JP4291827B2 - 走査電子顕微鏡又は測長semの調整方法 - Google Patents
走査電子顕微鏡又は測長semの調整方法 Download PDFInfo
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Description
図2は、本発明の第1の実施例を説明する図である。図1に示す収差補正器付電子線装置の構成を基本として、電子ビーム軌道に着目して、実施例1による制御を説明する。
図3に本発明の実施例2を示す。この例では収差補正器10のOFFモードの場合は、実施例1と同様、コンデンサーレンズ7を弱励磁で使い(破線)、対物レンズ17の物点となるクロスオーバー44を収差補正器10の後側に結ぶ。第2コンデンサーレンズ7の強励磁/弱励磁の切替と収差補正器10のON/OFFをコンピュータ30により連動させて、ONモードのときは第2コンデンサーレンズ7を強励磁で使い、収差補正器10の前側にクロスオーバー41を形成する(実線)。それを収差補正器10によりクロスオーバー44の位置にスティグマティック結像させて対物レンズ17の物点とする。収差補正器10のONモードの場合、クロスオーバー44までのスポットのトータル倍率が、収差補正器10のOFFモードの場合より小さいことが必要である。さもないと収差補正器10がうまく軸調整できても収束スポット45の径がもともと大きいので分解能が向上しない。
Claims (8)
- 電子ビームを発生する電子銃と、対物レンズと、対物アライナと、前記対物レンズに入射する電子ビームの色収差又は球面収差を補正する収差補正器とを有する走査電子顕微鏡の調整方法において、
前記収差補正器の動作をOFFにした状態で、前記対物レンズの電流中心を該電子ビームが通るように前記対物アライナを調整し、
前記対物アライナの調整後に、前記収差補正器の動作をONにした状態とし、前記収差補正器の調整を行うことを特徴とする走査電子顕微鏡の調整方法。 - 電子ビームを発生する電子銃と、対物レンズと、対物アライナと、前記対物レンズに入射する電子ビームの色収差又は球面収差を補正する収差補正器とを有する測長SEMの調整方法において、
前記収差補正器の動作をOFFにした状態で、前記対物レンズの電流中心を該電子ビームが通るように前記対物アライナを調整し、
前記対物アライナの調整後に、前記収差補正器の動作をONにした状態とし、前記収差補正器の調整を行うことを特徴とする測長SEMの調整方法。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡の調整方法において、
前記収差補正器を調整した後の二次電子画像の分解能が、前記収差補正器をOFFにした状態の分解能よりも高い分解能が得られない場合に、前記収差補正器の軸合わせ調整を行うことを特徴とする走査電子顕微鏡の調整方法。 - 請求項2に記載の測長SEMの調整方法において、
前記収差補正器を調整した後の二次電子画像の分解能が、前記収差補正器をOFFにした状態の分解能よりも高い分解能が得られない場合に、前記収差補正器の軸合わせ調整を行うことを特徴とする測長SEMの調整方法。 - 請求項1又は3に記載の走査電子顕微鏡の調整方法において、
前記収差補正器をOFFにした状態では、前記収差補正器を基準として試料側に該電子ビームのクロスオーバーを形成し、
前記収差補正器をONにした状態では、前記収差補正器を基準として前記電子銃側に該電子ビームのクロスオーバーを形成することを特徴とする走査電子顕微鏡の調整方法。 - 請求項2又は4に記載の走査電子顕微鏡の調整方法において、
前記収差補正器をOFFにした状態では、前記収差補正器を基準として試料側に該電子ビームのクロスオーバーを形成し、
前記収差補正器をONにした状態では、前記収差補正器を基準として前記電子銃側に該電子ビームのクロスオーバーを形成することを特徴とする測長SEMの調整方法。 - 請求項1、3、5のいずれかに記載の走査電子顕微鏡の調整方法において、
前記収差補正器は、4極、8極、あるいは12極の電極の多極子レンズが多段に積層されていることを特徴とする走査電子顕微鏡の調整方法。 - 請求項2、4、6のいずれかに記載の測長SEMの調整方法において、
前記収差補正器は、4極、8極、あるいは12極の電極の多極子レンズが多段に積層されていることを特徴とする測長SEMの調整方法。
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