JP4616850B2 - 透明バリアフィルムの製造方法 - Google Patents
透明バリアフィルムの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4616850B2 JP4616850B2 JP2007045137A JP2007045137A JP4616850B2 JP 4616850 B2 JP4616850 B2 JP 4616850B2 JP 2007045137 A JP2007045137 A JP 2007045137A JP 2007045137 A JP2007045137 A JP 2007045137A JP 4616850 B2 JP4616850 B2 JP 4616850B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- thin film
- silicon oxide
- range
- transparent barrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
(基材フィルム)
透明バリアフィルム1を構成する基材フィルム2は、バリア層3を保持し得る透明なフィルムであれば特に制限はなく、透明バリアフィルムの使用目的等から適宜選択することができる。具体的には、基材フィルム2としてポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン等のポリオレフィン系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体ケン化物、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート系樹脂、フッ素系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、アセタール系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂等の延伸(一軸ないし二軸)または未延伸の可撓性樹脂フィルムを用いることができる。基材フィルム2の厚さとしては、5〜500μm、好ましくは10〜100μmの範囲内で適宜設定することができる。
(バリア層)
透明バリアフィルム1を構成するバリア層3は、真空蒸着法、スパッタリング法等の物理気相蒸着法(Physical Vapor Deposition法、PVD法)により形成された酸化珪素を主体とする薄膜からなる層である。この酸化珪素薄膜の構成要素としては、基本的には、主として珪素および酸素からなる薄膜であり、その構成比率は問わないが、好ましくは、珪素と酸素の構成原子数の比率で、1対1.0から1対2.0の範囲であることが望ましい。また、酸化珪素薄膜の主たる構成要素である珪素および酸素の他に、アルミニウム、マグネシウム、カルシウム、カリウム、ナトリウム、チタン、ジルコニウム、イットリウム等の金属や、炭素、ホウ素、窒素、フッ素等の非金属元素が含まれていても構わない。
(実施例1)
基材フィルムとしてロール状の二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ(株)製ルミラーS−10、厚み12μm、幅600mm、長さ5000m)を準備し、これを図2に示されるような巻取り式の真空蒸着装置の真空チャンバー内に装着した。次に、真空蒸着装置のチャンバー内を、油回転ポンプおよび油拡散ポンプにより、到達真空度3.0×10-5Torr(4.0×10-3Pa)まで減圧した。
(比較例1)
成膜時のチャンバー内の圧力を1.0×10-4Torr(1.3×10-2Pa)とし、また、酸化珪素薄膜の膜厚が500Åとなるように、基材フィルムの走行速度を150m/分に設定した他は、実施例1と同様にして、バリアフィルム(比較試料1−1)を得た。
(実施例2)
基材フィルムとしてシート状の二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ(株)製ルミラーS−10、厚み100μm、大きさ200mm×150mm)を準備し、バッチ式の真空蒸着装置のチャンバー内に設置した。
(比較例2)
原料(蒸発源)として二酸化珪素(高純度化学研究所(株)製、純度99.99%、粒径2〜3μm)を使用し、蒸着チャンバー内への酸素ガス導入は行わず、また、ピアス型電子銃への印加電力を0.8kWとし、酸化珪素薄膜の膜厚が500Åとなるように、成膜時間を3分間に設定した他は、実施例2と同様にして、バリアフィルム(比較試料2)を得た。
(評価)
上記のようにして作製した各透明バリアフィルムの酸化珪素薄膜について、屈折率と赤外吸収ピーク位置を下記のようにして測定し、結果を下記の表1に示した。
(屈折率)
エリプソメトリー(Jobin Yvon社製 UVISEL)を用いて
可視光域全域において測定し、波長633nmにおける測定値を屈折率と
した。
(赤外吸収ピーク位置)
フーリエ変換赤外分光測定装置(日本分光(株)製 FT/IR−600)
を用いて測定し、1000〜1100cm-1の間にあって、最も大きな吸収
を示すピークをSi−O−Siの伸縮振動吸収のピークとし、そのピーク
位置を測定した。
(酸素透過率)
酸素ガス透過率測定装置(モダンコントロール社製OXTRAN2/20)
を用いて、温度23℃、湿度50%RHで測定した。
酸素バリア性の実用レベル:6.0cc/m2・day・atm以下
(水蒸気透過率)
水蒸気透過率測定装置(モダンコントロール社製PERMATRAN−W
3/31)を用いて、温度38℃、湿度100%RHで測定した。
水蒸気バリア性の実用レベル:6.0g/m2・day・atm以下
(後加工適性・充填包装適性)
2液硬化型ポリウレタン系樹脂の7%溶液からなる接着剤を使用し、作製
した各透明バリアフィルムの酸化珪素薄膜上に接着剤層(厚み1μm)を
形成した。次いで、このプライマー層上に、低密度ポリエチレンを押し出
しコートして、厚み60μmのヒートシール性樹脂層を形成し、図3に示
されるような層構成の積層材を作製した。次に、各積層材を使用し、製袋
機により製袋して図6に示されるような3方シール型のプラスチック袋を
製造し、このプラスチック袋に醤油を充填した後、開口部を熱融着して充
填包装製品を製造した。この一連の加工における適性を下記基準で評価し
て、後加工適性・充填包装適性とした。
(評価基準)
○:外観上欠陥はなく、通用環境下で数日経過後の内容物に全く変質
がなく鮮度を保持していた。
×:外観上欠陥を生じた、あるいは、通用環境下で数日経過後の内容
物に著しい変質が生じた。
2…基材フィルム
3…バリア層
11,21,31…積層材
12,22,32…アンカーコート剤層、接着剤層
13,23,33…ヒートシール性樹脂層
24,34…基材
35…ヒートシール性樹脂層
51,61…包装用容器
101…真空蒸着装置
102…真空チャンバー
104…コーティングドラム
105…蒸着チャンバー
107…原料
Claims (3)
- 基材フィルムと、該基材フィルムの少なくとも一方の面に設けられたバリア層とを少なくとも有する透明バリアフィルムの製造方法において、
酸化珪素を主体とする薄膜を形成する巻き取り式の真空蒸着法の成膜条件を、形成した薄膜の波長633nmにおける屈折率が1.46〜1.60の範囲内となり、かつ、形成した薄膜の赤外分光法により測定した分光スペクトルでの1000〜1100cm-1の範囲に最も大きな吸収を示すピークとして現れる珪素原子と酸素原子からなる伸縮振動吸収(Si−O−Si伸縮モード)のピークの位置が1020〜1050cm-1の範囲内となるように、原料(蒸発源)は一酸化珪素、導入ガスは酸素ガスとし、酸素ガスの流量は3slmとし、成膜時のチャンバー内の圧力は4.0×10-2Paとし、さらに、前記蒸発源を加熱して蒸発させるための電子銃の印加電力を設定し、該成膜条件で巻き取り式の真空蒸着法により酸化珪素を主体とする薄膜を形成してバリア層とすることを特徴とする透明バリアフィルムの製造方法。 - 基材フィルムと、該基材フィルムの少なくとも一方の面に設けられたバリア層とを少なくとも有する透明バリアフィルムの製造方法において、
酸化珪素を主体とする薄膜を形成するバッチ式の真空蒸着法の成膜条件を、形成した薄膜の波長633nmにおける屈折率が1.46〜1.60の範囲内となり、かつ、形成した薄膜の赤外分光法により測定した分光スペクトルでの1000〜1100cm-1の範囲に最も大きな吸収を示すピークとして現れる珪素原子と酸素原子からなる伸縮振動吸収(Si−O−Si伸縮モード)のピークの位置が1020〜1050cm-1の範囲内となるように、原料(蒸発源)は一酸化珪素、導入ガスは酸素ガスとし、酸素ガスの流量は20sccmとし、成膜時のチャンバー内の圧力は4.0×10-2Pa〜9.3×10-2Paの範囲とし、さらに、前記蒸発源を加熱して蒸発させるための電子銃の印加電力を設定し、該成膜条件でバッチ式の真空蒸着法により酸化珪素を主体とする薄膜を形成してバリア層とすることを特徴とする透明バリアフィルムの製造方法。 - 前記基材フィルムとして、二軸延伸ポリプロピレンフィルム、二軸延伸ポリアミドフィルム、および、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムのいずれかを使用することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の透明バリアフィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007045137A JP4616850B2 (ja) | 2007-02-26 | 2007-02-26 | 透明バリアフィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007045137A JP4616850B2 (ja) | 2007-02-26 | 2007-02-26 | 透明バリアフィルムの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10095317A Division JPH11268172A (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 透明バリアフィルムとこれを用いた積層材および包装用容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007169793A JP2007169793A (ja) | 2007-07-05 |
JP4616850B2 true JP4616850B2 (ja) | 2011-01-19 |
Family
ID=38296719
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007045137A Expired - Fee Related JP4616850B2 (ja) | 2007-02-26 | 2007-02-26 | 透明バリアフィルムの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4616850B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5041890B2 (ja) | 2007-06-27 | 2012-10-03 | 株式会社エヌ・ティ・ティ・ドコモ | 基地局装置及びユーザ装置並びにリファレンスシグナル系列の割り当て方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08209346A (ja) * | 1994-11-02 | 1996-08-13 | Mitsubishi Chem Corp | 導電性冷却ロールおよび蒸着フィルムの製造方法 |
JPH09123338A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-05-13 | Toray Ind Inc | ガスバリア性フィルム |
-
2007
- 2007-02-26 JP JP2007045137A patent/JP4616850B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08209346A (ja) * | 1994-11-02 | 1996-08-13 | Mitsubishi Chem Corp | 導電性冷却ロールおよび蒸着フィルムの製造方法 |
JPH09123338A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-05-13 | Toray Ind Inc | ガスバリア性フィルム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007169793A (ja) | 2007-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4028124B2 (ja) | 透明バリアフィルムとその作製方法、作製装置、及びこれを用いた積層材及び包装容器 | |
JP2005088431A (ja) | バリア性フィルム | |
JP2002370749A (ja) | 自立性袋 | |
JP4090551B2 (ja) | 透明バリア性フィルム | |
JP3884573B2 (ja) | 透明バリアフィルムとこれを用いた積層材および包装用容器 | |
JP4402412B2 (ja) | 積層材およびそれを使用した包装用袋 | |
JP4616850B2 (ja) | 透明バリアフィルムの製造方法 | |
JP4612125B2 (ja) | 透明バリアフィルム、それを使用した積層材および包装用容器 | |
JP2000052475A (ja) | バリア性フィルムおよびそれを使用した積層材 | |
JP4867906B2 (ja) | 透明バリア性フィルム | |
JP3820041B2 (ja) | 透明バリアフィルムとこれを用いた積層材および包装用容器 | |
JP4815744B2 (ja) | 透明蒸着フィルムおよびその製造法 | |
JP4357913B2 (ja) | バリア性フィルム | |
JP3890146B2 (ja) | 透明バリアフィルムとこれを用いた積層材および包装用容器 | |
JP4774577B2 (ja) | バリア性フィルムおよびそれを使用した積層材 | |
JPH11268171A (ja) | 透明バリアフィルムとこれを用いた積層材および包装用容器 | |
JP2002283490A (ja) | バリアフィルムとこれを用いた積層材およびバリアフィルムの製造方法 | |
JP4156056B2 (ja) | 酸化アルミニウム蒸着複合フィルムおよびその製造法 | |
JP4108835B2 (ja) | 積層材 | |
JP4616849B2 (ja) | 透明バリアフィルムの製造方法 | |
JP3831624B2 (ja) | バリアフィルムの製造方法とこの製造方法で製造されたバリアフィルムを用いた積層材および包装用容器 | |
JP2005305856A (ja) | 透明バリアフィルム、それを用いた積層材および包装用容器 | |
JP4123807B2 (ja) | 高ガスバリア性フィルム | |
JP4156251B2 (ja) | ヒ−トシ−ル性素材、それを使用した積層体および包装用容器 | |
JP4549872B2 (ja) | 透明ガスバリア性積層体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100323 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100426 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100615 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100728 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101012 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101022 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131029 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |