JP4640945B2 - レーザー加工方法 - Google Patents
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 34
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 21
- 210000003128 head Anatomy 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910009372 YVO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
- B23K26/0622—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0665—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
- B23K26/0853—Devices involving movement of the workpiece in at least in two axial directions, e.g. in a plane
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
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Description
通常の対物集光レンズによる集光では、レーザー光線は対物集光レンズから焦点距離だけ離れた位置に集光されるが、シリコンウエーハなどの屈折率の高い部材の内部に集光点を持たせる場合、集光点の位置は屈折率倍だけ深くなることが一般的に知られている。例えば、シリコンウエーハ等の屈折率の高い被加工物の内部にレーザー光線が対物集光レンズを通して集光されると、中心部に近い低入射角成分と、対物集光レンズのNA(開放数)に近い外側の高入射角成分では、被加工物の表面での屈折角が異なることに起因して集光点位置が変調する。この変調効果は、レーザー光線が空気層から屈折率の高い物質に侵入したことによる光線の歪み効果と解釈することができる。このため、レーザー光線の集光点の位置を被加工物の深い位置に設定すると、集光点位置の変調によって所定厚さの変質層を形成することが困難となる。
該レーザー光線発振手段から該対物集光レンズまでの光路長を変更することにより、レーザー光線の該対物集光レンズによる蹴られ損失が25〜35%になるように調整してレーザー光線を該対物集光レンズに入光せしめる、
ことを特徴とするレーザー加工方法が提供される。
図4に示す光路長調整手段45は、第1の方向変換ミラー451と、第2の方向変換ミラー452と、第3の方向変換ミラー453と、第4の方向変換ミラー454と、第1の方向変換ミラー451と第2の方向変換ミラー452との間に配設された第1の光路調整ミラー手段455と、第3の方向変換ミラー453と第4の方向変換ミラー454との間に配設された第2の光路調整ミラー手段456とからなっている。第1の方向変換ミラー451は、上記パルスレーザー光線発振手段41から発振され出力調整手段42によって所定の出力に調整されたパルスレーザー光線LBを第1の光路調整ミラー手段455に向けて方向変換する。
ウエーハ2を保持したチャックテーブル3を図示しない加工送り手段によってレーザー光線照射手段4の加工ヘッド43が位置するレーザー光線照射領域に移動し、図5の(a)に示すように所定の分割予定ライン21の一端(図5の(a)において左端)を加工ヘッド43の直下に位置付ける。そして、加工ヘッド43からウエーハ2に対して透過性を有する波長のパルスレーザー光線を照射しつつチャックテーブル3即ちウエーハ2を図5の(a)において矢印X1で示す方向に所定の加工送り速度で移動せしめる。そして、図5の(b)で示すように加工ヘッド43の照射位置がウエーハ2の他端(図5の(b)において右端)の位置に達したら、パルスレーザー光線の照射を停止するとともにチャックテーブル3即ちウエーハ2の移動を停止する。この変質層形成工程においては、パルスレーザー光線の集光点Pをウエーハ2の表面10a(下面)付近に合わせる。この結果、ウエーハ2の表面2a(下面)に露出するとともに表面2aから内部に向けて変質層210が形成される。この変質層210は、溶融再固化層として形成される。
波長: 1064nm
出力: 1W
繰り返し周波数: 100kHz
パルス幅: 40ns
集光スポット: およそφ1μm
対物集光レンズのNA: 0.7
対物集光レンズの焦点距離: 2mm
レーザー光線LBの出射時の径: φ500μm
加工送り速度: 100mm/秒
厚さ600μmのシリコンウエーハにレーザー光線LBの出力を一定とする条件で、パルスレーザー光線LBの集光点P位置をシリコンウエーハにおけるレーザー光線LBの入射面(上面)から530μmの位置に設定し、上述した変質層形成工程同様の加工条件で上記蹴られ損失の割合を変えて変質層を形成する実験を実施した。この実験においては、パルスレーザー光線発振手段41から加工ヘッド43の集光レンズ432までの光路長を400〜900mmの範囲で変化させることにより、パルスレーザー光線LBにおける対物集光レンズ432の瞳(有効領域)から外側の蹴られ割合を調整した。図6は、この実験によって形成された変質層の厚さを測定した結果を示すグラフである。図6において、横軸は蹴られ損失(%)、縦軸は変質層の厚さ(μm)である。
図7は、上記蹴られ損失を30%にした場合と、蹴られ損失が10%の場合におけるパルスレーザー光線LBの集光点P位置とシリコンウエーハに形成される変質層の厚さを実験的に測定した結果を示すグラフである。なお、蹴られ損失が30%の場合におけるパルスレーザー光線発振手段41から加工ヘッド43の集光レンズ432までの光路長は900mm、蹴られ損失が10%の場合におけるパルスレーザー光線発振手段41から加工ヘッド43の集光レンズ432までの光路長は450mmであった。この実験においてパルスレーザー光線LBの集光点P位置は、対物集光レンズ432とチャックテーブル3の間隔を変化させることにより調整した。なお、パルスレーザー光線LBの照射条件は、上述した変質層形成工程と同様とした。
20:保護テープ
3:チャックテーブル
4:レーザー光線照射手段
41:パルスレーザー光線発振手段
42:出力調整手段
43:加工ヘッド
431:方向変換ミラー
432:対物集光レンズ
44:光路長調整手段
45:光路長調整手段
451:第1の方向変換ミラー
452:第2の方向変換ミラー
453:第3の方向変換ミラー
454:第4の方向変換ミラー
455:第1の光路調整ミラー手段
456:第2の光路調整ミラー手段
Claims (2)
- レーザー光線発振手段から発振されたレーザー光線を対物集光レンズを通して被加工物の内部に集光し、被加工物の内部に変質層を形成するレーザー加工方法であって、
該レーザー光線発振手段から該対物集光レンズまでの光路長を変更することにより、レーザー光線の該対物集光レンズによる蹴られ損失が25〜35%になるように調整してレーザー光線を該対物集光レンズに入光せしめる、
ことを特徴とするレーザー加工方法。 - 該蹴られ損失を30%に設定する、請求項1記載のレーザー加工装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005128949A JP4640945B2 (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | レーザー加工方法 |
DE102006018898A DE102006018898B4 (de) | 2005-04-27 | 2006-04-24 | Laserbearbeitungsverfahren |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005128949A JP4640945B2 (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | レーザー加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006305582A JP2006305582A (ja) | 2006-11-09 |
JP4640945B2 true JP4640945B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=37295573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005128949A Active JP4640945B2 (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | レーザー加工方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4640945B2 (ja) |
DE (1) | DE102006018898B4 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011067865A (ja) * | 2009-08-27 | 2011-04-07 | Hitachi High-Technologies Corp | レーザ加工方法及びレーザ加工装置並びにソーラパネル製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005028438A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザ光線を利用する加工装置 |
JP2005074663A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-24 | Seiko Epson Corp | 単結晶基板の加工方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2355222B (en) * | 1999-10-16 | 2003-10-15 | Oxford Lasers Ltd | Improvements in laser machining |
JP3408805B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2003-05-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | 切断起点領域形成方法及び加工対象物切断方法 |
JP2004179302A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウエーハの分割方法 |
JP2005072174A (ja) * | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 基板とその表面に積層された積層体から構成された被加工物の分割方法 |
-
2005
- 2005-04-27 JP JP2005128949A patent/JP4640945B2/ja active Active
-
2006
- 2006-04-24 DE DE102006018898A patent/DE102006018898B4/de active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005028438A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザ光線を利用する加工装置 |
JP2005074663A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-24 | Seiko Epson Corp | 単結晶基板の加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102006018898B4 (de) | 2013-09-26 |
DE102006018898A1 (de) | 2006-11-16 |
JP2006305582A (ja) | 2006-11-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080312 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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|
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4640945 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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