何らかの方法で収納容器トレイ上に固定されていれば、この動作にあわせてセパレータは剥離されて収納容器トレイ上に残るはずである。この方式が実現できれば、特別な冶具や装置を用意しなくとも、目的としたセパレータ剥離時のペリクル膜への接触防止が達成される。 Therefore, it is necessary to hold the pellicle from a lateral direction with some jig and lift it high, and pull the separator downward in that state. For this reason, if this is to be realized by an apparatus, a considerably large one is required and cannot be easily implemented.
Usually, the pellicle is horizontally stored in the pellicle storage container. The removal is performed by lifting the pellicle placed on the pellicle storage container tray upward while keeping it substantially horizontal. At this time, if the separator is fixed on the storage container tray by any method, the separator should be peeled off and remain on the storage container tray in accordance with this operation. If this method can be realized, it is possible to prevent contact with the pellicle film when the separator is peeled off without preparing a special jig or apparatus.

さて、セパレータをペリクル収納容器トレイに固定する公知技術として、たとえば以下のようなものが提案されている（特許文献４、特許文献５参照）。
特許文献４の方法は、目的が本発明とは異なっていて、セパレータの固定ではなくセパレータ（保護フィルム）を利用したペリクルの位置ズレ防止であり、セパレータに突出させた押え代に孔を設け、トレイ上に設置したピンにその孔を挿入して固定するものである。この方法は、上下方向への規制が無いため、セパレータを収納容器トレイに固定する機能は無く、ペリクルを持ち上げた際にセパレータを剥離することはできない。また、輸送時にペリクル収納容器内でペリクルが上下に動き、発塵によりペリクル膜が汚染されるという懸念がある。 As a known technique for fixing the separator to the pellicle storage container tray, for example, the following techniques have been proposed (see Patent Document 4 and Patent Document 5).
The method of Patent Document 4 has a purpose different from that of the present invention, is to prevent the displacement of the pellicle using the separator (protective film) instead of fixing the separator, and provides a hole in the presser allowance protruding from the separator. The hole is inserted and fixed to a pin installed on the tray. In this method, since there is no restriction in the vertical direction, there is no function of fixing the separator to the storage container tray, and the separator cannot be peeled when the pellicle is lifted. Further, there is a concern that the pellicle moves up and down in the pellicle storage container during transportation and the pellicle film is contaminated by dust generation.

特許文献５の方法は、セパレータ（保護フィルム）に突出させた押え代部分をペリクルケースに粘着テープ止めしている。特許文献５の方法は、特許文献６の方法と同様、本発明とは目的が異なっているが、セパレータがペリクル収納容器トレイにテープ固定されているため、ペリクルをゆっくり上方へ引き上げれば、セパレータを剥離することができる可能性はある。しかしながら、セパレータにより間接的にペリクルをペリクル収納容器トレイに固定している点に問題がある。セパレータは軽い剥離力でマスク粘着層から剥離してしまう。そのため、強い衝撃や収納容器を上下逆にした場合などにマスク粘着層がセパレータから剥離し、収納容器内でペリクルが動いて損傷してしまう恐れがある。また、粘着テープの性質上、直接、手で扱わないと貼付・剥がし作業がしにくい。ペリクル膜の近くで手作業を行わなければならないことは、ペリクル膜への異物付着防止の点から非常に問題である。
以上のことから、これまでセパレータを剥離する際にペリクル膜へのセパレータの接触や異物付着が無いペリクルは存在しなかった。 In the method of Patent Document 5, the presser allowance protruding from the separator (protective film) is fixed to the pellicle case with an adhesive tape. The method of Patent Document 5 is different from the present invention in the same manner as the method of Patent Document 6, but the separator is fixed to the pellicle storage container tray with a tape. There is a possibility that can be peeled off. However, there is a problem in that the pellicle is indirectly fixed to the pellicle storage container tray by the separator. The separator peels off from the mask adhesive layer with a light peeling force. For this reason, the mask adhesive layer may be peeled off from the separator when the impact is strong or the storage container is turned upside down, and the pellicle may move and be damaged in the storage container. In addition, due to the nature of the adhesive tape, it is difficult to perform the pasting / peeling work unless it is handled directly by hand. The fact that manual work must be performed near the pellicle film is very problematic in terms of preventing foreign matter from adhering to the pellicle film.
From the above, there has been no pellicle with no separator contact or foreign matter adhesion to the pellicle film when the separator is peeled.

特開昭５８−２１９０２３号公報JP 58-219033 米国特許第４８６１４０２号明細書US Pat. No. 4,861,402 特公昭６３−２７７０７号公報Japanese Patent Publication No. 63-27707 特開２００４−３６１６４８号公報JP 2004-361648 A 特開２００４−３６１６４７号公報JP 2004-361647 A

以上のような事情に鑑みて、本発明は、ペリクルをペリクル収納容器から取り出し際に、ペリクルからセパレートを安全・確実に分離することができるようにすることを課題とする。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to make it possible to safely and reliably separate a pellicle from a pellicle when the pellicle is taken out from the pellicle storage container.

本発明のペリクル収納容器は、セパレータの外周に複数の貫通孔を有する突出した領域を設け、該貫通孔に該貫通孔よりも大径の部分を有する固定具を挿入してペリクル収納容器トレイにセパレータを固定することを特徴とする。
セパレータをペリクル収納容器トレイに固定すると共に、該セパレータ固定手段とは別の手段によりペリクルをペリクル収納容器トレイに固定することが好ましい。該別の手段は、ペリクルがペリクルフレームの側面に設けられた複数の非貫通の孔にそれぞれ挿入されたピンによりペリクル収納容器のトレイに固定されていることとすることができる。
ペリクル収納容器へのセパレータの固定具が脱着可能であること、セパレータの固定具は磁力によりペリクル収納容器に吸着固定されるものであること、ペリクル収納容器へのセパレータの固定具のうち、少なくとも1箇所はペリクルフレームのコーナー部から５０ｍｍ以内に設けられていることがそれぞれ好ましい。 In the pellicle storage container of the present invention, a protruding region having a plurality of through holes is provided on the outer periphery of the separator, and a fixing tool having a larger diameter than the through hole is inserted into the through hole, and the pellicle storage container is placed in the pellicle storage container tray. The separator is fixed.
It is preferable that the separator is fixed to the pellicle storage container tray and the pellicle is fixed to the pellicle storage container tray by means different from the separator fixing means. The other means may be that the pellicle is fixed to the tray of the pellicle storage container by pins respectively inserted into a plurality of non-through holes provided on the side surface of the pellicle frame.
At least one of the separator fixing tool to the pellicle storage container, the separator fixing tool to the pellicle storage container being removable, the separator fixing tool being attracted and fixed to the pellicle storage container by magnetic force Each of the locations is preferably provided within 50 mm from the corner of the pellicle frame.

本発明によれば、ペリクルのペリクル収納容器からの取り出しに伴ってセパレータはマスク粘着層から剥離される。剥離終了までセパレータはペリクル収納容器トレイに固定されたままのため、ペリクル膜への接触が防止され、また、異物付着の恐れも小さい。   According to the present invention, the separator is peeled off from the mask adhesive layer as the pellicle is taken out from the pellicle storage container. Since the separator remains fixed to the pellicle storage container tray until the end of peeling, contact with the pellicle film is prevented and there is little risk of foreign matter adhering.

以下、本発明の実施の形態を図面も参照して説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１に本発明の一実施の形態を示す。図１（ａ）は平面図および側面（ＡＡ断面）の概略図、図１（ｂ）はセパレータ固定手段の断面拡大図、図１（ｃ）はペリクルフレームの固定手段の断面拡大図である。
ペリクルフレーム１０端面のマスク粘着層１２に貼り付けられたセパレータ１４において、４つのコーナー近傍には貫通孔を有するタブ部１４ａが設けられている。このセパレータタブ部１４ａの真下にある収納容器トレイ１８上には受け座１５ｂがボルト１５ｄにより固定され、さらに受け座１５ｂの内部にはマグネット１５ｃが固定されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. FIG. 1A is a plan view and a schematic view of a side surface (AA cross section), FIG. 1B is an enlarged sectional view of a separator fixing means, and FIG. 1C is an enlarged sectional view of a fixing means for a pellicle frame.
In the separator 14 attached to the mask adhesive layer 12 on the end surface of the pellicle frame 10, tab portions 14a having through holes are provided in the vicinity of the four corners. A receiving seat 15b is fixed by bolts 15d on the storage container tray 18 just below the separator tab portion 14a, and a magnet 15c is fixed inside the receiving seat 15b.

また、外部からの塵埃の侵入を完全に防ぐために、受け座１５ｂのボルト孔周囲には溝が設けられ、Ｏリング１９が装着されている。そして、セパレータタブ部１４ａの貫通孔１４ｂおよび受け座１５ｂに磁性体で製作された固定具１５ａを挿入し、固定具１５ａの先端がマグネット１５ｃに吸着固定されることで、収納容器トレイ１８上にセパレータ１４が固定される。
ここで、固定具１５ａは適度な剛性のある磁性体であれば良いので、メッキ等の表面処理をした炭素鋼や、マルテンサイト系あるいはフェライト系ステンレスが好適である。形状としてはセパレータタブ部１４ａに設けられた貫通孔１４ｂよりも少なくとも１．２倍以上の大径部分があれば良い。また、脱着時にピンセット等で把持しやすいよう、ハンドリング用の溝や孔などを設けても良い。 Further, in order to completely prevent dust from entering from the outside, a groove is provided around the bolt hole of the receiving seat 15b, and an O-ring 19 is attached. Then, a fixture 15a made of a magnetic material is inserted into the through hole 14b and the receiving seat 15b of the separator tab portion 14a, and the tip of the fixture 15a is attracted and fixed to the magnet 15c. The separator 14 is fixed.
Here, since the fixing tool 15a may be a magnetic body having moderate rigidity, carbon steel subjected to surface treatment such as plating, martensitic or ferritic stainless steel is preferable. As a shape, it is sufficient that there is a large-diameter portion at least 1.2 times larger than the through-hole 14b provided in the separator tab portion 14a. Further, a handling groove or hole may be provided so as to be easily grasped with tweezers or the like at the time of detachment.

マグネット１５ｃは、小型で強い磁力が得られるサマリウム−コバルト磁石やネオジム−鉄−ボロン磁石などのいわゆる希土類磁石が特に好適であるが、磁石表面からの発塵防止および防錆の観点から、表面にはニッケルメッキやエポキシ樹脂コーティングなどの適切な表面処理を施すことが望ましい。また、マグネット１５ｃの固定は、図１（ｂ）のように空間に収納し、受け座１５ｂの薄肉部を通して固定具１５ａに磁力が作用するようにするか、あるいは、受け座１５ｂの薄肉部を省略して、発ガスの少ない接着剤で受け座１５ｂの孔内に直接固定しても良い。
磁力を利用することにより、固定具の脱着が容易であることに加え、固定力の経年劣化が無く高い信頼性が得られる。また、化学物質の揮発の恐れやこすれによる発塵の恐れが無いため、収納容器内の清浄性維持の点からもきわめて好適である。 The magnet 15c is particularly preferably a so-called rare earth magnet such as a samarium-cobalt magnet or a neodymium-iron-boron magnet that is small and can provide a strong magnetic force, but from the viewpoint of preventing dust generation from the magnet surface and preventing rust. It is desirable to apply an appropriate surface treatment such as nickel plating or epoxy resin coating. The magnet 15c is fixed in a space as shown in FIG. 1 (b) so that a magnetic force acts on the fixture 15a through the thin portion of the receiving seat 15b, or the thin portion of the receiving seat 15b is fixed. It may be omitted and fixed directly in the hole of the receiving seat 15b with an adhesive that generates less gas.
By utilizing the magnetic force, the fixing tool can be easily attached and detached, and the fixing force does not deteriorate with time and high reliability can be obtained. Further, since there is no fear of volatilization of chemical substances or generation of dust due to rubbing, it is extremely suitable from the viewpoint of maintaining cleanliness in the storage container.

固定具１５ａと受け座１５ｂの隙間は、固定具１５ａの脱着が円滑にできる範囲で、できるだけ狭いことが望ましい。ここで、貫通孔１４ｂ、固定具１５ａおよび受け座１５ｂの孔形状に特に制限は無く、丸孔以外の形状でも目的は達成されるが、加工のし易さやこすれた時の発塵を考慮すれば、丸孔が好適である。
また、セパレータタブ部１４ａに設けられた貫通孔の大きさは、固定具１５ａの挿入部分の太さよりも少なくとも１ｍｍ、特には５ｍｍ程度大きいことが望ましい。固定具１５ａを挿入する際の位置あわせが容易になることに加え、収納容器トレイ１８からペリクルを引き離す際に、固定具１５ａとタブ部１４ａ貫通孔間の遊び分、セパレータが上方へ動いてマスク粘着層１２に対して斜めに引っ張られることになり、剥離が容易になる。 It is desirable that the gap between the fixture 15a and the receiving seat 15b be as narrow as possible as long as the fixture 15a can be smoothly attached and detached. Here, there are no particular restrictions on the hole shapes of the through hole 14b, the fixture 15a, and the receiving seat 15b, and the object can be achieved with shapes other than the round holes, but considering the ease of processing and dust generation when rubbed. For example, a round hole is preferable.
Further, it is desirable that the size of the through hole provided in the separator tab portion 14a is at least 1 mm, particularly about 5 mm, larger than the thickness of the insertion portion of the fixture 15a. In addition to facilitating the positioning when inserting the fixture 15a, when the pellicle is pulled away from the storage container tray 18, the amount of play between the fixture 15a and the tab portion 14a, the separator moves upward, and the mask It will be pulled with respect to the adhesion layer 12, and peeling will become easy.

セパレータの固定だけでなく、ペリクルそのものをペリクル収納容器トレイに固定することを併用することもより好ましい実施の形態となる。
ペリクルのペリクル収納容器トレイへの固定としては、以下のような構成により行われることが好適である。
ペリクルフレーム１０の外側面には非貫通の丸孔１０ａが４箇所設けられており、そこには抜き差し可能なピン１６が挿入される。各々のピン１６は収納容器トレイ上に接着等の方法（図示せず）で固定されたブロック１７に保持される構造になっており、ピン１６の挿入によりペリクルフレーム１０は収納容器トレイ１８上に固定される。ピンおよびブロックは、寸法精度、コストの面から、ＰＰＳ、ＡＢＳ等の樹脂を射出成形して製作することが好ましい。また、さらにペリクルフレームとピンとの擦れによる発塵防止として、ピン先端にラバー部品を取り付けることも好適である。
ペリクルをペリクル収納容器トレイへ固定する手段と、セパレータをペリクル収納容器へ固定する手段を別々とすることで、不安定なセパレータを介してペリクルをペリクル収納容器へ固定しないので、輸送中にペリクルが動いて発塵、損傷する恐れが無い。そして、ペリクル固定手段を解除した後にペリクルをペリクル収納容器から引き離せば、セパレータだけをペリクル収納容器トレイ上へ残していくことになり、自動的にこれを剥離することができる。
また、ペリクルを確実に収納容器トレイ上に保持して、輸送中の発塵の恐れが極めて小さいことに加え、ペリクルの固定を解除する際にもピンセットなどで間接的に作業を行うことができるため、人手がペリクルに接近させずに済み、異物付着の恐れが小さいという利点がある。
さらに、ペリクル収納容器へのセパレータの固定具が脱着可能であるようにすることによって、ペリクルの固定手段とともにセパレータの固定手段も解除すれば、セパレータを剥離しないでペリクルをペリクル収納容器から取り出すことができ、検査だけ行って、また収納容器へ戻す場合などに特に有益である。 In addition to fixing the separator, a combination of fixing the pellicle itself to the pellicle storage container tray is also a more preferable embodiment.
The fixing of the pellicle to the pellicle storage container tray is preferably performed by the following configuration.
Four non-penetrating round holes 10a are provided on the outer surface of the pellicle frame 10, and pins 16 that can be inserted and removed are inserted therein. Each pin 16 is structured to be held by a block 17 fixed on the storage container tray by a method such as adhesion (not shown). By inserting the pin 16, the pellicle frame 10 is placed on the storage container tray 18. Fixed. The pins and blocks are preferably manufactured by injection molding a resin such as PPS or ABS from the viewpoint of dimensional accuracy and cost. It is also preferable to attach a rubber part to the tip of the pin to prevent dust generation due to rubbing between the pellicle frame and the pin.
By separating the means for fixing the pellicle to the pellicle storage container tray and the means for fixing the separator to the pellicle storage container, the pellicle is not fixed to the pellicle storage container via an unstable separator. There is no danger of moving and generating dust or damage. When the pellicle is pulled away from the pellicle storage container after the pellicle fixing means is released, only the separator is left on the pellicle storage container tray, and can be automatically peeled off.
In addition to holding the pellicle securely on the storage container tray, there is very little risk of dust generation during transportation, and in addition, it is possible to work indirectly with tweezers when releasing the fixation of the pellicle Therefore, there is an advantage that it is not necessary for a human hand to approach the pellicle, and the possibility of foreign matter adhesion is small.
Further, by making the separator fixture to the pellicle storage container detachable, if the separator fixing means is released together with the pellicle fixing means, the pellicle can be taken out from the pellicle storage container without peeling off the separator. This is particularly useful when, for example, only inspection is performed and the container is returned to the storage container.

図２（ａ）〜（ｄ）にペリクル収納容器トレイからペリクルを持ち上げている場面の概略図を示す。ペリクルフレーム２０に挿入してあるピン（図示せず）を抜き取り、次いで、ペリクルフレーム２０をペリクル収納容器トレイ２５とほぼ平行に上方へ持ち上げていく。すると、図２（ｂ）の如く、ペリクルフレーム２０の上昇に伴い、固定具２３とセパレータ２２に設けられた丸孔（図示せず）の間隙分だけセパレータが引っ張られた後、固定具２３に引っかかり、下斜め方向に引き下げられる。さらにペリクルフレーム２０を上方へ持ち上げていくと、図２（ｂ）の如くコーナー部からセパレータ２２の剥離が始まり、図２（ｃ）に示すような経過を辿って、最後には図２（ｄ）のように剥離が完了する。
このとき、固定具はセパレータの貫通孔よりも大径部分を有しているので、貫通孔に挿入および固定された固定具が十分な固定力で保持されていれば、セパレータは固定具から抜けたり、滑ったりする恐れが無い。 2A to 2D are schematic views of a scene where the pellicle is lifted from the pellicle storage container tray. A pin (not shown) inserted in the pellicle frame 20 is removed, and then the pellicle frame 20 is lifted upward substantially parallel to the pellicle storage container tray 25. Then, as shown in FIG. 2B, as the pellicle frame 20 is raised, the separator is pulled by the gap between the fixture 23 and the round hole (not shown) provided in the separator 22, and then the fixture 23 It is caught and pulled down in the diagonal direction. When the pellicle frame 20 is further lifted upward, the separator 22 begins to peel from the corner as shown in FIG. 2B, and the process shown in FIG. 2C is followed. The peeling is completed as shown in FIG.
At this time, since the fixing tool has a larger diameter portion than the through hole of the separator, if the fixing tool inserted and fixed in the through hole is held with a sufficient fixing force, the separator is removed from the fixing tool. There is no fear of sliding.

図３（ａ）、（ｂ）に本発明の別の実施形態を示す。図３（ａ）はペリクル長辺において、セパレータ３１に孔あきタブ部３２の数を増やし、セパレータ３１が収納容器トレイ（図示せず）に、より密着固定されるようにしたものである。もちろん、このときにはペリクル収納容器トレイの側も孔あきタブ部３２に対応した場所に受け座、固定具他の固定手段が必要である（図示省略）。セパレータ固定箇所の増加は、辺長が１ｍを超えるような特に大型のペリクルに対して、セパレータ剥離時の安定度を向上させる効果がある。   3 (a) and 3 (b) show another embodiment of the present invention. FIG. 3A shows a structure in which the number of perforated tab portions 32 is increased in the separator 31 along the long side of the pellicle so that the separator 31 is more closely fixed to a storage container tray (not shown). Of course, at this time, the pellicle storage container tray side also requires a receiving seat, a fixture, and other fixing means at a location corresponding to the perforated tab portion 32 (not shown). The increase in the number of separator fixing points has an effect of improving the stability at the time of separating the separator for a particularly large pellicle having a side length exceeding 1 m.

図３（ｂ）は孔あきタブ部を一部だけの突出とせず、セパレータ全周に渡って設けたものである。セパレータ外周部の形状がコーナー部以外は直線だけであるので、製造が容易である。ただし、不要なセパレータの面積が増加するというマイナス要素がある。このように、セパレータタブ部の形状およびセパレータ固定部の数は、セパレータを安定して剥離でき、なおかつ、できるだけシンプルな形状を目指すという観点から決定することが良い。
セパレータに形成するタブ部は、少なくとも1箇所はペリクルフレームのコーナー部から５０ｍｍ以内に設けられていることも好ましい実施の形態となる。そのようにすると、セパレータの剥離がペリクルの収納容器からの引き離しとともに自動的に行われる条件として、コーナー近傍から剥離が開始されることが挙げられるが、この条件が確実に満足される。コーナー部近傍から剥離が始まることで粘着層からの剥離がスムーズになり、剥離力が小さくて済むことに加え、セパレータに大きな力や急激な挙動が加わらないため、発塵の恐れが小さい。 In FIG. 3B, the perforated tab portion is provided not over the entire circumference of the separator, but as a part of the protrusion. Since the shape of the outer peripheral part of the separator is only a straight line except for the corner part, the manufacturing is easy. However, there is a negative factor that the area of the unnecessary separator increases. As described above, the shape of the separator tab portion and the number of separator fixing portions are preferably determined from the viewpoint of stably separating the separator and aiming for a simple shape as much as possible.
It is also a preferred embodiment that at least one tab portion formed on the separator is provided within 50 mm from the corner portion of the pellicle frame. In such a case, as a condition in which the separation of the separator is automatically performed along with the separation of the pellicle from the storage container, the separation is started from the vicinity of the corner, but this condition is surely satisfied. Since the peeling from the adhesive layer becomes smooth by starting peeling from the vicinity of the corner portion and the peeling force is small, the separator is not subjected to a large force or abrupt behavior, and therefore, the risk of dust generation is small.

以下、本発明の実施例を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
［実施例］
図１（ａ）に示すような形状のアルミニウム合金製ペリクルフレーム１０を機械加工により製作した。このペリクルフレーム１０の形状は、外寸１１３６×７８３ｍｍ、内寸１１１４×７６３ｍｍ、高さ６ｍｍとした。また、側面にはフレーム固定用孔１０ａを長辺側面のコーナー部から各々３６ｍｍの位置に４箇所配置し、その形状は直径２．５ｍｍ深さ２．５ｍｍの丸孔とした。そして、最後に表面をサンドブラスト処理したうえ、黒色アルマイト処理を施した。 Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited thereto.
[Example]
An aluminum alloy pellicle frame 10 having a shape as shown in FIG. 1A was manufactured by machining. The pellicle frame 10 had an outer size of 1136 × 783 mm, an inner size of 1114 × 763 mm, and a height of 6 mm. Further, four frame fixing holes 10a are arranged on the side surface at positions of 36 mm each from the corner portion of the long side surface, and the shape thereof is a round hole having a diameter of 2.5 mm and a depth of 2.5 mm. Finally, the surface was sandblasted and then black anodized.

このペリクルフレームを中性洗剤と純水で洗浄、乾燥後、一方の端面にペリクル膜接着層１３としてシリコーン粘着剤、他方の端面にマスク粘着層１２としてシリコーン粘着剤（商品名ＫＲ１２０、信越化学工業（株）製）をトルエンで希釈して塗布し、加熱によりキュアさせた。そして、マスク粘着層端面には、粘着層保護のため、セパレータ１４を貼り付けた。セパレータは厚さ１２５μｍのＰＥＴフィルムを基材とし、表面にはフッ素変性シリコーン離型剤（商品名：Ｘ−７０−２０１、信越化学工業（株）製）を塗布している。なお、このセパレータ１４には、４箇所のコーナー部に直径１０ｍｍの貫通孔をもつタブ部１４ａを設けた。   The pellicle frame is washed with a neutral detergent and pure water and dried, and then, one end face is a silicone adhesive as the pellicle film adhesive layer 13 and the other end face is a silicone adhesive (trade name KR120, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). (Made by Co., Ltd.) was diluted with toluene, applied, and cured by heating. And the separator 14 was affixed on the mask adhesive layer end surface for the adhesion layer protection. The separator is made of a PET film having a thickness of 125 μm, and a fluorine-modified silicone release agent (trade name: X-70-201, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) is applied to the surface. The separator 14 was provided with tab portions 14a having through holes with a diameter of 10 mm at four corner portions.

さらに、フッ素系ポリマー（商品名サイトップ、旭硝子（株）製）をスピンコート法により８５０×１２００×厚さ１０ｍｍの長方形石英基板上に成膜し、溶媒乾燥後、基板外形と同形状の枠体に接着、剥離して得た厚さ約４μｍのペリクル膜をこのペリクルフレームに貼付けた。そして、ペリクルフレーム周囲の不要な膜をカッターにて切断除去してペリクルとした。
また、図１（ａ）に示すような断面形状のＡＢＳ樹脂容器を真空成形法により製作し、ペリクルフレーム１０側面の固定用孔１０ａに対応した位置に固定用のピン１６が挿入されるようブロック１７の位置を調整し、収納容器トレイ１８上に接着剤およびボルト締結（図示しない）にて固定した。 Further, a fluorine-based polymer (trade name Cytop, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) is formed on a rectangular quartz substrate of 850 × 1200 × 10 mm in thickness by spin coating, dried with a solvent, and then a frame having the same shape as the outer shape of the substrate. A pellicle film having a thickness of about 4 μm obtained by adhering to and peeling from the body was attached to this pellicle frame. Then, an unnecessary film around the pellicle frame was cut and removed with a cutter to obtain a pellicle.
Further, an ABS resin container having a cross-sectional shape as shown in FIG. 1A is manufactured by a vacuum forming method, and the fixing pin 16 is inserted in a position corresponding to the fixing hole 10a on the side surface of the pellicle frame 10. The position of 17 was adjusted and fixed on the storage container tray 18 with an adhesive and bolt fastening (not shown).

さらに、上記セパレータタブ部１４ａに設けた貫通孔に対応した位置に、受け座１５ｂをボルト１５ｄにて締結固定した。受け座１５ｂ内部の空間にはφ６ｍｍ、高さ６ｍｍのネオジム−鉄−ボロン磁石にニッケルメッキを施したものを挿入した。さらに、ボルト孔周辺にはＯリング１９を配置した。また、固定具１５ａとして、炭素鋼Ｓ４５Ｃを機械加工により受け座１５ｂに嵌合し、直径１６ｍｍの大径部をもつ段付き丸棒状に機械加工した後、ニッケルメッキを施した。受け座１５ｂの孔径は６ｍｍ、固定具１５ａの先端円柱部の外径は５．８ｍｍとし、スムーズに抜き差しできるようにした。最後に、これら部材を全て中性洗剤と純水にて洗浄し、良く乾燥させた。   Furthermore, the receiving seat 15b was fastened and fixed by a bolt 15d at a position corresponding to the through hole provided in the separator tab portion 14a. A nickel-plated neodymium-iron-boron magnet having a diameter of 6 mm and a height of 6 mm was inserted into the space inside the receiving seat 15b. Further, an O-ring 19 is disposed around the bolt hole. Further, as a fixture 15a, carbon steel S45C was fitted into a receiving seat 15b by machining, and machined into a stepped round bar shape having a large diameter portion with a diameter of 16 mm, followed by nickel plating. The hole diameter of the receiving seat 15b was 6 mm, and the outer diameter of the tip cylindrical portion of the fixture 15a was 5.8 mm so that it could be smoothly inserted and removed. Finally, all these members were washed with a neutral detergent and pure water and dried well.

上記の方法により完成したペリクルについて、暗室内で光量３０万ルクスのハロゲンランプで異物検査を行ったのち、注意深く収納容器トレイ１８上に載置して、ピン１６をペリクルフレーム１０側面の丸孔１０ａに挿入した。次いで、セパレータタブ部１４ａの貫通孔および受け座１５ｂに固定具１５ａを挿入、マグネット１５ｃに吸着固定させた。
その後、２人の作業者で４隅を持ってペリクル収納容器トレイ１８を垂直に立て、また、上下逆にし、さらには上下逆のまま５回上下に揺すり（速度：約３０ｃｍ／ｓ、上下ストローク：約３０ｃｍ）固定されたペリクルフレーム１０の挙動を確認したが、ペリクルフレーム１０、セパレータ１４ともに位置ズレは全く見られなかった。さらに、ピンセットを用いてペリクルフレーム１０からピン１６を抜き取った。 The pellicle completed by the above method was subjected to foreign matter inspection with a halogen lamp having a light quantity of 300,000 lux in a dark room, and then carefully placed on the storage container tray 18, and the pin 16 was inserted into the round hole 10a on the side surface of the pellicle frame 10. Inserted into. Next, the fixture 15a was inserted into the through hole of the separator tab portion 14a and the receiving seat 15b, and was fixed to the magnet 15c by suction.
After that, the two workers hold the pellicle storage container tray 18 vertically with four corners, turn it upside down, and shake it up and down 5 times (speed: about 30 cm / s, up and down stroke) (About 30 cm) Although the behavior of the fixed pellicle frame 10 was confirmed, there was no positional deviation between the pellicle frame 10 and the separator 14 at all. Further, the pins 16 were extracted from the pellicle frame 10 using tweezers.

次いで、ペリクルフレーム１０を上方へ引き上げてセパレータ１４の剥離具合を次のように確認した。
２人の作業者がニトリルゴム製の手袋を装着後、純水で良く洗浄、乾燥させた。次に、ペリクルフレームの外側、４箇所のコーナー部近傍を持ってほぼ水平を保ったまま、ゆっくりと上方へ引き上げた。５ｍｍほど引き上げたところからセパレータが剥離しはじめ、５ｃｍほど引き上げたところで、マスク粘着層１２から完全にセパレータ１４が脱落した。
その後、専用のホルダ（図示しない）にペリクルフレーム１０を取付け、暗室内にて３０万ルクスのハロゲンランプを照射してペリクル膜１１面を観察した。その結果、ペリクル膜面１１には損傷も異物付着も見られなかった。
そして、同じ試験を１０回繰り返したが、セパレータのペリクル膜面への接触および異物の付着は皆無だった。なお、フレーム機械加工を除く上記の全ての作業はクラス１のクリーンルーム内にて行っている。 Next, the pellicle frame 10 was pulled upward, and the peeling state of the separator 14 was confirmed as follows.
After two workers put on gloves made of nitrile rubber, they were thoroughly washed with pure water and dried. Next, the pellicle frame was pulled up slowly while maintaining almost horizontal with the four corners near the outside. The separator began to peel off when it was lifted by about 5 mm, and when it was lifted by about 5 cm, the separator 14 was completely removed from the mask adhesive layer 12.
Thereafter, the pellicle frame 10 was attached to a dedicated holder (not shown), and the surface of the pellicle film 11 was observed by irradiating a 300,000 lux halogen lamp in a dark room. As a result, neither damage nor adhesion of foreign matter was observed on the pellicle film surface 11.
The same test was repeated 10 times, but there was no contact of the separator with the pellicle film surface and no foreign matter adhered. All the above work except frame machining is performed in a Class 1 clean room.

［比較例１］
上記実施例と同様の方法でペリクルを製作した。ただし、使用したセパレータはタブ部を１箇所に省略したものとした。
また、図１に示すような断面形状をもつＡＢＳ樹脂ペリクル収納容器を真空成形法により製作し、上記ペリクルフレーム側面の固定用孔に対応した位置に固定用ピン１６が挿入されるようブロック１７の位置を調整し、収納容器トレイ１８に接着剤およびボルト締結（図示しない）にて固定した。その後、この収納容器を中性洗剤と純水にて洗浄し、良く乾燥させた。 [Comparative Example 1]
A pellicle was produced in the same manner as in the above example. However, the separator used was a tab portion omitted in one place.
Further, an ABS resin pellicle storage container having a cross-sectional shape as shown in FIG. 1 is manufactured by a vacuum forming method, and the fixing pin 16 is inserted into a position corresponding to the fixing hole on the side surface of the pellicle frame. The position was adjusted and fixed to the storage container tray 18 with an adhesive and bolt fastening (not shown). Thereafter, the storage container was washed with a neutral detergent and pure water and dried well.

上記のようにして完成したペリクルについて、暗室内で光量３０万ルクスのハロゲンランプでペリクル膜上の異物検査を行った後、注意深く収納容器トレイ１８上に載置し、ピン１６をペリクルフレーム１０側面の孔１０ａに挿入した。
その後、上記実施例と全く同様にして、２人の作業者でペリクル収納容器トレイ１８を垂直に立て、上下逆にし、さらには上下逆のまま５回上下に揺すり（速度：約３０ｃｍ／ｓ、上下ストローク：約３０ｃｍ）、ペリクルフレーム１０の挙動を確認したが、ペリクルフレーム１０の位置ズレは全く見られなかった。 The pellicle completed as described above was inspected for foreign matter on the pellicle film with a halogen lamp having a light quantity of 300,000 lux in the dark room, and then carefully placed on the storage container tray 18, and the pin 16 was placed on the side surface of the pellicle frame 10 Was inserted into the hole 10a.
Thereafter, in exactly the same manner as in the above embodiment, the pellicle storage container tray 18 was vertically set up by two workers, turned upside down, and further shaken up and down 5 times (speed: about 30 cm / s, (Vertical stroke: about 30 cm) The behavior of the pellicle frame 10 was confirmed, but no displacement of the pellicle frame 10 was observed.

次に、２人の作業者がニトリルゴム製の手袋を装着後、純水で良く洗浄、乾燥させ、ペリクルフレーム１０の外側、４箇所のコーナー部近傍を持ってほぼ水平を保ったまま、ペリクル収納容器トレイ１８からゆっくりと取り出し、冶具（図示しない）にて図４（ｄ）に示すようにペリクルを垂直に保持した。その後、図４（ａ）〜（ｃ）に示すようにセパレータ４３のタブ部（図示せず）をピンセット４４で掴み、下方向へ引きながら剥離させ、その挙動を確認した。
この試験を１０回繰り返し行ったところ、１０回中２回において、セパレータを剥離していく途中で急激に剥離が進行し、図４（ｄ）に示すような挙動でセパレータ４３がペリクル膜４１に接触し、ペリクル膜を損傷してしまった。
なお、図４中、４０はペリクルフレーム、４２はマスク粘着層である。 Next, after two workers put on gloves made of nitrile rubber, they are thoroughly washed and dried with pure water, and the pellicle is kept almost horizontal with the outside of the pellicle frame 10 and the vicinity of the four corners. The pellicle was slowly removed from the storage container tray 18 and held vertically with a jig (not shown) as shown in FIG. Thereafter, as shown in FIGS. 4A to 4C, a tab portion (not shown) of the separator 43 was grasped with tweezers 44 and peeled while being pulled downward, and the behavior was confirmed.
When this test was repeated 10 times, in 2 out of 10 times, peeling progressed abruptly while the separator was being peeled off, and the separator 43 formed on the pellicle film 41 with the behavior shown in FIG. Contact and damaged the pellicle membrane.
In FIG. 4, 40 is a pellicle frame, and 42 is a mask adhesive layer.

［比較例２］
図５に示すような断面形状のＡＢＳ樹脂ペリクル収納容器を真空成形法により製作した。この容器は、上記実施例および比較例１にあるペリクルフレーム固定用ピンおよびブロック（図１中の１６，１７）は省略されている。このペリクル収納容器を中性洗剤と純水にて洗浄し、良く乾燥させた。
次に、上記実施例と同様の方法でペリクルを製作した。図５に示すように、使用したセパレータ５４は上記実施例と同様、タブ部５４ａが４箇所のものとしたが、タブ部の貫通孔は省略した形状とした。そして、完成したペリクルについて、暗室内で光量３０万ルクスのハロゲンランプでペリクル膜面の異物検査を行い、注意深く収納容器トレイ５６上に載置した。その後、タブ部５４ａを幅１／２インチの粘着テープ５５（アルマ社製 商品名：アルマークテープ）にて収納容器トレイ５６上に貼り付け、固定した。 [Comparative Example 2]
An ABS resin pellicle storage container having a cross-sectional shape as shown in FIG. 5 was manufactured by a vacuum forming method. In this container, pins and blocks (16 and 17 in FIG. 1) for fixing the pellicle frame in the above-described embodiment and comparative example 1 are omitted. The pellicle storage container was washed with a neutral detergent and pure water and dried well.
Next, a pellicle was produced in the same manner as in the above example. As shown in FIG. 5, the separator 54 used has four tab portions 54 a as in the above embodiment, but the through holes in the tab portions are omitted. The completed pellicle was inspected for foreign matter on the pellicle film surface with a halogen lamp having a light intensity of 300,000 lux in a dark room and carefully placed on the storage container tray 56. Then, the tab part 54a was affixed and fixed on the storage container tray 56 with the adhesive tape 55 (Alama brand name: Almark tape) of 1/2 inch width.

その後、上記実施例、比較例１と全く同様にして、２人の作業者でペリクル収納容器トレイ５６を垂直に立て、上下逆にし、さらには上下逆のまま５回上下に揺すり（速度：約３０ｃｍ／ｓ、上下ストローク：約３０ｃｍ）、ペリクルフレーム５０の挙動を確認した。その結果、上下逆で揺すった際に、マスク粘着層５２がセパレータ５４から剥離し、ペリクルフレーム５０が脱落してしまった。   Thereafter, in exactly the same manner as in the above-described example and comparative example 1, the two pellicle storage container trays 56 were vertically set up by two workers, turned upside down, and further shaken up and down 5 times while maintaining upside down (speed: about 30 cm / s, vertical stroke: about 30 cm), the behavior of the pellicle frame 50 was confirmed. As a result, when rocked upside down, the mask adhesive layer 52 peeled off from the separator 54, and the pellicle frame 50 dropped off.

本発明は、ますます大型化してくるペリクルの保管・移動やセパレータの分離に非常に安全・確実なペリクル収納容器を提供するものであって、ＩＴ製造産業に貢献する処大である。   The present invention provides a pellicle storage container that is extremely safe and reliable for storing and moving pellicles that are becoming larger and separating separators, and is a great contribution to the IT manufacturing industry.

本発明によるペリクル収納容器の一実施の形態を示す説明図で、図１（ａ）は平面図および側面（ＡＡ断面）の概略図、図１（ｂ）はセパレータ固定手段の断面拡大図、図１（ｃ）はペリクルフレームの固定手段の断面拡大図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an explanatory view showing an embodiment of a pellicle storage container according to the present invention, in which FIG. 1 (a) is a plan view and a schematic view of a side surface (AA cross section), FIG. 1 (c) is an enlarged sectional view of a fixing means for the pellicle frame. 図２（ａ）〜（ｄ）は、本発明によるセパレータの剥離の工程を順次に示す説明図である。FIGS. 2A to 2D are explanatory views sequentially showing the separator peeling process according to the present invention. 本発明によるペリクルに貼付されたセパレータの他の実施の形態を示す説明図で、図３（ａ）はセパレータタブ部が増やされた例（図示例では６個）、図３（ｂ）は、セパレータタブ部がペリクルの全周に設けられた例を示す。FIG. 3A is an explanatory view showing another embodiment of a separator attached to a pellicle according to the present invention. FIG. 3A is an example in which separator tabs are increased (six in the illustrated example), and FIG. An example in which separator tab portions are provided on the entire periphery of the pellicle is shown. 図４（ａ）〜（ｄ）は、従来の技術によるセパレータの剥離を順次に示す概略説明図である。4 (a) to 4 (d) are schematic explanatory views sequentially showing separation of a separator according to a conventional technique. 従来の技術によるペリクルおよびペリクル収納容器示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the pellicle and pellicle storage container by a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

１０：ペリクルフレーム
１０ａ：丸孔（ペリクルフレーム固定用孔）
１１：ペリクル膜
１２：マスク粘着層
１３：ペリクル膜接着層
１４：セパレータ（ライナー）
１４ａ：（セパレータ）タブ部
１４ｂ：（セパレータタブ部の）貫通孔
１５ａ：（セパレータ）固定具
１５ｂ：受け座
１５ｃ：マグネット
１５ｄ：ボルト
１６：（フレーム固定用）ピン
１７：（ピン支持）ブロック
１８：（ペリクル）収納容器トレイ
１９：Ｏリング

２０：ペリクルフレーム
２１：マスク粘着層
２２：セパレータ（ライナー）
２３：（セパレータ）固定具
２４：受け座
２５：ペリクル収納容器トレイ

３０：ペリクルフレーム
３１：セパレータ（ライナー）
３２：（セパレータ）タブ部

４０：ペリクルフレーム
４１：ペリクル膜
４２：マスク粘着層
４３：セパレータ（ライナー）
４４：ピンセット

５０：ペリクルフレーム
５１：ペリクル膜
５２：マスク粘着層
５３：膜接着層
５４：セパレータ（ライナー）
５４ａ：（セパレータ）タブ部
５５：粘着テープ
５６：ペリクル収納容器トレイ 10: Pellicle frame 10a: Round hole (Pellicle frame fixing hole)
11: Pellicle film 12: Mask adhesive layer 13: Pellicle film adhesive layer 14: Separator (liner)
14a: (Separator) tab portion 14b: Through-hole 15a (Separator tab portion) 15a: (Separator) fixture 15b: Receiving seat 15c: Magnet 15d: Bolt 16: (For frame fixing) Pin 17: (Pin support) block 18 : (Pellicle) Storage container tray 19: O-ring

20: Pellicle frame 21: Mask adhesive layer 22: Separator (liner)
23: (Separator) Fixing tool 24: Receiving seat 25: Pellicle storage container tray

30: Pellicle frame 31: Separator (liner)
32: (Separator) Tab part

40: Pellicle frame 41: Pellicle film 42: Mask adhesive layer 43: Separator (liner)
44: Tweezers

50: Pellicle frame 51: Pellicle film 52: Mask adhesive layer 53: Film adhesive layer 54: Separator (liner)
54a: (Separator) Tab portion 55: Adhesive tape 56: Pellicle storage container tray

Claims (3)

辺長が３００ｍｍを超えるペリクルを収納するペリクル収納容器であって、
セパレータの外周部に設けられた複数の貫通孔に挿入され、該貫通孔よりも大径の部分を有する固定具と、
上記固定具と係合可能であり、ペリクル収納容器トレイ上の上記貫通孔に対応した位置に配置され、マグネットが内部に固定された受け座と、
ペリクル収納容器トレイ上の上記貫通孔に対応した位置に、上記受け座を締結固定する部材とを含むセパレータ固定手段を有することを特徴とするペリクル収納容器。 A pellicle storage container for storing a pellicle having a side length exceeding 300 mm,
A fixture that is inserted into a plurality of through-holes provided in the outer peripheral portion of the separator and has a larger-diameter portion than the through-hole;
A receiving seat that is engageable with the fixture and disposed at a position corresponding to the through hole on the pellicle storage container tray, and a magnet is fixed inside;
A pellicle storage container comprising separator fixing means including a member for fastening and fixing the receiving seat at a position corresponding to the through hole on the pellicle storage container tray . ペリクル収納容器へのセパレータの固定具のうち、少なくとも1箇所はペリクルフレームのコーナー部から５０ｍｍ以内に設けられている請求項１に記載のペリクル収納容器。 2. The pellicle storage container according to claim 1, wherein at least one of the fixtures of the separator to the pellicle storage container is provided within 50 mm from the corner portion of the pellicle frame. セパレータをペリクル収納容器トレイに固定すると共に、ペリクルがペリクルフレームの側面に設けられた複数の非貫通の孔にそれぞれ挿入されたピンによりペリクル収納容器のトレイに固定されている請求項１に記載のペリクル収納容器。











2. The separator according to claim 1, wherein the separator is fixed to the pellicle storage container tray, and the pellicle is fixed to the pellicle storage container tray by pins respectively inserted into a plurality of non-through holes provided on a side surface of the pellicle frame. Pellicle storage container.











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