JP4631124B2

JP4631124B2 - 圧電アクチュエータ、時計および機器

Info

Publication number: JP4631124B2
Application number: JP2000094579A
Authority: JP
Inventors: 泰治橋本; 修宮澤; 誠古畑; 司舩坂
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2000-03-30
Filing date: 2000-03-30
Publication date: 2011-02-16
Anticipated expiration: 2020-03-30
Also published as: JP2001286166A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電アクチュエータ、時計および機器に係り、特に、圧電アクチュエータの駆動効率を向上する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電素子は、電気エネルギーから機械エネルギーへの変換効率や、応答性に優れていることから、近年、圧電素子の圧電効果を利用した各種の圧電アクチュエータが開発されている。この圧電アクチュエータは、圧電ブザー、プリンタのインクジェットヘッド、あるいは超音波モータなどの分野に応用されている。
ところで、圧電素子の変位は、印加電圧にもよるが微少であり、サブミクロン程度であるのが通常であるため、圧電素子の振動を外部に効率よく伝達するためには圧電アクチュエータに何らかの工夫を施す必要がある。例えば、従来の圧電アクチュエータを用いた装置においては、何らかの増幅機構によって変位を増幅してロータに伝達することが行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、増幅機構を用いた場合、それ自身を動かすためにエネルギーが消費され効率が低下するといった問題があるとともに、装置のサイズが大きくなってしまうという問題がある。
【０００４】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、サイズの大型化を招くことなく駆動効率を向上させる圧電アクチュエータ、時計および機器を提供することを目的とする。
【０００５】
上述した課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、支持体と、長手方向を有する板状の圧電素子と補強部とが積層された振動板であって、前記支持体に対して振動可能に支持され、長手方向の一端側において幅方向の中心からずれた位置に当該振動板から突出したバランス部を有する振動板と、前記振動板の長手方向の前記バランス部がある側と反対側の一端側において、幅方向の中心から幅方向において前記バランス部のある側と反対側へずれた位置に設けられ、駆動対象と当接させられ、前記駆動対象に向いた面が曲面であり、駆動対象との接点が前記幅方向の中心からずれた位置にある駆動部とを備え、前記振動板を振動させて前記駆動部を楕円軌道に沿って移動させることにより、該駆動部に当接する前記駆動対象を所定の駆動方向に駆動する圧電アクチュエータであって、前記圧電素子に電力を供給して前記振動板を振動させる駆動手段を備え、前記駆動手段は、前記楕円軌道の長軸方向が前記所定の駆動方向とほぼ一致するように前記振動板を振動させ、前記圧電素子を駆動するための駆動周波数は、前記圧電素子の振動によって前記振動板が長手方向に伸縮する縦振動の共振周波数と、前記振動板が前記長手方向と直交する幅方向に揺動する屈曲振動の共振周波数との間の周波数であることを特徴としている。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記駆動周波数を、前記縦振動の共振周波数と前記屈曲振動の共振周波数との間で変動させることを特徴としている。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、時計であって、請求項１または請求項２に記載の圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータによって回転駆動されるリング状のカレンダー表示車とを備えたことを特徴としている。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、機器であって、請求項１または請求項２に記載の圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータに電力を供給する電源とを備えたことを特徴としている。
【００１５】
【発明の実施の形態】
［１］実施形態の構成
［１．１］全体構成
以下に図面を参照しながら本発明の第１実施形態について説明する。
図１は、第１実施形態に係る腕時計において、圧電アクチュエータを組み込んだカレンダー表示機構の主要構成を示す平面図である。
圧電アクチュエータＡ１は、面内方向（図の紙面と平行な方向）に伸縮振動する振動板１０およびロータ３０から大略構成されている。
ロータ３０は地板（支持体）７０に回転自在に支持されるとともに、振動板１０の突起部１７と当接する位置に配置されている。これにより、振動板１０に生ずる振動によって突起部１７が後述するように楕円軌道に沿って移動し、この突起部１７がロータ３０の外周面に当接することによって、ロータ３０は図中矢印で示される方向に回転駆動されるようになっている。
【００１６】
カレンダー表示機構は、圧電アクチュエータＡ１と連結しており、圧電アクチュエータＡ１の駆動力によって駆動される。カレンダー表示機構の主要部は、ロータ３０の回転を減速する日回し中間車４０および日回し車６０等から構成される減速輪列と、リング状の日車５０から大略構成されている。
【００１７】
［１．２］圧電アクチュエータの構成
次に、図２を参照して本実施形態に係る圧電アクチュエータＡ１について説明する。図２に示すように、圧電アクチュエータＡ１は、図の左右方向に長く形成された長板状の振動板１０と、この振動板１０を地板７０（図１参照）に支持する支持部材２０とを備えている。
【００１８】
ここで、振動板１０の長手方向の一方の端部１５には、突起部（駆動部）１７がロータ３０側に向けて突設されており、この突起部１７はロータ３０の外周面に当接している。突起部１７としては、導体または非導体のものを用いることができるが、非導体で形成するようにすれば、一般的に金属から形成されるロータ３０と接触しても圧電素子がショートしないようにすることができる。
また、突起部１７は、平面的にみてロータ３０側に突出した曲面形状になされている。このようにロータ３０と当接する突起部１７を曲面形状にすることによって、ロータ３０と振動板１０の位置関係が寸法ばらつき等によりばらついた場合でも、曲面であるロータ３０の外周面と曲面形状の突起部１７との接触状態がさほど変化しない。したがって、安定したロータ３０と突起部１７の接触状態を維持することができる。
【００１９】
また、振動板１０の長手方向の他方の端部１６には、バランス部１８が設けられている。図４に示すように、振動板１０が長手方向に伸縮する縦振動を行うとき、突起部１７およびバランス部１８によって、振動板１０の重心を中心とした回転モーメントが発生する。この回転モーメントにより振動板１０には、図５に示すような振動板１０の長手方向と直交する幅方向に揺動する屈曲振動が励振される。
このように、バランス部１８を設けることによって振動板１０には縦振動と屈曲振動とが生じる。その結果、突起部１７は、図６に示すように楕円軌道に沿って移動する。
なお、振動板１０に生じる屈曲振動の共振周波数は、バランス部１８だけではなく、振動板１０の縦横比によっても変動する。
【００２０】
また、振動板１０の長手方向の中央よりもややロータ側には、支持部材２０の一端部２１が取り付けられている。支持部材２０の他端部２２は、ネジ２３により地板７０（図１参照）に支持されている。
この構成の下、支持部材２０は、その弾性力によって振動板１０をロータ３０側に付勢した状態で支持しており、これにより振動板１０の突起部１７はロータ３０の外周面に当接させられている。
【００２１】
次に、図３を参照して振動板１０の構成について説明する。図３に示すように、振動板１０は、２つの長方形状の圧電素子１１，１２の間に、これらの圧電素子１１，１２とほぼ同形状であり、かつ圧電素子１１，１２よりも肉厚の薄いステンレス鋼などの補強板（補強部）１３を配置した積層構造となっている。
このように圧電素子１１，１２の間に補強板１３を配置することにより、振動板１０の過振幅あるいは外力に起因する振動板１０の損傷を低減することができる。補強板１３としては、圧電素子１１，１２よりも肉厚の薄いものを用いることにより、圧電素子１１，１２の振動を極力妨げないようにしている。
また、上下に配置された圧電素子１１，１２の面上には、それぞれ電極１４が配置されている。そして、この電極１４を介して圧電素子１１，１２に、電圧が供給されるようになっている。
このような構成の振動板１０は、電力を供給して振動板１０を振動させる駆動手段Ｓ１から電極１４を介して圧電素子１１，１２に交流電圧が印加されると圧電素子１１，１２が伸縮し、この伸縮によって振動板１０は、図４に示すように縦振動するようになっている。
【００２２】
ここで、圧電素子１１，１２としては、チタン酸ジルコニウム酸鉛（ＰＺＴ（商標））、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛（（Pb（Zn1/3-Nb2/3）03 1-x-Pb Ti 03 x）xは組成により異なる。x=0.09程度）、スカンジウムニオブ酸鉛（（Pb（（Sc1/2-Nb1/2）1-x Tix）03）xは組成により異なる。x=0.09程度）等の各種のものを用いることができる。
【００２３】
［１．３］高駆動効率を得るための構成
本実施形態では、上述したように突起部１７を楕円軌道に沿って移動させることにより、高効率でのロータ３０の駆動を可能としている。本願発明者は、さらなる駆動効率の向上を図るため、上記楕円の向きと駆動効率との関係を解析し、図８に示すような結果を得た。
ここで、図８中の角度φについて図７を参照して説明する。図７に示すように、角度φは、振動板１０の突起部１７とロータ３０の外周面とが接触する接点Ｐにおけるロータ３０の外周面上の接線Ｓと、振動板１０の突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔとがおりなす角度である。図８に示されるように、ロータ３０の外周面上の接線Ｓと、突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔとがおりなす角度φが０、つまり両者が一致する場合に、最も高い駆動効率が得られる。
したがって、振動板１０とロータ３０は、ロータ３０の外周面上の接線Ｓと、突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔとがおりなす角度φが０度になるように設定することが最も好ましい。ただし、上述した角度φが±約５度の範囲内に収まっている場合においては、最大駆動効率時に得られる効果とほぼ同程度の効果が得られており、角度φをこの範囲内に収まるようにすれば、十分な駆動効率を得ることができると考えられる。
【００２４】
上述したような楕円の向きと駆動効率との関係を考慮すると、ロータ３０の外周面上の接線Ｓと、突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔがほぼ一致するように圧電アクチュエータＡ１を構成することが駆動効率を向上させる上で好ましい。
そこで、本願発明者は、圧電アクチュエータＡ１において上記楕円の向きがどのような要件によって決定されるかを考察した。その結果、上述した接線Ｓと長軸方向線Ｔとの関係は、振動板１０とロータ３０との位置関係および圧電素子１１，１２の駆動周波数の設定によって大きく影響を受けていることが判った。
具体的には、圧電素子１１，１２の駆動周波数や使用する振動板１０の構成等が同一条件である場合には、ロータ３０と振動板１０の位置関係が、上述した突起部１７の楕円軌道の向きに大きく影響することが判った。
【００２５】
一方、ロータ３０と振動板１０の位置関係や振動板１０の構成等の条件が同一である場合には、圧電素子１１，１２の駆動周波数によって大きく影響を受けることが判った。これについて図９に示すシミュレーション結果を参照しながら説明する。
ここで、図９においては、最も低い駆動周波数であるときの振動形状を形状Ｋ１で示し、２番目に低い駆動周波数であるときの振動形状を形状Ｋ２で示し、３番目に低い駆動周波数であるときの振動形状を形状Ｋ３で示し、４番目に低い駆動周波数であるときの振動形状を形状Ｋ４で示し、最も高い駆動周波数であるときの振動形状を形状Ｋ５で示している。
図９に示すように、圧電素子１１，１２の駆動周波数によって、振動形状の大きさや振動形状である楕円の長軸方向が異なることが判る。したがって、圧電素子１１，１２の駆動周波数を変更することによって、振動板１０の突起部１７が移動する楕円軌道の大きさと長軸方向を変えることができる。言い換えれば、圧電素子１１，１２の駆動周波数を変更することにより、上述した接点Ｐにおけるロータ３０の外周面上の接線Ｓと振動板１０の突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔとを一致させることが可能となる。
以上のことから、圧電アクチュエータＡ１の高い駆動効率は、振動板１０とロータ３０との位置関係および圧電素子１１，１２の駆動周波数の設定を調整することにより得られることが判った。
【００２６】
ところで、製品によっては、その製品の設計上の制約等により圧電素子１１，１２の駆動周波数が予め一定に定められているような場合がある。このような場合には、上述した振動板１０とロータ３０との位置関係を調整することによって圧電アクチュエータＡ１の最適な駆動効率を設定するようにすればよい。具体的には、振動板１０の突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔを、上述した接点Ｐにおけるロータ３０の外周面上の接線Ｓに一致するように振動板１０とロータ３０を配置すれば高い駆動効率を得ることが可能となる。
【００２７】
さらに、製品によっては、設置スペースにあまり余裕がない等の製品の設計上の制約により圧電アクチュエータＡ１の設置位置が限られてしまう場合もある。
このような場合には、上述した圧電素子１１，１２の駆動周波数の設定を調整することによって圧電アクチュエータＡ１の最適な駆動効率を設定するようにすればよい。具体的には、圧電素子１１，１２の駆動周波数を変更することによって振動板１０の突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔを上述した接点Ｐにおけるロータ３０の外周面上の接線Ｓに一致させるようにすれば高い駆動効率を得ることが可能となる。
【００２８】
［２］実施形態の動作
次に、第１実施形態に係る圧電アクチュエータＡ１の動作について図１および図２を参照して説明する。まず、駆動手段Ｓ１から振動板に電圧が印加されると、圧電素子１１，１２の伸縮によって縦振動し、突起部１７がロータ３０と当接した状態で振動板１０が振動する。この振動によって突起部１７が楕円軌道に沿って移動し、この変位に伴ってロータ３０が図中矢印方向に回転させられる。
ロータ３０が回転させられることにより、日回し中間車４０を介して日回し車６０が回転させられ（図１参照）、表示される日や曜が切り替わるようになっている。
【００２９】
ここで、圧電素子１１，１２の駆動周波数を振動板１０の縦振動の共振周波数と屈曲振動の共振周波数との間の周波数に設定すれば、つまりこのような範囲内の駆動周波数で圧電素子１１，１２を駆動すれば、縦振動および屈曲振動の両者を誘発し易くなり、振動板１０の突起部１７が移動する楕円軌道がより大きくなるような振動を振動板１０に生じさせることができる。その結果、さらに効率のよいロータ３０の回転駆動が得られる。
【００３０】
［３］第１実施形態の効果
以上の説明のように本実施形態によれば、振動板１０の突起部１７とロータ３０の外周円上とが接触する接点Ｐにおけるロータ３０の外周円上の接線Ｓと振動板１０の突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔとが一致するように振動板１０およびロータ３０の位置関係や圧電素子１１，１２の駆動周波数を設定することによって、圧電アクチュエータＡ１の高い駆動効率を得ることが可能となる。
【００３１】
［４］変形例
［４．１］第１変形例
なお、上述した実施形態においては、圧電アクチュエータＡ１が高い駆動効率を得られるように振動板１０とロータ３０との位置関係や圧電素子１１，１２の駆動周波数を設定しているが、製品の製造時に圧電アクチュエータＡ１を高い駆動効率によって設定した場合であっても、振動板１０の振動特性は温度や湿度等に依存しているため、製品を使用する際の温度や湿度等が変化することによって上記楕円の向き等が変化してしまう。したがって、ある設定環境下において高い駆動効率が得られるようにロータ３０の外周円上の接線Ｓと楕円軌道の長軸方向線Ｔとを一致させるようにしても、温度や湿度等の変化によってロータ３０の外周円上の接線Ｓと楕円軌道の長軸方向線Ｔがずれて駆動効率が変動してしまう。
【００３２】
そこで、圧電アクチュエータＡ１の駆動効率の変動幅を少しでも抑えるために、圧電アクチュエータＡ１が駆動している際に、駆動手段Ｓ１によって圧電素子１１，１２の駆動周波数を予め定められた所定の範囲内で変動させるようにしてもよい。この場合、変動させる駆動周波数の範囲は、例えば、図１０に示される振動板１０の場合には、振動板１０の縦振動の共振周波数と屈曲振動の共振周波数との間の周波数の範囲内に納まるように設定することが好ましい。
圧電素子１１，１２の駆動周波数を所定の範囲内で変動させる場合には、駆動周波数を連続的に変動させてもよいし、断続的に一定の周波数ごとに変動させるようにしてもよい。要するに、温度や湿度等が変化した場合に生じ得る駆動効率の落ち込みを、駆動周波数を変更して駆動効率の変動幅をちいさくすることができればよい。
【００３３】
本変形例のように圧電素子１１，１２の駆動周波数を所定の範囲内で変動することによって、温度や湿度等の環境条件が変化して振動板１０の振動特性が変動した場合にも、駆動効率の変動幅を小さくすることができ駆動効率が大きく低下してしまうことを防止することができる。
【００３４】
［４．２］第２変形例
また、製品によっては、設計上の都合により振動板１０とロータ３０との位置関係や圧電素子１１，１２の駆動周波数の設定についても制約されてしまう場合がある。
そこで、本願発明者は、図１１に示すように振動板１０の突起部１７の平面方向に切れ込む切込部１９を設け、突起部１７の振動特性を切込部１９によって変化させることに着眼し実験を試みた。
この実験の結果、突起部１７に切込部１９を設けることによって、振動板１０の縦振動に対するロータ３０からの反力により突起部１７が局部的に屈曲することが判った。さらに、突起部１７が局部的に屈曲することによって突起部１７が楕円軌道に沿って移動することも判った。
したがって、本変形例においても、上述した実施形態と同様に、振動板１０の突起部１７とロータ３０の外周面とが接触する接点におけるロータ３０の外周面上の接線Ｓと、振動板１０の突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔとが一致するように設定すれば、圧電アクチュエータＡ１の高い駆動効率を得ることが可能となる。
【００３５】
上述した実施形態においては、圧電素子１１，１２の駆動周波数やロータ３０と振動板１０の位置関係を調整することにより、ロータ３０の外周面上の接線Ｓと突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔがほぼ一致するようにしていたが、両者を一致させるための方法はこれに限らず、他の方法であってもよい。例えば、図１１に示すように、振動板１０の突起部１７に平面方向に切れ込む切込部１９を設け、振動板１０の縦振動に対するロータ３０からの反力により突起部１７を局部的に屈曲させて突起部１７を楕円軌道に沿って移動させる構成においても、この楕円軌道の長軸方向線Ｔと接線Ｓをほぼ一致させるようにすればよい。
【００３６】
以下、図１２および図１３を参照して図１１に示される圧電アクチュエータＡ１において、ロータ３０の外周面上の接線Ｓと突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔとを一致させる方法について説明する。
図１２に示すように切込部１９の大きさは、突起部１７の平面方向への切れ込みの深さｈと、切れ込みの幅ｔによって決定する。そして、この切れ込みの深さｈと切れ込みの幅ｔによって、ロータ３０からの反力により切込部１９に励起される屈曲振動の大きさが決定する。
【００３７】
また、図１１に示される角度ψは、振動板１０の長手方向と平行なロータ３０の中心を通る線Ｒと、突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔとに挟まれた角度である。
ここで、切れ込みの幅ｔを一定にした場合の角度ψと切れ込みの深さｈとの関係を示すグラフを図１３に示す。図１３に示すように切れ込みの深さｈが増加していくに従って角度ψも増加している。したがって、切れ込みの深さｈと切れ込みの幅ｔとを調整することにより、突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔの傾きを変えることができる。
【００３８】
以上のことから、切込部１９の切れ込みの深さｈと切れ込みの幅ｔとを変更することにより、突起部１７が移動する楕円軌道の大きさおよび楕円軌道の長軸方向線Ｔの傾きを変えることができる。
したがって、切れ込みの深さｈと切れ込みの幅ｔとを変更することによって、図７に示されるロータ３０の外周面上の接線Ｓと突起部１７が移動する楕円軌道の長軸方向線Ｔとの差によって示される角度φを０度になるように設定することが可能となる。
【００３９】
以上のように本変形例においては、切込部１９の切れ込みの深さｈと切れ込みの幅ｔとを調整するだけで切込部１９に生じる屈曲振動の周波数等を変更することができ、ひいては、圧電アクチュエータＡ１の高い駆動効率を得ることが可能となるため、設計上の都合により駆動効率の調整が困難な場合であっても容易に駆動効率を調整することが可能となる圧電アクチュエータＡ１を提供することができる。
【００４０】
［４．３］第３変形例
また、上述した実施形態においては、圧電アクチュエータＡ１の駆動対象としてロータ３０を例示して説明しているが、駆動対象はロータ等の円盤状に限る必要はなく、板状体あるいは棒状体等の駆動対象であってもよい。この場合、圧電アクチュエータＡ１は、振動板１０を振動させて駆動部である突起部１７を楕円軌道に沿って移動させることにより、突起部１７に当接する板状体あるいは棒状体等の駆動対象を所定の駆動方向、例えば板状体あるいは棒状体等の長手方向に駆動することとなる。
【００４１】
［４．４］第４変形例
また、上述した実施形態において、圧電アクチュエータは、上述したような時計のカレンダー表示機構に搭載される以外にも、電源駆動される時計以外の機器に搭載して用いることも可能である。
【００４２】
【発明の効果】
上述したように本発明によれば、サイズの大型化を招くことなく駆動効率を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の各実施形態に係る時計において、圧電アクチュエータを組み込んだカレンダー表示機構の主要構成を示す平面図である。
【図２】圧電アクチュエータの全体構成を示す平面図である。
【図３】圧電アクチュエータの構成要素である振動板を示す側断面図である。
【図４】振動板が縦振動する様子を示す図である。
【図５】振動板が振動した場合に屈曲振動する様子を説明するための図である。
【図６】屈曲振動時における突起部の起動を説明するための図である。
【図７】振動板とロータとの位置関係を示す図である。
【図８】角度φと圧電アクチュエータの駆動効率との関係を示すグラフである。
【図９】振動板の突起部の縦方向変位と横方向変位とによって表される振動形状を示す図である。
【図１０】振動板の振動周波数とインピーダンスとの関係の一例を示すグラフである。
【図１１】第２変形例における圧電アクチュエータの全体構成を示す平面図である。
【図１２】第２変形例における突起部の構成を示す平面図である。
【図１３】第２変形例における角度ψと切れ込みの深さｈとの関係を示すグラフである。
【符号の説明】
Ａ１……圧電アクチュエータ、
１０……振動板、
１７……突起部（駆動部）、
１８……バランス部、
１１，１２……圧電素子、
１３……補強板（補強部）、
３０……ロータ（駆動対象）、
５０……日車（カレンダー表示車）、
７０……地板（支持体）。

Claims

支持体と、
長手方向を有する板状の圧電素子と補強部とが積層された振動板であって、前記支持体に対して振動可能に支持され、長手方向の一端側において幅方向の中心からずれた位置に当該振動板から突出したバランス部を有する振動板と、
前記振動板の長手方向の前記バランス部がある側と反対側の一端側において、幅方向の中心から幅方向において前記バランス部のある側と反対側へずれた位置に設けられ、駆動対象と当接させられ、前記駆動対象に向いた面が曲面であり、駆動対象との接点が前記幅方向の中心からずれた位置にある駆動部とを備え、
前記振動板を振動させて前記駆動部を楕円軌道に沿って移動させることにより、該駆動部に当接する前記駆動対象を所定の駆動方向に駆動する圧電アクチュエータであって、
前記圧電素子に電力を供給して前記振動板を振動させる駆動手段を備え、
前記駆動手段は、前記楕円軌道の長軸方向が前記所定の駆動方向とほぼ一致するように前記振動板を振動させ、
前記圧電素子を駆動するための駆動周波数は、前記圧電素子の振動によって前記振動板が長手方向に伸縮する縦振動の共振周波数と、前記振動板が前記長手方向と直交する幅方向に揺動する屈曲振動の共振周波数との間の周波数であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
請求項１に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記駆動周波数を、前記縦振動の共振周波数と前記屈曲振動の共振周波数との間で変動させることを特徴とする圧電アクチュエータ。
請求項１または請求項２に記載の圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータによって回転駆動されるリング状のカレンダー表示車とを備えたことを特徴とする時計。
請求項１または請求項２に記載の圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータに電力を供給する電源と
を備えたことを特徴とする機器。