JP4615415B2 - Display element component correcting apparatus and display element component correcting method - Google Patents

Display element component correcting apparatus and display element component correcting method Download PDF

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Description

本発明は、例えば、液晶パネル、プラズマパネル、マイクロミラーパネル、ブラウン管ディスプレー、プロジェクションテレビなどのカラー表示パネルに用いられるカラーフィルター形成後の表示素子部品修正装置および表示素子部品修正方法に関するものであり、また、ＥＬ材料を用いたディスプレーの発光層の表示素子部品修正装置および表示素子部品修正方法にも関する。   The present invention relates to a display element component correcting apparatus and a display element component correcting method after forming a color filter used for a color display panel such as a liquid crystal panel, a plasma panel, a micromirror panel, a cathode ray tube display, a projection television, for example. The present invention also relates to a display element component correcting apparatus and a display element component correcting method for a light emitting layer of a display using an EL material.

例えば、上述した液晶パネルまたはプラズマパネル等のカラー表示パネルに使用される表示素子部品としてのカラーフィルターは、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）およびＢＭ（黒）パターンで形成されており、印刷法、電着法、フォトリソグラフィーによる顔料分散法、インクジェット法によりＲ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）およびＢＭ（黒）パターンを形成することができる。   For example, a color filter as a display element component used in the above-described color display panel such as a liquid crystal panel or a plasma panel is formed with R (red) G (green) B (blue) and BM (black) patterns. The R (red) G (green) B (blue) and BM (black) patterns can be formed by a printing method, an electrodeposition method, a pigment dispersion method by photolithography, or an ink jet method.

印刷法は、パターン精度の面で他の方法に劣り、現在の表示素子形成プロセスで用いられることは少ない。   The printing method is inferior to other methods in terms of pattern accuracy, and is rarely used in the current display element formation process.

電着法は、着色インクに導電性が不可欠であり、導電性を持つインクの色純度が低いことから、鮮やかな色表示がしにくいため、商品価値が低くなる。   In the electrodeposition method, conductivity is indispensable for the colored ink, and since the color purity of the conductive ink is low, vivid color display is difficult to achieve, so the commercial value is low.

フォトリソグラフィーによる顔料分散法は、現在最も広く用いられている。しかしながら、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）およびＢＭ（黒）パターンを形成するために少なくとも３回のフォトリソグラフィーを必要とするため、製造コストが高くなってしまうという課題がある。   The pigment dispersion method by photolithography is currently most widely used. However, since at least three photolithography steps are required to form the R (red), G (green), B (blue), and BM (black) patterns, there is a problem that the manufacturing cost increases.

そこで、近年、パターン精度向上、色純度向上、製造コスト削減が可能な方法としてインクジェット法が、注目されている。ただし、このインクジェット法は、着色インクを高精度で打ち込む際に隣接する画素と混色し、表示品位を低下させる課題もある。   Therefore, in recent years, an inkjet method has attracted attention as a method capable of improving pattern accuracy, improving color purity, and reducing manufacturing costs. However, this ink jet method also has a problem in that, when colored ink is driven with high accuracy, it mixes with adjacent pixels and lowers display quality.

また、上述のいずれの手法を用いたとしても、１００％の良品製造することは困難であり、異物による不良やＲ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）およびＢＭ（黒）パターンの欠損などが発生する。   In addition, it is difficult to manufacture 100% non-defective products using any of the above-described methods, such as defects due to foreign matter, and defects in R (red) G (green) B (blue) and BM (black) patterns. Will occur.

そこで、特許文献１においては、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）３色を塗布するに際し、各色の塗布パターンを均一化でき、塗液のかすれなどを防止し、所定の凹部に対してのみ確実にペーストを塗布できるプラズマディスプレイ用発光基板の製造装置および製造方法が開示されている。   Therefore, in Patent Document 1, when applying three colors of R (red), G (green), and B (blue), the coating pattern of each color can be made uniform, and the coating liquid can be prevented from fading, etc. An apparatus and method for manufacturing a light-emitting substrate for a plasma display capable of reliably applying a paste only have been disclosed.

すなわち、特許文献１に開示されたプラズマディスプレイ用発光基板の製造装置１００では、図５に示すように、Ｚ方向スライドテーブル１０１に取り付けられているカメラ１０２にて、図示しないスライドテーブルに載せられてＸ軸方向に移動する被塗布基材１０３の選択した凹部１０３ａを撮像し、画像位置処理部１０４を介してＹ軸位置制御部１０５にてＹ軸方向移動機構を駆動し、凹部１０３ａの中央と塗布ヘッド１０６のノズル孔の中央とがほぼ一致するように制御される。このように、凹部１０３ａの中央とノズル孔の中央とを確実に位置決めした状態で塗液の塗布が開始されるので、所定の凹部１０３ａに対してのみ、塗液を確実に塗布することができる。   That is, in the plasma display light emitting substrate manufacturing apparatus 100 disclosed in Patent Document 1, the camera 102 attached to the Z-direction slide table 101 is placed on a slide table (not shown) as shown in FIG. The selected concave portion 103a of the substrate 103 to be moved moving in the X-axis direction is imaged, and the Y-axis direction moving mechanism is driven by the Y-axis position control unit 105 via the image position processing unit 104, and the center of the concave portion 103a is Control is performed so that the center of the nozzle hole of the coating head 106 substantially matches. As described above, since the application of the coating liquid is started in a state where the center of the recess 103a and the center of the nozzle hole are reliably positioned, the coating liquid can be reliably applied only to the predetermined recess 103a. .

また、特許文献２においては、ノズル詰まりにより、基盤に描画したパターンに白抜けの欠陥が発生した場合であっても、ラインを停止させることなく、略同時に欠陥部分を補修することができる描画装置が開示されている。   Further, in Patent Document 2, even when a white defect is generated in a pattern drawn on a substrate due to nozzle clogging, a drawing apparatus capable of repairing a defective portion substantially simultaneously without stopping the line. Is disclosed.

すなわち、特許文献２に開示された描画装置２００は、図６に示すように、基板Ｐ上の所定位置に液状体を配置してパターンＰＡを描くときに、複数のノズル２１１から基板Ｐに向けて液状体を吐出する第１吐出部２１０と、第１吐出部２１０と基板Ｐとを相対移動させる図示しない第１移動部と、第１吐出部２１０が描画したパターンＰＡの白抜け欠陥部分Ｄを検出する描画検査部２２０と、少なくとも１以上のノズル２３１を有し、ノズル２３１から白抜け欠陥部分Ｄに向けて液状体を吐出する第２吐出部２３０と、描画検査部２２０からの情報に基づいて、第２吐出部２３０を白抜け欠陥部分Ｄに相対移動させる第２移動部２３２とを備えている。   That is, as shown in FIG. 6, the drawing apparatus 200 disclosed in Patent Document 2 directs a plurality of nozzles 211 toward the substrate P when drawing a pattern PA by arranging a liquid material at a predetermined position on the substrate P. A first discharge unit 210 that discharges the liquid material, a first moving unit (not shown) that relatively moves the first discharge unit 210 and the substrate P, and a white defect portion D of the pattern PA drawn by the first discharge unit 210. Information from the drawing inspection unit 220, the second ejection unit 230 having at least one or more nozzles 231 and ejecting a liquid material from the nozzle 231 toward the white defect portion D, and the information from the drawing inspection unit 220. Based on this, a second moving unit 232 that moves the second discharge unit 230 relative to the white defect portion D is provided.

特許文献２では、上記構成により、
（１）第１吐出部２１０および第２吐出部２３０からの吐出作業を流れ作業で行うことができ、第１吐出部２１０が描画したパターンに白抜け欠陥部分Ｄが発生しても、後に続く第２吐出部２３０により補修される。
（２）さらに、第２移動部２３２を複数備えることにより、基板Ｐに複数の白抜け欠陥部分Ｄが発生した場合でも、流れ作業で補修を行うことができる。
としている。
特開２００２-１４０９８２号公報（２００２年５月１７日公開） 特開２００４-３３７７０７号公報（２００４年１２月２日公開） In Patent Document 2, the above configuration allows
(1) The discharge operation from the first discharge unit 210 and the second discharge unit 230 can be performed by a flow operation. Even if the white defect portion D occurs in the pattern drawn by the first discharge unit 210, the discharge operation continues. Repair is performed by the second discharge unit 230.
(2) Further, by providing a plurality of second moving parts 232, even if a plurality of white defect portions D are generated on the substrate P, repair can be performed by a flow operation.
It is said.
JP 2002-140982 A (published May 17, 2002) JP 2004-337707 A (released on December 2, 2004)

ところで、図７に示すように、インクジェット方式により作製された表示素子基板の表示部品としてのカラーフィルター３２０の欠陥としては、特許文献２に開示されているような、インクジェットの吐出不良で色の入らない白抜け画素３２７に限らない。   By the way, as shown in FIG. 7, as a defect of the color filter 320 as the display component of the display element substrate manufactured by the ink jet method, a color is formed due to an ink jet ejection defect as disclosed in Patent Document 2. It is not limited to the missing white pixel 327.

例えば、５０万以上の画素を有し、カラーフィルター３２０を大量に生産していると、隣接する画素同士の色が混ざる混色現象画素３２５が少なからず発生する場合がある。また、異物３２６が付着する場合もある。   For example, when there are 500,000 or more pixels and the color filter 320 is produced in large quantities, there are cases where not a few color mixing phenomenon pixels 325 in which the colors of adjacent pixels are mixed are generated. Moreover, the foreign material 326 may adhere.

このような混色現象画素３２５や異物３２６や白抜け画素３２７は、肉眼で容易に判別可能で、製品として出荷できない不良品となる。   Such a color mixture phenomenon pixel 325, foreign matter 326, and white-out pixel 327 can be easily identified with the naked eye and become defective products that cannot be shipped as products.

また、一般に、インクジェットによる修正は、多点を修正する必要性から基板または
カラーフィルター３２０を移動させ、移動中のカラーフィルター３２０に図示しない液滴塗布機構ユニットから液滴を照射して、修正したい位置にインクを入れることにより行う。 In general, correction by ink jet is performed by moving the substrate or the color filter 320 from the necessity of correcting many points, and irradiating the moving color filter 320 with droplets from a droplet coating mechanism unit (not shown). This is done by putting ink in the position.

しかしながら、移動中に液滴を塗布すると、停止中に液滴を塗布する場合に比べ、修正の失敗を招き易い。   However, applying droplets while moving is more likely to cause correction failures than when applying droplets while stopped.

さらに、移動中に顕微鏡やラインセンサーで欠陥位置を特定するには非常に高額な機構を必要とする。   Furthermore, a very expensive mechanism is required to identify a defect position with a microscope or a line sensor during movement.

また、修正までに経由してくる装置の数が多いと、装置間での欠陥位置情報のばらつきが大きくなり、装置の精度管理が煩雑で、不良やコストを増加させる原因となる場合が多い。   In addition, if the number of devices that are routed through the correction is large, the variation in defect position information among the devices becomes large, the accuracy management of the devices is complicated, and often causes defects and costs.

これに対して、上記従来の特許文献１および特許文献２のいずれの構成においても、上記の問題が解決できていない。すなわち、以下の課題が残っている。
（１）装置の移動精度を高くするために高価な部品が必要となりコストが高くなる。
（２）多点を短時間で修正できない。
（３）多点を短時間で修正するためにはインクジェットヘッドが多数必要となりコストが高くなる。 On the other hand, the above-mentioned problems cannot be solved in any of the configurations of the above-described conventional Patent Document 1 and Patent Document 2. That is, the following problems remain.
(1) In order to increase the movement accuracy of the apparatus, expensive parts are required and the cost is increased.
(2) Many points cannot be corrected in a short time.
(3) In order to correct many points in a short time, a large number of ink jet heads are required and the cost is increased.

なお、カラー部品ではなく、モノカラー部品の場合であっても同様の技術課題がある。   There is a similar technical problem even in the case of mono-color parts instead of color parts.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、修正の失敗をなくし、高い修正成功率を実現させる安価な表示素子部品修正装置および表示素子部品修正方法を実現することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to realize an inexpensive display element component correction apparatus and display element component correction method that eliminate a failure in correction and achieve a high correction success rate. There is.

本発明の表示素子部品修正装置は、上記課題を解決するために、移動および停止を繰り返しながら表示素子部品を搬送する搬送手段と、上記搬送手段によって搬送される表示素子部品に対して欠陥部への液滴の塗布を行う塗布手段とを備えていると共に、上記塗布手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うことを特徴としている。   In order to solve the above problems, a display element component correcting apparatus according to the present invention transports a display element component while repeatedly moving and stopping, and a defective portion with respect to the display element component transported by the transport unit. And applying means for applying liquid droplets to the display element component while the conveying means stops conveying the display element component. .

また、本発明の表示素子部品修正方法は、上記課題を解決するために、移動および停止を繰り返しながら搬送される表示素子部品に対して塗布手段にて欠陥部への液滴の塗布を行うときに、表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うことを特徴としている。なお、欠陥部とは、例えば、混色、異物の存在または白抜けなどである。   In addition, in order to solve the above-described problem, the display element component correcting method of the present invention applies a droplet to a defective portion by a coating unit on a display element component that is transported while repeatedly moving and stopping. Further, the present invention is characterized in that droplets are applied to the display element component while the conveyance of the display element component is stopped. The defective portion is, for example, color mixture, the presence of foreign matter, or white spots.

上記の発明によれば、塗布手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うので、正確な欠陥位置に液滴を塗布できる。   According to the above invention, the application unit applies the droplet to the display element component while the conveyance of the display element component by the conveyance unit is stopped, so that the droplet can be applied to an accurate defect position.

したがって、修正の失敗をなくし、高い修正成功率を実現させる表示素子部品修正装置および表示素子部品修正方法を実現することができる。   Accordingly, it is possible to realize a display element component correction apparatus and a display element component correction method that eliminates the failure of correction and realizes a high correction success rate.

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記表示素子部品の欠陥部を検出する欠陥検出手段を備えていることが好ましい。   In the display element component correcting apparatus according to the present invention, it is preferable that the display element component correcting apparatus further includes defect detection means for detecting a defective portion of the display element component.

これにより、表示素子部品修正装置に備えられた欠陥検出手段が表示素子部品の欠陥部を検出するので、欠陥検出手段が検出する欠陥検出位置をこの部品修正装置の塗布手段における塗布位置に反映することができる。この結果、表示素子部品が経由してくる装置間のばらつきに左右されず、塗布を行なうための正確な位置を認識することができる。   Thereby, since the defect detection means provided in the display element component correction apparatus detects a defective portion of the display element part, the defect detection position detected by the defect detection means is reflected in the application position in the application means of this component correction apparatus. be able to. As a result, an accurate position for coating can be recognized without being influenced by variations between devices through which the display element component passes.

また、移動中に顕微鏡やラインセンサーで欠陥位置を特定するには非常に高額な欠陥検出手段を必要とするが、本発明においては、停止中に表示素子部品の欠陥を欠陥検出手段で確認するので、追跡装置等が不要であり、欠陥検出手段を安価に製造できる。   Further, in order to identify the defect position with a microscope or a line sensor during movement, a very expensive defect detection means is required. In the present invention, a defect of the display element component is confirmed by the defect detection means during stoppage. Therefore, a tracking device or the like is unnecessary, and the defect detection means can be manufactured at a low cost.

この結果、同一の表示素子部品修正装置内に備えられた欠陥検出手段により、正確な欠陥位置の検出を行った後に液滴を塗布するので、修正の失敗をなくし、高い修正成功率を実現させる安価な表示素子部品修正装置を実現することができる。   As a result, since the droplet is applied after the accurate defect position is detected by the defect detection means provided in the same display element component correcting device, correction failure is eliminated and a high correction success rate is realized. An inexpensive display element component correcting device can be realized.

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記欠陥検出手段は、欠陥を観察できる欠陥観察手段を備えていることが好ましい。   In the display element component correcting apparatus according to the present invention, it is preferable that the defect detection means includes a defect observation means capable of observing a defect.

これにより、表示素子部品の欠陥部を目視できるので、より確かな欠陥情報を得ることができる。   Thereby, since the defective part of a display element component can be visually observed, more reliable defect information can be obtained.

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記表示素子部品の欠陥部をレーザーにより除去するレーザー除去手段を備えていると共に、上記レーザー除去手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して欠陥部を除去することが好ましい。   The display element component correcting apparatus according to the present invention further includes a laser removing unit that removes a defective portion of the display element component with a laser, and the laser removing unit is stopped during the conveyance of the display element component by the conveying unit. It is preferable to remove the defective portion from the display element component.

これにより、レーザー除去手段にて表示素子部品の欠陥部をレーザーにより除去することができる。   Thereby, the defect part of a display element component can be removed with a laser by a laser removal means.

また、レーザー除去手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して欠陥部を除去するので、正確な欠陥位置における欠陥部を除去することができる。さらに、欠陥部の除去に際して、欠陥位置の精度管理が容易になるため、コストを抑えることができる。   Further, since the laser removing unit removes the defective portion from the display element component while the conveyance of the display element component by the conveying unit is stopped, the defective portion at the accurate defect position can be removed. Furthermore, when removing the defective portion, the accuracy management of the defect position becomes easy, so that the cost can be suppressed.

したがって、修正の失敗をなくし、高い修正成功率を実現させる表示素子部品修正装置を実現することができる。   Accordingly, it is possible to realize a display element component correcting apparatus that eliminates the failure of correction and realizes a high correction success rate.

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記搬送手段は、搬送速度および搬送距離を欠陥分布状況に応じて変化させる機能を備えていることが好ましい。   In the display element component correcting apparatus of the present invention, it is preferable that the transport unit has a function of changing the transport speed and the transport distance according to the defect distribution state.

これにより、無駄な移動時間および停止時間を省くことができるため、表示素子部品の欠陥修正完了までのタクトタイムを短縮することができる。   As a result, useless movement time and stop time can be omitted, and the tact time until the defect correction of the display element parts is completed can be shortened.

また、複数の欠陥修正箇所がある場合は、停止時間を長くすることによって、欠陥修正の完成度を向上させることができる。したがって、結果的に、多点を短時間で修正できると共に、塗布手段の数を抑えることができるので、コストを低減することができる。   Also, when there are a plurality of defect correction locations, the defect repair completeness can be improved by lengthening the stop time. Therefore, as a result, many points can be corrected in a short time and the number of coating means can be suppressed, so that the cost can be reduced.

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記塗布手段は、塗布動作の休止中に、該塗布手段自体をメンテナンスするメンテナンス手段を備えていることが好ましい。   In the display element component correcting apparatus according to the present invention, it is preferable that the coating unit includes a maintenance unit for maintaining the coating unit itself during the suspension of the coating operation.

これにより、塗布動作を必要としない休止中には、メンテナンス手段にて塗布手段自体をメンテナンスすることができる。   As a result, the application means itself can be maintained by the maintenance means while the application operation is not required.

この結果、塗布手段のメンテナンスのために表示素子部品修正装置の稼動を止めたりする必要がなくなり、欠陥修正のタクトタイムを長くすることなく、正常な塗布動作を長期間継続することができる。   As a result, it is no longer necessary to stop the operation of the display element component correcting device for maintenance of the application means, and normal application operation can be continued for a long time without increasing the defect correction tact time.

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記塗布手段は、インクジェット方式により液滴の塗布を行うことが好ましい。   Moreover, in the display element component correction apparatus of the present invention, it is preferable that the coating means applies droplets by an ink jet method.

これにより、例えば、表示素子部品のサイズ変更に対し、塗布するインク量を容易に変更することができるため、多品種の表示素子部品を製造する場合に有利となる。   Accordingly, for example, the amount of ink to be applied can be easily changed with respect to the change in the size of the display element component, which is advantageous when manufacturing various types of display element components.

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記塗布手段は、ニードル方式により液滴の塗布を行うことが好ましい。   Moreover, in the display element component correction apparatus of the present invention, it is preferable that the application means apply droplets by a needle method.

これにより、ニードル方式による液滴の塗布では、高粘度のインクを塗布することが可能であるので、短時間にて、多量のインクを塗布することができる。さらに、インクの物性変更が容易であり、例えば、ＵＶ（ultraviolet radiation）硬化剤などを混ぜ込み、修正完了後、すぐに固化することもできる。   Thereby, in the application of droplets by the needle method, it is possible to apply high-viscosity ink, so that a large amount of ink can be applied in a short time. Furthermore, the physical properties of the ink can be easily changed. For example, a UV (ultraviolet radiation) curing agent can be mixed and solidified immediately after the correction is completed.

また、本発明の表示素子部品修正装置では、前記塗布手段は、ディスペンサー方式により液滴の塗布を行うことが好ましい。   Moreover, in the display element component correction apparatus of the present invention, it is preferable that the application means apply droplets by a dispenser method.

これにより、ディスペンサー方式による液滴の塗布では、インクの物性による影響を最も受け難いため、修正箇所の仕上がりをよくすることができる。   As a result, the application of droplets by the dispenser method is most unlikely to be affected by the physical properties of the ink, so that the finish of the corrected portion can be improved.

また、本発明の部品修正装置では、前記表示素子部品は、表示素子のカラーフィルターであることが好ましい。   Moreover, in the component correction apparatus of this invention, it is preferable that the said display element component is a color filter of a display element.

これにより、表示装置において鮮やかなカラー画像を得ることができる。   Thereby, a vivid color image can be obtained in the display device.

また、本発明の表示素子部品修正方法では、前記表示素子部品に対して欠陥部への液滴の塗布を行う移動自在の塗布手段の可動範囲を、表示素子部品の１回の搬送方向長以内にすることが好ましい。   Further, in the display element component correcting method of the present invention, the movable range of the movable applying means for applying droplets to the defective portion with respect to the display element component is within the length of one conveyance direction of the display element component. It is preferable to make it.

これにより、隣り合う移動自在の塗布手段が互いに衝突する危険を回避することができる。そのため、塗布手段は煩雑な制御手段を備えずともよく、塗布手段を安価に製造することができる。   As a result, it is possible to avoid the danger that adjacent movable application means collide with each other. Therefore, the application unit does not have to include a complicated control unit, and the application unit can be manufactured at low cost.

本発明の表示素子部品修正装置は、以上のように、複数回の移動および停止を繰り返しながら表示素子部品を搬送する搬送手段と、上記搬送手段によって搬送される表示素子部品に対して欠陥部への液滴の塗布を行う塗布手段とを備えていると共に、上記塗布手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うものである。   As described above, the display element component correcting device according to the present invention transports a display element component while repeatedly moving and stopping a plurality of times, and a defect portion with respect to the display element component transported by the transport unit. Application means for applying the liquid droplets, and the application means applies the liquid droplets to the display element component while the conveyance means stops the conveyance of the display element component.

また、本発明の表示素子部品修正方法は、以上のように、複数回の移動および停止を繰り返しながら搬送される表示素子部品に対して塗布手段にて欠陥部への液滴の塗布を行うときに、表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行う方法である。   In addition, as described above, the display element component correcting method according to the present invention applies a droplet to a defective portion by a coating unit on a display element component that is conveyed while being repeatedly moved and stopped a plurality of times. In addition, the liquid droplets are applied to the display element component while the conveyance of the display element component is stopped.

それゆえ、表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うので、正確な欠陥位置に液滴を塗布できる。   Therefore, since the liquid droplets are applied to the display element component while the conveyance of the display element component is stopped, the liquid droplet can be applied to an accurate defect position.

したがって、修正の失敗をなくし、高い修正成功率を実現させる安価な表示素子部品修正装置および表示素子部品修正方法を実現することができるという効果を奏する。   Therefore, there is an effect that it is possible to realize an inexpensive display element component correction apparatus and display element component correction method that eliminate the failure of correction and realize a high correction success rate.

〔実施の形態１〕
本発明の一実施形態について図１および図２に基づいて説明すれば、以下の通りである。 [Embodiment 1]
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.

本実施の形態の表示素子部品修正装置は、パネルの表示素子部品としてのカラーフィルターをインクジェットにより形成したときの欠陥を修正するためのものである。ただし、本発明において、表示素子部品はカラーフィルターに限らず、ＥＬ材料を用いたディスプレーの発光層などにも適用可能である。   The display element component correcting device of the present embodiment is for correcting a defect when a color filter as a display element component of a panel is formed by inkjet. However, in the present invention, the display element component is not limited to a color filter, but can be applied to a light emitting layer of a display using an EL material.

最初に、パネルのカラーフィルター２０について説明する。   First, the panel color filter 20 will be described.

上記表示素子部品としてのカラーフィルター２０は、図２に示すように、赤（Ｒ）画素２１、緑（Ｇ）画素２２、および青（Ｂ）画素２３の繰り返しパターンにより形成されている。赤（Ｒ）画素２１、緑（Ｇ）画素２２、および青（Ｂ）画素２３の周辺には、ブラックマトリックス２４が形成され、このブラックマトリックス２４は不要な光をカットする役割を果たしている。   As shown in FIG. 2, the color filter 20 as the display element component is formed by a repeating pattern of red (R) pixels 21, green (G) pixels 22, and blue (B) pixels 23. A black matrix 24 is formed around the red (R) pixel 21, the green (G) pixel 22, and the blue (B) pixel 23. The black matrix 24 plays a role of cutting unnecessary light.

一般に、画素１つのサイズは縦１００μｍおよび横３００μｍ程度であり、画素と画素との間に配置されているブラックマトリックス２４の幅は、１０μｍ程度である。画素形成前には、４フッ化炭素ガス下でのプラズマやフッ素樹脂コーティングによる撥液化処理が施され、ブラックマトリックス２４の表面は、インクを弾きやすい性質を有している。   In general, the size of one pixel is about 100 μm in length and about 300 μm in width, and the width of the black matrix 24 arranged between the pixels is about 10 μm. Before the pixels are formed, a liquid repellency treatment is performed by plasma or fluororesin coating under a carbon tetrafluoride gas, and the surface of the black matrix 24 has a property of easily repelling ink.

本実施の形態では、上記カラーフィルター２０は、上記赤（Ｒ）画素２１、緑（Ｇ）画素２２、青（Ｂ）画素２３およびブラックマトリックス２４がインクジェット法により形成されている。   In the present embodiment, the color filter 20 includes the red (R) pixel 21, the green (G) pixel 22, the blue (B) pixel 23, and the black matrix 24 formed by an inkjet method.

そして、上記カラーフィルター２０が製造されたときには、全面に赤（Ｒ）画素２１、緑（Ｇ）画素２２、および青（Ｂ）画素２３があるかどうかが検査される。すなわち、図２に示すように、製造されたカラーフィルター２０には、混色現象画素２５や異物２６や白抜け画素２７などの欠陥部が発生していることがある。   When the color filter 20 is manufactured, it is inspected whether there are red (R) pixels 21, green (G) pixels 22, and blue (B) pixels 23 on the entire surface. That is, as shown in FIG. 2, the manufactured color filter 20 may have defective portions such as the color mixture phenomenon pixel 25, the foreign material 26, and the white pixel 27.

このような欠陥部の修正が必要な画素が存在する場合には、混色現象画素２５や異物２６や白抜け画素２７などの欠陥部の欠陥種類情報と発生位置情報とが特定され、欠陥部を取り除くための図示しない装置に搬入される。欠陥部を取り除くための方法としては、例えば、ＵＶ（Ultraviolet Radiation)レーザーもしくはＩＲ(Infrared Radiation)レーザーにより昇華する方法、または刃物により削る方法が用いられる。   When there is a pixel that needs correction of such a defective portion, defect type information and occurrence position information of the defective portion such as the color mixture phenomenon pixel 25, the foreign matter 26, and the whiteout pixel 27 are specified, and the defective portion is identified. It is carried into a device (not shown) for removal. As a method for removing the defective portion, for example, a method of sublimation with a UV (Ultraviolet Radiation) laser or an IR (Infrared Radiation) laser, or a method of cutting with a blade is used.

次いで、欠陥部が取り除かれたカラーフィルター２０は、本実施の形態の表示素子部品修正装置としての部品修正装置１０に搬入され、該欠陥部に、インクジェットにより塗布する修正が行なわれる。   Next, the color filter 20 from which the defective portion has been removed is carried into the component correcting device 10 as the display element component correcting device according to the present embodiment, and correction is applied to the defective portion by ink jetting.

ここで、本実施の形態の部品修正装置１０について、図１（ａ）〜図１（ｃ）に基づいて説明する。図１（ａ）は、部品修正装置１０の平面図である。図１（ｂ）は部品修正装置１０の側面図である。図１（ｃ）は部品修正装置１０の正面図である。   Here, the component correction apparatus 10 of this Embodiment is demonstrated based on Fig.1 (a)-FIG.1 (c). FIG. 1A is a plan view of the component correction apparatus 10. FIG. 1B is a side view of the component correction apparatus 10. FIG. 1C is a front view of the component correction apparatus 10.

上記部品修正装置１０は、図１（ａ）に示すように、搬送手段としてのステージ１と、複数の液滴塗布機構固定装置２と、液滴の塗布手段としての液滴塗布機構ユニット３および液滴塗布電装ユニット４とを有している。   As shown in FIG. 1A, the component correcting device 10 includes a stage 1 as a conveying unit, a plurality of droplet applying mechanism fixing devices 2, a droplet applying mechanism unit 3 as a droplet applying unit, And a droplet applying electrical unit 4.

上記ステージ１は、カラーフィルター２０に対して充分に長く、同時に複数枚のカラーフィルター２０を搬送することが可能である。   The stage 1 is sufficiently longer than the color filter 20 and can simultaneously transport a plurality of color filters 20.

また、上記液滴塗布機構固定装置２は、棒状の装置であり、ステージ１に対して垂直かつ等間隔に複数本備えられており、ステージ１に対して水平方向に動くことができる。   The droplet application mechanism fixing device 2 is a rod-like device, and a plurality of droplet application mechanism fixing devices 2 are provided at regular intervals with respect to the stage 1, and can move in the horizontal direction with respect to the stage 1.

さらに、上記液滴塗布機構固定装置２には、液滴塗布機構ユニット３および液滴塗布電装ユニット４が接続されており、当該液滴塗布機構固定装置２に沿って自由に動くことができる。   Furthermore, a droplet application mechanism unit 3 and a droplet application electrical unit 4 are connected to the droplet application mechanism fixing device 2 and can move freely along the droplet application mechanism fixing device 2.

なお、本実施の形態においては、上記構成に加え、水平面内で移動可能な欠陥の検出手段としての欠陥観察ユニット５が、上記液滴塗布機構固定装置２に接続されていてもよい。上記欠陥観察ユニット５は、顕微鏡などの観察手段を含んでいてもよく、当該観察手段にはモニタが接続され肉眼で観察できるようにしておくことも可能である。   In the present embodiment, in addition to the above configuration, a defect observation unit 5 as a defect detection unit that can move in a horizontal plane may be connected to the droplet application mechanism fixing device 2. The defect observation unit 5 may include observation means such as a microscope, and a monitor is connected to the observation means so that the observation can be made with the naked eye.

上記構成を備えた部品修正装置１０におけるカラーフィルター２０の欠陥部の修正方法について説明する。   A method for correcting a defective portion of the color filter 20 in the component correction apparatus 10 having the above configuration will be described.

まず、カラーフィルター２０を載置したステージ１が、一定の距離だけ移動し、停止するという動きを繰り返す。当該ステージ１の最初の移動で、カラーフィルター２０は、ある一定量だけ搬送される。そのとき、カラーフィルター２０の上部には、１本の液滴塗布機構固定装置２と１つのと１つの液滴塗布機構ユニット３とが存在しているので、欠陥観察ユニット５にて欠陥位置の観察を行い、液滴塗布機構ユニット３にて液滴塗布を実施する。   First, the stage 1 on which the color filter 20 is mounted is repeatedly moved by a certain distance and stopped. With the initial movement of the stage 1, the color filter 20 is transported by a certain amount. At that time, since there is one droplet coating mechanism fixing device 2 and one droplet coating mechanism unit 3 above the color filter 20, the defect observation unit 5 detects the defect position. Observation is performed, and droplet application is performed by the droplet application mechanism unit 3.

複数個所の欠陥部の修正が完了した後、再び、カラーフィルター２０を一定量だけ移動させ、停止する。このとき、カラーフィルター２０の上部には、２本の液滴塗布機構固定装置２と２つの欠陥観察ユニット５と２つの液滴塗布機構ユニット３とが存在する。   After the correction of the defective portions at a plurality of places is completed, the color filter 20 is again moved by a certain amount and stopped. At this time, there are two droplet application mechanism fixing devices 2, two defect observation units 5, and two droplet application mechanism units 3 above the color filter 20.

その結果、同一時間で２倍の欠陥修正が可能となる。これを繰り返すことにより、同一時間で修正できる範囲が広がっていく。そして、カラーフィルター２０が、部品修正装置１０に備えられたすべての液滴塗布機構固定装置２の下を通過すると、カラーフィルター２０の全面の欠陥が修正された状態となる。   As a result, the defect can be corrected twice in the same time. By repeating this, the range that can be corrected in the same time is expanded. Then, when the color filter 20 passes under all the droplet application mechanism fixing devices 2 provided in the component correcting device 10, the entire surface of the color filter 20 is corrected.

ここで、部品修正装置１０の具体的動作について詳述する。   Here, the specific operation of the component correction apparatus 10 will be described in detail.

カラーフィルター２０は、部品修正装置１０の初期ポジションに、図示しないロボットアームにより搬入される。その後、本実施の形態では、カラーフィルター２０の搬送方向長の例えば１／５の距離だけ移動させ、停止する。   The color filter 20 is carried into the initial position of the component correction device 10 by a robot arm (not shown). Thereafter, in the present embodiment, the color filter 20 is moved by a distance of, for example, 1/5 of the length in the conveyance direction, and then stopped.

カラーフィルター２０の移動が完了し、停止してから、液滴塗布機構固定装置２に接続された欠陥観察ユニット５が移動して欠陥部を検出する。   After the movement of the color filter 20 is completed and stopped, the defect observation unit 5 connected to the droplet application mechanism fixing device 2 moves to detect a defective portion.

欠陥観察ユニット５により正確な欠陥位置が認識できた後、液滴塗布機構固定装置２に配置された液滴塗布機構ユニット３が欠陥位置に移動し、修正を行う。   After the accurate defect position can be recognized by the defect observation unit 5, the droplet application mechanism unit 3 arranged in the droplet application mechanism fixing device 2 moves to the defect position and corrects it.

欠陥位置の観察と液滴塗布とを複数回実施し、カラーフィルター２０の１／５のエリアにある複数個所の欠陥修正が完了した後、再び、カラーフィルター２０の搬送方向長の１／５の距離だけ移動させ、停止する。このとき、カラーフィルター２０の上部には、２本の液滴塗布機構固定装置２と欠陥観察ユニット５と液滴塗布機構ユニット３とが存在するため、同一時間で、２倍の欠陥修正が可能となる。   After observing the defect position and applying the liquid droplets a plurality of times and completing defect correction at a plurality of locations in the area of 1/5 of the color filter 20, the length of the color filter 20 in the conveyance direction is again reduced to 1/5 Move it a distance and stop. At this time, since the two droplet application mechanism fixing devices 2, the defect observation unit 5, and the droplet application mechanism unit 3 exist above the color filter 20, the defect can be corrected twice in the same time. It becomes.

カラーフィルター２０の２／５のエリアにある複数個所の欠陥修正が完了した後、再び、カラーフィルター２０の搬送方向長の１／５の距離だけ移動させ、停止する。カラーフィルター２０の搬送方向長の１／５の距離だけの移動を５回繰り返すと、カラーフィルター２０全面の欠陥修正が可能となる。しかし、５回の移動・停止時に５本の液滴塗布機構固定装置２でカラーフィルター２０の全面を修正しようとすると、隣接する液滴塗布機構固定装置２に設置された欠陥観察ユニット５、液滴塗布機構ユニット３および液滴塗布電装ユニット４同士が衝突する可能性がある。また、衝突を避けるためには煩雑な制御が必要となる。そこで、本実施の形態では、液滴塗布機構固定装置２に設置された欠陥観察ユニット５、液滴塗布機構ユニット３および液滴塗布電装ユニット４の修正範囲を、カラーフィルター２０の搬送方向長の１／５の距離よりも短くすることによって、衝突の発生を容易に回避している。例えば、図１（ａ）に示すように、１０本の液滴塗布機構固定装置２がカラーフィルター２０に上部に存在するときには、衝突を回避して、カラーフィルター２０の全面をくまなく修正することができる。   After the defect correction at a plurality of locations in the 2/5 area of the color filter 20 is completed, the color filter 20 is moved again by a distance of 1/5 of the length in the transport direction of the color filter 20 and stopped. If the movement of the color filter 20 by a distance of 1/5 the length in the conveyance direction is repeated five times, it becomes possible to correct defects on the entire color filter 20. However, if the entire surface of the color filter 20 is to be corrected by the five droplet application mechanism fixing devices 2 at the time of moving and stopping five times, the defect observation unit 5 installed in the adjacent droplet application mechanism fixing device 2, the liquid There is a possibility that the droplet applying mechanism unit 3 and the droplet applying electrical unit 4 collide with each other. Also, complicated control is required to avoid collision. Therefore, in the present embodiment, the correction range of the defect observation unit 5, the droplet coating mechanism unit 3, and the droplet coating electrical unit 4 installed in the droplet coating mechanism fixing device 2 is set to the length of the color filter 20 in the transport direction. By making the distance shorter than 1/5, the occurrence of a collision is easily avoided. For example, as shown in FIG. 1A, when ten droplet application mechanism fixing devices 2 are present on the color filter 20, the collision is avoided and the entire surface of the color filter 20 is corrected. Can do.

さらに具体的には、以下のとおりである。   More specifically, it is as follows.

例えば、カラーフィルター２０の搬送方向長さ１０００ｍｍ、１回の移動量２００ｍｍ、１回の移動に掛かる時間を５秒、１回停止時間１５秒、液滴塗布電装ユニット４の修正範囲１１０ｍｍ、欠陥観察から液滴塗布完了までの時間を３秒／１画素、液滴塗布機構固定装置２の本数１０本、隣接する液滴塗布機構固定装置間２の距離を２００ｍｍ、ステージ１のサイズを４０００ｍｍ、液滴塗布機構固定装置２の配置エリア２０００ｍｍと仮定すると、カラーフィルター２０上の欠陥を最大で２５０画素の修正が可能となる。   For example, the length of the color filter 20 in the conveyance direction is 1000 mm, the movement amount is 200 mm, the time required for one movement is 5 seconds, the stop time is 15 seconds, the correction range of the droplet coating unit 4 is 110 mm, and the defect is observed. 3 seconds / 1 pixel, the number of droplet application mechanism fixing devices 2 is 10, the distance between adjacent droplet application mechanism fixing devices 2 is 200 mm, the size of the stage 1 is 4000 mm, the liquid Assuming that the arrangement area of the droplet application mechanism fixing device 2 is 2000 mm, a defect on the color filter 20 can be corrected up to 250 pixels.

実際には、カラーフィルター２０上の欠陥の分布には偏りがあるため、特定エリアにのみ欠陥が発生した場合には、最低２５画素の修正となる。多数のカラーフィルター２０の欠陥発生状況から、通常、１８０画素の修正が可能となる。   Actually, since the distribution of defects on the color filter 20 is biased, if a defect occurs only in a specific area, the minimum correction is 25 pixels. In general, 180 pixels can be corrected from the occurrence of defects in a large number of color filters 20.

また、５回の搬送が完了した際に、基板搬入できるエリアが確保されているため、連続して複数枚の修正ができる。そのため、タクトタイムは、１００秒で１８０画素の修正が可能となる。搬送速度を向上させたり、搬送距離を欠陥分布状況に応じて変化させたりするような機能を盛り込めば、さらに、タクトタイムの短縮、および修正画素数向上が可能となる。   Moreover, since the area which can carry in a board | substrate is ensured when the conveyance of 5 times is completed, correction of several sheets can be performed continuously. Therefore, the tact time can be corrected by 180 pixels in 100 seconds. Incorporating functions such as improving the transport speed and changing the transport distance according to the defect distribution status can further reduce the tact time and improve the number of corrected pixels.

その後、一方向に搬送されたカラーフィルター２０は、カラーフィルター２０の上側の設けられた空中搬送部９により取り上げられ、この空中搬送部９を搬送するレール８を動かすことによって、基板搬入部である初期ポジションに移動され、図示しないロボットアームにより部品修正装置１０から取り出される。   Thereafter, the color filter 20 transported in one direction is picked up by the air transport unit 9 provided on the upper side of the color filter 20, and moves the rail 8 that transports the air transport unit 9 to be a substrate transport unit. It is moved to the initial position and taken out from the component correction device 10 by a robot arm (not shown).

なお、本実施の形態においては、移動量をカラーフィルター２０の搬送方向長の例えば１／５の距離としているが、これは図１（ａ）での説明を容易にするためであり、必ずしもこれに限定されず、移動距離は液滴塗布機構固定装置２の本数および配置、並びにカラーフィルター２０のサイズにより変更することも可能である。   In the present embodiment, the amount of movement is set to a distance of, for example, 1/5 of the length of the color filter 20 in the conveyance direction, but this is for ease of explanation in FIG. However, the moving distance can be changed depending on the number and arrangement of the droplet application mechanism fixing devices 2 and the size of the color filter 20.

また、上述の部品修正装置１０の使用時において、以下のような条件であってもかまわない。   Moreover, the following conditions may be used when using the above-described component correcting device 10.

（１）カラーフィルター２０の移動、停止機構は、コンベア搬送、ローラー搬送、エアや静電気による基板浮上搬送、基板固定枠を用いた枠搬送など、どのような機構を用いても良い。   (1) The mechanism for moving and stopping the color filter 20 may be any mechanism such as conveyor conveyance, roller conveyance, substrate floating conveyance by air or static electricity, or frame conveyance using a substrate fixing frame.

（２）欠陥観察ユニット５は、顕微鏡、ラインセンサー、導電率計、静電容量計、段差計、高さ測定器など欠陥部を特定できる機能を有していれば、手法に限定はない。通常はコスト的に有利で非接触式である顕微鏡を用いることが多い。ここで、欠陥発生位置情報は、他の装置が測定したばらつきを有するデータであるため、顕微鏡の視野は大きいほど、情報のばらつきに対する許容量が大きくできるという利点がある。   (2) The defect observation unit 5 is not limited to any method as long as it has a function capable of specifying a defect portion such as a microscope, a line sensor, a conductivity meter, a capacitance meter, a step meter, and a height measuring device. Usually, a microscope that is cost-effective and non-contact is often used. Here, since the defect occurrence position information is data having variations measured by other apparatuses, there is an advantage that the tolerance for variation in information can be increased as the field of view of the microscope is larger.

（３）欠陥観察ユニット５に色の種類情報と色の配列パターン情報を識別する色情報識別機構を保有させ、大まかな欠陥位置情報だけ入手してもよい。例えば、視野サイズが２ｍｍ四方であれば、１ｍｍの欠陥位置情報のばらつきが許容できる。   (3) The defect observation unit 5 may have a color information identification mechanism for identifying color type information and color arrangement pattern information, and only rough defect position information may be obtained. For example, if the visual field size is 2 mm square, variation in defect position information of 1 mm can be allowed.

（４）液滴塗布電装ユニット４は液滴塗布機構ユニット３と一緒に移動すると良い。液滴塗布機構ユニット３のみがカラーフィルター２０上を移動する場合、液滴塗布電装ユニット４との接続配線を束ねるケーブルベアが必要となるが、このケーブルベアは、移動する液滴塗布機構ユニット３の移動の妨げとなるため、移動精度が低下する場合があるからである。   (4) The droplet coating electrical unit 4 is preferably moved together with the droplet coating mechanism unit 3. When only the droplet application mechanism unit 3 moves on the color filter 20, a cable bear that bundles connection wiring with the droplet application unit 4 is required. This is because the movement accuracy may be reduced.

さらに、修正する画素のサイズが大きく、高い精度が要求されない場合や、装置価格を上げて、高精度な機器を導入してもメリットが見出せる場合には、欠陥観察ユニット５を取りはずすことができる。この場合は、欠陥観察から液滴塗布完了までの時間が３秒／１画素よりも短くすることが可能であり、同一時間で修正可能な画素数が増加する。   Furthermore, when the size of the pixel to be corrected is large and high accuracy is not required, or when the merit can be found even if the device price is increased and high-precision equipment is introduced, the defect observation unit 5 can be removed. In this case, the time from the defect observation to the completion of droplet application can be shorter than 3 seconds / 1 pixel, and the number of pixels that can be corrected in the same time increases.

また、修正する欠陥の発生状況によっては、液滴塗布機構ユニット３の動作を必要としない場合もある。その場合には、液滴塗布機構ユニット３をメンテナンス手段としてのメンテナンスユニット６の上に移動してメンテナンスを実施する。これにより、タクトタイムを長くすることなく、正常な動作を長期間継続することができる。   Further, depending on the state of occurrence of the defect to be corrected, the operation of the droplet applying mechanism unit 3 may not be required. In that case, the droplet application mechanism unit 3 is moved onto a maintenance unit 6 as maintenance means to perform maintenance. As a result, normal operation can be continued for a long time without increasing the tact time.

なお、上述の説明では、欠陥部を除去するレーザー除去装置は、部品修正装置１０には設けられていないとして説明したが、必ずしもこれに限らず、部品修正装置１０は、欠陥部を除去するレーザー除去手段としての除去ユニット７を備えているとすることができる。   In the above description, it has been described that the laser removing device that removes the defective portion is not provided in the component correcting device 10. However, the present invention is not limited to this, and the component correcting device 10 is a laser that removes the defective portion. It can be assumed that a removal unit 7 is provided as a removal means.

この除去ユニット７は、カラーフィルター２０の停止中に欠陥部のレーザー除去を行い、その後、液滴の塗布が行なわれる。   This removal unit 7 performs laser removal of defective portions while the color filter 20 is stopped, and thereafter, droplets are applied.

具体的には、まず、カラーフィルター２０を製造するときは、全面にインクジェットにより画素が赤（Ｒ）・緑（Ｇ）・青（Ｂ）に描画されたカラーフィルター２０は、除去ユニット７を備えた部品修正装置１０に搬入される。そして、カラーフィルター２０は移動および停止を繰り返しながら搬送される。このとき、カラーフィルターが停止した状態において、欠陥観察ユニット５により欠陥部が検出され、除去ユニット７がＵＶおよびＩＲレーザーによる昇華方法などにより、欠陥部を除去する。欠陥が取り除かれた箇所に液滴塗布機構ユニット３が液滴を塗布し修正する。   Specifically, first, when the color filter 20 is manufactured, the color filter 20 in which pixels are drawn in red (R), green (G), and blue (B) by inkjet on the entire surface includes the removal unit 7. Then, it is carried into the component correction apparatus 10. And the color filter 20 is conveyed, repeating a movement and a stop. At this time, when the color filter is stopped, the defect observation unit 5 detects the defect portion, and the removal unit 7 removes the defect portion by a sublimation method using UV and IR laser. The droplet application mechanism unit 3 applies and corrects a droplet at a location where the defect is removed.

このように、部品修正装置１０に除去ユニット７を備えることにより、欠陥検出および欠陥除去並びに欠陥修正を、１台でまかなうことができる。   Thus, by providing the component correction apparatus 10 with the removal unit 7, defect detection, defect removal, and defect correction can be performed by a single unit.

なお、上述の説明では、欠陥除去方法をＵＶおよびＩＲレーザーによる昇華方法としているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、刃物による切削方法などを用いることも可能である。   In the above description, the defect removal method is a sublimation method using UV and IR lasers, but is not necessarily limited to this, and for example, a cutting method using a blade can be used.

〔実施の形態２〕
本発明の他の実施形態について、図３および図４に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態１と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態１の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。 [Embodiment 2]
The following will describe another embodiment of the present invention with reference to FIGS. Configurations other than those described in the present embodiment are the same as those in the first embodiment. For convenience of explanation, members having the same functions as those shown in the drawings of the first embodiment are given the same reference numerals, and explanation thereof is omitted.

前記実施の形態１の部品修正装置１０では、液滴の塗布手段としての液滴塗布機構ユニット３は、インクジェット方式を採用していた。   In the component correcting apparatus 10 of the first embodiment, the droplet applying mechanism unit 3 as the droplet applying means employs an ink jet method.

しかしながら、液滴の塗布手段としての液滴塗布機構ユニット３は、欠陥位置にインクを打ち込む機構を有していれば、その方式はどのようなものでもよい。   However, the droplet applying mechanism unit 3 as a droplet applying means may have any method as long as it has a mechanism for ejecting ink at a defect position.

例えば、インクジェット方式を用いる場合には、画素のサイズ変更に対し、塗布するインク量を変更することが容易なため、多品種を製造する場合に有利になる。しかし、インクジェット方式においては、塗布できるインクの物性に制約が多く、修正後の仕上り具合が悪くなったり、悪い場合には、製品化された後で、修正箇所が肉眼で認識できたりする場合もある。   For example, when the ink jet method is used, it is easy to change the amount of ink to be applied with respect to the change in pixel size, which is advantageous when manufacturing a wide variety of products. However, in the ink jet method, there are many restrictions on the physical properties of the ink that can be applied, and the finish after correction may be poor, or if it is bad, the corrected part may be recognized with the naked eye after commercialization. is there.

そこで、修正する対象部品に応じて、液滴の塗布方式として、ニードル方式を採用することが可能である。   Therefore, it is possible to adopt a needle method as a droplet application method according to the target component to be corrected.

すなわち、ニードル方式の場合は、図３（ａ）（ｂ）に示すように、先端の尖ったニードル３１にインクを付着させ、ニードル先端に付着したインクをガラス基板の修正したい箇所に転写させることにより、修正を行う。ニードル３１の先端角度を変えることによって、ニードル３１に付着するインク量を変えることができる。また、ニードル３１の先端をインク壷３２に入れる寸法を変えることによって、インクの付着量を変えることができる。   That is, in the case of the needle method, as shown in FIGS. 3A and 3B, the ink is attached to the needle 31 having a sharp tip, and the ink attached to the tip of the needle is transferred to a position to be corrected on the glass substrate. To make corrections. By changing the tip angle of the needle 31, the amount of ink attached to the needle 31 can be changed. In addition, by changing the size of the needle 31 into the ink fountain 32, the amount of ink attached can be changed.

このように、ニードル方式の場合は、高粘度のインクを塗布することが可能であり、短時間で多量のインクを塗布することができる。また、インクの物性変更が容易で、ＵＶ硬化剤などを混ぜ込み、修正完了後、すぐに固化することも可能である。   As described above, in the case of the needle method, it is possible to apply high viscosity ink, and it is possible to apply a large amount of ink in a short time. In addition, the physical properties of the ink can be easily changed, and a UV curing agent or the like can be mixed and solidified immediately after the correction is completed.

一方、ニードル方式の場合は、ニードルの先端でインクが固まると、修正箇所の仕上がりが悪くなり、悪い場合には、電気的なリークを発生させるツノ上の突起を形成してしまうという問題がある。   On the other hand, in the case of the needle method, when the ink is hardened at the tip of the needle, the finish of the correction portion is deteriorated, and in the case of being bad, there is a problem that a protrusion on the horn that generates an electrical leak is formed. .

そこで、修正する対象部品に応じて、前記液滴の塗布方式として、ディスペンサー方式を採用することも可能である。   Therefore, a dispenser method can be adopted as the droplet application method according to the target component to be corrected.

図４はディスペンサー方式の一例をあらわしており、カートリッジヒーター４４にて塗液を充填したニードルの先端４２を加熱し、ニードルの吐出口４３から塗液を表示素子部品としてのカラーフィルター４５に滴下させるようになっている。   FIG. 4 shows an example of a dispenser system. The tip 42 of the needle filled with the coating liquid is heated by the cartridge heater 44, and the coating liquid is dripped onto the color filter 45 as a display element part from the discharge port 43 of the needle. It is like that.

図４に示すように、液滴を分注するディスペンサー４０は、塗液を所定の位置に塗布するために先端を細くしたニードル４１と、塗液を入れたニードルの先端４２と、ニードルの先端に開けられた吐出口４３と、ニードルの先端を加熱するカートリッジヒーター４４とからなる。   As shown in FIG. 4, a dispenser 40 for dispensing droplets includes a needle 41 having a thin tip for applying a coating liquid at a predetermined position, a tip 42 of a needle containing the coating liquid, and a tip of the needle. And a cartridge heater 44 for heating the tip of the needle.

塗液を吐出口４３から出す方法としては、弁を用いた方法およびガス圧を利用した方法および真空滴下法などでもよく、図４を用いて説明した上述の方法にとらわれない。   The method of discharging the coating liquid from the discharge port 43 may be a method using a valve, a method using a gas pressure, a vacuum dropping method, or the like, and is not limited to the method described above with reference to FIG.

このようなディスペンサー方式の利点は、インクの物性による影響を最も受け難い点である。しかしながら、ニードルの先端は非常に細くかつ穴が開いている為、折れやすく、安定生産に問題を抱える。   The advantage of such a dispenser system is that it is least affected by the physical properties of the ink. However, since the tip of the needle is very thin and has a hole, it is easy to break and has a problem in stable production.

以上から、修正する対象部品からの制約により、インクジェット、ディスペンサー、ニードル方式を組み合わせて使用する場合もある。   From the above, there are cases where an inkjet, a dispenser, and a needle method are used in combination due to restrictions from the target parts to be corrected.

〔実施の形態３〕
本発明のさらに他の実施形態について説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態１および２のいずれか一つと同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態１および２の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。 [Embodiment 3]
The following will describe still another embodiment of the present invention. The configuration other than that described in the present embodiment is the same as that of any one of the first and second embodiments. For convenience of explanation, members having the same functions as those shown in the drawings of Embodiments 1 and 2 are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.

本実施の形態の部品修正装置１０は、前記実施の形態１および２のいずれか一つの構成に加えて、前記液滴塗布機構ユニット３から吐出される液滴が、カラーインクとは限らず、配線修正用の導電性材料、絶縁材料、半導体材料とすることができる。また、単一カラー表示パネルを修正する場合には、３色カラーに比べ、１／３の数量の吐出部があればよい。４色カラー、５色カラーなど多色の場合には、液滴塗布機構ユニット３の内部に必要な色を吐出できる経路を持たせればよい。   In addition to the configuration of any one of the first and second embodiments, the component correcting device 10 of the present embodiment is not limited to the color ink droplets ejected from the droplet application mechanism unit 3, A conductive material for wiring correction, an insulating material, or a semiconductor material can be used. Further, when a single color display panel is to be corrected, it is only necessary to have one third of the number of ejection units as compared with the case of three colors. In the case of multiple colors such as four-color and five-color, it is only necessary to provide a path through which the necessary color can be discharged inside the droplet applying mechanism unit 3.

なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲での種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications within the scope of the claims are possible. The technical means disclosed in different embodiments are appropriately combined. The obtained embodiment is also included in the technical scope of the present invention.

本発明は、カラーフィルター形成後の部品修正方法及び部品の修正装置に適用することができる。具体的には、液晶パネル、プラズマパネル、マイクロミラーパネル、ブラウン管ディスプレー、プロジェクションテレビなどのカラー表示パネルの部品修正方法及び部品の修正装置に利用することができる。また、ＥＬ材料を用いたディスプレーの発光層の部品修正方法及び部品の修正装置にも利用可能である。   The present invention can be applied to a component correction method and a component correction apparatus after forming a color filter. Specifically, it can be used in a component correction method and component correction device for color display panels such as liquid crystal panels, plasma panels, micromirror panels, cathode ray tube displays, and projection televisions. Further, the present invention can also be used for a component correcting method and a component correcting device for a light emitting layer of a display using an EL material.

（ａ）は、本発明における表示素子部品修正装置の実施の一形態を簡略化して示す平面図であり、（ｂ）は、上記表示素子部品修正装置を簡略化して示す側面図であり、（ｃ）は、上記表示素子部品修正装置を簡略化して示す正面図である。(A) is the top view which simplifies and shows one Embodiment of the display element component correction apparatus in this invention, (b) is a side view which simplifies and shows the said display element component correction apparatus, c) is a front view showing the display element component correcting apparatus in a simplified manner. 上記表示素子部品修正装置の修正対象であるカラーフィルターを示す平面図である。It is a top view which shows the color filter which is the correction object of the said display element component correction apparatus. 本発明における表示素子部品修正装置の他の実施の形態を示すものであり、ニードル方式の液滴塗布機構ユニットを示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a needle type liquid droplet application mechanism unit according to another embodiment of the display element component correcting apparatus of the present invention. （ａ）（ｂ）は、本発明における表示素子部品修正装置の他の実施の形態を示すものであり、ディスペンサー方式の液滴塗布機構ユニットを示す斜視図である。(A) and (b) are other embodiments of the display element component correcting apparatus according to the present invention, and are perspective views showing a dispenser type droplet applying mechanism unit. 従来のプラズマディスプレイ用発光基板の製造装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the manufacturing apparatus of the conventional light emission board | substrate for plasma displays. 従来の他の描画装置を示す平面図である。It is a top view which shows the other conventional drawing apparatus. 従来における修正対象であるカラーフィルターを示す平面図である。It is a top view which shows the color filter which is the correction object in the past.

符号の説明Explanation of symbols

１ ステージ（搬送手段）
２ 液滴塗布機構固定装置
３ 液滴塗布機構ユニット（塗布手段）
４ 液滴塗布電装ユニット（塗布手段）
５ 欠陥観察ユニット（欠陥検出手段、欠陥観察手段）
６ メンテナンスユニット（メンテナンス手段）
７ 除去ユニット（レーザー除去手段）
９ 空中搬送部
８ レール
１０ 部品修正装置（表示素子部品修正装置）
２０ カラーフィルター（表示素子部品）
２１ 赤画素
２２ 緑画素
２３ 青画素
２４ ブラックマトリックス
２５ 混色現象画素（欠陥部）
２６ 異物（欠陥部）
２７ 白抜け画素（欠陥部）
３１ ニードル
４０ ディスペンサー
４１ ニードル
４２ ニードルの先端
４３ 吐出口
４４ カートリッジヒーター
４５ カラーフィルター（表示素子部品） 1 stage (conveying means)
2 Droplet coating mechanism fixing device 3 Droplet coating mechanism unit (coating means)
4 Droplet coating electrical unit (coating means)
5 Defect observation unit (defect detection means, defect observation means)
6 Maintenance unit (maintenance means)
7 Removal unit (laser removal means)
9 Air transport part 8 Rail 10 Parts correction device (Display element parts correction device)
20 Color filter (Display element parts)
21 Red pixel 22 Green pixel 23 Blue pixel 24 Black matrix 25 Color mixing phenomenon pixel (defective part)
26 Foreign matter (defect)
27 White pixels (defects)
31 Needle 40 Dispenser 41 Needle 42 Needle tip 43 Discharge port 44 Cartridge heater 45 Color filter (display element component)

Claims (9)

移動および停止を繰り返しながら表示素子部品を搬送する搬送手段と、
上記搬送手段によって搬送される表示素子部品に対して欠陥部への液滴の塗布を行う塗布手段と、
上記表示素子部品の欠陥部を検出する欠陥検出手段とを備えている共に、
上記塗布手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行い、
上記欠陥検出手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して欠陥部を検出し、
上記搬送手段は、表示素子部品の搬送方向への移動および停止を、該表示素子部品における搬送方向のサイズ内の一定の搬送距離毎に複数回行うと共に、
上記塗布手段および欠陥検出手段は、表示素子部品の搬送方向に沿って上記一定の搬送距離毎に並べて複数組設けられ、
各組の塗布手段および欠陥検出手段は、上記各一定の搬送距離内で移動自在となっていることを特徴とする表示素子部品修正装置。 Conveying means for conveying the display element parts while repeating the movement and stop;
Application means for applying liquid droplets to the defective portion with respect to the display element parts conveyed by the conveyance means ;
In addition to having a defect detection means for detecting a defective portion of the display element component,
The application means performs application of droplets to the display element component while the conveyance of the display element component by the conveyance means is stopped ,
The defect detection means detects a defective portion with respect to the display element component while the conveyance of the display element component is stopped by the conveyance means,
The transport means performs movement and stop in the transport direction of the display element component a plurality of times for each constant transport distance within the size of the display element component in the transport direction,
A plurality of sets of the application means and the defect detection means are provided side by side along the conveyance direction of the display element parts for each of the certain conveyance distances
The display element component correcting apparatus according to claim 1 , wherein each of the coating means and the defect detection means is movable within each of the predetermined transport distances . 前記欠陥検出手段は、欠陥を観察できる欠陥観察手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の表示素子部品修正装置。 The defect detecting means, a display element part correction device according to claim 1, characterized in that it comprises a defect observation means for observing a defect. 前記表示素子部品の欠陥部をレーザーにより除去するレーザー除去手段を備えていると共に、
上記レーザー除去手段は、搬送手段による表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して欠陥部を除去することを特徴とする請求項１または２記載の表示素子部品修正装置。 While equipped with a laser removing means for removing the defective portion of the display element component by a laser,
3. The display element component correcting apparatus according to claim 1, wherein the laser removing unit removes a defective portion from the display element component while the conveyance of the display element component by the conveying unit is stopped. 前記塗布手段は、塗布動作の休止中に、該塗布手段自体をメンテナンスするメンテナンス手段を備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の表示素子部品修正装置。 The coating means, during the suspension of the coating operation, the display element part correction device according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it comprises a maintenance unit to maintain the coating means itself. 前記塗布手段は、インクジェット方式により液滴の塗布を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の表示素子部品修正装置。 The coating means, the display element component correction device according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the coating of droplets by an inkjet method. 前記塗布手段は、ニードル方式により液滴の塗布を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の表示素子部品修正装置。 The coating means, the display element component correction device according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the coating of droplets by needle method. 前記塗布手段は、ディスペンサー方式により液滴の塗布を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の表示素子部品修正装置。 The coating means, the display element component correction device according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the coating of the droplet by the dispenser method. 前記表示素子部品は、表示素子のカラーフィルターであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の表示素子部品修正装置。 The display device part, the display element part correction device according to any one of claims 1-7, characterized in that a color filter of a display device. 移動および停止を繰り返しながら搬送される表示素子部品に対して塗布手段にて欠陥部への液滴の塗布を行うときに、表示素子部品の搬送停止中に該表示素子部品に対して液滴の塗布を行うと共に、
上記表示素子部品の搬送方向への移動および停止は、該表示素子部品における搬送方向のサイズ内の一定の搬送距離毎に複数回行われ、
上記表示素子部品の搬送停止中における欠陥部への液滴の塗布は、表示素子部品の搬送方向に沿って上記一定の搬送距離毎に並べて複数組設けられた上記塗布手段および欠陥検出手段にて、上記各一定の搬送距離内で移動自在に各組毎に行われることを特徴とする表示素子部品修正方法。 When applying droplets to the defective part by the coating means on the display element component conveyed while repeating the movement and stop, the droplets are not applied to the display element component while the conveyance of the display element component is stopped. While applying ,
The movement and stop of the display element component in the conveyance direction are performed a plurality of times for each constant conveyance distance within the size of the display element component in the conveyance direction
The application of the liquid droplets to the defective portion while the display element component is stopped is performed by the application unit and the defect detection unit provided in a plurality of groups along the predetermined transfer distance along the display element component transfer direction. The display element component correcting method, wherein the display element component correcting method is carried out for each group so as to be movable within each of the predetermined transport distances .
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