JP4627924B2 - 半導体デバイス試験装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体デバイス試験装置に関し、特に被試験半導体デバイスに波形品質の高い試験信号を印加することを可能とした信号伝送回路の改良を提案するものである。
【0002】
【従来の技術】
図3及び図4を用いて従来の技術を説明する。図中DUTは被試験半導体デバイスを示す。この被試験半導体デバイスはソケットボード10に実装されたICソケット11に装着され、このICソケットを通じてドライバ12に接続され、ドライバ12から試験信号の供給を受けて試験が行われる。
ドライバ12とソケットボード10との間は同軸ケーブルで構成される信号線路13で接続され、更にICソケット11側に終端抵抗器14が接続されてドライバ12と被試験半導体デバイスDUTの各端子との間がインピーダンス整合された状態で電気的に接続される。
【0003】
尚、図3及び図4にはソケットボード10に1個の被試験半導体デバイスDUTを搭載しているように図示しているが、実際には複数の半導体デバイスが装着され、これら複数の半導体デバイスが一度に試験される。従ってドライバ12及び信号線路13から成る信号伝送チャンネルも多数設けられる。
ところでドライバ12から試験信号を被試験半導体デバイスDUTに印加して被試験半導体デバイスDUTが正常に動作するか否かを検査する試験を一般に機能試験と称している。
【0004】
これに対し、半導体デバイスの試験には直流試験と呼ばれている試験項目がある。この直流試験とは、被試験半導体デバイスの各端子の直流特性が所期の特性に合致しているか否かを問う試験である。つまり、被試験半導体デバイスの各端子に所定の電圧を印加した状態で目的とした量の電流が流れるか否かを試験したり、半導体デバイスの各端子から所定の電流を取り出している状態で端子に所定の電圧が発生するか否かを試験する。
図3に示す15はこの直流試験を行う直流試験ユニットを示す。この直流試験ユニット15はスイッチ回路16を通じて信号線路13に接続され機能試験を行っている状態では、スイッチ回路16により信号線路13から電気的に切離される。
【0005】
一方、直流試験を行う状態ではスイッチ回路16がオンの状態に制御され、直流試験ユニット15を信号線路13に電気的に接続すると共に、この状態ではドライバ12の出力側に接続したリレー接点17をオフに制御し、ドライバ12を信号線路13から切離し、直流試験を行う。
図3に示した半導体デバイス試験装置によれば被試験半導体デバイスDUTの各端子の直近(ソケットボード10上に)に終端抵抗器14を配置しているから、ドライバ12から出力した試験信号は被試験半導体デバイスDUTの各端子部分で吸収され、反射の発生を極力抑えることができる。この点で優れている回路構造である。
【0006】
然し乍ら、この回路構造を採る場合、終端抵抗器14が被試験半導体デバイスDUTの各端子に接続されたままであるため、直流試験時に被試験半導体デバイスDUTの各端子のリーク電流の有無を測定することができなく不都合が生じる。
この不都合を解消するために図4に示す回路構造が考えられた。つまり、ドライバ12から被試験半導体デバイスDUTに試験パターン信号を印加するための第1信号線路13Aと、被試験半導体デバイスDUTの各端子にソケットボード10の外側に設けた終端抵抗器14を接続するための第2信号線路13Bを設け、必要に応じて終端抵抗接続リレー18をオフの状態に制御することにより第1信号線路13A及び第2信号線路13Bから終端抵抗器14を電気的に切離し、被試験半導体デバイスDUTの各端子の直流試験を行うと共に、リーク電流の試験も行えるように構成している。
【0007】
従って、直流試験時は終端抵抗接続リレー18をオフの状態に設定することにより直流試験ユニット15は終端抵抗器14の影響を受けることなく被試験半導体デバイスDUTの各端子のリーク電流の測定を行うことができることになる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
図4に示した回路構造によれば終端抵抗器14の影響を受けることなく直流試験を行うことができ、特にリーク電流の試験を行えることができる点で優れている。
然し乍ら、図に示す回路は以下に説明する欠点が存在する。つまり、機能試験時にはドライバ12から出力された試験信号はリレー接点17と、スイッチ回路16と、第1信号線路13Aを通じてソケットボード10に到達する。このときの各部の通過特性(立ち上り時間)を図5に示す。
【0009】
つまり、ドライバ12自体で信号の立ち上りに要する時間がT1、リレー接点17を通過するのに要する立ち上り時間がT2、スイッチ回路16を通過するに要する立ち上り時間がT3、第一信号線路13Aを通過するに要する立ち上り時間がT4とした場合、被試験半導体デバイスDUTの各端子に伝搬された試験信号の立ち上り時間をT5とすると、
T5= √(T12+T22+T32+T42)
で表わすことができる。
【0010】
特に最近の被試験半導体デバイスは立ち上り及び立ち下りが急峻な高速波形を要求するため、被試験半導体デバイスDUTに伝搬する試験信号の波形品質の劣化は極力避けなければならない。
この発明の目的はドライバから被試験半導体デバイスに至る信号試験信号伝送路の伝搬遅延時間を可及的に小さくし、立ち上り時間が早く波形劣化の少ない試験信号を被試験半導体デバイスDUTに印加することを可能とした半導体デバイス試験装置を提供しようとするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項1ではソケットボードに装着された被試験半導体デバイスの信号端子に試験信号を送給する第1信号線路と、
一端がこの第1信号線路と信号端子側で共通接続され、他端がソケットボードの外側に導出された第2信号線路と、
この第2信号線路のソケットボードの外側に設けられ、第2信号線路を通じて被試験半導体デバイス信号端子に接続される終端抵抗器と、
この終端抵抗器を必要に応じて第2信号線路から切離すための終端抵抗接続リレー接点とを具備して構成される半導体デバイス試験装置において、
終端抵抗接続リレー接点と第2信号線路との接続点側において、被試験半導体デバイスの信号端子に直流試験装置を接続し、切離すためのスイッチ回路を接続した構成とした半導体デバイス試験装置を提案する。
【0012】
作用
この発明の構成によれば直流試験ユニットを接続し、切離すためのスイッチ回路を第2信号線路側に設けたから、ドライバから被試験半導体デバイスに試験信号を伝送する信号線路からスイッチ回路を除去することができる。この結果、ドライバから被試験半導体デバイスに至る回路の信号の伝搬遅延時間をスイッチ回路の所要時間分だけ短くすることができる。この結果として立ち上り時間劣化も改善することができる利点が得られる。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1にこの発明による半導体デバイス試験装置の一実施例を示す。図3及び図4と対応する部分には同一符号を付して示す。この発明では第2信号線路13Bを具備した半導体デバイス試験装置において、ドライバ12の出力端子をリレー接点17を通じて直接第1信号線路13Aに接続すると共に、第2信号線路13Bの端部と終端抵抗接続リレー18との間にスイッチ回路16を接続した構成とした点を特徴とするものである。
【0014】
この構造によれば機能試験はリレー接点17をオン、終端抵抗接続リレー18をオンの状態に設定すれば、第1信号線路13A及び第2信号線路13Bは終端抵抗器14で終端され、インピーダンス整合される。従ってドライバ12は反射波に影響されることなく被試験半導体デバイスDUTの各端子に試験信号を印加することができる。
一方、直流試験時にはリレー接点17をオフ、終端抵抗接続リレー18をオフの状態に設定すると共に、スイッチ回路16により第2信号回路13Bに直流試験ユニット15を接続することにより、直接試験を行うことができる。
【0015】
この発明の構造によれば特に機能試験の状態ではドライバ12はリレー接点17を通じて第1信号線路13Aの一端に直流接続される。この結果、ドライバ12から被試験半導体デバイスDUTの各端子に伝搬された試験信号の立ち上り時間T5は
T5=√(T12+T22+T42)
となり、スイッチ回路16で発生した立ち上り時間T3を除去することができる。
ドライバ12における信号の立ち上りに要する時間T1の違いによる立ち上り時間T5の実測例を表1に示す。
【0016】
【表1】
表1から明らかなように立ち上りの早い(高速)信号の場合程、立ち上り時間T5の改善効果が高いことが解かる。
図2はこの発明の変形実施例を示す。この実施例ではこの発明を被試験半導体デバイスDUTの入力兼出力端子の信号線路に適用した場合を示す。この場合には、終端抵抗器14と、終端抵抗器接続リレー18との接続点にコンパレータ19を接続し、このコンパレータ19で被試験半導体デバイスDUTが出力する応答出力信号を取り込み、そのH論理の電圧及びL論理の電圧が正規の論理値を規定する電圧になっているか否かを判定しながら、被試験半導体デバイスDUTの応答出力信号を取り込む回路を具備した回路にこの発明を適用した場合を示す。
【0017】
この場合も、ドライバ12と被試験半導体デバイスDUTとを結ぶ線路にスイッチ回路16を接続しないから、ドライバ12と被試験半導体デバイスDUTまでの信号の伝搬遅延時間を短くすることができる。
【0018】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば簡単な接続変更だけで被試験半導体デバイスDUTに印加される信号の立ち上り時間を小さくすることができる。この結果、高速動作する半導体デバイスに波形劣化の少ない試験信号を印加することができるから、試験の信用性を高めることができる大きな利点が得られ、その効果は実用に供して頗る大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を説明するためのブロック図。
【図2】この説明の変形実施例を説明するためのブロック図。
【図3】従来技術を説明するためのブロック図。
【図4】従来技術の他の例を説明するためのブロック図。
【図5】図4に示した従来技術の他に欠点を説明するためのブロック図。
【符号の説明】
10 ソケットボード
11 ICソケット
DUT 被試験半導体デバイス
12 ドライバ
13 信号線路
13A 第1信号線路
13B 第2信号線路
14 終端抵抗器
15 直流試験ユニット
16 スイッチ回路
17 リレー接点
18 終端抵抗接続リレー
Claims (2)
- ソケットボードに装着された被試験半導体デバイスの信号端子に試験信号を送給する第1信号線路と、一端がこの第1信号線路と上記信号端子側で共通接続され、他端が上記ソケットボードの外側に導出された第2信号線路と、この第2信号線路の上記ソケットボードの外側に設けられ、上記第2信号線路を通じて上記信号端子に接続される終端抵抗器と、
この終端抵抗器を必要に応じて上記第2信号線路から切離す終端抵抗接続リレー接点とを具備して構成される半導体デバイス試験装置において、
上記第2信号線路の終端抵抗接続リレー接点との接続点側において、上記被試験半導体デバイスの信号端子に直流試験装置を接続し、切離すためのスイッチ回路を接続した構成としたことを特徴とする半導体デバイス試験装置。 - 前記終端抵抗器と前記終端抵抗器接続リレーとの接続点に接続され、前記被試験半導体デバイスが出力する応答出力信号の論理値が正規の論理値となっているか否かを判定するコンパレータを備える請求項1に記載の半導体デバイス試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001161700A JP4627924B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | 半導体デバイス試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001161700A JP4627924B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | 半導体デバイス試験装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002350508A JP2002350508A (ja) | 2002-12-04 |
JP4627924B2 true JP4627924B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=19004937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001161700A Expired - Fee Related JP4627924B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | 半導体デバイス試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4627924B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE602005006378T2 (de) * | 2005-03-11 | 2009-06-04 | Verigy (Singapore) Pte. Ltd. | Anschlusselemente für eine automatische Testeinrichtung zur Prüfung von integrierten Schaltungen |
JP5066076B2 (ja) * | 2006-03-17 | 2012-11-07 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置及びパフォーマンスボード |
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-
2001
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JP2002040098A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Advantest Corp | 試験装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002350508A (ja) | 2002-12-04 |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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