JP4611900B2 - ダスト除去装置 - Google Patents
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Description
図1は、ダスト除去装置の要部を示す正面図であり、図2は、ダスト除去装置の要部を示す平面図である。
ダスト除去装置1は、図示省略した架台上の下ベース2を有し、下ベース2の上側には、ワークW(基板)に対しダスト除去動作を行うワーク処理エリアが構成されている。
モータ15は、ブラケット63に取り付けられ、ブラケット63は、第1支持スタンド3を貫通するようにして上ベース5の右垂直ベース52に固定されている。このため、上ベース5がギャップ調整のために上下動した場合には、モータ15及び回転ブラシ11が一体に上下動するようになっている。
ブラシ回転手段13は、モータ61の動力を回転ブラシ11の回転運動として回転ブラシ11に伝達する動力伝達手段70を備えている。
ブラシ進退手段14は、モータ61の動力を回転ブラシ11の進退運動に変換して回転ブラシ11に伝達する動力伝達手段80を備えている。
図4(a)に示す初期状態において、モータ15が1/4回転すると、回転ブラシ11及び円筒カム81は、回転しながら左方向に進出し、図4(b)に示す位置へと移動する。モータ15がさらに1/4回転すると、回転ブラシ11及び円筒カム81は、回転しながら左方向に最大限進出し、図4(c)に示す位置へと移動する。そして、モータ15がさらに1/2回転すると、回転ブラシ11及び円筒カム81は、回転しながら右方向に進出を開始して図4(d)に示す位置を経た後、右方向に最大限進出して図4(a)に示す位置に戻る。
次に、図5を参照して、参考例に係る本発明のダスト除去装置1について、第1実施形態との相違点を中心に説明する。第1実施形態との主な相違点は、ブラシ進退手段14の動力伝達手段80の構成を変更したことである。なお、回転ブラシ11、ワーク搬送手段12、ブラシ回転手段13及びモータ15は第1実施形態と同じであり、第1実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。
次に、図6を参照して、第2実施形態に係る本発明のダスト除去装置1について、第1実施形態との相違点を中心に説明する。本実施形態に用いられるワークWは、その外形形状が円盤状のものであり、例えば、シリコン半導体ウエハやCD(Compact Disk)等のディスク媒体である。そのため、第2実施形態では、第1実施形態のワーク搬送手段12に代えて、ワークWをその軸心173回りに回転させるワーク回転手段171を備えている。なお、ワークW及びワーク回転手段171以外の他の構成は、第1実施形態と同じであり、第1実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。
Claims (3)
- ワークに付着したダストを除去する回転ブラシと、
前記回転ブラシの軸方向に交差する方向に前記ワークを搬送するワーク搬送手段と、
前記ワーク搬送手段に同期して、前記回転ブラシをその軸心を中心に回転させるブラシ回転手段と、
前記ワーク搬送手段に同期して、前記回転ブラシをその軸方向に進退させるブラシ進退手段と、
を備えたダスト除去装置において、
前記ブラシ回転手段及び前記ブラシ進退手段の共通の駆動源となるモータを備え、
前記ブラシ回転手段は、前記モータの動力を前記回転ブラシの回転運動として当該回転ブラシに伝達する動力伝達手段を有し、
前記ブラシ進退手段は、前記モータの動力を前記回転ブラシの進退運動に変換して当該回転ブラシに伝達する動力伝達手段を有し、
前記ブラシ進退手段の動力伝達手段は、カム機構を有し、
前記カム機構は、
カムフォロアと、
前記カムフォロアが案内されるカム部を有すると共に、前記モータの動力により回転する円筒カムと、を備え、
前記円筒カムは、前記回転ブラシと一体的に同軸で回転し且つ進退するように、当該回転ブラシに連結され、
前記カムフォロアは、前記モータが回転したときに前記円筒カムの回転を許容しながらその回転を当該円筒カムの進退運動に変換するように、不動の位置に固定されている、ダスト除去装置。 - 前記カムフォロアを前記不動の位置に固定するベースと、
前記円筒カムと前記回転ブラシとを連結し、これらと一体的に回転し且つ進退する回転軸と、を更に備え、
前記回転軸は、前記円筒カムの内部に挿通されてこれに固定され、且つ、当該円筒カムの内部から軸方向外側に出た部位が前記ベースに回転可能に且つ進退可能に支持されている、請求項1に記載のダスト除去装置。 - 前記回転軸は、互いに同軸に配設された二つの回転軸からなり、
前記二つの回転軸は、前記円筒カムの内部に挿通されてこれに固定されている、請求項2に記載のダスト除去装置。
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