JP4631972B2 - 弾性波フィルタ装置 - Google Patents
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 22
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 12
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 12
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/1452—Means for weighting by finger overlap length, apodisation
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- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
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Description
(発明の効果)
101…入力端子
102…出力端子
111〜113…第1〜第3のIDT
111A,111B…狭ピッチ電極指部
112A,113A…狭ピッチ電極指部
114,115…第1,第2の反射器
120…弾性境界波フィルタ装置
121…不平衡端子
122,123…第1,第2の平衡端子
124…弾性境界波共振子
125〜127…縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部
128,129…弾性境界波共振子
131…弾性境界波共振子
132〜134…縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部
135,136…弾性境界波共振子
第2,第3のIDT112,113:狭ピッチ電極指部を含む電極指の総本数=19本、最小交差幅部分の交差幅=28μm、最大交差幅部分の交差幅=40μm
第1,第2の反射器114,115:電極指の本数=25本
電極指の周期については、IDT111〜113では、狭ピッチ電極指部を除いて0.804μm、狭ピッチ電極指部111A,111B,112A,113Aについては0.739μmとし、1つの狭ピッチ電極指部の電極指の本数は3本とした。また、反射器114,115における電極指の周期は0.797μmとした。
Claims (10)
- 圧電体と、
前記圧電体上に配置された第1のIDTと、第1のIDTの弾性波伝搬方向両側に配置された第2,第3のIDTと、第1〜第3のIDTが設けられている部分の弾性波伝搬方向両側に配置された第1,第2の反射器とを有し、弾性波伝搬方向においてIDT同士が隣り合っている部分において、当該IDTの隣接するIDT側の端部から一部の部分における電極指の周期が、当該IDTの残りの部分の電極指の周期よりも狭くされており、それによって、電極指の周期が相対的に狭い狭ピッチ電極指部が設けられており、
IDT−IDT間の共振モードを利用した縦結合共振子型の弾性波フィルタ装置において、
前記狭ピッチ電極指部を有する第1〜第3のIDTに、狭ピッチ電極指部を除いた部分において電極指交差幅が弾性波伝搬方向に沿って順次変化するように、かつ狭ピッチ電極指部側の端部に位置する部分が最大の電極指交差幅を有するように、アポタイズ重み付けが施こされていることを特徴とする弾性波フィルタ装置。 - 前記第1のIDTにおいて、第1のIDTの弾性波伝搬方向中央における交差幅が最小となり、第1のIDTのアポタイズ重み付けされている部分の第2のIDT側の端部及び第3のIDT側の端部に最大交差幅部分が位置するように、前記アポタイズ重み付けが施こされており、それによって、アポタイズ重み付けにより形成される一対の包絡線で囲まれた部分が鼓状の形状を有している、請求項1に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第2のIDTのアポタイズ重み付けされている部分の前記第1のIDT側の端部に最大交差幅部分が位置し、前記第2のIDTのアポタイズ重み付けされている部分の第1の反射器側の端部に最小交差幅部分が位置しており、最大交差幅から最小交差幅に向って交差幅が順次減少しており、
前記第3のIDTのアポタイズ重み付けされている部分の前記第1のIDT側の端部に最大交差幅部分が位置し、前記第3のIDTのアポタイズ重み付けされている部分の第2の反射器側の端部に最小交差幅部分が位置し、最大交差幅部分から最小交差幅部分に向って交差幅が順次減少するようにアポタイズ重み付けが施こされている、請求項1または2に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第1,第2のIDTが隣接している部分において、前記第1,第2のIDT間の中心から等距離に位置する第1,第2のIDTの電極指の交差幅が略同一となるように前記アポタイズ重み付けが施こされており、
前記第1,第3のIDTが隣接している部分において、第1,第3のIDT間の中心から等距離に位置する第1,第3のIDTの電極指の交差幅が略同一となるように前記アポタイズ重み付けが施こされている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第1〜第3のIDTが設けられている部分の弾性波伝搬方向両側に第4,第5のIDTがそれぞれ配置されており、前記第1〜第5のIDTが設けられている部分の弾性波伝搬方向両側に前記第1,第2の反射器が配置されている、請求項1〜2のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第2のIDTにおいて、第2のIDTの弾性波伝搬方向中央における交叉幅が最小となり、第2のIDTのアポダイズ重み付けされている部分の第4のIDT側の端部及び第1のIDT側の端部に最大交叉幅部分が位置するように、前記アポダイズ重み付けが施こされており、それによって、アポダイズ重み付けにより形成される一対の包絡線で囲まれた部分が鼓状の形状を有している、請求項5に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第3のIDTにおいて、第3のIDTの弾性波伝搬方向中央における交叉幅が最小となり、第3のIDTのアポダイズ重み付けされている部分の第1のIDT側の端部及び第5のIDT側の端部に最大交叉幅部分が位置するように、前記アポタイズ重み付けが施こされており、それによって、アポダイズ重み付けにより形成される一対の包絡線で囲まれた部分が鼓状の形状を有している、請求項5または6に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記第2のIDTと、前記第4のIDTとが隣り合っている部分において、第2,第4のIDTがそれぞれ狭ピッチ電極指部を有し、前記第3,第5のIDTが隣り合っている部分において、第3,第5のIDTがそれぞれ狭ピッチ電極指部を有し、第4,第5のIDTにおいて、狭ピッチ電極指部を除いた部分において、電極指交差幅が弾性波伝搬方向に沿って順次変化するアポタイズ重み付けが施こされており、第4,第5のIDTのアポタイズ重み付けが施こされた部分の前記第2,第3のIDT側の端部の電極指が最大の交差幅を有する、請求項5〜7のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記圧電体上に積層された誘電体層をさらに備え、前記弾性波として、前記弾性境界波が用いられている、請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記弾性波として、弾性表面波が用いられている、請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006265610 | 2006-09-28 | ||
JP2006265610 | 2006-09-28 | ||
PCT/JP2007/066305 WO2008038481A1 (fr) | 2006-09-28 | 2007-08-22 | Filtre d'onde acoustique |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008038481A1 JPWO2008038481A1 (ja) | 2010-01-28 |
JP4631972B2 true JP4631972B2 (ja) | 2011-02-16 |
Family
ID=39229920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008536305A Active JP4631972B2 (ja) | 2006-09-28 | 2007-08-22 | 弾性波フィルタ装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7728699B2 (ja) |
EP (1) | EP2068444B1 (ja) |
JP (1) | JP4631972B2 (ja) |
KR (1) | KR101024189B1 (ja) |
CN (1) | CN101517894B (ja) |
WO (1) | WO2008038481A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8084915B2 (en) * | 2006-11-08 | 2011-12-27 | Panasonic Corporation | Surface acoustic wave resonator having comb electrodes with different overlapping lengths |
TWI393340B (zh) * | 2009-02-13 | 2013-04-11 | 中原大學 | 球形旋轉式壓電馬達 |
JP5263390B2 (ja) | 2009-04-23 | 2013-08-14 | パナソニック株式会社 | アンテナ共用器とこれを搭載した電子機器 |
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US9425766B2 (en) * | 2009-11-02 | 2016-08-23 | Skyworks Panasonic Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Elastic wave element, and electrical apparatus and duplexer using same |
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DE102010034121A1 (de) | 2010-08-12 | 2012-02-16 | Epcos Ag | Mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement mit reduziertem Temperaturgang der Frequenzlage und Verfahren zur Herstellung |
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CN100452650C (zh) | 2003-07-02 | 2009-01-14 | 京瓷株式会社 | 弹性表面波装置及使用该装置的通信装置 |
-
2007
- 2007-08-22 KR KR1020087030112A patent/KR101024189B1/ko active IP Right Grant
- 2007-08-22 JP JP2008536305A patent/JP4631972B2/ja active Active
- 2007-08-22 EP EP07792891.9A patent/EP2068444B1/en active Active
- 2007-08-22 WO PCT/JP2007/066305 patent/WO2008038481A1/ja active Application Filing
- 2007-08-22 CN CN2007800354536A patent/CN101517894B/zh active Active
-
2009
- 2009-01-26 US US12/359,424 patent/US7728699B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20090026280A (ko) | 2009-03-12 |
EP2068444B1 (en) | 2013-06-26 |
US20090121810A1 (en) | 2009-05-14 |
KR101024189B1 (ko) | 2011-03-22 |
US7728699B2 (en) | 2010-06-01 |
WO2008038481A1 (fr) | 2008-04-03 |
EP2068444A1 (en) | 2009-06-10 |
CN101517894B (zh) | 2011-12-28 |
JPWO2008038481A1 (ja) | 2010-01-28 |
EP2068444A4 (en) | 2012-01-25 |
CN101517894A (zh) | 2009-08-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101019 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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