JP4625743B2 - 磁気検出素子 - Google Patents
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Description
12 磁性薄膜
14a、14b コイル
14c、14d コイル
16a〜16f スルーホール
18a〜18f 電極
20 磁気検出素子
120 発振回路
122 検波回路
124 増幅・帰還回路
Claims (3)
- 磁性体に高周波電流を流し、外部磁界によりその透磁率が変化する磁気検出素子において、単一の非磁性基板上に磁性体としての線状の磁性薄膜が形成され、前記磁性薄膜上には絶縁層を介して積層された前記磁性薄膜に対しバイアス磁界を印加するため又は誘導出力を取り出すための第1の渦巻き型平面コイルと、帰還を掛けるための第2の渦巻き型平面コイルとが同一平面に形成され、前記第1及び第2の渦巻き型平面コイルの中心が、前記磁性薄膜の長手方向の両端部に位置することを特徴とする磁気検出素子。
- 前記第1、第2の渦巻き平面コイル上に、絶縁層を介して、前記磁性薄膜に対しバイアス磁界印加するため又は誘導出力を取り出すための第3の渦巻き型平面コイルと、帰還を掛けるための第4の渦巻き型平面コイルとが同一平面に形成され、且つ、前記第1と第3の渦巻き型平面コイル、前記第2と第4の渦巻き型平面コイルがそれぞれ直列に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気検出素子。
- 前記第3の渦巻き型平面コイルが前記第1の渦巻き型コイルの真上に、前記第4の渦巻き型平面コイルが前記第2の渦巻き型平面コイルの真上に位置することを特徴とする請求項2に記載の磁気検出素子。
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